TWM612104U - 雙轉輪高效率有機廢氣處理系統 - Google Patents

雙轉輪高效率有機廢氣處理系統 Download PDF

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TWM612104U
TWM612104U TW109216044U TW109216044U TWM612104U TW M612104 U TWM612104 U TW M612104U TW 109216044 U TW109216044 U TW 109216044U TW 109216044 U TW109216044 U TW 109216044U TW M612104 U TWM612104 U TW M612104U
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Taiwan
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pipeline
gas
cooling
hot
zone
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TW109216044U
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鄭石治
扶亞民
劉邦錦
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華懋科技股份有限公司
大陸商上海華懋環保節能設備有限公司
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Abstract

本創作為一種雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,主要係用於有機廢氣處理系統,且設有一焚化設備,一熱交換器、一第一吸附轉輪、一第二吸附轉輪及一煙囪,並透過與該熱交換器之冷側道的另一端所連接的第二熱氣輸送管路來將熱氣輸送到該第二吸附轉輪之脫附區進行脫附,再透過該第二脫附濃縮氣體管路的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第一吸附轉輪之冷卻區的一側內,另透過該第二熱氣輸送管路係分支與該第一熱氣輸送管路的另一端連接,再透過該第一熱氣輸送管路的一端來將部份的熱氣輸送到第一吸附轉輪之脫附區的另一側內,藉此,能提升有機廢氣處理之效率,並具有節省能源及降低排放之效能。

Description

雙轉輪高效率有機廢氣處理系統
本創作係有關於一種雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,尤指一種能提升有機廢氣處理之效率,並具有節省能源及降低排放之效能,而適用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的有機廢氣處理系統或類似設備。
按,目前在半導體產業或光電產業的製造生產過程中都會產生具有揮發性有機氣體(VOC),因此,在各廠區都會安裝處理揮發性有機氣體(VOC)的處理設備,以避免揮發性有機氣體(VOC)直接排入空氣中而造成空氣污染。而目前經由該處理設備所脫附的濃縮氣體大都是輸送到該焚燒爐來進行燃燒,再將燃燒後的氣體來輸送到煙囪來進行排放。
但是近年來,不管是中央政府或是各地方政府都對空氣汙染非常重視,也因此在煙囪的排放標準上訂定了有關大氣品質標準,同時將依國際管制趨勢發展,逐期檢討。
因此,本創作人有鑑於上述缺失,期能提出一種具有提升有機廢氣處理效率的雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,令使用者可輕易操作組裝,乃潛心研思、設計組製,以提供使用者便利性,為本創作人所欲研發之創作動機。
本創作之主要目的,在於提供一種雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,主要係用於有機廢氣處理系統,且設有一焚化設備,一熱交換器、一第一吸附轉輪、一第二吸附轉輪及一煙囪,並透過與該熱交換器之冷側道的另一端所連接的第二熱氣輸送管路來將熱氣輸送到該第二吸附轉輪之脫附區進行脫附,再透過該第二脫附濃縮氣體管路的另一端來將脫附濃縮氣體輸送到第一吸附轉輪之冷卻區的一側內,另透過該第二熱氣輸送管路係分支與該第一熱氣輸送管路的另一端連接,再透過該第一熱氣輸送管路的一端來將部份的熱氣輸送到第一吸附轉輪之脫附區的另一側內,藉此,能提升有機廢氣處理之效率,並具有節省能源及降低排放之效能,進而增加整體之實用性。
