CN116334595B - 一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块 - Google Patents
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- 101100409194 Rattus norvegicus Ppargc1b gene Proteins 0.000 title claims abstract description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 23
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 22
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims abstract description 22
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 20
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims abstract description 7
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims abstract 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 125
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 47
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 claims description 28
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 16
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 15
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000008213 purified water Substances 0.000 claims description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 9
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000003570 air Substances 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 10
- 239000012634 fragment Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000007888 film coating Substances 0.000 abstract 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 abstract 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 11
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000012286 potassium permanganate Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/50—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating using electric discharges
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/458—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for supporting substrates in the reaction chamber
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- Plasma & Fusion (AREA)
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Abstract
本发明涉及太阳能电池生产技术领域,具体为一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,包括承舟主体和导电电极,所述导电电极安装在所述承舟主体上。本发明解决了现有的承舟块采用不锈钢材质,镀膜过程中碎片融硅会附着在承舟块上,导致承舟块与石墨舟接触不良,需频繁对其进行更换,才能保证电池片的良品率,由于承舟块质量较大对其更换费时费力,同时通过对承舟块的频繁更换来保证承舟块与石墨舟之间的良好接触,极大的增加了镀膜成本的技术问题。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产技术领域,特别涉及一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块。
背景技术
PECVD法是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜的一种方法,采用PECVD法对perc电池片镀膜时,将待镀膜硅片安装在石墨舟上,之后将石墨舟推入真空反应炉内,通过承舟块向石墨舟舟脚通电形成电场,同时向真空反应炉内通入硅烷和氨气,在电场的作用下硅烷和氨气相互作用生成的氮化硅并附着在硅片上,由此镀膜完成;
现有的承舟块采用不锈钢材质,镀膜过程中碎片融硅会附着在承舟块上,导致承舟块与石墨舟接触不良,需频繁对其进行更换,才能保证电池片的良品率,由于承舟块质量较大对其更换费时费力,同时通过对承舟块的频繁更换来保证承舟块与石墨舟之间的良好接触,极大的增加了镀膜成本。
发明内容
本发明提供一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,用以解决目前现有的承舟块采用不锈钢材质,镀膜过程中碎片融硅会附着在承舟块上,导致承舟块与石墨舟接触不良,需频繁对其进行更换,才能保证电池片的良品率,由于承舟块质量较大对其更换费时费力,同时通过对承舟块的频繁更换来保证承舟块与石墨舟之间的良好接触,极大的增加了镀膜成本的技术问题。
为解决上述技术问题,本发明公开了一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,包括承舟主体和导电电极,所述导电电极安装在所述承舟主体上。
优选的,所述承舟主体采用不锈钢材质,所述导电电极采用石墨材质。
优选的,所述承舟主体上开设有导电电极安装槽和绝缘轴安装孔,所述导电电极安装在所述导电电极安装槽内,并通过石墨螺丝与承舟主体连接,所述绝缘轴安装孔内安装有绝缘轴,所述导电电极远离所述承舟主体的一端与承舟块的舟脚接触连接。
优选的,所述导电电极包括电极块一和两对称布置的电极块二,所述电极块一内设有安装凹槽,所述电极块二为T型,两电极块二一端安装在所述安装凹槽内,另一端安装在舟脚的电极安装凹槽内。
优选的,所述导电电极底部设有辅助拆卸弹性件,所述承舟主体两侧设有导电电极安装组件,所述导电电极安装组件包括抵接块、拧紧螺母和螺纹连接柱体,所述抵接块和拧紧螺母分别固定连接在所述螺纹连接柱体两端,所述螺纹连接柱体螺纹连接在所述承舟主体上,所述螺纹连接柱体上设有抵接弹性件。
优选的,所述承舟主体上设有防护筒,所述防护筒用于舟脚的安装。
优选的,所述承舟主体上设有氮化硅清洁组件,所述氮化硅清洁组件用于对承舟主体和导电电极上的氮化硅进行清洁。
优选的,所述氮化硅清洁组件包括给料箱和清洁头,所述给料箱和清洁头通过输出软管连通,所述给料箱用于通过输出软管向清洁头输送清洁液、纯净水和空气。
优选的,所述给料箱包括箱体,所述箱体安装在承舟主体的箱体安装槽内,所述箱体内设有空腔、纯净水储存腔和清洗液储存腔;
所述空腔与汇合管相通,所述汇合管与所述输出软管相通,所述空腔内设有挤压部件,所述挤压部件用于挤压空腔;
所述纯净水储存腔内滑动连接有第一推动活塞,第一推动活塞一侧通过第一缓冲弹性件与纯净水储存腔内壁固定连接,第一推动活塞另一侧的纯净水储存腔储存有纯净水,所述纯净水储存腔设有第一缓冲弹性件的一端通过第一管道与所述空腔相通,所述纯净水储存腔设有纯净水的一端通过第一输出管道与所述汇合管相通;
所述清洗液储存腔内滑动连接有第二推动活塞,第二推动活塞一侧通过第二缓冲弹性件与清洗液储存腔内壁固定连接,第二推动活塞另一侧的清洗液储存腔存储有清洗液,所述清洗液储存腔设有第二缓冲弹性件的一端通过第二管道与空腔相通,所述清洗液储存腔设有清洗液的一端通过第二输出管道与所述汇合管相通;
所述第一管道和所述第二管道内均设有电磁阀。
优选的,所述清洁头喷液角度可调,所述承舟主体上设有清洁头底座滑槽,所述清洁头底座滑槽内滑动连接有清洁头底座,所述清洁头安装在所述清洁头底座上,所述清洁头底座上设有第二驱动件,所述第二驱动件用于驱动所述清洁头底座沿所述清洁头底座滑槽滑动;
所述清洁头内滑动连接有擦拭块,所述擦拭块滑动连接在所述清洁头的擦拭块收纳槽内,所述擦拭块上设有第一电磁铁,所述擦拭块收纳槽内设有第二电磁铁,所述擦拭块与所述擦拭块收纳槽内壁之间固定连接有连接弹性件。
下面通过附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本发明的实施例一起用于解释本发明,并不构成对本发明的限制。在附图中:
图1为本发明承舟主体和导电电极结构示意图。
