CN204356402U - 一种开口型pecvd电极 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种开口型PECVD电极，包括一体结构的U型头部和尾杆，头部前端设有卡槽，卡槽与石墨块大小相吻合并可包裹石墨块，本实用新型采用开口型卡槽式结构的电极来代替原来的圆柱状电极，使得电极与石墨舟的电连接从单个石墨块扩大到整排石墨块，扩大了两者的接触面积，提高了电连接的可靠性和电极承载能力，减少了硅片镀膜工序中的色差现象，提高了硅片制造的质量和合格率。

Description

一种开口型PECVD电极

技术领域

本实用新型涉及到一种电极，尤其涉及到一种接触面积大、导电可靠性好的开口型PECVD电极。

背景技术

目前太阳能电池片制造中PECVD管式镀膜工序，待处理硅片先插入石墨舟上，如图1和图2所示，石墨舟的端部设有石墨块，石墨块中间设有电极圆孔，用于与电极连接并导入高频电流，炉管尾部有两根电极叉，如图3所示，电极叉采用圆柱状，可插入中间的石墨块电极圆孔，镀膜时将插好待镀硅片的石墨舟送入炉管内，如图4所示，电极叉对准石墨舟一侧石墨块上的电极圆孔内并插入连接，通入氨气硅烷气体，接入高频电流，使气体在硅片表面发生反应形成氮化硅膜，由于目前使用的电极叉为较细的圆柱形电极叉，仅与石墨舟中心石墨块相接触，接触面积较少，生产过程中会发生电极叉与石墨舟接触不良的现象，导致色差产生，增加电池片制造过程中的不良率。

实用新型内容

本实用新型主要解决现有石墨舟圆柱状电极接触面小、导电可靠性差的技术问题；提供了一种接触面积大、导电可靠性好的开口型PECVD电极。

为了解决上述存在的技术问题，本实用新型主要是采用下述技术方案：

本实用新型的一种开口型PECVD电极，用于连接石墨舟端部的石墨块并传输高频电流，所述电极包括一体结构的U型头部和与头部相连的尾杆，所述头部前端设有卡槽，所述卡槽与所述石墨块大小相吻合并可包裹石墨块，采用开口型卡槽式结构的电极来代替原来的圆柱状电极，使得电极与石墨舟的电连接从单个石墨块扩大到整排石墨块，扩大了两者的接触面积，提高了电连接的可靠性和电极承载能力，减少了硅片镀膜工序中的色差现象，提高了硅片制造的质量和合格率，而尾杆截面可以是方形、圆形和正多边形，方便使用者的抓握。

作为优选，所述卡槽截面呈长方型，卡槽中轴线与尾杆垂直，卡槽长度与所述石墨舟端部的排状石墨块的总宽度相吻合，卡槽宽度与石墨块的高度相吻合，卡槽深度与石墨块的厚度相吻合，卡槽上下侧壁贴合石墨块上下表面，卡槽底面贴合石墨块外侧表面，卡槽可三面包裹并卡紧石墨舟端部的整排石墨块，扩大了电极与石墨块的接触面积，提高了两者连接的可靠性，降低硅片镀膜过程中的不良率。

作为优选，所述卡槽内壁面的顶端呈斜面状，较大开口的卡槽既方便电板的导入，也保证了电极插入卡槽中的紧固度，减少接触不良的产生。

作为优选，所述电极的材质为高纯石墨，电极与石墨舟端部的石墨块为同一材质，两者形变系数相同，且熔点高、导电性好，不会污染硅片。

本实用新型的有益效果是：采用开口型卡槽式结构的电极来代替原来的圆柱状电极，使得电极与石墨舟的电连接从单个石墨块扩大到整排石墨块，扩大了两者的接触面积，提高了电连接的可靠性和电极承载能力，减少了硅片镀膜工序中的色差现象，提高了硅片制造的质量和合格率，而高纯石墨制成的电极与石墨块的形变系数相同，且熔点高、导电性好，不会污染硅片。

附图说明

图1是石墨舟结构示意图。

图2是图1中的石墨舟端部石墨块示意图。

图3是现有电极结构示意图。

图4是现有电极的使用示意图。

图5是本实用新型的一种结构示意图。

图6是本实用新型电极的使用示意图。

图中1.石墨舟，11.石墨块，2.电极，21.头部，211.卡槽，22.尾杆。

具体实施方式

下面通过实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步具体的说明。

实施例：本实施例的一种开口型PECVD电极，用于连接石墨舟1端部的石墨块11并传输高频电流，如图5所示，电极2由高纯石墨制成，包括一体结构的U型头部21和与头部相连的尾杆22，头部前端设有卡槽211，卡槽截面呈长方型，卡槽中轴线与尾杆垂直，卡槽长度与石墨舟端部的排状石墨块的总宽度相吻合，卡槽宽度与石墨块的高度相吻合，卡槽深度与石墨块的厚度相吻合，卡槽内壁面的顶端呈斜面状，卡槽上下侧壁贴合石墨块上下表面，卡槽底面贴合石墨块外侧表面，卡槽可三面包裹并卡紧石墨舟端部的整排石墨块，电极的尾杆截面呈正六边形结构，方便操作者的抓握。

使用时，将多片待镀膜硅片插入石墨舟上的沟棒，然后将石墨舟送入炉管内，再将电极的卡槽插入石墨舟端部的石墨块上，如图6所示，电极卡槽完全包裹整排石墨块并保证两者接触良好，完成电极与石墨舟的电连接，最后，炉管内通入氨气硅烷气体，导入高频电流，使气体在硅片表面发生反应而形成氮化硅膜。

在本实用新型的描述中，技术术语“上”、“下”、“前”、“后”、“深”、“浅”、“内”、“外”等表示方向或位置关系是基于附图所示的方向或位置关系，仅是为了便于描述和理解本实用新型的技术方案，以上说明并非对本实用新型作了限制，本实用新型也不仅限于上述说明的举例，本技术领域的普通技术人员在本实用新型的实质范围内所做出的变化、改型、增添或替换，都应视为本实用新型的保护范围。

Claims (4)

1.一种开口型PECVD电极，用于连接石墨舟(1)端部的石墨块(11)并传输高频电流，其特征在于：所述电极(2)包括一体结构的U型头部(21)和与头部相连的尾杆(22)，所述头部前端设有卡槽(211)，所述卡槽与所述石墨块大小相吻合并可包裹石墨块。

2.根据权利要求1所述的一种开口型PECVD电极，其特征在于：所述卡槽(211)截面呈长方型，卡槽中轴线与尾杆垂直，卡槽长度与所述石墨舟端部的排状石墨块(11)的总宽度相吻合，卡槽宽度与石墨块的高度相吻合，卡槽深度与石墨块的厚度相吻合，卡槽上下侧壁贴合石墨块上下表面，卡槽底面贴合石墨块外侧表面，卡槽三面包裹并卡紧石墨舟端部的整排石墨块。

3.根据权利要求2所述的一种开口型PECVD电极，其特征在于：所述卡槽(211)内壁面的顶端呈斜面状。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种开口型PECVD电极，其特征在于：所述电极(2)的材质为高纯石墨。