本創作之次一目的,在於提供一種雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,透過在該廢氣進氣管路與該第一吸附轉輪之冷卻區之間係設有一廢氣旁通管路,讓在廢氣進氣管路的來源氣體能分支經由該廢氣旁通管路來輸送至第一吸附轉輪之冷卻區,以具有調節由該第二脫附濃縮氣體管路所輸送到第一吸附轉輪之冷卻區的脫附濃縮氣體之溫度,讓進入該第一吸附轉輪之冷卻區的氣體溫度能降低,使具有達到冷卻該第一吸附轉輪之冷卻區的效能,進而增加整體之操作性。
本創作之再一目的,在於提供一種雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,透過在該第一冷卻氣輸送管路與該第一熱氣輸送管路之間係設有一第一冷卻氣旁通管路,且在該第一冷卻氣旁通管路及該第一冷卻氣輸送管路上分別設有第一冷卻氣旁通控制閥門及一第一冷卻氣輸送控制閥門, 並透過該第一冷卻氣旁通控制閥門及該第一冷卻氣輸送控制閥門來形成比例風門,另也可以在該第一冷卻氣旁通管路及該第一熱氣輸送管路上分別設有第一冷卻氣旁通控制閥門及一第一熱氣輸送控制閥門,並透過該第一冷卻氣旁通控制閥門及該第一熱氣輸送控制閥門來形成比例風門,藉此,以調整由該第一熱氣輸送管路輸送到該第一吸附轉輪之脫附區的熱氣之溫度,使具有提昇控制溫度的效能,進而增加整體之使用性。
本創作之另一目的,在於提供一種雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,透過在該第二冷卻氣輸送管路與該第二熱氣輸送管路之間係設有一第二冷卻氣旁通管路,且在該第二冷卻氣旁通管路及該第二冷卻氣輸送管路上分別設有第二冷卻氣旁通控制閥門及一第二冷卻氣輸送控制閥門,並透過該第二冷卻氣旁通控制閥門及該第二冷卻氣輸送控制閥門來形成比例風門,另也可以在該第二冷卻氣旁通管路及該第二熱氣輸送管路上分別設有第二冷卻氣旁通控制閥門及一第二熱氣輸送控制閥門,並透過該第二冷卻氣旁通控制閥門及該第二熱氣輸送控制閥門來形成比例風門,藉此,以調整由該第二熱氣輸送管路輸送到該第二吸附轉輪之脫附區的熱氣之溫度,使具有提昇控制溫度的效能,進而增加整體之控制性。
為了能夠更進一步瞭解本創作之特徵、特點和技術內容,請參閱以下有關本創作之詳細說明與附圖,惟所附圖式僅提供參考與說明用,非用以限制本創作。
10:焚化設備
101:入口
102:出口
11:燃燒室
20:熱交換器
201:冷側道
202:熱側道
21:熱側輸送管路
22:熱側排出管路
30:第一吸附轉輪
301:吸附區
302:冷卻區
303:脫附區
31:廢氣進氣管路
311:風機
32:第一淨氣排放管路
33:第一冷卻氣輸送管路
331:第一冷卻氣輸送控制閥門
34:第一熱氣輸送管路
341:第一廢氣輸送控制閥門
35:第一脫附濃縮氣體管路
351:風機
40:第一冷卻氣旁通管路
401:第一冷卻氣旁通控制閥門
50:第二吸附轉輪
501:吸附區
502:冷卻區
503:脫附區
51:第二淨氣排放管路
511:風機
52:第二冷卻氣進氣管路
53:第二冷卻氣輸送管路
531:第二冷卻氣輸送控制閥門
54:第二熱氣輸送管路
541:第二熱氣輸送控制閥門
55:第二脫附濃縮氣體管路
551:風機
60:第二冷卻氣旁通管路
601:第二冷卻氣旁通控制閥門
70:煙囪
80:第一淨氣旁通管路
801:第一淨氣旁通控制閥門
90:廢氣旁通管路
901:廢氣旁通控制閥門
第1圖係為本創作主要實施的系統架構示意圖。
第2圖係為本創作主要實施具有第一冷卻氣旁通管路及第二冷卻氣旁通管路的系統架構示意圖。
第3圖係為本創作主要實施具有第一淨氣旁通管路的系統架構示意圖。
第4圖係為本創作主要實施具有廢氣旁通管路的系統架構示意圖。
請參閱第1圖至第4圖,係為本創作實施例之示意圖。而本創作之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統的最佳實施方式係運用於半導體產業、光電產業或化學相關產業的有機廢氣處理系統或類似設備,主要是能提升有機廢氣處理之效率,並具有節省能源及降低排放之效能。
