CN209993573U - 一种蓝膜晶元分步固晶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种蓝膜晶元分步固晶装置，包括底板、机架和工作台，所述工作台上放置有石墨盘，所述分步固晶装置还包括设置在所述底板上的固晶装置、转动换位装置和输送轨，所述固晶装置用于将晶元从蓝膜上取出并放置到石墨盘的料片上，所述固晶装置的数量为二个；所述转动换位装置设置在二个所述固晶装置之间，所述转动换位装置用于将所述工作台上的石墨盘转动换位；所述工作台滑动安装在所述输送轨上，并能在所述固晶装置和所述转动换位装置之间移动，通过在二个固晶装置之间设置转动换位装置，二个固晶装置分别完成石墨盘的一半固晶工作，进而节约了人力成本，实现了生产的自动化，提高了经济效益。

Description

一种蓝膜晶元分步固晶装置

技术领域

本实用新型涉及电子元件制造领域，尤其涉及一种蓝膜晶元分步固晶装置。

背景技术

在蓝膜晶元的封装固晶过程中，通过甩臂将晶元从蓝膜上取出安装到石墨盘的料片上，甩臂的移动轨迹是固定的，一般通过移动石墨盘来保证晶元被安装到正确的位置，但是通常石墨盘都比较大，石墨盘的移动会受到设备的干涩，导致石墨盘上的料片不能完全覆盖在甩臂的移动轨迹上。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是石墨盘较大，移动会受到设备的干涩，导致石墨盘上的料片不能完全覆盖在甩臂的移动轨迹上，本实用新型提供了一种蓝膜晶元分步固晶装置来解决上述问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种蓝膜晶元分步固晶装置，包括底板和设置在所述底板上的机架和工作台，所述工作台（3）上放置有石墨盘，所述石墨盘中放置有待封装的料片，所述分步固晶装置还包括设置在所述底板上的固晶装置、转动换位装置和输送轨，所述固晶装置用于将晶元从蓝膜上取出并放置到石墨盘的料片上，所述固晶装置的数量为二个；所述转动换位装置设置在二个所述固晶装置之间，所述转动换位装置用于将所述工作台上的石墨盘转动换位；所述工作台滑动安装在所述输送轨上，并能在所述固晶装置和所述转动换位装置之间移动。

进一步地：所述转动换位装置包括活动臂和设置在所述活动臂下方的转动支架，所述转动支架上设置有能够吸附并提起所述石墨盘的第一吸嘴，所述活动臂的一端通过活动臂调节机构活动安装在所述机架上，所述活动臂的另一端固定设置有转动气缸，所述转动气缸的转动轴固定连接所述转动支架并能驱动所述转动支架沿水平方向转动。

进一步地：所述固晶装置包括放置蓝膜的扩晶盘和取放晶元的甩臂，所述甩臂上设置有取晶吸嘴，所述取晶吸嘴能够将蓝膜上的晶元取出并安装到所述石墨盘的料片上。

进一步地：所述活动臂调节机构包括驱动轮、从动轮、第一滑块、第一导轨和第一电机，所述驱动轮和所述从动轮设置在所述机架上并通过同步带连接，所述第一电机设置在所述机架上，所述第一电机的驱动轴与所述驱动轮相连接，所述第一导轨沿水平方向固定设置在所述机架上并平行于所述同步带，所述第一滑块与所述同步带固定连接并能沿所述第一导轨移动，所述活动臂调节机构还包括竖直调节气缸和连接块，所述竖直调节气缸的缸体固定设置在所述第一滑块上，所述竖直调节气缸的活塞杆沿竖直方向设置，所述连接块固定连接所述活动臂并安装在所述竖直调节气缸的活塞杆上。

进一步地：所述工作台通过工作台调节机构活动安装在所述输送轨上，所述工作台调节机构包括第二直线电机和第三直线电机，所述第二直线电机设置在所述输送轨上并能沿所述输送轨水平移动，所述第三直线电机的滑轨沿水平方向固定设置在所述第二直线电机的动子座上，并垂直于所述输送轨设置，所述第三直线电机的动子座上端固定连接所述工作台。

本实用新型的有益效果是，本实用新型一种蓝膜晶元分步固晶装置通过在二个固晶装置之间设置转动换位装置，前道固晶装置完成石墨盘的上半部固晶工作，转动换位装置将石墨盘换位，使后道固晶装置完成石墨盘的下半部固晶工作，实现了蓝膜晶元的分布固晶，进而节约了人力成本，实现了生产的自动化，提高了经济效益。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型一种蓝膜晶元分步固晶装置的结构示意图；

图2和图3是转动换位装置的结构示意图；

图4是固晶装置的结构示意图；

图5是工作台调节机构的结构示意图。

图中1、底板，2、机架，3、工作台，4、固晶装置，5、转动换位装置，6、输送轨，31、第二直线电机，32、第三直线电机，41、扩晶盘，42、甩臂，51、活动臂，52、转动支架，53、第一吸嘴，54、转动气缸，55、驱动轮，56、第一滑块，57、第一导轨，58、第一电机，59、竖直调节气缸，510、连接块。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。相反，本实用新型的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。此外，在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本实用新型的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本实用新型的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

如图1所示，本实用新型提供了一种蓝膜晶元分步固晶装置，包括底板1和设置在所述底板1上的机架2和工作台3，所述工作台3上放置有石墨盘，所述石墨盘中放置有待封装的料片，所述分步固晶装置还包括设置在所述底板1上的固晶装置4、转动换位装置5和输送轨6，所述固晶装置4用于将晶元从蓝膜上取出并放置到石墨盘的料片上，所述固晶装置4的数量为二个；所述转动换位装置5设置在二个所述固晶装置4之间，所述转动换位装置5用于将所述工作台3上的石墨盘转动换位；所述工作台3滑动安装在所述输送轨6上，并能在所述固晶装置4和所述转动换位装置5之间移动。

右侧固晶装置4在完成好石墨盘上半部的固晶工作后，工作台3经过输送轨6被送至转动换位装置5处，转动换位装置5将工作台3上的石墨盘转动换位，然后工作台3继续输送到左侧固晶装置4处，左侧固晶装置4进行石墨盘的另一半固晶工作。

结合图2和图3所示，所述转动换位装置5包括活动臂51和设置在所述活动臂51下方的转动支架52，所述转动支架52上设置有能够吸附并提起所述石墨盘的第一吸嘴53，所述活动臂51的一端通过活动臂调节机构活动安装在所述机架2上，所述活动臂51的另一端固定设置有转动气缸54，所述转动气缸54的转动轴固定连接所述转动支架52并能驱动所述转动支架52沿水平方向转动。

工作台3上放置待换位的石墨盘，活动臂调节机构调整活动臂51的位置进而使第一吸嘴53吸附并提起石墨盘，转动气缸54驱动转动支架52转动180°并带动石墨盘转动180°，然后活动臂51移动将石墨盘再次放置到工作台3上，第一吸嘴53松开石墨盘，进而完成石墨盘的转动换位。

结合图4所示，所述固晶装置4包括放置蓝膜的扩晶盘41和取放晶元的甩臂42，所述甩臂42上设置有取晶吸嘴，所述取晶吸嘴能够将蓝膜上的晶元取出并安装到所述石墨盘的料片上，甩臂42来回运动带动取晶吸嘴在蓝膜和石墨盘之间来回运动，每次甩臂42的取晶点和固晶点都是固定的，这种固晶方式重复性高，取晶和固晶位置点准确，能够有效的实现自动化生产。

所述活动臂调节机构包括驱动轮55、从动轮、第一滑块56、第一导轨57和第一电机58，所述驱动轮55和所述从动轮设置在所述机架2上并通过同步带连接，所述第一电机58设置在所述机架2上，所述第一电机58的驱动轴与所述驱动轮55相连接，所述第一导轨57沿水平方向固定设置在所述机架2上并平行于所述同步带，所述第一滑块56与所述同步带固定连接并能沿所述第一导轨57移动，所述活动臂调节机构还包括竖直调节气缸59和连接块510，所述竖直调节气缸59的缸体固定设置在所述第一滑块56上，所述竖直调节气缸59的活塞杆沿竖直方向设置，所述连接块510固定连接所述活动臂51并安装在所述竖直调节气缸59的活塞杆上。

