CN214458316U

CN214458316U - 管式pecvd设备的电极结构

Info

Publication number: CN214458316U
Application number: CN202022986163.5U
Authority: CN
Inventors: 李国庆; 邓金生; 王凯; 彭亚萍
Original assignee: Shenzhen Headquarter SC New Energy Technology Corp
Current assignee: Shenzhen Headquarter SC New Energy Technology Corp
Priority date: 2020-12-11
Filing date: 2020-12-11
Publication date: 2021-10-22
Anticipated expiration: 2030-12-11

Abstract

本实用新型公开了管式PECVD设备的电极结构，包括：反应炉，所述反应炉内设置有第一支撑件和第二支撑件，第一支撑件和第二支撑件分别用于支撑石墨舟；第一电极部具有第一电极件和第一导电件，第一电极件设置在反应炉的炉口端，第一导电件和第一电极件连接，并被第一支撑件保持；第二电极部具有第二电极件和第二导电件，第二电极件设置在炉口端，第二导电件和第二电极件连接，并被第二支撑件保持；在石墨舟被第一支撑件和第二支撑件支撑时，第一导电件和第二导电件分别和石墨舟可导电地接触。在本实用新型中，由于将第一电极部和第二电极部设置在反应炉的炉口端，因此，能够大大简化电极的结构，安装方便，且便于维护。

Description

管式PECVD设备的电极结构

技术领域

本实用新型涉及光伏电池生产设备技术领域，尤其涉及管式PECVD设备的电极结构。

背景技术

在光伏电池的制造当中，在硅片表面镀减反射膜是光伏电池的制造中非常重要的一道工序，PECVD(等离子增强化学气相沉积)是在真空条件下，利用施加在电极板上的射频电场，使反应炉气体发生辉光放电，在辉光放电区域产生大量的电子。这些电子在电场以及高温的条件下，与气体分子发生碰撞，吸附在硅片上，并发生化学反应生成介质膜。具体地，通过石墨舟的导电块使射频电源的正负电极导通，从而在石墨舟上的相邻的两个硅片之间形成电场，由此实现放电。

在经过长时间的高温环境以及镀膜环境后，电极上会附着多层的工艺膜，这会造成电极和石墨舟的接触不良甚至短路等问题，影响工艺效果。因此，需要定期对电极进行维护，然而，已知的管式PECVD设备的电极都是从炉体尾部伸进来的，结构复杂，难以维护。

实用新型内容

本实用新型旨在至少一定程度上解决现有技术的问题之一。为此，本实用新型提出了一种管式PECVD设备的电极结构，结构简单，安装方便，且便于维护。

根据本实用新型一方面实施例的管式PECVD设备的电极结构，包括：反应炉，所述反应炉的径向的一侧，设置有第一支撑件，所述反应炉的径向的另一侧，设置有第二支撑件，所述第一支撑件和所述第二支撑件分别用于支撑石墨舟；第一电极部，具有第一电极件和第一导电件，所述第一电极件设置在所述反应炉的炉口端，并沿所述反应炉的轴向延伸，所述第一导电件和所述第一电极件连接，并被所述第一支撑件保持；第二电极部，具有第二电极件和第二导电件，所述第二电极件设置在所述炉口端，并沿所述反应炉的轴向延伸，所述第二导电件和所述第二电极件连接，并被所述第二支撑件保持；在所述石墨舟被所述第一支撑件和所述第二支撑件支撑时，所述第一导电件和所述第二导电件分别和所述石墨舟可导电地接触。

本实用新型的管式PECVD设备的电极结构，至少具有如下有益效果：由于将第一电极部和第二电极部设置在反应炉的炉口端，因此，能够大大简化电极的结构，安装方便，且便于维护。

在一些实施例中，还包括法兰件，所述法兰件设置在所述反应炉的炉口端，所述第一电极件和所述第二电极件分别经由所述法兰件，从所述炉口端进入所述反应炉内。

在一些实施例中，所述第一电极件和所述第二电极件的一端，分别设置在所述法兰件上。

在一些实施例中，还包括第一保持件，所述第一保持件安装到所述第一支撑件，所述第一电极件的另一端和所述第一导电件分别设置到所述第一保持件。

在一些实施例中，所述第一保持件为导电件。

在一些实施例中，所述第一电极件为弹性件，并相对所述第一保持件可活动。

在一些实施例中，还包括第二保持件，所述第二保持件安装到所述第二支撑件，所述第二电极件的另一端和所述第二导电件分别设置到所述第二保持件。

在一些实施例中，所述第一电极件和所述第二电极件分别套嵌有第一绝缘套筒。

在一些实施例中，所述第一电极件和所述第二电极件的所述第一绝缘套筒上，分别套嵌有第二绝缘套筒。

在一些实施例中，所述第一导电件和所述第二导电件的材料为石墨材料。

附图说明

图1是本实用新型的管式PECVD设备的电极结构的侧视图。

图2是图1的管式PECVD设备的电极结构的俯视图。

图3是图1的电极结构的俯视方向的立体图。

图4是管式PECVD设备的电极结构的要部示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个或者多个，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