而本創作之實施架構的雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,主要係包括有一焚化設備10、一熱交換器20、一第一吸附轉輪30、一第二吸附轉輪50及一煙囪70的組合設計(如第1圖至第4圖所示),其中該熱交換器20係具有冷側道201及熱側道202,而該熱交換器20係設有一熱側輸送管路21及一熱側排出管路22,該熱側輸送管路21的一端係與該焚化設備10連接,且該熱側輸送管路21的另一端係與熱側道202的一端連接,另該熱側排出管路22的一端係與熱側道202的另一端連接,而該熱側排出管路22的另一端係與該煙囪70連接(如第1圖至第4圖所示),再者,該焚化設備10係設有入口101及出口102,該焚化設備10之出口102係與該煙囪70連接,而該焚化設備10係設有一燃燒室11,該燃燒室11係與該熱側輸送管路21的一端連通(如第1圖至第4圖所示),且該焚化設備10係為直燃式焚燒爐 (TO)、觸媒式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一。
另本創作之第一吸附轉輪30係設有吸附區301、冷卻區302及脫附區303,該第一吸附轉輪30係連接有一廢氣進氣管路31、一第一淨氣排放管路32、一第一冷卻氣輸送管路33、一第一熱氣輸送管路34及一第一脫附濃縮氣體管路35(如第1圖至第4圖所示),而該第二吸附轉輪50係設有吸附區501、冷卻區502及脫附區,該第二吸附轉輪50係連接有一第二淨氣排放管路51、一第二冷卻氣進氣管路52、一第二冷卻氣輸送管路53、一第二熱氣輸送管路54及一第二脫附濃縮氣體管路55(如第1圖至第4圖所示)。其中該第一吸附轉輪30與該第二吸附轉輪50係分別為沸石濃縮轉輪或是其他材質之濃縮轉輪。
其中該廢氣進氣管路31的一端係連接至該第一吸附轉輪30之吸附區301的一側,使該廢氣進氣管路31能將有機廢氣輸送到該第一吸附轉輪30之吸附區301內,而該第一淨氣排放管路32的一端係與該第一吸附轉輪30之吸附區301的另一側連接,且該第一淨氣排放管路32的一端係連接至該第二吸附轉輪50之吸附區501的一側,以讓該有機廢氣能經由該第一吸附轉輪30之吸附區301進行吸附有機物後再由該第一淨氣排放管路32來輸送到該第二吸附轉輪50之吸附區501內。另該第二吸附轉輪50之吸附區501的另一側係連接該設第二淨氣排放管路51,以透過該第二淨氣排放管路51的另一端來與該煙囪70連接(如第1圖及第2圖所示),且該第二淨氣排放管路51係設有一風機511(如第3圖及第4圖所示),使能透過該風機511來 將該第二淨氣排放管路51內的經過吸附後之氣體推拉到該煙囪70內以進行排放。
另該第一吸附轉輪30之冷卻區302的另一側係連接該第一冷卻氣輸送管路33的一端,該第一冷卻氣輸送管路33的另一端係與該熱交換器20之冷側道201的一端連接,以將進入該第一吸附轉輪30之冷卻區302後之氣體輸送到該熱交換器20內進行熱交換(如第1圖至第4圖所示)。再者,該第一吸附轉輪30之脫附區303的另一側係連接該第一熱氣輸送管34路的一端,以能將熱氣透過該第一熱氣輸送管路34來輸送到該第一吸附轉輪30之脫附區303來進行脫附使用,另該第一吸附轉輪30之脫附區303的一側係連接該第一脫附濃縮氣體管路35的一端,而該第一脫附濃縮氣體管路35的另一端係與該焚化設備10之入口101連接(如第1圖至第4圖所示),以能將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該第一脫附濃縮氣體管路35來輸送到該焚化設備10之入口101內,使能讓該焚化設備10的燃燒室11來進行高溫裂解,以能減少揮發性有機化合物。且該第一脫附濃縮氣體管路35係設有一風機351(如第3圖及第4圖所示),以能將脫附濃縮氣體來推拉進入該焚化設備10之入口101內。
