CN210142642U - 一种整体式硅片翻转装置 - Google Patents
一种整体式硅片翻转装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN210142642U CN210142642U CN201920643382.8U CN201920643382U CN210142642U CN 210142642 U CN210142642 U CN 210142642U CN 201920643382 U CN201920643382 U CN 201920643382U CN 210142642 U CN210142642 U CN 210142642U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- silicon chip
- rotating shaft
- suction plate
- silicon wafer
- support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Specific Conveyance Elements (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型涉及硅片加工设备领域,具体涉及一种整体式硅片翻转装置。通过驱动部件带动旋转轴上的多组取送料单元同步转动,确保翻转时硅片不会产生旋转偏移,吸板以及辅助吸取部件吸住硅片后旋转180度,放下下面的硅片,上面吸板以及辅助吸取部件吸住来料的硅片,实现不间断旋转,一次性对吸板上吸取的多有硅片进行翻转,提高了设备生产的效率,自动化程度高,克服了现有人工手动翻转硅片效率低下、容易出现二次污染硅片、碎片率高的缺陷。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片加工设备领域,具体涉及一种整体式硅片翻转装置。
背景技术
目前,部分工艺为对硅片的双面分各个单面逐步进行加工,这就需要将单面完成加工的硅片翻转后再次进行加工。现有技术中一般采用人工手持工具对硅片进行翻转的装置,在完成硅片翻转的过程中该装置的容错率很低,如果出现不合格部分,则会对后段的加工工序造成严重的影响,导致整体进度的加工工序错乱,同时人工操作可靠性、稳定性较低。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种可实现不间断旋转,一次性对吸板上吸取的多有硅片进行翻转,自动化程度高的整体式硅片翻转装置。
为了解决上述技术问题,本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种整体式硅片翻转装置,包括旋转轴以及驱动所述旋转轴转动的驱动部件,所述旋转轴上均匀设置有多组取送料单元,所述驱动部件带动所述旋转轴上的取送料单元转动;
所述取送料单元包括两取送料组件,两取送料组件分别设置在所述旋转轴两侧,所述取送料组件包括安装架以及吸板,所述安装架与所述旋转轴连接,所述吸板设置在所述安装架上,所述吸板上所述吸板四角处设置有辅助吸取部件。
优选的,所述辅助吸取部件包括支架以及辅助吸盘,所述支架为Z型结构,所述支架的安装端与所述吸板连接,所述辅助吸盘设置在所述支架的安装端。
优选的,所述支架的安装端上开设有调节槽,所述支架通过调节槽上的螺栓连接。
优选的,所述吸板上开设有通孔,所述通孔上设有用于检测硅片的位置传感器,所述位置传感器通过连接架与安装架连接。
优选的,所述驱动部件为电机,所述电机输出轴通过联轴器与所述旋转轴连接,所述电机设置在电机座上,所述旋转轴两端设置有轴承座。
优选的,还包括升降单元包括两气缸,所述轴承座上设置有升降板,所述气缸分别设置在轴承座的升降板上,两气缸同步带动所述轴承座上下运动。
优选的,所述旋转轴上设置有与所述安装架相匹配的安装部,所述安装部上开设有方槽。
优选的,所述吸板上设置有调整杆,所述调整杆穿设在所述吸板上,所述调整杆一端设置有齿轮,另一端设置有转轮,所述支架上设置有腰型槽,所述腰型槽边缘开设有与所述齿轮相匹配的齿面,所述支架通过螺栓与所述吸板连接。
本实用新型的有益效果:
通过驱动部件带动旋转轴上的多组取送料单元同步转动,确保翻转时硅片不会产生旋转偏移,吸板以及辅助吸取部件吸住硅片后旋转180度,放下下面的硅片,上面吸板以及辅助吸取部件吸住来料的硅片,实现不间断旋转,一次性对吸板上吸取的多有硅片进行翻转,提高了设备生产的效率,自动化程度高,克服了现有人工手动翻转硅片效率低下、容易出现二次污染硅片、碎片率高的缺陷。
附图说明
图1是本实用新型的一种整体式硅片翻转装置结构示意图。
图2是本实用新型的取送料组件示意图。
图3是本实用新型的调整杆示意图。
图中标号说明:1、电机;11、轴承座12、气缸;2、旋转轴;21、安装部; 3、取送料组件;31、吸板;32、安装架;33、支架;34、辅助吸盘;35、位置传感器;36、连接架;4、硅片;5、转轮;51、调整杆;52、齿轮;53、腰型槽;54、螺栓;
