CN114016004A - 一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，涉及太阳能电池片管式PECVD镀膜设备技术领域，包括炉尾舟本体和炉口舟本体，所述炉尾舟本体、炉口舟本体的内壁上设置有陶瓷杆本体，所述陶瓷杆本体设置为两个，两个所述陶瓷杆本体位于同一水平面上，其中一个所述陶瓷杆本体的外壁上固定安装有阴极导电石墨块。本发明通过阴极导电石墨块和阳极导电石墨块的具体位置设计，使得炉口舟本体采用舟脚电极结构，即电极由炉口引入，直接在炉口两边，配合石墨舟导电更改实现，两个电极在都在炉口位置，无需引入到炉管中，避免了导电电极从炉尾引到炉口跨度太长的问题，降低热延伸量，减少生产时的不稳定因数，便于在发生异常时对其进行维护。
Description
技术领域
本发明涉及一种石墨舟前电极改造结构，涉及太阳能电池片管式PECVD镀膜设备技术领域，具体涉及一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构。
背景技术
太阳能硅片的生产加工中有一道程序叫做PECVD镀膜，其作用是提高硅片的太阳能转化率，这个工序使用到石墨舟，把硅片插到石墨舟中，通过等离子化学气相淀积，在硅片表面淀积一层深蓝色氮化硅膜，石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体，其结构和大小直接影响硅片的镀膜后颜色及转换效率，其工作原理为：将未镀膜的硅片插在石墨舟片的工艺点上，每个舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的腔体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。针对现有技术存在以下问题：
1、现有的管式PECVD镀膜设备为双舟结构，炉口舟电极由尾部引入，在炉管内依靠陶瓷杆固定支撑引到炉口舟斜对角舟脚上，依靠导电石墨块一和导电石墨块二与舟脚接触实现将射频电源两极分别引到炉口舟的舟脚上，这样就导致了导电电极从炉尾引到炉口跨度太长，热延伸量大，造成移位，增加了不稳定因数，导电石墨块在炉管中间位置，发生异常不易维护；
2、现有的管式PECVD镀膜设备导电电极外石英套与炉内支撑杆间隙处易卡碎，清理维护不便，导电电极外石英套管较多，石英套没法完全遮挡电极及套管易损坏，造成异常的问题。
发明内容
本发明提供一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，其中一种目的是为了具备舟脚电极结构，解决导电电极从炉尾引到炉口跨度太长的问题；其中另一种目的是为了解决电极外石英套与炉内支撑杆间隙处易卡碎的问题，以达到便于后续维护的效果。
为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：
一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，包括炉尾舟本体和炉口舟本体，所述炉尾舟本体、炉口舟本体的内壁上设置有陶瓷杆本体，所述陶瓷杆本体设置为两个，两个所述陶瓷杆本体位于同一水平面上，其中一个所述陶瓷杆本体的外壁上固定安装有阴极导电石墨块，另一个所述陶瓷杆本体的外壁上固定安装有阳极导电石墨块，所述阴极导电石墨块、阳极导电石墨块距离炉口舟本体的距离均设置为550毫米，所述阴极导电石墨块、阳极导电石墨块设置在同一水平线上。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述陶瓷杆本体的两端均固定安装有陶瓷杆支撑座，所述炉尾舟本体、炉口舟本体的内壁上均固定安装有第一凹槽固定块，所述陶瓷杆支撑座的外壁活动连接在第一凹槽固定块的内壁上，所述第一凹槽固定块远离陶瓷杆支撑座的一侧螺纹连接有第一固定销钉，所述第一固定销钉靠近陶瓷杆支撑座的一端延伸至陶瓷杆支撑座的内部。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述炉口舟本体的内壁上固定安装有第二凹槽固定块，所述第二凹槽固定块设置为两个，所述第二凹槽固定块的正面活动连接有连接法兰，所述第二凹槽固定块的背面螺纹连接有第二固定销钉，所述第二固定销钉的正面延伸至连接法兰的内部，所述连接法兰远离第二凹槽固定块的一端分别与阴极导电石墨块和阳极导电石墨块固定连接。
本发明技术方案的进一步改进在于：两个所述陶瓷杆本体的外壁上均固定安装有陶瓷套管一，所述陶瓷套管一设置为两个，所述陶瓷套管一的外壁上通过标准卡箍固定安装有炉尾舟舟脚，两个所述陶瓷杆本体的外壁上均固定安装有陶瓷套管二，所述陶瓷套管二设置为四个，所述陶瓷套管二的外壁上通过标准卡箍固定安装有炉口舟舟脚。