而上述該第一冷卻氣輸送管路33與該第一熱氣輸送管路34之間係設有一第一冷卻氣旁通管路40(如第2圖至第4圖所示),該第一冷卻氣旁通管路40之一端係與該第一冷卻氣輸送管路33連接,而該第一冷卻氣旁通管路40之另一端係與該第一熱氣輸送管路34連接,使該第一冷卻氣輸送管路33能分支經由該第一冷卻氣旁通管路40 來輸送部份冷卻後之氣體到第一熱氣輸送管路34內,以具有提升該第一熱氣輸送管路34的熱氣之溫度,另該第一冷卻氣旁通管路40係設有一第一冷卻氣旁通控制閥門401(如第3圖及第4圖所示),以控制該第一冷卻氣旁通管路40的風量。再者,該第一冷卻氣輸送管路33係設有一第一冷卻氣輸送控制閥門331,以控制該第一冷卻氣輸送管路33的風量(如第3圖所示),並透過該第一冷卻氣旁通控制閥門401及該第一冷卻氣輸送控制閥門331來形成比例風門,另外,也可以在該第一熱氣輸送管路34上設有一第一熱氣輸送控制閥門341(如第4圖所示),以控制該第一熱氣輸送管路34的風量,並透過該第一冷卻氣旁通控制閥門401及該第一熱氣輸送控制閥門341來形成比例風門,藉此,以調整由該第一熱氣輸送管路34輸送到該第一吸附轉輪30之脫附區303的熱氣之溫度,使具有提昇控制溫度的效能。
另該第二冷卻氣進氣管路52的另一端係與該第二吸附轉輪50之冷卻區502的一側連接,以供氣體進入該第二吸附轉輪50之冷卻區502來進行冷卻使用,而該第二吸附轉輪50之冷卻區502的另一側係連接該第二冷卻氣輸送管路53的一端,該第二冷卻氣輸送管路53的另一端則與該熱交換器20之冷側道201的一端連接,以將進入該第二吸附轉輪50之冷卻區502後之氣體輸送到該熱交換器20內進行熱交換(如第1圖至第4圖所示)。再者,該第二吸附轉輪50之脫附區503的另一側係連接該第二熱氣輸送管路54的一端,且該第二熱氣輸送管路54的另一端係與該熱交換器20之冷側道201的另一端連接,以能將由該熱交換器20進行熱交換後的高溫熱氣透過該第二熱氣輸送管 路54來輸送到該第二吸附轉輪50之脫附區503內進行脫附使用,其中該第二熱氣輸送管路54係分支與該第一熱氣輸送管路34的另一端連接(如第1圖至第4圖所示),使該熱交換器20進行熱交換後的高溫熱氣能經由該第一熱氣輸送管路34來分支送到該第一吸附轉輪30之脫附區303內進行脫附使用。
而上述該第二吸附轉輪50之冷卻區502係設有兩種實施方式,其中第一種實施方式為該第二吸附轉輪50之冷卻區502的一側所連接的第二冷卻氣進氣管路52的一端乃是供新鮮空氣或外氣進入(如第1圖及第2圖所示),透過該新鮮空氣或外氣來提供該第二吸附轉輪50之冷卻區502降溫用。另第二種實施方式係該第一淨氣排放管路32係設有一第一淨氣旁通管路80(如第3圖及至第4圖所示),該第一淨氣旁通管路80的一端係與該第一淨氣排放管路32連接,而該第一淨氣旁通管路80的另一端係與該第二冷卻氣進氣管路52的一端連接,以能透過該第一淨氣旁通管路80來將該第一淨氣排放管路32內的氣體分支輸送到該第二吸附轉輪50之冷卻區502以進行降溫使用,另該第一淨氣旁通管路80係設有一第一淨氣旁通控制閥門801(如第3圖及第4圖所示),以控制該第一淨氣旁通管路80的風量。
其中上述該第二冷卻氣輸送管路53與該第二熱氣輸送管路54之間係設有一第二冷卻氣旁通管路60(如第2圖至第3圖所示),該第二冷卻氣旁通管路60之一端係與該第二冷卻氣輸送管路53連接,而該第二冷卻氣旁通管路60之另一端係與該第二熱氣輸送管路54連接,使該第二冷卻氣輸送管路53能分支經由該第二冷卻氣旁通管路60 來輸送部份冷卻後之氣體到第二熱氣輸送管路54內,以具有提升該第二熱氣輸送管路54的熱氣之溫度,另該第二冷卻氣旁通管路60係設有一第二冷卻氣旁通控制閥門601(如第3圖及第4圖所示),以控制該第二冷卻氣旁通管路60的風量。再者,該第二冷卻氣輸送管路53係設有一第二冷卻氣輸送控制閥門531(如第3圖所示),以控制該第二冷卻氣輸送管路53的風量,並透過該第二冷卻氣旁通控制閥門601及該第二冷卻氣輸送控制閥門531來形成比例風門,另外,也可以在該第二熱氣輸送管路54上設有一第二熱氣輸送控制閥門541(如第4圖所示),以控制該第二熱氣輸送管路54的風量,並透過該第二冷卻氣旁通控制閥門601及該第二熱氣輸送控制閥門541來形成比例風門,藉此,以調整由該第二熱氣輸送管路54輸送到該第二吸附轉輪50之脫附區503的熱氣之溫度,使具有提昇控制溫度的效能。
再者,該第二吸附轉輪50之脫附區503的一側係連接該第二脫附濃縮氣體管路55的另一端,而該第二脫附濃縮氣體管路55的一端係與該第一吸附轉輪30之冷卻區302的一側連接(如第1圖至第4圖所示),以能將經過高溫所脫附下來的脫附濃縮氣體能透過該第二脫附濃縮氣體管路55來輸送到該第一吸附轉輪30之冷卻區302內,當該第一吸附轉輪30之冷卻區302的降溫用,且該第二脫附濃縮氣體管路55係設有一風機551(如第3圖及第4圖所示),以能將脫附濃縮氣體來推拉進入該第一吸附轉輪30之冷卻區302內。
而上述該第一吸附轉輪30之冷卻區302與該廢氣進氣管路31之間係設有一廢氣旁通管路90(如第2圖及第4圖所示),該廢 氣旁通管路90之一端係與該廢氣進氣管路31連接,而該廢氣旁通管路90之另一端係與該第一吸附轉輪30之冷卻區302連接,讓在廢氣進氣管路90的來源氣體(有機廢氣)能分支經由該廢氣旁通管路90來輸送至第一吸附轉輪30之冷卻區302,以具有調節由該第二脫附濃縮氣體管路55所輸送到第一吸附轉輪30之冷卻區302的脫附濃縮氣體之溫度,讓進入該第一吸附轉輪30之冷卻區302的氣體溫度能降低,使具有達到冷卻該第一吸附轉輪30之冷卻區302的效能,另該廢氣旁通管路90係設有一廢氣旁通控制閥門901(如第4圖所示),以控制該廢氣旁通管路90的風量。再者,該廢氣進氣管路31係設有一風機311(如第3圖及第4圖所示),以將廢氣進氣管路31內的來源氣體(有機廢氣)推送至第一吸附轉輪30之吸附區301內或是經由該廢氣旁通管路90來進入該第一吸附轉輪30之冷卻區302內。
藉由以上詳細說明,可使熟知本項技藝者明瞭本創作的確可達成前述目的,實已符合專利法之規定,爰提出專利申請。
惟以上所述者,僅為本創作之較佳實施例而已,當不能以此限定本創作實施之範圍;故,凡依本創作申請專利範圍及創作說明書內容所作之簡單的等效變化與修飾,皆應仍屬本創作專利涵蓋之範圍內。
10:焚化設備
101:入口
102:出口
11:燃燒室
20:熱交換器
201:冷側道
202:熱側道
21:熱側輸送管路
22:熱側排出管路
30:第一吸附轉輪
301:吸附區
302:冷卻區
303:脫附區
31:廢氣進氣管路
32:第一淨氣排放管路
33:第一冷卻氣輸送管路
34:第一熱氣輸送管路
35:第一脫附濃縮氣體管路
50:第二吸附轉輪
501:吸附區
502:冷卻區
503:脫附區
51:第二淨氣排放管路
52:第二冷卻氣進氣管路
53:第二冷卻氣輸送管路
54:第二熱氣輸送管路
55:第二脫附濃縮氣體管路
70:煙囪

Claims (16)

  1. 一種雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,係包括:
    一煙囪;
    一焚化設備,該焚化設備係設有入口及出口,該焚化設備之出口係與該煙囪連接;
    一熱交換器,該熱交換器係具有冷側道及熱側道,該熱交換器係設有一熱側輸送管路及一熱側排出管路,該熱側輸送管路的一端係與該焚化設備連接,該熱側輸送管路的另一端係與熱側道的一端連接,該熱側排出管路的一端係與熱側道的另一端連接,該熱側排出管路的另一端係與該煙囪連接;
    一第一吸附轉輪,該第一吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區,該第一吸附轉輪係連接有一廢氣進氣管路、一第一淨氣排放管路、一第一冷卻氣輸送管路、一第一熱氣輸送管路及一第一脫附濃縮氣體管路,該廢氣進氣管路的一端係連接至該第一吸附轉輪之吸附區的一側,該第一淨氣排放管路的一端係與該第一吸附轉輪之吸附區的另一側連接,該第一冷卻氣輸送管路的一端係與該第一吸附轉輪之冷卻區的另一側連接,該第一冷卻氣輸送管路的另一端係與該熱交換器之冷側道的一端連接,該第一熱氣輸送管路的一端係與該第一吸附轉輪之脫附區的另一側連接,該第一脫附濃縮氣體管路的一端係與該第一吸附轉輪之脫附區的一側連接,該第一脫附濃縮氣體管路的另一端係與該焚化設備之入口連接;以及
    一第二吸附轉輪,該第二吸附轉輪係設有吸附區、冷卻區及脫附區,該 第二吸附轉輪係連接有一第二淨氣排放管路、一第二冷卻氣進氣管路、一第二冷卻氣輸送管路、一第二熱氣輸送管路及一第二脫附濃縮氣體管路,該第一淨氣排放管路的另一端係連接至該第二吸附轉輪之吸附區的一側,該第二淨氣排放管路的一端係與該第二吸附轉輪之吸附區的另一側連接,該第二淨氣排放管路的另一端係與該煙囪連接,該第二冷卻氣進氣管路的另一端係與該第二吸附轉輪之冷卻區的一側連接,該第二冷卻氣輸送管路的一端係與該第二吸附轉輪之冷卻區的另一側連接,該第二冷卻氣輸送管路的另一端係與該熱交換器之冷側道的一端連接,該第二熱氣輸送管路的一端係與該第二吸附轉輪之脫附區的另一側連接,該第二熱氣輸送管路的另一端係與該熱交換器之冷側道的另一端連接,該第二熱氣輸送管路係分支與該第一熱氣輸送管路的另一端連接,該第二脫附濃縮氣體管路的另一端係與該第二吸附轉輪之脫附區的一側連接,該第二脫附濃縮氣體管路的一端係與該第一吸附轉輪之冷卻區的一側連接。