CN210060646U - 一种碳化硅晶片的抛光装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框，所述圆柱形固定框外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板，所述圆柱形固定框底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管，所述固定管顶部外壁固定有吸盘且固定管内部设置有真空泵，所述吸盘底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管，所述圆柱形固定框顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆，且两个电动伸缩杆的活塞端均焊接有同一个安置框。本实用新型第一电动伸缩杆下降，碳化硅晶片进入圆盘内部，打磨环对碳化硅晶片进行打磨抛光，实现自动抛光的效果，海绵刷与碳化硅晶片做滑动配合，对碳化硅晶片进行清洁，关闭弧形门板可实现隔尘的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，尤其涉及一种碳化硅晶片的抛光装置。
背景技术
碳化硅晶片的主要应用领域有LED固体照明和高频率器件，该材料具有高出传统硅数倍的禁带、漂移速度、击穿电压、热导率、耐高温等优良特性，在高温、高压、高频、大功率、光电、抗辐射、微波性等电子应用领域和航天、军工、核能等极端环境应用有着不可替代的优势，目前碳化硅晶片在生产中需要进行抛光，但是难免会出现漏抛和抛光未达到指标的情况，且工厂抛光大多都是有流水线的，再次放回比较麻烦，或者是用手动操作抛光装置对漏抛或抛光未达到指标的碳化硅晶片进行抛光。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种碳化硅晶片的抛光装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框，所述圆柱形固定框外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板，所述圆柱形固定框底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管，所述固定管顶部外壁固定有吸盘且固定管内部设置有真空泵，所述吸盘底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管，所述吸气管与真空泵的吸气端相套接，所述圆柱形固定框顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆，且两个电动伸缩杆的活塞端均焊接有同一个安置框，所述安置框底部内壁固定有电动机，且电动机的传动轴底端设置有圆盘，所述圆盘竖截面为凹型，且圆盘内壁固定有打磨环，所述圆盘顶部内壁轴心处通过轴承固定有转轴，且转轴底部外壁固定有缓冲垫，所述圆柱形固定框沿内壁开设有环形安置槽，且环形安置槽内壁通过螺栓固定有电动滑轨，所述电动滑轨的滑动件靠近吸盘的一侧外壁固定有安置板，且安置板靠近吸盘的一侧外壁固定有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的活塞端设置有海绵刷。
优选的，所述固定管底部外壁一侧开设有出气口，且真空泵的出气端穿过出气口内壁与圆柱形固定框内部相通。
优选的，所述安置框底部外壁轴心处开设有圆口，且电动机的传动轴穿过圆口内壁与圆盘顶部外壁轴心处相焊接。
优选的，所述吸盘外壁活动连接有碳化硅晶片，且海绵刷与碳化硅晶片相对平行，所述弧形门板外壁一侧开设有安置口，且安置口内壁固定有观察窗。
优选的，所述打磨环内壁与碳化硅晶片外壁形成滑动配合，且安置板底部外壁与圆柱形固定框的内壁形成滑动配合。
优选的，所述第一电动伸缩杆、第二电动伸缩杆、电动滑轨、真空泵和电动机均通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有PLC控制器。
本实用新型的有益效果为：
1、本碳化硅晶片的抛光装置，可将该装置放在流水线末端，当使用时，将碳化硅晶片放置在吸盘上,PLC控制器真空泵将吸盘与碳化硅晶片之间抽出真空，使碳化硅晶片紧附在吸盘上，PLC控制器控制第一电动伸缩杆下降，使碳化硅晶片进入圆盘内部，电动机转动圆盘转动，且圆盘内壁上的打磨环对碳化硅晶片进行打磨抛光，实现自动抛光的效果，不需要在流水线来回折返，提高了工作效率。
2、本碳化硅晶片的抛光装置，在抛光完毕后，PLC控制器控制第二电动伸缩杆伸长，让海绵刷与碳化硅晶片接触，然后PLC控制器电动滑轨围绕着圆柱形固定框内壁做周期运转，即海绵刷与碳化硅晶片做滑动配合，实现对碳化硅晶片表面清洁的效果，且关闭弧形门板即可实现隔尘的效果，加工后的灰尘不会到处乱飞，可通过观察窗进行观察碳化硅晶片抛光程度。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种碳化硅晶片的抛光装置的竖截面结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种碳化硅晶片的抛光装置的侧视平面结构示意图。
图中：1圆柱形固定框、2固定管、3吸盘、4真空泵、5吸气管、6第一电动伸缩杆、7安置框、8电动机、9圆盘、10打磨环、11缓冲垫、12电动滑轨、13安置板、14第二电动伸缩杆、15海绵刷、16弧形门板、17观察窗、18碳化硅晶片。