本发明技术方案的进一步改进在于：所述炉尾舟本体、炉口舟本体的内径相同，所述炉尾舟本体、炉口舟本体相邻的一侧固定焊接有石墨舟舟体，所述炉尾舟本体、炉口舟本体的正面均开设有位于两侧的固定孔。
由于采用了上述技术方案，本发明相对现有技术来说，取得的技术进步是：
1、本发明提供一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，采用阴极导电石墨块和阳极导电石墨块的结合，通过阴极导电石墨块和阳极导电石墨块的具体位置设计，使得炉口舟本体采用舟脚电极结构，即电极由炉口引入，直接在炉口两边，配合石墨舟导电更改实现，两个电极在都在炉口位置，无需引入到炉管中，避免了导电电极从炉尾引到炉口跨度太长的问题，降低热延伸量，减少生产时的不稳定因数，便于在发生异常时对其进行维护，提升本结构的高效性和便捷性。
2、本发明提供一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，采用陶瓷杆支撑座、第一凹槽固定块、第一固定销钉、第二凹槽固定块和第二固定销钉的结合，通过陶瓷杆支撑座、第一凹槽固定块和第一固定销钉的设计，便于操作人员对陶瓷杆本体进行拆卸维护，通过第二凹槽固定块和第二固定销钉的设计，便于操作人员对连接法兰进行拆卸维护，避免螺钉受热卡死后难以拆卸及维护的情况，且电极从炉口法兰左右两侧引入，减短了炉内电极长度，避免了炉内掉片、碎片造成的影响，同时两个电极距离炉口550MM左右，可实现方便维护清理的功能。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明炉口舟的背部部分结构示意图；
图3为现有的管式PECVD镀膜设备结构示意图。
图中：1、炉尾舟本体；11、陶瓷套管一；2、炉口舟本体；21、陶瓷套管二；3、陶瓷杆本体；31、陶瓷杆支撑座；32、第一凹槽固定块；33、第一固定销钉；34、连接法兰；35、第二凹槽固定块；36、第二固定销钉；4、阴极导电石墨块；5、阳极导电石墨块。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明做进一步详细说明：
实施例1
如图1-3所示，本发明提供了一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，包括炉尾舟本体1和炉口舟本体2，炉尾舟本体1、炉口舟本体2的内壁上设置有陶瓷杆本体3，陶瓷杆本体3设置为两个，两个陶瓷杆本体3位于同一水平面上，其中一个陶瓷杆本体3的外壁上固定安装有阴极导电石墨块4，另一个陶瓷杆本体3的外壁上固定安装有阳极导电石墨块5，阴极导电石墨块4、阳极导电石墨块5距离炉口舟本体2的距离均设置为550毫米，阴极导电石墨块4、阳极导电石墨块5设置在同一水平线上，通过阴极导电石墨块4和阳极导电石墨块5的具体位置设计，使得炉口舟本体2采用舟脚电极结构，即电极由炉口引入，直接在炉口两边，配合石墨舟导电更改实现，两个电极在都在炉口位置，无需引入到炉管中，避免了导电电极从炉尾引到炉口跨度太长的问题，降低热延伸量，减少生产时的不稳定因数，便于在发生异常时对其进行维护，提升本结构的高效性和便捷性。
实施例2
如图1-3所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，陶瓷杆本体3的两端均固定安装有陶瓷杆支撑座31，炉尾舟本体1、炉口舟本体2的内壁上均固定安装有第一凹槽固定块32，陶瓷杆支撑座31的外壁活动连接在第一凹槽固定块32的内壁上，第一凹槽固定块32远离陶瓷杆支撑座31的一侧螺纹连接有第一固定销钉33，第一固定销钉33靠近陶瓷杆支撑座31的一端延伸至陶瓷杆支撑座31的内部，炉口舟本体2的内壁上固定安装有第二凹槽固定块35，第二凹槽固定块35设置为两个，第二凹槽固定块35的正面活动连接有连接法兰34，第二凹槽固定块35的背面螺纹连接有第二固定销钉36，第二固定销钉36的正面延伸至连接法兰34的内部，连接法兰34远离第二凹槽固定块35的一端分别与阴极导电石墨块4和阳极导电石墨块5固定连接，通过陶瓷杆支撑座31、第一凹槽固定块32和第一固定销钉33的设计，便于操作人员对陶瓷杆本体3进行拆卸维护，通过第二凹槽固定块35和第二固定销钉36的设计，便于操作人员对连接法兰34进行拆卸维护，避免螺钉受热卡死后难以拆卸及维护的情况，且电极从炉口法兰左右两侧引入，减短了炉内电极长度，避免了炉内掉片、碎片造成的影响，同时两个电极距离炉口550MM左右，可实现方便维护清理的功能。
实施例3
