CN219311584U - 一种石英坩埚水套 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供一种石英坩埚水套,包括水套壳体;水套壳体内从上到下依次设有多个冷却水腔,冷却水腔包括至少一个冷却水仓,冷却水仓连接有用于进水和回水的管道,管道安装在水套壳体的外壁;还包括用于安装固定管道的安装结构;安装结构包括连接环和限位件,连接环固设在水套壳体的外壁,连接环远离水套壳体的一端设有竖直设置的安装环,限位件用于将管道相对安装环固定;通过在水套壳体内从上到下依次设置多个冷却水腔,并将冷却水腔分为至少一个冷却水仓,单个冷却水仓的容积较小,水在每个冷却水仓内滞留时间较短,冷却效率提高,极大的减小了水套上口的变形机率;由于管道均设在水套壳体的外侧,故降低了水管检修难度。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英坩埚生产设备技术领域,具体为一种石英坩埚水套。
背景技术
石英坩埚水套是生产石英坩埚过程中用于支撑石英坩埚模具、为石英坩埚提供冷却、保证石英坩埚处于真空环境的设备。现有的石英坩埚水套包括水套壳体,在壳体内壁设有支撑环,水套壳体内部为冷却水腔,在壳体下部设有抽气口及冷却水腔口,所述的冷却水腔口均布在抽气口周围。当石英坩埚位于石英坩埚模具中时,抽真空装置由抽气口将石英坩埚水套与石英坩埚间抽成真空,以避免石英坩埚中含有气泡而影响石英坩埚的质地;由冷却水腔接口向冷却水腔内提供冷却水,以使炽热的石英坩埚更快的定型。由于石英坩埚与水套间的空气的温度极高,导致冷却水在冷却水腔口处被加热,冷却效果差,冷却效率低。且一旦冷却水腔口处发生泄漏,冷却水与高温空气混合后被汽化,进入石英坩埚水套与石英坩埚之间,会破坏真空环境,甚至会造成石英坩埚底部凸起,废品率高。
为了解决上述问题,申请号为:201220140863.5的专利,提出了一种石英坩埚水套,包括水套壳体,水套壳体内部为冷却水腔,在水套壳体内壁设有支撑环,在水套壳体底部设有抽气口与冷却水腔口,其特殊之处是:所述的冷却水腔口均布在水套壳体底面的边缘。
上述实用新型由于冷却水腔口位于水套壳体底面的边缘,远离抽气口,避免了冷却水在被经由抽气口抽出的高温空气加热,冷却效率高、冷却效果好,且一旦冷却水腔口处发生泄漏,冷却水不会被高温空气汽化,保证了石英坩埚所处环境真空度,降低了石英坩埚的废品率。
但由于石英坩埚在熔制过程中弧光温度极高,又一直在水套上口处进行熔制,导致冷却水气化冷却水腔上口被加热,冷却效果差,上口位置极其容易变形;且上述实用性的冷却水管设置在冷却水腔内部,检修十分困难。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种石英坩埚水套,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种石英坩埚水套,包括水套壳体;
所述水套壳体内从上到下依次设有多个冷却水腔,所述冷却水腔包括至少一个冷却水仓,所述冷却水仓连接有用于进水和回水的管道,所述管道安装在所述水套壳体的外壁;
还包括用于安装固定所述管道的安装结构;
所述安装结构包括连接环和限位件,所述连接环固设在所述水套壳体的外壁,所述连接环远离所述水套壳体的一端设有竖直设置的安装环,所述限位件用于将所述管道相对所述安装环固定。
优选的,所述限位件为U形,所述限位件的两个端部为螺纹杆,所述螺纹杆贯穿所述安装环后通过螺母固定。
优选的,所述限位件的中部为扁平的带状。
优选的,所述限位件设有与所述管道契合的安装槽,所述限位件的开口端设有向两侧弯折的安装板,所述安装板通过栓接相对所述安装环固定。
优选的,所述安装环的外壁设有与所述管道契合的卡槽。
优选的,所述冷却水仓内间隔设有多块导热隔板,多块交错设置的所述导热隔板用于引导冷却水的流向。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
通过在水套壳体内从上到下依次设置多个冷却水腔,并将冷却水腔分为至少一个冷却水仓,单个冷却水仓的容积较小,水在每个冷却水仓内滞留时间较短,冷却效率提高,极大的减小了水套上口的变形机率;由于管道均设在水套壳体的外侧,故降低了水管检修难度。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为本实用新型的截面图;
图3为本实用新型的A区放大图;
图4为本实用新型实施例二的结构示意图;
图5为本实用新型施例二的限位件俯视图;
图6为本实用新型施例三的限位件俯视图;
图7为本实用新型的冷却水仓的结构示意图。
图中:1、水套壳体;2、冷却水腔;3、冷却水仓;31、导热隔板;4、管道;5、安装结构;51、连接环;52、安装环;53、限位件;521、卡槽;531、螺纹杆;532、安装槽;533、安装板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
实施例一
请参阅图1-7,本实用新型提供一种技术方案:一种石英坩埚水套,包括水套壳体1;