图1是管式PECVD设备的电极结构的侧视图，图2是图1的电极结构的俯视图，图3是图1的电极结构的俯视方向的立体图，图4是电极结构的要部示意图，参照图1至图4，根据本实用新型一方面实施例的管式PECVD设备的电极结构，包括：反应炉101、第一电极部102和第二电极部103。其中，反应炉101的径向的一侧设置有第一支撑件104，反应炉101的径向的另一侧设置有第二支撑件105，第一支撑件104和第二支撑件105分别用于支撑石墨舟106。第一电极部102具有第一电极件107和第一导电件108，第一电极件107设置在反应炉101的炉口端109(附图中的前方向)，并沿反应炉101的轴向延伸，第一导电件108和第一电极件107连接，并被第一支撑件104保持。第二电极部103具有第二电极件110和第二导电件111，第二电极件110设置在炉口端109，并沿反应炉101的轴向延伸，第二导电件111和第二电极件110连接，并被第二支撑件105保持。在石墨舟106被第一支撑件104和第二支撑件105支撑时，第一导电件108和第二导电件111分别和石墨舟106可导电地接触。

在本实施例中，由于将第一电极部102和第二电极部103设置在反应炉101的炉口端109，因此，能够大大简化电极的结构，安装方便，且便于维护。具体地，通过将第一电极部102和第二电极部103设置在反应炉101的炉口端109，能够大大缩减第一电极部102和第二电极部103的长度，简化结构，此外，可以方便人工从炉口端109检查电极处的工艺膜情况以及是否存在硅片的碎片等，同时方便人工清理硅片的碎片，因此便于维护。

具体地，第一支撑件104和第二支撑件105例如分别相对于反应炉101的中部，位于反应炉101的左右两侧、并在上下方向偏下的位置。此外，第一支撑件104和第二支撑件105可以分别使用本领域所公知的用于支撑石墨舟106的绝缘支撑杆。

具体地，反应炉101可以是例如石英管的炉体。反应炉101的炉口端109是指具有可打开的炉门(未图示)，容许石墨舟106进入反应炉101内或者从反应炉101内出来的一端。

具体地，为了实现第一导电件108以及第二导电件111分别和石墨舟106的可导电的接触，可以在石墨舟106的分别被第一支撑件104以及第二支撑件105支撑的两个舟脚112处，设置导电部件例如可以导电的石墨块113，在石墨舟106被第一支撑件104和第二支撑件105支撑时，第一导电件108以及第二导电件111分别和设置在石墨舟106上的石墨块113导通。

需要说明的是，第一导电件108以及第二导电件111只要能够和石墨舟106上的石墨块113导通，其具体的位置和分布方式并不特别限定，例如，为了便于维护第一电极部102和第二电极部103，石墨块113可以设置在石墨舟106的前端部，在石墨舟106被第一支撑件104以及第二支撑件105支撑的情况下，第一导电件108以及第二导电件111和石墨舟106的前端部的石墨块113导通。此外，石墨舟106的石墨块113也可以分别设置在其后端部，或者其中一个设置在其前端部，另外一个设置在后端部，与此对应，第一导电件108以及第二导电件111也分别根据石墨块113的具体位置和分布方式而设置。此外，为了进一步提高第一导电件108以及第二导电件111的导电性能，第一导电件108和第二导电件111的材料也可以分别选择例如石墨材料。

在一些实施例中，为了容易地安装第一电极件107和第二电极件110，还可以包括法兰件114，法兰件114设置在反应炉101的炉口端109，第一电极件107和第二电极件110分别经由法兰件114，从炉口端109进入反应炉101内。具体地，可以在法兰件114的径向的两侧例如左右方向的两侧并在上下方向偏下的位置，沿法兰件114的径向开设有贯通孔115，以第一电极件107为例，第一电极件107从法兰件114的贯通孔115进入到反应炉101内之后，在靠近第一支撑件104的位置，沿反应炉101的轴向延伸。由此，能够容易地使第一电极件107从炉口端109进入反应炉101内。此外，第二电极件110的安装方式可以参考第一电极件107，在此不详细展开说明。

在一些实施例中，为了使第一电极件107和第二电极件110容易地沿反应炉101的轴向延伸，第一电极件107和第二电极件110的一端，分别设置在法兰件114上。具体地，以第一电极件107为例，例如，第一电极部102还包括用于安装第一电极件107的第一基座116，第一基座116安装到设置在法兰件114上的贯通孔115(参照图4)并部分伸到反应炉101体内，第一电极件107呈长条状，其长度方向的一端安装到第一基座116上。由此，容易地实现第一电极件107沿反应炉101的轴向延伸。此外，第二电极部103也可以包括第二基座117，第二基座117安装到设置在法兰件114上的另一个贯通孔115并部分伸进反应炉101体内，第二电极件110呈长条状，其长度方向的一端安装到第二基座117上，由此，容易地实现第二电极件110沿反应炉101的轴向延伸。

