CN106392853A - 一种带除尘结构的陶瓷抛光设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及的一种带除尘结构的陶瓷抛光设备，属于半导体设备领域。它包括抛光结构和除尘结构，所述抛光结构具有抛光机机架，所述抛光机机架上方固定有主驱动电机和辅助驱动电机，所述主驱动电机通过带传动连接有主驱动轴，所述主驱动轴通过带传动连接有抛光件，所述抛光件下方设置有用于安放陶瓷工件的工作台，所述工作台下方设有粉尘集中箱，所述粉尘集中箱与除尘机构连接，所述除尘机构包括用于吸取粉尘的吸尘泵和用于过滤粉尘的过滤机构。

Description

一种带除尘结构的陶瓷抛光设备
技术领域：
本发明涉及的一种带除尘结构的陶瓷抛光设备，属于半导体设备领域。
背景技术：
抛光机是一种电动工具，抛光机由底座、抛盘、抛光织物、抛光罩及盖等基本元件组成。电动机固定在底座上，固定抛光盘用的锥套通过螺钉与电动机轴相连。抛光织物通过套圈紧固在抛光盘上，电动机通过底座上的开关接通电源起动后，便可用手对试样施加压力在转动的抛光盘上进行抛光。
陶瓷抛光机是精密抛光设备，将被抛光材料放置于抛光盘上，抛光盘逆时钟转动，工件自转，采用重力加压的方式对工件施压，工件与抛光盘作相对运转磨擦，来达到抛光目的。一般的陶瓷抛光机需要另设除尘设备来防止加工过程中，粉尘造成环境污染。
发明内容：
本发明所要解决的技术问题是：提供一种简单、有效且实现自动匹配电容的陶瓷电容选配装置。
针对以上技术问题，本发明涉及的一种带除尘结构的陶瓷抛光设备，包括抛光结构和除尘结构，所述抛光结构具有抛光机机架，所述抛光机机架上方固定有主驱动电机和辅助驱动电机，所述主驱动电机通过带传动连接有主驱动轴，所述主驱动轴通过带传动连接有抛光件，所述抛光件下方设置有用于安放陶瓷工件的工作台，所述工作台下方设有粉尘集中箱，所述粉尘集中箱与除尘机构连接，所述除尘机构包括用于吸取粉尘的吸尘泵和用于过滤粉尘的过滤机构。
作为优选，为了有效的对陶瓷组件进行抛光处理，所述辅助驱动电机连接有用于控制抛光件垂直移动的液压组件。
作为优选，为了提高抛光机构对陶瓷组件的抛光效率，提高抛光效果，所述抛光件包括不少于两对抛光盘。
作为优选，为了保证抛光的均匀性，所述抛光盘沿主驱动轴均匀分布，通过带传动与主驱动轴连接。
作为优选，为了有效防止加工过程中粉尘对环境造成污染，所述过滤机构包括喷淋室和循环水池。
作为优选，为了方便运输及方便清扫，所述抛光机机架下部还设有支撑抛光机机架的的支撑脚。
与现有技术相比，本发明的有益之处是：能够快速有效的对多个陶瓷组件进行抛光加工，加工效率高，加工质量好；可以有效的防止加工过程中产生的有害灰尘影响加工人员的身体健康和污染环境；集成度高，减少了设备的空间占用。
附图说明：
下面结合附图对本发明进一步说明。
图1是带除尘结构的陶瓷抛光设备结构示意图；
图2是抛光盘与主轴连接结构示意图。
图中：1、抛光结构；2、除尘结构；3、抛光机机架；3-1、支撑脚；4、主驱动电机；5、辅助驱动电机；5-1、液压组件；6、主驱动轴；7、抛光件；7-1、抛光盘；8、工作台；9、粉尘集中箱；10、吸尘泵；11、过滤机构；11-1、喷淋室；11-2、循环水池。
具体实施方式：
本发明涉及的一种带除尘结构的陶瓷抛光设备，如图1和图2所示：包括抛光结构1和除尘结构2，所述抛光结构1具有抛光机机架3，所述抛光机机架3上方固定有主驱动电机4和辅助驱动电机5，所述主驱动电机4通过带传动连接有主驱动轴6，所述主驱动轴6通过带传动连接有抛光件7，所述抛光件7下方设置有用于安放陶瓷工件的工作台8，所述工作台8下方设有粉尘集中箱9，所述粉尘集中箱9与除尘机构2连接，所述除尘机构2包括用于吸取粉尘的吸尘泵10和用于过滤粉尘的过滤机构11。
作为优选，为了有效的对陶瓷组件进行抛光处理，所述辅助驱动电机5连接有用于控制抛光件垂直移动的液压组件5-1。
作为优选，为了提高抛光机构对陶瓷组件的抛光效率，提高抛光效果，所述抛光件7包括不少于两对抛光盘7-1。
作为优选，为了保证抛光的均匀性，所述抛光盘7-1沿主驱动轴均匀分布，通过带传动与主驱动轴6连接。
作为优选，为了有效防止加工过程中粉尘对环境造成污染，所述过滤机构11包括喷淋室11-1和循环水池11-2。
作为优选，为了方便运输及方便清扫，所述抛光机机架3下部还设有支撑抛光机机架的的支撑脚3-1。
需要强调的是：以上仅是本发明的使用方式的介绍与描述，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (6)

1.一种带除尘结构的陶瓷抛光设备，包括抛光结构（1）和除尘结构（2），其特征在于：所述抛光结构（1）具有抛光机机架（3），所述抛光机机架（3）上方固定有主驱动电机（4）和辅助驱动电机（5），所述主驱动电机（4）通过带传动连接有主驱动轴（6），所述主驱动轴（6）通过带传动连接有抛光件（7），所述抛光件（7）下方设置有用于安放陶瓷工件的工作台（8），所述工作台（8）下方设有粉尘集中箱（9），所述粉尘集中箱（9）与除尘机构（2）连接，所述除尘机构（2）包括用于吸取粉尘的吸尘泵（10）和用于过滤粉尘的过滤机构(11)。
2.根据权利要求1所述的带除尘结构的陶瓷抛光设备，其特征在于：所述辅助驱动电机(5)连接有用于控制抛光件(7)垂直移动的液压组件(5-1)。
3.根据权利要求1所述的带除尘结构的陶瓷抛光设备，其特征在于：所述抛光件(7)包括不少于两对抛光盘（7-1）。
4.根据权利要求3所述的带除尘结构的陶瓷抛光设备，其特征在于：所述抛光盘（7-1）沿主驱动轴（6）均匀分布，通过带传动与主驱动轴（6）连接。
5.根据权利要求1所述的带除尘结构的陶瓷抛光设备，其特征在于：所述过滤机构（11）包括喷淋室（11-1）和循环水池（11-2）。
6.根据权利要求1所述的带除尘结构的陶瓷抛光设备，其特征在于：所述抛光机机架（3）下部还设有支撑抛光机机架（3）的的支撑脚（3-1）。
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