图2为本发明电极块一和电极块二结构示意图。
图3为本发明辅助拆卸弹性件和导电电极安装组件结构示意图。
图4为本发明图3的D处局部放大图。
图5为本发明的氮化硅清洁组件结构示意图。
图6为本发明图5的A-A处剖视图。
图7为本发明图6的B处局部放大图。
图8为本发明图5的C处局部放大图。
图9为本发明喷头结构示意图。
图中:1、承舟主体;100、导电电极安装槽;101、绝缘轴安装孔;102、绝缘轴;103、防护筒;2、导电电极;200、电极块一;2000、电极块二;2001、安装凹槽;2002、电极安装凹槽;2003、辅助拆卸弹性件;2004、抵接块;2005、拧紧螺母;2006、螺纹连接柱体;2007、抵接弹性件;201、舟脚;3、氮化硅清洁组件;300、给料箱;3000、箱体;3001、箱体安装槽;3002、空腔;3003、纯净水储存腔;3004、清洗液储存腔;3005、隔板;3006、转板;3007、出气仓;3008、安装筒体;3009、第一挤压仓;301、清洁头;3010、外筒体;3011、内筒体;3012、喷头;3013、清洁头底座滑槽;3014、清洁头底座;3015、擦拭块;3016、第一电磁铁;3017、擦拭块收纳槽;3018、第二电磁铁;3019、连接弹性件;302、输出软管;303、第二挤压仓;3030、驱动蜗轮;3031、第一丝杆;3032、第二丝杆;3033、第一蜗杆;3034、第二蜗杆;3035、第一滑槽;3036、第二滑槽;3037、动密封件;3038、第一挤压活塞;3039、第二挤压活塞;304、第一弹性件;3040、第二弹性件;3041、复位弹性件;3042、进气管道;3043、第一通气管道;3044、第二通气管道;305、第一管道;3050、第二管道;3051、第一推动活塞;3052、第一缓冲弹性件;3053、第二推动活塞;3054、第二缓冲弹性件;3055、电磁阀;3056、第一输出管道;3057、汇合管;3058、第二输出管道。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
另外,在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的,并非特别指称次序或顺位的意思,亦非用以限定本发明,其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已,而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外,各个实施例之间的技术方案以及技术特征可以相互结合,但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础,当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在,也不在本发明要求的保护范围之内。
本发明提供如下实施例:
实施例1
本发明实施例提供了一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,如图1-9所示,包括承舟主体1和导电电极2,所述导电电极2安装在所述承舟主体1上。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:使用时将导电电极2安装在所述承舟主体1上,之后将石墨舟的舟脚放置在导电电极2上,通过导电电极2对石墨舟进行通电,采用承舟块整体作为电极镀膜过程中碎片融硅会附着在承舟块上,采用导电电极2作为电极且导电电极2安装在承舟主体1上,当镀膜过程中融硅附着在承舟主体1上时,并不影响石墨舟的正常导电,同时对电极进行更换时,无需将承舟块整体进行更换,只需对其内导电电极2进行更换即可,更换简单方便,且极大的节约了镀膜成本,本发明解决了现有的承舟块采用不锈钢材质,镀膜过程中碎片融硅会附着在承舟块上,导致承舟块与石墨舟接触不良,需频繁对其进行更换,才能保证电池片的良品率,由于承舟块质量较大对其更换费时费力,同时通过对承舟块的频繁更换来保证承舟块与石墨舟之间的良好接触,极大的增加了镀膜成本的技术问题。
实施例2
在上述实施例1的基础上,所述承舟主体1上开设有导电电极安装槽100和绝缘轴安装孔101,所述导电电极2安装在所述导电电极安装槽100内,并通过石墨螺丝与承舟主体1连接,所述绝缘轴安装孔101内安装有绝缘轴102,所述导电电极2远离所述承舟主体1的一端与承舟块的舟脚201接触连接;
所述承舟主体1采用不锈钢材质,所述导电电极2采用石墨材质。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:导电电极2采用石墨材质相较于改造前全部使用不锈钢材质导电性能更好。
实施例3
在实施例1的基础上,如图2所示,所述导电电极2包括电极块一200和两对称布置的电极块二2000,所述电极块一200内设有安装凹槽2001,所述电极块二2000为T型,两电极块二2000一端安装在所述安装凹槽2001内,另一端安装在舟脚201的电极安装凹槽2002内。