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施,但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
参照图1-3所示,一种整体式硅片4翻转装置,包括旋转轴2以及驱动所述旋转轴2转动的驱动部件,所述旋转轴2上均匀设置有多组取送料单元,所述驱动部件带动所述旋转轴2上的取送料单元转动;
所述取送料单元包括两取送料组件3,两取送料组件3分别设置在所述旋转轴2两侧,所述取送料组件3包括安装架32以及吸板31,所述安装架32与所述旋转轴2连接,所述吸板31设置在所述安装架32上,所述吸板31上所述吸板31四角处设置有辅助吸取部件。
通过驱动部件带动旋转轴2上的多组取送料单元同步转动,确保翻转时硅片4不会产生旋转偏移,吸板31以及辅助吸取部件吸住硅片4后旋转180度,放下下面的硅片4,上面吸板31以及辅助吸取部件吸住来料的硅片4,实现不间断旋转,一次性对吸板31上吸取的多有硅片4进行翻转,提高了设备生产的效率,自动化程度高,克服了现有人工手动翻转硅片4效率低下、容易出现二次污染硅片4、碎片率高的缺陷。
所述辅助吸取部件包括支架33以及辅助吸盘34,所述支架33为Z型结构,所述支架33的安装端与所述吸板31连接,所述辅助吸盘34设置在所述支架 33的安装端。
吸板31四角处均设置有辅助吸盘34,可进一步确保翻转时硅片4不会产生旋转偏移,吸盘吸住电池片后旋转180度,提高了设备生产的效率,降低人工劳动强度。
所述支架33的安装端上开设有调节槽,所述支架33通过调节槽上的螺栓 54连接。
所述吸板31上开设有通孔,所述通孔上设有用于检测硅片4的位置传感器 35,所述位置传感器35通过连接架36与安装架32连接。
所述驱动部件为电机1,所述电机1输出轴通过联轴器与所述旋转轴2连接,所述电机1设置在电机座上,所述旋转轴2两端设置有轴承座11。
电机1采用高精度DD电机,保证旋转角度的精度。
还包括升降单元包括两气缸12,所述轴承座11上设置有升降板,所述气缸12分别设置在轴承座11的升降板上,两气缸12同步带动所述轴承座11上下运动。
所述旋转轴2上设置有与所述安装架32相匹配的安装部21,所述安装部 21上开设有方槽。
所述吸板31上设置有调整杆51,所述调整杆51穿设在所述吸板31上,所述调整杆51一端设置有齿轮52,另一端设置有转轮5,所述支架33上设置有腰型槽53,所述腰型槽53边缘开设有与所述齿轮52相匹配的齿面,所述支架33通过螺栓54与所述吸板31连接。
调整杆51转动带动支架33进行前后移动,进一步提高本装置的适用范围,适用于多种规格的硅片4抓取,提高工作效率,保证辅助吸盘34对硅片4四角的吸附,保证翻转稳定性。
以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例,本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换,均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。
Claims (8)
1.一种整体式硅片翻转装置,其特征在于,包括旋转轴以及驱动所述旋转轴转动的驱动部件,所述旋转轴上均匀设置有多组取送料单元,所述驱动部件带动所述旋转轴上的取送料单元转动;
所述取送料单元包括两取送料组件,两取送料组件分别设置在所述旋转轴两侧,所述取送料组件包括安装架以及吸板,所述安装架与所述旋转轴连接,所述吸板设置在所述安装架上,所述吸板上所述吸板四角处设置有辅助吸取部件。
2.如权利要求1所述的整体式硅片翻转装置,其特征在于,所述辅助吸取部件包括支架以及辅助吸盘,所述支架为Z型结构,所述支架的安装端与所述吸板连接,所述辅助吸盘设置在所述支架的安装端。
3.如权利要求2所述的整体式硅片翻转装置,其特征在于,所述支架的安装端上开设有调节槽,所述支架通过调节槽上的螺栓连接。
4.如权利要求1所述的整体式硅片翻转装置,其特征在于,所述吸板上开设有通孔,所述通孔上设有用于检测硅片的位置传感器,所述位置传感器通过连接架与安装架连接。
5.如权利要求1所述的整体式硅片翻转装置,其特征在于,所述驱动部件为电机,所述电机输出轴通过联轴器与所述旋转轴连接,所述电机设置在电机座上,所述旋转轴两端设置有轴承座。
6.如权利要求5所述的整体式硅片翻转装置,其特征在于,还包括升降单元包括两气缸,所述轴承座上设置有升降板,所述气缸分别设置在轴承座的升降板上,两气缸同步带动所述轴承座上下运动。
7.如权利要求1所述的整体式硅片翻转装置,其特征在于,所述旋转轴上设置有与所述安装架相匹配的安装部,所述安装部上开设有方槽。