如图1-3所示，在实施例1的基础上，本发明提供一种技术方案：优选的，两个陶瓷杆本体3的外壁上均固定安装有陶瓷套管一11，陶瓷套管一11设置为两个，陶瓷套管一11的外壁上通过标准卡箍固定安装有炉尾舟舟脚，两个陶瓷杆本体3的外壁上均固定安装有陶瓷套管二21，陶瓷套管二21设置为四个，陶瓷套管二21的外壁上通过标准卡箍固定安装有炉口舟舟脚，炉尾舟本体1、炉口舟本体2的内径相同，炉尾舟本体1、炉口舟本体2相邻的一侧固定焊接有石墨舟舟体，炉尾舟本体1、炉口舟本体2的正面均开设有位于两侧的固定孔，通过固定孔的设计，便于对本装置进行安装，通过陶瓷套管一11和陶瓷套管二21的设计，便于本装置的导电过程的使用。
下面具体说一下该避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构的工作原理。
如图1-3所示，在使用时，将硅片安装在石墨舟舟体的内部，通过阴极导电石墨块4和阳极导电石墨块5对射频电源进行引导，实现对硅片进行放电镀膜的处理，通过阴极导电石墨块4和阳极导电石墨块5的具体位置设计，避免导电电极从炉尾引到炉口跨度太长的问题，通过陶瓷杆支撑座31、第一凹槽固定块32和第一固定销钉33的设计，便于操作人员对陶瓷杆本体3进行拆卸维护，通过第二凹槽固定块35和第二固定销钉36的设计，便于操作人员对连接法兰34进行拆卸维护。
上文一般性的对本发明做了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之做一些修改或改进，这对于技术领域的一般技术人员是显而易见的。因此，在不脱离本发明思想精神的修改或改进，均在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，包括炉尾舟本体(1)和炉口舟本体(2)，其特征在于：所述炉尾舟本体(1)、炉口舟本体(2)的内壁上设置有陶瓷杆本体(3)，所述陶瓷杆本体(3)设置为两个，两个所述陶瓷杆本体(3)位于同一水平面上，其中一个所述陶瓷杆本体(3)的外壁上固定安装有阴极导电石墨块(4)，另一个所述陶瓷杆本体(3)的外壁上固定安装有阳极导电石墨块(5)，所述阴极导电石墨块(4)、阳极导电石墨块(5)距离炉口舟本体(2)的距离均设置为550毫米，所述阴极导电石墨块(4)、阳极导电石墨块(5)设置在同一水平线上。
2.根据权利要求1所述的一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，其特征在于：所述陶瓷杆本体(3)的两端均固定安装有陶瓷杆支撑座(31)，所述炉尾舟本体(1)、炉口舟本体(2)的内壁上均固定安装有第一凹槽固定块(32)，所述陶瓷杆支撑座(31)的外壁活动连接在第一凹槽固定块(32)的内壁上，所述第一凹槽固定块(32)远离陶瓷杆支撑座(31)的一侧螺纹连接有第一固定销钉(33)，所述第一固定销钉(33)靠近陶瓷杆支撑座(31)的一端延伸至陶瓷杆支撑座(31)的内部。
3.根据权利要求2所述的一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，其特征在于：所述炉口舟本体(2)的内壁上固定安装有第二凹槽固定块(35)，所述第二凹槽固定块(35)设置为两个，所述第二凹槽固定块(35)的正面活动连接有连接法兰(34)，所述第二凹槽固定块(35)的背面螺纹连接有第二固定销钉(36)，所述第二固定销钉(36)的正面延伸至连接法兰(34)的内部，所述连接法兰(34)远离第二凹槽固定块(35)的一端分别与阴极导电石墨块(4)和阳极导电石墨块(5)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，其特征在于：两个所述陶瓷杆本体(3)的外壁上均固定安装有陶瓷套管一(11)，所述陶瓷套管一(11)设置为两个，所述陶瓷套管一(11)的外壁上通过标准卡箍固定安装有炉尾舟舟脚，两个所述陶瓷杆本体(3)的外壁上均固定安装有陶瓷套管二(21)，所述陶瓷套管二(21)设置为四个，所述陶瓷套管二(21)的外壁上通过标准卡箍固定安装有炉口舟舟脚。
5.根据权利要求1所述的一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构，其特征在于：所述炉尾舟本体(1)、炉口舟本体(2)的内径相同，所述炉尾舟本体(1)、炉口舟本体(2)相邻的一侧固定焊接有石墨舟舟体，所述炉尾舟本体(1)、炉口舟本体(2)的正面均开设有位于两侧的固定孔。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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| GR01 | Patent grant | ||
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