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-2，一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框1，圆柱形固定框1外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板16，圆柱形固定框1底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管2，固定管2顶部外壁固定有吸盘3且固定管2内部设置有真空泵4，吸盘3底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管5，吸气管5与真空泵4的吸气端相套接，圆柱形固定框1顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆6，且两个电动伸缩杆6的活塞端均焊接有同一个安置框7，安置框7底部内壁固定有电动机8，且电动机8的传动轴底端设置有圆盘9，圆盘9竖截面为凹型，且圆盘9内壁固定有打磨环10，圆盘9顶部内壁轴心处通过轴承固定有转轴，且转轴底部外壁固定有缓冲垫11，圆柱形固定框1沿内壁开设有环形安置槽，且环形安置槽内壁通过螺栓固定有电动滑轨12，电动滑轨12的滑动件靠近吸盘3的一侧外壁固定有安置板13，且安置板13靠近吸盘3的一侧外壁固定有第二电动伸缩杆14，第二电动伸缩杆14的活塞端设置有海绵刷15，固定管2底部外壁一侧开设有出气口，且真空泵4的出气端穿过出气口内壁与圆柱形固定框1内部相通，安置框7底部外壁轴心处开设有圆口，且电动机8的传动轴穿过圆口内壁与圆盘9顶部外壁轴心处相焊接，吸盘3外壁活动连接有碳化硅晶片18，且海绵刷15与碳化硅晶片18相对平行，弧形门板16外壁一侧开设有安置口，且安置口内壁固定有观察窗，打磨环10内壁与碳化硅晶片18外壁形成滑动配合，且安置板13底部外壁与圆柱形固定框1的内壁形成滑动配合，第一电动伸缩杆6、第二电动伸缩杆14、电动滑轨12、真空泵4和电动机8均通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有PLC控制器，PLC控制器型号为S7-200系列。
工作原理：使用时，可将该装置放在抛光流水线的末端，当使用时，将碳化硅晶片18放置在吸盘3上,PLC控制器控制真空泵4的吸气端通过吸气管5，将吸盘3与碳化硅晶片18之间抽成真空，使碳化硅晶片18紧附在吸盘3上，PLC控制器控制两个第一电动伸缩杆6下降，使碳化硅晶片18进入圆盘9内部，缓冲垫11挤压碳化硅晶片18顶部外壁，再次固定碳化硅晶片18，PLC控制器控制电动机8带动圆盘9转动，即圆盘9内壁上的打磨环10对碳化硅晶片18进行打磨抛光，然后关闭弧形门板16通过观察窗17观察抛光情况，在抛光完毕后，PLC控制器控制第二电动伸缩杆14伸长，让海绵刷15与碳化硅晶片18接触，然后PLC控制器电动滑轨12围绕着圆柱形固定框1内壁做周期运转，即海绵刷15与碳化硅晶片18做滑动配合，对碳化硅晶片18表面进行初步清洁，最终打开弧形门板16，PLC控制器控制真空泵4停止运行，将碳化硅晶片18拿取即可完成所有工作。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种碳化硅晶片的抛光装置，包括圆柱形固定框(1)，其特征在于，所述圆柱形固定框(1)外壁一侧开设有开口，且开口内壁铰接有弧形门板(16)，所述圆柱形固定框(1)底部外壁固定有底座，且底座顶部外壁轴心处固定有固定管(2)，所述固定管(2)顶部外壁固定有吸盘(3)且固定管(2)内部设置有真空泵(4)，所述吸盘(3)底部内壁轴心处开设有圆孔，且圆孔内壁套接有吸气管(5)，所述吸气管(5)与真空泵(4)的吸气端相套接，所述圆柱形固定框(1)顶部内壁两侧均固定有第一电动伸缩杆(6)，且两个电动伸缩杆(6)的活塞端均焊接有同一个安置框(7)，所述安置框(7)底部内壁固定有电动机(8)，且电动机(8)的传动轴底端设置有圆盘(9)，所述圆盘(9)竖截面为凹型，且圆盘(9)内壁固定有打磨环(10)，所述圆盘(9)顶部内壁轴心处通过轴承固定有转轴，且转轴底部外壁固定有缓冲垫(11)，所述圆柱形固定框(1)沿内壁开设有环形安置槽，且环形安置槽内壁通过螺栓固定有电动滑轨(12)，所述电动滑轨(12)的滑动件靠近吸盘(3)的一侧外壁固定有安置板(13)，且安置板(13)靠近吸盘(3)的一侧外壁固定有第二电动伸缩杆(14)，所述第二电动伸缩杆(14)的活塞端设置有海绵刷(15)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于，所述固定管(2)底部外壁一侧开设有出气口，且真空泵(4)的出气端穿过出气口内壁与圆柱形固定框(1)内部相通。
3.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于，所述安置框(7)底部外壁轴心处开设有圆口，且电动机(8)的传动轴穿过圆口内壁与圆盘(9)顶部外壁轴心处相焊接。
4.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于，所述吸盘(3)外壁活动连接有碳化硅晶片(18)，且海绵刷(15)与碳化硅晶片(18)相对平行，所述弧形门板(16)外壁一侧开设有安置口，且安置口内壁固定有观察窗。
5.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于，所述打磨环(10)内壁与碳化硅晶片(18)外壁形成滑动配合，且安置板(13)底部外壁与圆柱形固定框(1)的内壁形成滑动配合。
6.根据权利要求1所述的一种碳化硅晶片的抛光装置，其特征在于，所述第一电动伸缩杆(6)、第二电动伸缩杆(14)、电动滑轨(12)、真空泵(4)和电动机(8)均通过导线连接有开关，且开关通过导线连接有PLC控制器。
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| CN112847107A (zh) * | 2021-01-02 | 2021-05-28 | 河北中科同创科技发展有限公司 | 一种材料化学抛光设备 |
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| CN112692668A (zh) * | 2021-02-02 | 2021-04-23 | 常州鸿钜智能制造有限公司 | 传感器薄料叠片磁芯的多功能平磨设备 |
| CN112692668B (zh) * | 2021-02-02 | 2022-04-01 | 常州鸿钜智能制造有限公司 | 传感器薄料叠片磁芯的多功能平磨设备 |
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