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該焚化設備係進一步設有一燃燒室,該燃燒室係與該熱側輸送管路的一端連通。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該焚化設備係進一步為直燃式焚燒爐(TO)、觸媒式焚燒爐或蓄熱式焚燒爐(RTO)之其中任一。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第二冷卻氣進氣管路的一端係進一步為供新鮮空氣或是外氣來進入。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第一淨氣排放管路係進一步設有一第一淨氣旁通管路,該第一淨氣旁通管路的一端係與該第一淨氣排放管路連接,該第一淨氣旁通管路的另一端係與該第二冷卻氣進氣管路的一端連接,該第一淨氣旁通管路係進一步設有一第一淨氣旁通控制閥門,以控制該第一淨氣旁通管路的風量。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第一冷卻氣輸送管路與該第一熱氣輸送管路之間係進一步設有一第一冷卻氣旁通管路,該第一冷卻氣旁通管路之一端係與該第一冷卻氣輸送管路連接,該第一冷卻氣旁通管路之另一端係與該第一熱氣輸送管路連接,該第一冷卻氣旁通管路係進一步設有一第一冷卻氣旁通控制閥門,以控制該第一冷卻氣旁通管路的風量。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第一冷卻氣輸送管路係進一步設有一第一冷卻氣輸送控制閥門,以控制該第一冷卻氣輸送管路的風量。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第一熱氣輸送管路係進一步設有一第一熱氣輸送控制閥門,以控制該第一熱氣輸送管路的風量。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第二冷卻氣輸送管路與該第二熱氣輸送管路之間係進一步設有一第二冷卻氣旁通管路,該第二冷卻氣旁通管路之一端係與該第二冷卻氣輸送管路連接,該第二冷卻氣旁通管路之另一端係與該第二熱氣輸送管路連接,該第二冷卻氣旁通管路係進一步設有一第二冷卻氣旁通控制閥門, 以控制該第二冷卻氣旁通管路的風量。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第二冷卻氣輸送管路係進一步設有一第二冷卻氣輸送控制閥門,以控制該第二冷卻氣輸送管路的風量。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第二熱氣輸送管路係進一步設有一第二熱氣輸送控制閥門,以控制該第二熱氣輸送管路的風量。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該廢氣進氣管路與該第一吸附轉輪之冷卻區之間係進一步設有一廢氣旁通管路,該廢氣旁通管路之一端係與該廢氣進氣管路連接,該廢氣旁通管路之另一端係與該第一吸附轉輪之冷卻區連接,該廢氣旁通管路係進一步設有一廢氣旁通控制閥門,以控制該廢氣旁通管路的風量。
  13. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第一脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
  14. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第二脫附濃縮氣體管路係進一步設有一風機。
  15. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該第二淨氣排放管路係進一步設有一風機。
  16. 如申請專利範圍第1項所述之雙轉輪高效率有機廢氣處理系統,其中該廢氣進氣管路係進一步設有一風機。
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