8.如权利要求2所述的整体式硅片翻转装置,其特征在于,所述吸板上设置有调整杆,所述调整杆穿设在所述吸板上,所述调整杆一端设置有齿轮,另一端设置有转轮,所述支架上设置有腰型槽,所述腰型槽边缘开设有与所述齿轮相匹配的齿面,所述支架通过螺栓与所述吸板连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920643382.8U CN210142642U (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 一种整体式硅片翻转装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201920643382.8U CN210142642U (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 一种整体式硅片翻转装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN210142642U true CN210142642U (zh) | 2020-03-13 |
Family
ID=69733557
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201920643382.8U Active CN210142642U (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 一种整体式硅片翻转装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN210142642U (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114180339A (zh) * | 2021-03-31 | 2022-03-15 | 无锡市江松科技有限公司 | 一种硅片夹取装置 |
-
2019
- 2019-05-07 CN CN201920643382.8U patent/CN210142642U/zh active Active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114180339A (zh) * | 2021-03-31 | 2022-03-15 | 无锡市江松科技有限公司 | 一种硅片夹取装置 |
CN114180339B (zh) * | 2021-03-31 | 2024-01-19 | 无锡江松科技股份有限公司 | 一种硅片夹取装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN201338194Y (zh) | 翻转式自动分度数控回转台 | |
CN202337053U (zh) | 一种光伏太阳能硅片印刷机转盘装置 | |
CN210142642U (zh) | 一种整体式硅片翻转装置 | |
CN205631016U (zh) | 五轴桥式切石机的切割头装置 | |
CN111618339A (zh) | 一种电子产品生产用工件垂直切割设备 | |
CN213568360U (zh) | 一种陶瓷片用自动上料及下料组合部件 | |
CN112027596A (zh) | 蓄电池夹取翻转下料搬运机构 | |
CN206203395U (zh) | 一种流水线产品反转安放装置 | |
CN215401589U (zh) | 一种上料装置 | |
CN204868292U (zh) | 一种铣床转轴传动装置 | |
CN204843591U (zh) | 一种小角度旋转定位夹紧装置 | |
CN211708891U (zh) | 一种玻璃生产加工磨边机 | |
CN210451983U (zh) | 可旋转机械臂 | |
CN204235015U (zh) | 用于弧形板焊接的夹紧定位装置 | |
CN208628507U (zh) | 一种自动铣床 | |
CN110091077A (zh) | 一种聚晶金刚石复合片的高精度倒角加工装置 | |
CN205703092U (zh) | 双轴焊接变位机 | |
CN215707517U (zh) | 一种包装袋的取袋旋转移动及剔袋装置 | |
CN209256520U (zh) | 台阶孔珩孔加工装置 | |
CN211589757U (zh) | 一种用于平面磨床的废料收集装置 | |
CN217749368U (zh) | 一种卧式加工中心用刀架结构 | |
CN110539157A (zh) | 加热器排风扇半自动装配设备 | |
CN210210312U (zh) | 一种刀具加工台架 | |
CN203156173U (zh) | 一种辊轮磨齿机 | |
CN213340321U (zh) | 一种适于半导体晶片储蓄花篮输送线的翻转臂 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |