CN209722297U - 一种管式pecvd电极导电装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种管式PECVD电极导电装置，包括炉管，炉管内具有电极装置和石墨舟，电极装置包括正极电极杆和负极电极杆，电极杆尾端连接有射频电源，炉管内固定有两根陶瓷管，每根陶瓷管的两端分别固定有导电铜圈，陶瓷管其中一侧端部的导电铜圈与正极电极杆线路连接，陶瓷管另一侧端部的导电铜圈与负极电极杆线路连接；同侧的两个导电铜圈之间连接具有导电铜杆；正极电极杆通过对应侧导电铜杆与导电铜圈线路连接；负极电极杆通过侧导电铜杆与导电铜圈线路连接。本实用新型结构设计合理，改变石墨舟与电极的接触部位和导电方式，使镀膜更为均匀，同时避免电极杆因长期使用发生形变而导致接触异常，并且无需关注石墨舟正反，便于产线上下舟。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片设计生产技术领域，尤其涉及一种管式PECVD电极导电装置。
背景技术
PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜成分原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。目前，在太阳能电池片生产制造中，管式PECVD通过电极杆一端连接射频电源，另一端电极杆插入石墨舟尾部预留的电极孔实现石墨舟导电完成射频放电激发炉体内气体成为等离子体沉积在石墨舟内硅片上(如图2所示)。
目前，这种导电方式为炉尾部位接触导电，容易出现炉口与炉尾部位的沉积不均匀情况；电极杆在长期使用中容易出现变形，导致电极杆与石墨舟电极孔出现接触不完全，造成放电异常；同时此种接触方式需要保证石墨舟电极孔一端固定朝向炉尾，产线在实际生产时比较容易弄反，影响正常生产操作。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本实用新型提供一种改变石墨舟与电极的接触部位和导电方式，使镀膜更为均匀，同时避免电极杆因长期使用发生形变而导致接触异常，并且无需关注石墨舟正反，便于产线上下舟的一种管式PECVD电极导电装置。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式PECVD电极导电装置，包括炉管，所述炉管内具有电极装置和设置在炉管内待进行镀膜的石墨舟，所述的电极装置包括正极电极杆和负极电极杆，所述的正极电极杆和负极电极杆尾端分别连接有为电极杆供电的射频电源，所述的炉管内还沿炉管长度方向固定有两根陶瓷管，每根陶瓷管的两端分别固定有导电铜圈，位于两根陶瓷管其中一侧端部的导电铜圈与正极电极杆线路连接，位于两根陶瓷管另一侧端部的导电铜圈与负极电极杆线路连接；同侧的两个导电铜圈之间连接具有导电铜杆；所述的正极电极杆通过对应侧导电铜杆与导电铜圈线路连接；所述负极电极杆通过对应侧导电铜杆与导电铜圈线路连接。
进一步的，连接正极电极杆的导电铜杆与连接负极电极杆的导电铜杆相互平行设置。
更进一步的，所述的导电铜杆和与之对应连接的正极电极杆或负极电极杆之间通过导电铜线连接，所述导电铜线成L型折线结构，L型折线结构一端与导电铜杆连接，另一端与对应的正极电极杆或负极电极杆连接。
在上述方案中，改变了原有的石墨舟与电极接触部位和导电方式，石墨舟头部和尾部分别与两端的导电铜圈和导电铜杆接触，头部与尾部均有放电，整体放电更加均匀、沉积更为均匀；同时石墨舟舟脚与导电铜圈和导电铜杆接触即可，完成导电无需考虑石墨舟的正反，且接触良好，不易发生放电异常。
本实用新型的有益效果是，本实用新型提供的一种管式PECVD电极导电装置，结构设计合理，改变石墨舟与电极的接触部位和导电方式，使镀膜更为均匀，同时避免电极杆因长期使用发生形变而导致接触异常，并且无需关注石墨舟正反，便于产线上下舟。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型最优实施例的结构示意图。
图2是现有的管式PECVD电极导电结构的示意图。
图中1、正极电极杆 2、负极电极杆 3、射频电源 4、陶瓷管 5、导电铜圈 6、导电铜杆 7、导电铜线。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1所示的一种管式PECVD电极导电装置，是本实用新型最优实施例，包括炉管，所述炉管内具有电极装置和设置在炉管内待进行镀膜的石墨舟。所述的电极装置包括正极电极杆1和负极电极杆2，所述的正极电极杆1和负极电极杆2尾端分别连接有为电极杆供电的射频电源3。