继续参照图4，在一些实施例中，为了容易地安装第一电极件107的另一端和第一导电件108，还包括第一保持件118，第一保持件118安装到第一支撑件104，第一电极件107的另一端和第一导电件108分别设置到第一保持件118。具体地，第一保持件118包括可夹持到第一支撑件104的环状夹持部119，设置在环状夹持部119的轴向的一端的第一安装部120，以及设置在环状夹持部119的轴向的另一端的第二安装部121。第一安装部120靠近炉口端109，用于安装第一电极件107的另一端，第二安装部121用于安装第一导电件108。通过设置能够夹持在第一支撑件104上的第一保持件118，能够容易地在反应炉101内安装第一电极件107的另一端和第一导电件108。

在一些实施例中，为了容易地实现第一电极件107和第一导电件108的导电，第一保持件118为导电件。具体地，第一保持件118例如可以是能够承受高温的不锈钢材料件，例如304号不锈钢、309号不锈钢等。通过将第一保持件118设置为导电件，能够实现不使第一电极件107和第一导电件108直接接触，防止石墨舟106和第一导电件108接触时，其产生的撞击等直接影响到第一电极件107。

在一些实施例中，为了进一步防止石墨舟106和第一导电件108接触时，其产生的撞击等直接影响到第一电极件107，第一电极件107为弹性件，并相对第一保持件118可活动。具体地，第一电极件107例如为具有弹性的不锈钢杆状件或者片状件，第一安装部120上设置有安装孔，第一电极件107的一端插进安装孔内进行安装。由此，能够容易地实现第一电极件107相对于第一保持件118可稍微活动。

此外，在一些实施例中，为了容易地安装第二电极件110的另一端和第二导电件111，还包括第二保持件122，第二保持件122安装到第二支撑件105，第二电极件110的另一端和第二导电件111分别设置到第二保持件122。第一保持件118的结构可以参考第二保持件122设置，在此不详细展开说明。

继续参照图4，在一些实施例中，为了防止第一电极件107以及第二电极件110和炉口端109的其他金属元器件之间产生导电，并且防止在石墨舟106从炉口端109进入反应炉101内时和第一电极件107以及第二电极件110导电，第一电极件107和第二电极件110分别套嵌有第一绝缘套筒123。具体地，第一绝缘套筒123可以选择例如陶瓷材料。此外，第一绝缘套筒123可以包括多个，分别沿第一电极件107和第二电极件110的轴向间隔分布。通过设置多个第一绝缘套筒123，可以缩短每个第一绝缘套筒123的长度，降低第一绝缘套筒123破碎的风险。

在一些实施例中，为了进一步防止第一电极件107以及第二电极件110和其他金属元器件或者石墨舟106导通，第一电极件107和第二电极件110的第一绝缘套筒123上，分别套嵌有第二绝缘套筒124。具体地，第二绝缘套筒124同样可以选择例如陶瓷材料，第二绝缘套筒124包括多个，可以分别套在第一电极件107的轴向的两端的第一绝缘套筒123上，和分别套在第二电极件110的轴向的两端的第一绝缘套筒123上。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims

1.管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，包括：

反应炉，所述反应炉的径向的一侧，设置有第一支撑件，所述反应炉的径向的另一侧，设置有第二支撑件，所述第一支撑件和所述第二支撑件分别用于支撑石墨舟；

第一电极部，具有第一电极件和第一导电件，所述第一电极件设置在所述反应炉的炉口端，并沿所述反应炉的轴向延伸，所述第一导电件和所述第一电极件连接，并被所述第一支撑件保持；

第二电极部，具有第二电极件和第二导电件，所述第二电极件设置在所述炉口端，并沿所述反应炉的轴向延伸，所述第二导电件和所述第二电极件连接，并被所述第二支撑件保持；

在所述石墨舟被所述第一支撑件和所述第二支撑件支撑时，所述第一导电件和所述第二导电件分别和所述石墨舟可导电地接触。

2.根据权利要求1所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，还包括法兰件，所述法兰件设置在所述反应炉的炉口端，所述第一电极件和所述第二电极件分别经由所述法兰件，从所述炉口端进入所述反应炉内。

3.根据权利要求2所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，所述第一电极件和所述第二电极件的一端，分别设置在所述法兰件上。

4.根据权利要求3所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，还包括第一保持件，所述第一保持件安装到所述第一支撑件，所述第一电极件的另一端和所述第一导电件分别设置到所述第一保持件。

5.根据权利要求4所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，所述第一保持件为导电件。

6.根据权利要求5所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，所述第一电极件为弹性件，并相对所述第一保持件可活动。

7.根据权利要求2或3所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，还包括第二保持件，所述第二保持件安装到所述第二支撑件，所述第二电极件的另一端和所述第二导电件分别设置到所述第二保持件。

8.根据权利要求1所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，所述第一电极件和所述第二电极件分别套嵌有第一绝缘套筒。

9.根据权利要求8所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，所述第一电极件和所述第二电极件的所述第一绝缘套筒上，分别套嵌有第二绝缘套筒。

10.根据权利要求1所述的管式PECVD设备的电极结构，其特征在于，所述第一导电件和所述第二导电件的材料为石墨材料。