上述技术方案的工作原理及工作原理为:使用时,将两对称布置的电极块二2000如图2所示安装在安装凹槽2001内,之后将电极块二2000另一端安装在电极安装凹槽2002内,将导电电极2设计为电极块一200和两对称布置的电极块二2000,保证导电电极2在使用过程中被磨损时仅对电极块二2000进行磨损,更换时也只需对电极块二2000进行更换,从而进一步减小电极的更换成本,极大的节约了镀膜成本,同时电极安装凹槽2002凹槽的设计使得舟脚201在与导电电极2连接时不易错位,增加了承舟块导电的可靠性。
实施例4
在实施例1的基础上,如图3-4所示,所述导电电极2底部设有辅助拆卸弹性件2003,所述承舟主体1两侧设有导电电极安装组件,所述导电电极安装组件包括抵接块2004、拧紧螺母2005和螺纹连接柱体2006,所述抵接块2004和拧紧螺母2005分别固定连接在所述螺纹连接柱体2006两端,所述螺纹连接柱体2006螺纹连接在所述承舟主体1上,所述螺纹连接柱体2006上设有抵接弹性件2007。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:对导电电极2安装时,将导电电极2放置在承舟主体1内,之后手动旋动拧紧螺母2005使得抵接块2004与导电电极2侧壁抵接,从而保证导电电极2的安装可靠性,当对导电电极2进行拆卸时,手动旋动拧紧螺母2005使得抵接块2004与导电电极2侧壁脱离接触配合,此时在辅助拆卸弹性件2003的作用下,导电电极2向外弹出,辅助拆卸弹性件2003和导电电极安装组件的设计使得导电电极2的拆卸与安装更加方便。
实施例5
在实施例1的基础上,如图3所示,所述承舟主体1上设有防护筒103,所述防护筒103用于舟脚201的安装。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:如图3所示,舟脚201与导电电极2的导电接触面位于防护筒103内,防护筒103的设计避免了镀膜过程中融硅附着在舟脚201与导电电极2接触面的情况的发生,从而避免了舟脚201与导电电极2接触不良的情况的发生,有效的提高了镀膜的良品率。
实施例6
在实施例1-5任一项的基础上,如图5-9所示,所述承舟主体1上设有氮化硅清洁组件3,所述氮化硅清洁组件3用于对承舟主体1和导电电极2上的氮化硅进行清洁;
所述氮化硅清洁组件3包括给料箱300和清洁头301,所述给料箱300和清洁头301通过输出软管302连通,所述给料箱300用于通过输出软管302向清洁头301输送清洁液、纯净水和空气。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:使用时,给料箱300先通过输出软管302向清洁头301输送空气,将舟脚201与导电电极2接触处表面的灰尘去除,之后给料箱300通过输出软管302向清洁头301输送清洁液,通过清洁液对舟脚201与导电电极2接触处表面附着的融硅进行清洁,其中,清洗液包括氢氟酸、磷酸、氢氟酸和硝酸混合液、高锰酸钾和氢氟酸混合液中的任意一种,最后给料箱300通过输出软管302向清洁头301输送纯净水,对舟脚201与导电电极2接触处表面的清洗液与融硅混合物进行冲洗,最后给料箱300通过输出软管302再次向清洁头301输送空气,对舟脚201与导电电极2接触处表面进行干燥处理,通过对舟脚201与导电电极2接触处表面融硅的及时处理,避免了因镀膜过程中碎片融硅会附着在承舟块上,导致承舟块与石墨舟接触不良,需频繁对其进行更换的情况,省时省力的同时极大的增加了良品率,同时减小了镀膜成本。
实施例7
在实施例6的基础上,所述给料箱300包括箱体3000,所述箱体3000安装在承舟主体1的箱体安装槽3001内,所述箱体3000内设有空腔3002、纯净水储存腔3003和清洗液储存腔3004;
所述空腔3002与汇合管3057相通,所述汇合管3057与所述输出软管302相通,所述空腔3002内设有挤压部件,所述挤压部件用于挤压空腔3002;
所述纯净水储存腔3003内滑动连接有第一推动活塞3051,第一推动活塞3051一侧通过第一缓冲弹性件3052与纯净水储存腔3003内壁固定连接,第一推动活塞3051另一侧的纯净水储存腔3003储存有纯净水,所述纯净水储存腔3003设有第一缓冲弹性件3052的一端通过第一管道305与所述空腔3002相通,所述纯净水储存腔3003设有纯净水的一端通过第一输出管道3056与所述汇合管3057相通;
所述清洗液储存腔3004内滑动连接有第二推动活塞3053,第二推动活塞3053一侧通过第二缓冲弹性件3054与清洗液储存腔3004内壁固定连接,第二推动活塞3053另一侧的清洗液储存腔3004存储有清洗液,所述清洗液储存腔3004设有第二缓冲弹性件3054的一端通过第二管道3050与空腔3002相通,所述清洗液储存腔3004设有清洗液的一端通过第二输出管道3058与所述汇合管3057相通;