通过第一电机58转动驱动活动臂51沿水平方向移动，这种调节方式的调节精度较高，活动臂51的竖直调节距离由竖直调节气缸59驱动，这种调节机构具有较好的自锁能力，能够有效保持当前竖直方向的位置，避免发生竖直方向上的位移，影响第一吸嘴53吸附石墨盘。

结合图5所示，所述工作台3通过工作台调节机构活动安装在所述输送轨6上，所述工作台调节机构包括第二直线电机31和第三直线电机32，所述第二直线电机31设置在所述输送轨6上并能沿所述输送轨6水平移动，所述第三直线电机32的滑轨沿水平方向固定设置在所述第二直线电机31的动子座上，并垂直于所述输送轨6设置，所述第三直线电机32的动子座上端固定连接所述工作台3，当石墨盘上的某一位置的料片完成固晶后，通过第二直线电机31和第三直线电机32的配合，可以使工作台3上的下一个待固晶的料片移动到取晶吸嘴的运动轨迹上。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对所述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (5)

1.一种蓝膜晶元分步固晶装置，包括底板（1）和设置在所述底板（1）上的机架（2）和工作台（3），所述工作台（3）上放置有石墨盘，所述石墨盘中放置有待封装的料片，其特征在于：所述分步固晶装置还包括设置在所述底板（1）上的固晶装置（4）、转动换位装置（5）和输送轨（6），

所述固晶装置（4）用于将晶元从蓝膜上取出并放置到石墨盘的料片上，所述固晶装置（4）的数量为二个；

所述转动换位装置（5）设置在二个所述固晶装置（4）之间，所述转动换位装置（5）用于将所述工作台（3）上的石墨盘转动换位；

所述工作台（3）滑动安装在所述输送轨（6）上，并能在所述固晶装置（4）和所述转动换位装置（5）之间移动。

2.如权利要求1所述的一种蓝膜晶元分步固晶装置，其特征在于：所述转动换位装置（5）包括活动臂（51）和设置在所述活动臂（51）下方的转动支架（52），所述转动支架（52）上设置有能够吸附并提起所述石墨盘的第一吸嘴（53），所述活动臂（51）的一端通过活动臂调节机构活动安装在所述机架（2）上，所述活动臂（51）的另一端固定设置有转动气缸（54），所述转动气缸（54）的转动轴固定连接所述转动支架（52）并能驱动所述转动支架（52）沿水平方向转动。

3.如权利要求1所述的一种蓝膜晶元分步固晶装置，其特征在于：所述固晶装置（4）包括放置蓝膜的扩晶盘（41）和取放晶元的甩臂（42），所述甩臂（42）上设置有取晶吸嘴，所述取晶吸嘴能够将蓝膜上的晶元取出并安装到所述石墨盘的料片上。

4.如权利要求2所述的一种蓝膜晶元分步固晶装置，其特征在于：所述活动臂调节机构包括驱动轮（55）、从动轮、第一滑块（56）、第一导轨（57）和第一电机（58），所述驱动轮（55）和所述从动轮设置在所述机架（2）上并通过同步带连接，所述第一电机（58）设置在所述机架（2）上，所述第一电机（58）的驱动轴与所述驱动轮（55）相连接，所述第一导轨（57）沿水平方向固定设置在所述机架（2）上并平行于所述同步带，所述第一滑块（56）与所述同步带固定连接并能沿所述第一导轨（57）移动，所述活动臂调节机构还包括竖直调节气缸（59）和连接块（510），所述竖直调节气缸（59）的缸体固定设置在所述第一滑块（56）上，所述竖直调节气缸（59）的活塞杆沿竖直方向设置，所述连接块（510）固定连接所述活动臂（51）并安装在所述竖直调节气缸（59）的活塞杆上。

5.如权利要求1所述的一种蓝膜晶元分步固晶装置，其特征在于：所述工作台（3）通过工作台调节机构活动安装在所述输送轨（6）上，所述工作台调节机构包括第二直线电机（31）和第三直线电机（32），所述第二直线电机（31）设置在所述输送轨（6）上并能沿所述输送轨（6）水平移动，所述第三直线电机（32）的滑轨沿水平方向固定设置在所述第二直线电机（31）的动子座上，并垂直于所述输送轨（6）设置，所述第三直线电机（32）的动子座上端固定连接所述工作台（3）。

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