CN209232747U - 一种可以承载264片硅片的石墨舟 - Google Patents
一种可以承载264片硅片的石墨舟 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209232747U CN209232747U CN201822263770.1U CN201822263770U CN209232747U CN 209232747 U CN209232747 U CN 209232747U CN 201822263770 U CN201822263770 U CN 201822263770U CN 209232747 U CN209232747 U CN 209232747U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- graphite boat
- graphite
- piece
- boat piece
- silicon wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种可以承载264片硅片的石墨舟，属于太阳能电池片加工技术领域。该石墨舟包括石墨舟片、舟腿、上电极块和下电极块，所述的上电极块和下电极块上均设有石墨隔块，所述的石墨舟片上设有硅片放置位、定位孔和卡点；其中，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片通过陶瓷杆连接而成，所述石墨舟片的厚度为2.0‑2.4mm，且上面设有凹槽；所述的石墨舟片之间通过陶瓷管或者凹槽进行隔开。本实用新型通过合理降低石墨舟片的厚度，以及降低相邻石墨舟片之间的距离，可以承载264片硅片，从而可以保证在不更换设备的情况下，可以提高生产产能，以解决现有石墨舟产能较低的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域，具体是一种可以承载264片硅片的石墨舟。
背景技术
石墨舟是用于太阳能电池片进行PECVD镀膜时的一种承载工具，由多个石墨舟片以及其它配件串联组成的。其中，硅片是太阳能电池片的基体，将硅片放在石墨舟片的硅片放置位上，再通过石墨舟片的卡点进行卡住硅片，可以稳固硅片，便于PECVD镀膜加工。
然而，传统的石墨舟片是由21片石墨舟片组成的，加上每个石墨舟片的6个硅片放置位，最多只允许放置240片硅片，其产能已经无法满足当前市场的需求。故急需一种方案对原有的只能放置240片硅片的石墨舟进行扩容改造，从而达到在不更换设备的情况下能够提升产能的目的。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种可以承载264片硅片的石墨舟，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种可以承载264片硅片的石墨舟，包括石墨舟片、舟腿、上电极块和下电极块，所述的上电极块和下电极块上均设有石墨隔块，所述的石墨舟片上设有硅片放置位、定位孔和卡点；其中，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片通过陶瓷杆连接而成，所述石墨舟片的厚度为2.0-2.4mm，且上面设有凹槽；所述的石墨舟片之间通过陶瓷管或者凹槽进行隔开。
作为本实用新型进一步的方案，所述石墨舟片的厚度为2.0mm，所述的石墨舟片上设有六组硅片放置位。
作为本实用新型再进一步的方案，所述的硅片放置位倾斜设置在石墨舟片上，其相对于水平线的倾斜角度为2-10°。
作为本实用新型再进一步的方案，所述石墨舟片之间隔开的距离为9.5-10.5mm；所述的陶瓷杆两端设有螺纹，并与石墨螺母进行螺纹连接。
作为本实用新型再进一步的方案，所述的石墨舟片之间通过陶瓷管进行隔开；所述的陶瓷管套在陶瓷杆上，设置在相邻的石墨舟片之间，其长度为10.5mm；所述陶瓷管的半径大于定位孔的半径。
作为本实用新型再进一步的方案，所述的石墨舟片之间通过凹槽卡住在定位孔内进行隔开；所述凹槽一共有二十三组，且均匀地设置在石墨舟片上；所述凹槽的宽度等于石墨舟片的厚度，且相邻的凹槽之间的距离a为10.5mm。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