所述第一管道305和所述第二管道3050内均设有电磁阀3055;
所述清洁头301喷液角度可调,所述承舟主体1上设有清洁头底座滑槽3013,所述清洁头底座滑槽3013内滑动连接有清洁头底座3014,所述清洁头301安装在所述清洁头底座3014上,所述清洁头底座3014上设有第二驱动件,所述第二驱动件用于驱动所述清洁头底座3014沿所述清洁头底座滑槽3013滑动;
所述清洁头301内滑动连接有擦拭块3015,所述擦拭块3015滑动连接在所述清洁头301的擦拭块收纳槽3017内,所述擦拭块3015上设有第一电磁铁3016,所述擦拭块收纳槽3017内设有第二电磁铁3018,所述擦拭块3015与所述擦拭块收纳槽3017内壁之间固定连接有连接弹性件3019。
具体的,所述挤压部件包括:
隔板3005,所述隔板3005固定连接在所述空腔3002内,所述空腔3002内壁铰链连接有两对称布置的转板3006,所述转板3006与所述空腔3002内壁之间固定连接有复位弹性件3041,所述转板3006远离所述空腔3002内壁的一端与所述转板3006抵接,两所述转板3006与所述隔板3005将空腔3002分为挤压仓和出气仓3007,所述出气仓3007与所述汇合管3057相通;
安装筒体3008,所述安装筒体3008固定连接在所述隔板3005上,所述安装筒体3008将所述挤压仓分为第一挤压仓3009和第二挤压仓303;
驱动蜗轮3030和对称布置的第一丝杆3031和第二丝杆3032,所述驱动蜗轮3030和对称布置的第一丝杆3031和第二丝杆3032转动连接在所述安装筒体3008内,驱动蜗轮3030上设有转动驱动件,所述转动驱动件用于驱动所述驱动蜗轮3030转动,所述第一丝杆3031和第二丝杆3032上分别固定连接有第一蜗杆3033和第二蜗杆3034,所述第一蜗杆3033和所述第二蜗杆3034分别与所述驱动蜗轮3030相互啮合,且所述第一蜗杆3033和所述第二蜗杆3034旋向相同,所述安装筒体3008上开设有第一滑槽3035和第二滑槽3036,所述第一滑槽3035和第二滑槽3036内均设有动密封件3037,所述第一挤压仓3009和第二挤压仓303内分别滑动连接有第一挤压活塞3038和第二挤压活塞3039,所述第一挤压活塞3038与所述第一挤压仓3009内壁之间固定连接有第一弹性件304,所述第二挤压活塞3039与所述第二挤压仓303内壁之间固定连接有第二弹性件3040,所述第一挤压活塞3038贯穿所述第一滑槽3035对应的动密封件3037后螺纹连接在第一丝杆3031上,所述第二挤压活塞3039贯穿所述第二滑槽3036对应的动密封件3037后螺纹连接在第二丝杆3032上;
所述箱体3000上开设有两对称布置的进气管道3042,所述第一挤压活塞3038上设有第一通气管道3043,所述第二挤压活塞3039上设有第二通气管道3044,所述第一通气管道3043一端用于与其中一进气管道3042相通,另一端用于与第一挤压仓3009相通,所述第二通气管道3044一端用于与另一进气管道3042相通,另一端用于与第二挤压仓303相通。
具体的,所述清洁头301包括外筒体3010、内筒体3011和喷头3012,所述内筒体3011上下滑动连接在所述外筒体3010内,所述内筒体3011上设有第一驱动件,所述第一驱动件用于驱动所述内筒体3011沿所述外筒体3010滑动,所述外筒体3010与所述输出软管302远离所述给料箱300的一端连通,所述外筒体3010与内筒体3011通过拉伸软管3012连通,所述喷头3012铰链连接在所述内筒体3011上,并于所述内筒体3011通过管道相通,所述内筒体3011上铰链连接有电动伸缩件3059,所述电动伸缩件3059远离所述内筒体3011的一端滑动连接在所述喷头3012上。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:
给料箱300先通过输出软管302向清洁头301输送空气,将舟脚201与导电电极2接触处表面的灰尘去除,具体如下:
起初两电磁阀3055关闭,挤压部件挤压空腔3002,使得空腔3002内的空气经汇合管3057进入输出软管302,之后将输出软管302进入清洁头301,经清洁头301喷出至舟脚201与导电电极2接触处表面,在挤压部件挤压空腔3002的过程中,第二驱动件驱动所述清洁头底座3014沿所述清洁头底座滑槽3013滑动,从而带动清洁头301在吹气的过程中沿承舟主体1移动,从而将舟脚201与导电电极2接触处表面的灰尘清除干净;
给料箱300通过输出软管302向清洁头301输送清洁液,通过清洁液对舟脚201与导电电极2接触处表面附着的融硅进行清洁,具体如下:
第二管道3050对应的电磁阀3055打开,之后挤压部件挤压空腔3002,使得空腔3002内的空气经汇合管3057进入输出软管302,在挤压部件挤压空腔3002的过程中,空腔3002内的空气经第二管道3050进入清洗液储存腔3004推动第二推动活塞3053沿所述清洗液储存腔3004滑动,此时第二缓冲弹性件3054处于拉伸状态,在第二推动活塞3053沿所述清洗液储存腔3004滑动的过程中,清洗液储存腔3004内的清洁液经第二输出管道3058汇入汇合管3057,在汇合管3057内空气的作用下经输出软管302从清洁头301喷向舟脚201与导电电极2接触处表面,对舟脚201与导电电极2接触处表面上附着的氮化硅反应,对其进行清洁,与此同时第二驱动件驱动所述清洁头底座3014沿所述清洁头底座滑槽3013滑动;
之后第一电磁铁3016与第二电磁铁3018失电,在连接弹性件3019的作用下擦拭块3015沿擦拭块收纳槽3017向外伸出,配合第二驱动件驱动所述清洁头底座3014沿所述清洁头底座滑槽3013滑动和电动伸缩件3059对喷头3012的角度调节,从而对舟脚201与导电电极2接触处表面进行擦拭;
具体的,挤压部件挤压空腔3002动作为:转动驱动件驱动所述驱动蜗轮3030转动,从而带动第二蜗杆3034转动,第二蜗杆3034转动带动第二丝杆3032转动,第二丝杆3032转动带动第二挤压活塞3039沿第二挤压仓303滑动,从而将第二挤压仓303内的空气压入转板3006处,在气压的作用下转板3006转动,此时复位弹性件3041压缩,空气经转板3006与隔板3005之间的间隙进入出气仓3007内,之后经出气仓3007进入汇合管3057中;
给料箱300通过输出软管302向清洁头301输送纯净水,具体如下:
第一管道305对应的电磁阀3055打开,此时第二管道3050对应电磁阀3055处于关闭状态,之后挤压部件挤压空腔3002,使得空腔3002内的空气经汇合管3057进入输出软管302,在挤压部件挤压空腔3002的过程中,空腔3002内的空气经第一管道305进入纯净水储存腔3003推动第一推动活塞3051沿所述纯净水储存腔3003滑动,此时第一缓冲弹性件3052处于拉伸状态,在第一推动活塞3051沿所述纯净水储存腔3003滑动的过程中,纯净水储存腔3003内的纯净水经第一输出管道3056汇入汇合管3057,在汇合管3057内空气的作用下经输出软管302从清洁头301喷向舟脚201与导电电极2接触处表面,对舟脚201与导电电极2接触处表面的清洗液与融硅混合物进行冲洗,与此同时第二驱动件驱动所述清洁头底座3014沿所述清洁头底座滑槽3013滑动;
具体的,挤压部件挤压空腔3002动作为:转动驱动件驱动所述驱动蜗轮3030转动,从而带动第一蜗杆3033转动,第一蜗杆3033转动带动第一丝杆3031转动,第一丝杆3031转动带动第一挤压活塞3038沿第一挤压仓3009滑动,从而将第一挤压仓3009内的空气压入转板3006处,在气压的作用下转板3006转动,此时复位弹性件3041压缩,空气经转板3006与隔板3005之间的间隙进入出气仓3007内,之后经出气仓3007进入汇合管3057中;
最后,给料箱300通过输出软管302再次向清洁头301输送空气,对舟脚201与导电电极2接触处表面进行干燥处理,具体如下:
起初两电磁阀3055关闭,挤压部件挤压空腔3002,使得空腔3002内的空气经汇合管3057进入输出软管302,之后将输出软管302进入清洁头301,经清洁头301喷出至舟脚201与导电电极2接触处表面,加快舟脚201与导电电极2接触处表面的空气流动,从而对舟脚201与导电电极2接触处表面干燥;
具体的,可通过转动驱动件带动驱动蜗轮3030正转或反转,当驱动蜗轮3030正转时第一挤压活塞3038挤压第一挤压仓3009,从而将空气压入汇合管3057,当驱动蜗轮3030反转时,第二挤压活塞3039挤压第二挤压仓303,从而将空气压入汇合管3057,由于第一蜗杆3033和所述第二蜗杆3034旋向相同,所以第一挤压活塞3038与第二挤压活塞3039必定向相反的方向运动,不能同时挤压空腔3002,由此,当对外挤压空气时第一挤压活塞3038和第二挤压活塞3039则一选取即可,第一挤压活塞3038和第二挤压活塞3039工作完毕后第一弹性件304和第二弹性件3040分别对其进行复位,从而使得两进气管道3042分别与第一通气管道3043和第二通气管道3044相通,为第一挤压仓3009和第二挤压仓303注入新的空气。
实施例8
在实施例1的基础上,还包括:导电电极磨损更换提示系统,所述导电电极磨损更换提示系统设置在导电电极2上,用于监测导电电极2在使用过程中的磨损情况,所述导电电极磨损更换提示系统包括:
非接触厚度传感器,所述非接触厚度传感器设置在所述导电电极2上,用于检测所述导电电极2每次使用后的实际厚度变化量;所述非接触厚度传感器可采用电涡流厚度传感器、磁性厚度传感器、电容厚度传感器、超声波厚度传感器、核辐射厚度传感器、X射线厚度传感器、微波厚度传感器中的任意一种;
速度传感器,所述速度传感器设置在舟脚201上,用于检测舟脚201在工作过程中相对于导电电极2的滑动速度;
位移传感器,所述位移传感器设置在所述舟脚201上,用于检测舟脚201上在工作过程中的位移量;
计数器,所述计数器设置在所述导电电极2,用于检测导电电极2使用的总次数;
