CN209914160U - 一种铝管柱状电极等离子腔体 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种铝管柱状电极等离子腔体，所述箱体两侧壁之间贯穿有多对铝管组，每对铝管组上下相邻设置，铝管组包括多根铝管，多根铝管一字排列，铝管一端固定在箱体一侧内壁，铝管另一端穿过箱体另一侧壁，铝管的末端均通过电极板相连接；箱体背面设置有抽真空口；箱体正面通过铰链转动连接有箱门，箱门自由端设置有门锁，箱门上设置有进气孔。本实用新型通过多对铝管组的排列结构设计，提高了反应气体的流动性，增加了清洗的均一性。本设计结构合理、易于维护、清洗效果好。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种铝管柱状电极等离子腔体，属于等离子清洗机技术领域。
背景技术
目前，等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体清洗的机理，主要是依靠等离子体中活性粒子的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。
现有的等离子清洗机采用的电极为水平式多层电极板结构，这种结构对于无机气体在腔体内对流性较差，对于电极间治具内的产品处理效果和均匀性都有一定的缺陷。
实用新型内容
目的：为了克服现有技术中存在的不足，本实用新型提供一种铝管柱状电极等离子腔体。
技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：
一种铝管柱状电极等离子腔体，包括：箱体，所述箱体两侧壁之间贯穿有多对铝管组，每对铝管组上下相邻设置，铝管组包括多根铝管，多根铝管一字排列，铝管一端固定在箱体一侧内壁，铝管另一端穿过箱体另一侧壁，铝管的末端均通过电极板相连接；箱体背面设置有抽真空口；箱体正面通过铰链转动连接有箱门，箱门自由端设置有门锁，箱门上设置有进气孔。
作为优选方案，所述箱体一侧内壁设置有凹槽，凹槽内设置有套筒，另一侧壁上设置有通孔，通孔内设置有卡接头，铝管一端可拆卸地与套筒相连接，铝管另一端从通孔一端穿入，从卡接头另一端穿出，卡接头出口处还套接有密封圈，密封圈与卡接头通过密封盖相固定，所述套筒与卡接头均采用绝缘材质。
作为优选方案，所述箱体底部设置有定位块。
作为优选方案，所述箱门上设置有观察窗。
作为优选方案，所述密封圈采用硅胶材质。
作为优选方案，所述铝管组设置为两对，铝管组由6-10根铝管组成。
有益效果：本实用新型提供的一种铝管柱状电极等离子腔体，通过多对铝管组的排列结构设计，提高了反应气体的流动性，增加了清洗的均一性。本设计结构合理、易于维护、清洗效果好。
附图说明
图1为本实用新型的正面结构示意图；
图2为本实用新型的背面结构示意图；
图3为铝管与箱体内壁的连接示意图；
图4为铝管与箱体侧壁的连接示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作更进一步的说明。
如图1-4所示，一种铝管柱状电极等离子腔体，包括：箱体1，所述箱体1两侧壁之间贯穿有多对铝管组2，每对铝管组2上下相邻设置，铝管组2包括多根铝管3，多根铝管3一字排列，铝管3一端固定在箱体1一侧内壁，铝管3另一端穿过箱体1另一侧壁，铝管3的末端均通过电极板4相连接；箱体1背面设置有抽真空口5；箱体1正面通过铰链6转动连接有箱门7，箱门7自由端设置有门锁8，箱门7上设置有进气孔9。
所述箱体1一侧内壁设置有凹槽10，凹槽10内设置有套筒11，另一侧壁上设置有通孔12，通孔12内设置有卡接头13，铝管3一端可拆卸地与套筒11相连接，铝管3另一端从通孔10一端穿入，从卡接头13另一端穿出，卡接头13出口处还套接有密封圈14，密封圈14与卡接头13通过密封盖15相固定，所述套筒11与卡接头13均采用绝缘材质。
所述箱体1底部设置有定位块16。
所述箱门1上设置有观察窗17。
所述密封圈14采用硅胶材质。
所述铝管组2设置为两对，铝管组2由6-10根铝管3组成。
实施例：
使用时，通过门锁将箱门与箱体密封，真空泵从箱体背面抽真空口将箱体抽真空，再从箱门进气孔注入氩气、氢气，此时，每对铝管组的两个电极板上分别接入射频和接地，每对铝管组之间混合气体被充分电离，由于铝管之间是有空隙的，所以被电离的等离子体可以在整个箱体内自由流过，对治具上的工件进行清洗，提高了产品清洗效果和均一性。
同时，本设计采用铝管可拆卸结构，铝管一端通过螺纹固定在箱体一侧内壁里的套筒内，铝管另一端与箱体侧壁通过卡接头相固定，由于套筒和卡接头都采用绝缘材质，用于确保铝管与箱体之间相互绝缘。另外，铝管与通孔之间间隙通过卡接头相密封，卡接头与铝管之间间隙通过密封圈相密封，用于确保箱体的气密性。且卡接头、密封圈、密封盖之间都是采用卡接等可拆卸方式连接，易于后期的维修与更换。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种铝管柱状电极等离子腔体，包括：箱体，其特征在于：所述箱体两侧壁之间贯穿有多对铝管组，每对铝管组上下相邻设置，铝管组包括多根铝管，多根铝管一字排列，铝管一端固定在箱体一侧内壁，铝管另一端穿过箱体另一侧壁，铝管的末端均通过电极板相连接；箱体背面设置有抽真空口；箱体正面通过铰链转动连接有箱门，箱门自由端设置有门锁，箱门上设置有进气孔。
2.根据权利要求1所述的一种铝管柱状电极等离子腔体，其特征在于：所述箱体一侧内壁设置有凹槽，凹槽内设置有套筒，另一侧壁上设置有通孔，通孔内设置有卡接头，铝管一端可拆卸地与套筒相连接，铝管另一端从通孔一端穿入，从卡接头另一端穿出，卡接头出口处还套接有密封圈，密封圈与卡接头通过密封盖相固定，所述套筒与卡接头均采用绝缘材质。
3.根据权利要求1所述的一种铝管柱状电极等离子腔体，其特征在于：所述箱体底部设置有定位块。
4.根据权利要求1所述的一种铝管柱状电极等离子腔体，其特征在于：所述箱门上设置有观察窗。
5.根据权利要求2所述的一种铝管柱状电极等离子腔体，其特征在于：所述密封圈采用硅胶材质。
6.根据权利要求1所述的一种铝管柱状电极等离子腔体，其特征在于：所述铝管组设置为两对，铝管组由6-10根铝管组成。
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2019
- 2019-03-25 CN CN201920380554.7U patent/CN209914160U/zh active Active
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