所述水套壳体1内从上到下依次设有多个冷却水腔2,所述冷却水腔2包括至少一个冷却水仓3,所述冷却水仓3连接有用于进水和回水的管道4,所述管道4安装在所述水套壳体1的外壁;
还包括用于安装固定所述管道4的安装结构5;
所述安装结构5包括连接环51和限位件53,所述连接环51固设在所述水套壳体1的外壁,所述连接环51远离所述水套壳体1的一端设有竖直设置的安装环52,所述限位件53用于将所述管道4相对所述安装环52固定。
作为更进一步的方案,安装环52的外壁设有与管道4契合的卡槽521,从而能够限定管道4的位置。
作为更进一步的方案,冷却水仓3内间隔设置多块导热隔板31,导热隔板31的两侧分别与冷却水仓3的内壁焊接,导热隔板31额度上下两端中有一端与冷却水仓3焊接,另一端则与冷却水仓3的内壁留有预定距离,间隔设置的导热隔板31交错焊接在冷却水仓3的上下壁,从而能够引导冷却水的流向;且多块导热隔板31能够增加冷却水与水套壳体1的接触面积,提高换热效率。
实施例二
在实施例一的基础上,对限位件53的结构做出具体说明;
限位件53采用钢筋弯折加工成U形,在限位件53的两个端部加工外螺纹,将限位件53的两个端部穿过安装环52的通孔后通过螺母固定,从而将管道4通过安装环52配合限位件53安装固定。
作为进一步的方案,限位件53的中部为扁平的带状,从而能够增加与管道4的接触面积,提高稳定性;
具体加工方式可采用冲压,或者采用焊接的方式与两根螺纹杆531焊接成型。
实施例三
在实施例一的基础上,对限位件53的结构做出具体说明;
与实施例二的不同之处在于,限位件53为板件,这样在垂直方向与管道4具有更大的接触面积,限位件53加工出与所述管道4契合的安装槽532,在限位件53的开口端向两侧弯折出安装板533,安装板533通过栓接的方式相对安装环52固定;
具体加工方式可采用板件折弯工艺制成。
通过本领域人员,将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接,并且应该根据实际情况,选择合适的控制器,以满足控制需求,具体连接以及控制顺序,应参考下述工作原理中,各电气件之间先后工作顺序完成电性连接,其详细连接手段,为本领域公知技术,下述主要介绍工作原理以及过程,不再对电气控制做说明。
工作原理如下:
工作时,抽真空装置通过水套壳体1下端的抽气口将水套壳体1与石英坩埚模具之间的空气抽出,形成真空环境,以避免石英坩埚中含有气泡而影响石英坩埚的质地,通过与冷却水仓3进水口连接的管道4向冷却水仓3内注入冷却水,并通过与冷却水仓3的出水口连接的管道4排除完成换热的冷却水,由于冷却水腔2从上到下设置为多个,且每个冷却水腔2通过隔板隔离成多个冷却水仓3,冷却水在每个冷却水仓3内滞留时间较短,冷却效率提高,极大的减小了水套上口的变形机率。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作;同时除非另有明确的规定和限定,术语“卡接”、“轴接”、“插接”、“焊接”、“安装有”、“设置有”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定,对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种石英坩埚水套,其特征在于:包括水套壳体(1);
所述水套壳体(1)内从上到下依次设有多个冷却水腔(2),所述冷却水腔(2)包括至少一个冷却水仓(3),所述冷却水仓(3)连接有用于进水和回水的管道(4),所述管道(4)安装在所述水套壳体(1)的外壁;
还包括用于安装固定所述管道(4)的安装结构(5);
所述安装结构(5)包括连接环(51)和限位件(53),所述连接环(51)固设在所述水套壳体(1)的外壁,所述连接环(51)远离所述水套壳体(1)的一端设有竖直设置的安装环(52),所述限位件(53)用于将所述管道(4)相对所述安装环(52)固定。
2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚水套,其特征在于:所述限位件(53)为U形,所述限位件(53)的两个端部为螺纹杆(531),所述螺纹杆(531)贯穿所述安装环(52)后通过螺母固定。
3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚水套,其特征在于:所述限位件(53)的中部为扁平的带状。
4.根据权利要求1所述的一种石英坩埚水套,其特征在于:所述限位件(53)设有与所述管道(4)契合的安装槽(532),所述限位件(53)的开口端设有向两侧弯折的安装板(533),所述安装板(533)通过栓接相对所述安装环(52)固定。
5.根据权利要求1所述的一种石英坩埚水套,其特征在于:所述安装环(52)的外壁设有与所述管道(4)契合的卡槽(521)。
6.根据权利要求1所述的一种石英坩埚水套,其特征在于:所述冷却水仓(3)内间隔设有多块导热隔板(31),多块交错设置的所述导热隔板(31)用于引导冷却水的流向。
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