控制器,报警器,所述控制器与所述非接触厚度传感器、速度传感器、位移传感器和报警器电连接,所述控制器基于所述非接触厚度传感器、速度传感器、位移传感器控制所述报警器报警,包括以下步骤:
步骤一:基于所述非接触厚度传感器、速度传感器和位移传感器,计算所述导电电极2的实际磨损报警系数:
其中,为导电电极2实际磨损报警系数,G为导电电极2上石墨舟的自重,/>为石墨舟舟脚201的材料硬度,a为舟脚201与导电电极2接触面的长度,b为舟脚201与导电电极2接触面的宽度,Δhi为第i次使用后导电电极2的实际厚度变化量,即非接触厚度传感器相邻两次使用过程中检测值之差,/>为导电电极2的材料硬度,β1为石墨舟舟脚201的表面粗糙度,β2为导电电极2的表面粗糙度,θi为第i次使用时,舟脚201相对于导电电极2的滑动速度,即速度传感器的检测值,x为舟脚201在使用过程中的预设位移量,xnmax为n次使用过程中位移传感器的最大检测值,xnmin为n次使用过程中位移传感器的最小检测值,μ0为导电电极2的预设磨损率,/> 为导电电极2的实际磨损率,n为导电电极2使用的总次数镀膜总次数,即所述计数器的检测值;
步骤二:所述控制器比较所述导电电极2实际磨损报警系数和导电电极2预设磨损报警系数,若导电电极2实际磨损报警系数大于导电电极2预设磨损报警系数,则所述报警器报警。
上述技术方案的工作原理及有益效果为:镀膜时,需将石墨舟推入真空反应炉内,在将石墨舟推入真空反应炉内的过程中,舟脚201会相对于导电电极2产生相对运动,从而使得导电电极2在每次使用过程中会被磨损,当导电电极2磨损到一定程度会影响其与舟脚201的接触性,从而影响到良品率,导电电极磨损更换提示系统用于监测导电电极2在使用过程中的磨损情况,若导电电极2的磨损情况严重则报警器报警对其进行及时的更换,从而有效保证镀膜的良品率;
在所述导电电极2的实际磨损报警系数时,采用导电电极2的实际磨损率与导电电极2的预设磨损率μ0之差计算导电电极2的实际磨损报警系数,从而对导电电极2在使用过程中的磨损情况进行评估,在计算时除考虑导电电极2和舟脚201自身的物理特性/>β1、β2外,还考虑了两者在实际使用过程中运动物理量Δhi、θi、xnmax、xnmin从而使得计算结果更为准确,导电电极磨损更换提示系统的可靠性更好。
显然,本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样,倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内,则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (7)
1.一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,其特征在于,包括承舟主体(1)和导电电极(2),所述导电电极(2)安装在所述承舟主体(1)上;
所述承舟主体(1)上设有氮化硅清洁组件(3),所述氮化硅清洁组件(3)用于对承舟主体(1)和导电电极(2)上的氮化硅进行清洁;
所述氮化硅清洁组件(3)包括给料箱(300)和清洁头(301),所述给料箱(300)和清洁头(301)通过输出软管(302)连通,所述给料箱(300)用于通过输出软管(302)向清洁头(301)输送清洁液、纯净水和空气;
所述给料箱(300)包括箱体(3000),所述箱体(3000)安装在承舟主体(1)的箱体安装槽(3001)内,所述箱体(3000)内设有空腔(3002)、纯净水储存腔(3003)和清洗液储存腔(3004);
所述空腔(3002)与汇合管(3057)相通,所述汇合管(3057)与所述输出软管(302)相通,所述空腔(3002)内设有挤压部件,所述挤压部件用于挤压空腔(3002);
所述纯净水储存腔(3003)内滑动连接有第一推动活塞(3051),第一推动活塞(3051)一侧通过第一缓冲弹性件(3052)与纯净水储存腔(3003)内壁固定连接,第一推动活塞(3051)另一侧的纯净水储存腔(3003)储存有纯净水,所述纯净水储存腔(3003)设有第一缓冲弹性件(3052)的一端通过第一管道(305)与所述空腔(3002)相通,所述纯净水储存腔(3003)设有纯净水的一端通过第一输出管道(3056)与所述汇合管(3057)相通;
所述清洗液储存腔(3004)内滑动连接有第二推动活塞(3053),第二推动活塞(3053)一侧通过第二缓冲弹性件(3054)与清洗液储存腔(3004)内壁固定连接,第二推动活塞(3053)另一侧的清洗液储存腔(3004)存储有清洗液,所述清洗液储存腔(3004)设有第二缓冲弹性件(3054)的一端通过第二管道(3050)与空腔(3002)相通,所述清洗液储存腔(3004)设有清洗液的一端通过第二输出管道(3058)与所述汇合管(3057)相通;
所述第一管道(305)和所述第二管道(3050)内均设有电磁阀(3055)。