所述的炉管内还沿炉管长度方向固定有两根陶瓷管4，每根陶瓷管4的两端分别固定有导电铜圈5，位于两根陶瓷管4其中一侧端部的导电铜圈5与正极电极杆1线路连接，位于两根陶瓷管4另一侧端部的导电铜圈5与负极电极杆2线路连接。同侧的两个导电铜圈5之间连接具有导电铜杆6。陶瓷管4具有良好的绝缘效果，并为导电铜圈5提供了良好的支撑，分设在同根陶瓷管4两端的导电铜圈5之间不会发生干扰，有效减少了放电异常。
所述的正极电极杆1通过对应侧导电铜杆6与导电铜圈5线路连接；所述负极电极杆2通过对应侧导电铜杆6与导电铜圈5线路连接。连接正极电极杆1的导电铜杆6与连接负极电极杆2的导电铜杆6相互平行设置。
为了便于导电铜杆6与电极杆之间的接线，所述的导电铜杆6和与之对应连接的正极电极杆1或负极电极杆2之间通过导电铜线7连接，所述导电铜线7成L型折线结构，L型折线结构一端与导电铜杆6连接，另一端与对应的正极电极杆1或负极电极杆2连接。导电铜线7具有一定的钢性，可根据需要弯折，当弯折成L型折线结构时，可L型折线结构的一条边可与导电铜杆6连接，另一条边折后与电极杆连接。而另一侧的导电铜线7则与前述的导电铜线7避开，避免发生缠绕，为石墨舟的放入提供空间，L型折线结构的设计可避免导电铜线7在连接时对石墨舟造成干扰。
传统的石墨舟在沉积时，需要对应石墨舟上的电极孔和电极装置上的电极杆，对位插接，插接过程容易发生接触不完全，造成放电异常，同时石墨舟电极孔需要对位，必须朝向电极杆位置，在产线生产中容易放反，影响生产。在本方案中，改变了原有的石墨舟与电极接触部位和导电方式，石墨舟头部和尾部分别与两端的导电铜圈5和导电铜杆6接触，头部与尾部均有放电，整体放电更加均匀、沉积更为均匀。在连接时，也只需将石墨舟舟脚与导电铜圈5和导电铜杆6接触即可，完成导电无需考虑石墨舟的正反，无需插接。无论石墨舟正放还是反放，只要石墨舟的两侧的舟脚与导电铜圈5、导电铜杆6接触即可，便于产线上下舟，接触良好，不易发生放电异常。
如此设计的一种管式PECVD电极导电装置，结构设计合理，改变石墨舟与电极的接触部位和导电方式，使镀膜更为均匀，同时避免电极杆因长期使用发生形变而导致接触异常，并且无需关注石墨舟正反，便于产线上下舟。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
Claims (3)
1.一种管式PECVD电极导电装置，包括炉管，所述炉管内具有电极装置和设置在炉管内待进行镀膜的石墨舟，其特征在于：所述的电极装置包括正极电极杆(1)和负极电极杆(2)，所述的正极电极杆(1)和负极电极杆(2)尾端分别连接有为电极杆供电的射频电源(3)，所述的炉管内还沿炉管长度方向固定有两根陶瓷管(4)，每根陶瓷管(4)的两端分别固定有导电铜圈(5)，位于两根陶瓷管(4)其中一侧端部的导电铜圈(5)与正极电极杆(1)线路连接，位于两根陶瓷管(4)另一侧端部的导电铜圈(5)与负极电极杆(2)线路连接；同侧的两个导电铜圈(5)之间连接具有导电铜杆(6)；所述的正极电极杆(1)通过对应侧导电铜杆(6)与导电铜圈(5)线路连接；所述负极电极杆(2)通过对应侧导电铜杆(6)与导电铜圈(5)线路连接。
2.如权利要求1所述的一种管式PECVD电极导电装置，其特征在于：连接正极电极杆(1)的导电铜杆(6)与连接负极电极杆(2)的导电铜杆(6)相互平行设置。
3.如权利要求2所述的一种管式PECVD电极导电装置，其特征在于：所述的导电铜杆(6)和与之对应连接的正极电极杆(1)或负极电极杆(2)之间通过导电铜线(7)连接，所述导电铜线(7)成L型折线结构，L型折线结构一端与导电铜杆(6)连接，另一端与对应的正极电极杆(1)或负极电极杆(2)连接。
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| CN111139460A (zh) * | 2019-12-27 | 2020-05-12 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 射频引入装置及半导体加工设备 |
| CN114016004A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-02-08 | 天合光能(宿迁)光电有限公司 | 一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构 |
| CN116988045A (zh) * | 2023-09-28 | 2023-11-03 | 江苏微导纳米科技股份有限公司 | 一种电场馈入结构及沉积设备 |
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