2.根据权利要求1所述的改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,其特征在于,所述承舟主体(1)采用不锈钢材质,所述导电电极(2)采用石墨材质。
3.根据权利要求2所述的改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,其特征在于,所述承舟主体(1)上开设有导电电极安装槽(100)和绝缘轴安装孔(101),所述导电电极(2)安装在所述导电电极安装槽(100)内,并通过石墨螺丝与承舟主体(1)连接,所述绝缘轴安装孔(101)内安装有绝缘轴(102),所述导电电极(2)远离所述承舟主体(1)的一端与承舟块的舟脚(201)接触连接。
4.根据权利要求1所述的改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,其特征在于,所述导电电极(2)包括电极块一(200)和两对称布置的电极块二(2000),所述电极块一(200)内设有安装凹槽(2001),所述电极块二(2000)为T型,两电极块二(2000)一端安装在所述安装凹槽(2001)内,另一端安装在舟脚(201)的电极安装凹槽(2002)内。
5.根据权利要求1所述的改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,其特征在于,所述导电电极(2)底部设有辅助拆卸弹性件(2003),所述承舟主体(1)两侧设有导电电极安装组件,所述导电电极安装组件包括抵接块(2004)、拧紧螺母(2005)和螺纹连接柱体(2006),所述抵接块(2004)和拧紧螺母(2005)分别固定连接在所述螺纹连接柱体(2006)两端,所述螺纹连接柱体(2006)螺纹连接在所述承舟主体(1)上,所述螺纹连接柱体(2006)上设有抵接弹性件(2007)。
6.根据权利要求1所述的改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,其特征在于,所述承舟主体(1)上设有防护筒(103),所述防护筒(103)用于舟脚(201)的安装。
7.根据权利要求1所述的改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块,其特征在于,
所述清洁头(301)喷液角度可调,所述承舟主体(1)上设有清洁头底座滑槽(3013),所述清洁头底座滑槽(3013)内滑动连接有清洁头底座(3014),所述清洁头(301)安装在所述清洁头底座(3014)上,所述清洁头底座(3014)上设有第二驱动件,所述第二驱动件用于驱动所述清洁头底座(3014)沿所述清洁头底座滑槽(3013)滑动;
所述清洁头(301)内滑动连接有擦拭块(3015),所述擦拭块(3015)滑动连接在所述清洁头(301)的擦拭块收纳槽(3017)内,所述擦拭块(3015)上设有第一电磁铁(3016),所述擦拭块收纳槽(3017)内设有第二电磁铁(3018),所述擦拭块(3015)与所述擦拭块收纳槽(3017)内壁之间固定连接有连接弹性件(3019)。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310132756.0A CN116334595B (zh) | 2023-02-18 | 2023-02-18 | 一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202310132756.0A CN116334595B (zh) | 2023-02-18 | 2023-02-18 | 一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN116334595A CN116334595A (zh) | 2023-06-27 |
CN116334595B true CN116334595B (zh) | 2023-11-17 |
Family
ID=86881351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202310132756.0A Active CN116334595B (zh) | 2023-02-18 | 2023-02-18 | 一种改善perc电池片镀膜工序导电性的承舟块 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN116334595B (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN116732501B (zh) * | 2023-08-09 | 2023-10-10 | 福建福碳新材料科技有限公司 | 一种三代半导体用等静压石墨舟用支撑舟脚 |
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