（1）本实用新型通过将石墨舟片的厚度控制在2.0-2.4mm，以及将相邻石墨舟片之间的距离控制在9.5-10.5mm，能实现承载264片硅片的目的，以及可以保证得到的装有二十三组石墨舟片的石墨舟和现有二十组石墨舟片所形成的石墨舟的整体尺寸相差不大，从而保证石墨舟制造成本相似以及不更换设备的情况下，可以提高生产效率以及至少10%的产能，且还能保证硅片的加工品质。
（2）本实用新型通过合理地降低石墨舟片之间的距离，可以保证硅片能够镀膜均匀的情况下，使石墨舟片之间被电离的等离子体的轻度得到提高，从而可以提高硅片的加工效率。
（3）本实用新型还通过在陶瓷杆上设置与石墨舟片厚度相同的凹槽，可以通过凹槽卡住在定位孔内将石墨舟片进行隔开，省去了频繁往陶瓷杆上套陶瓷管将石墨舟片隔开的重复作用，从而大大降低了拆装难度，以及可以减少工作量和提高生产效率。
附图说明
图1为一种可以承载264片硅片的石墨舟的结构示意图。
图2为石墨舟的俯视图。
图3为石墨舟A处的局部结构示意图。
图4为石墨舟片的结构示意图。
图5为陶瓷杆的结构示意图。
图6为陶瓷杆B处的局部放大图。
图中：1-石墨舟片、2-舟腿、3-上电极块、4-下电极块、5-石墨隔块、6-石墨螺母、7-陶瓷杆、8-陶瓷管、9-硅片放置位、10-定位孔、11-卡点、12-凹槽。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“固定”、“安装”、“相连接”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置，其具体的连接方式可以是焊接、铆接、螺栓固定等等。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。另外，实施例中的“上”、“下”、“左”、“右”、“底部”、“顶部”等方位词均是以附图为参考的方向。
实施例1
参照附图1-5，一种可以承载264片硅片的石墨舟，包括石墨舟片1、舟腿2、上电极块3和下电极块4，所述的石墨舟片1包括小耳外舟片、小耳内上舟片、直角内下舟片、圆角内上舟片和中间内下片，所述的舟腿2设置在石墨舟的底部，包括外舟腿和内舟腿，便于稳定安放整个石墨舟，所述的上电极块3和下电极块4上均设有石墨隔块5，所述石墨隔块5设置石墨舟片1的两端，包括上排小隔块、斜角隔块、缓冲隔块和普通隔块，可以起到隔开石墨舟片1的作用以及确保石墨舟片1之间的导电性。
具体的，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片1通过陶瓷杆7连接而成，陶瓷杆7的两端设有螺纹，通过与石墨螺母6进行螺纹连接实现锁紧固定，从而使石墨舟片1串联起来形成一体；所述石墨舟片1的厚度可以为2.0mm，且上面设有凹槽12；所述的石墨舟片1上还设有六组用于放置硅片的硅片放置位9、以及设有用于穿插陶瓷杆7的定位孔10和三组用于定位硅片的卡点11。
其中，硅片放置位9的左上角设有一组卡点11，硅片放置位9的右下角设有两组卡点11；所述的硅片放置位9倾斜设置在石墨舟片1上，其相对于水平线的倾斜角度可以为5°，配合三组卡点11，可以定位固定硅片，且便于硅片的拆装。通过六组硅片放置位9的设置，配合二十三组石墨舟片1的串联，可以满足该石墨舟放置264片硅片，从而大大提高了石墨舟的容量。
此外，所述的石墨舟片1之间通过陶瓷管8进行隔开；具体的，所述的陶瓷管8套在陶瓷杆7上，设置在相邻的石墨舟片1之间，其长度可以为10.5mm；所述陶瓷管8的半径大于定位孔10的半径，可以将相邻的石墨舟片1进行隔开，便于硅片镀膜均匀。其中，相邻的石墨舟片1之间的距离为10.5mm，配合2.0mm厚度的石墨舟片1，可以保证二十三组石墨舟片1所形成的石墨舟的整体尺寸和现有二十组石墨舟片1所形成的石墨舟的尺寸相差不大，从而保证成本相似的情况下，可以提高生产效率，且还能保证硅片的加工品质。
实施例2
参照附图5-6，为了便于拆装石墨舟上的石墨舟片1，该实施例是在实施例1的基础进行改进，通过凹槽12卡住在定位孔10内的方法替代设置陶瓷管8的方法将石墨舟片1进行隔开，具体的，所述的陶瓷杆7上均匀设有二十三组凹槽12，所述凹槽12的宽度等于石墨舟片1的厚度，且相邻的凹槽12之间的距离a可以设为10.5mm。
安装石墨舟片1时，将陶瓷杆7穿过二十三石墨舟片1上的定位孔10，然后将陶瓷杆7上二十三组凹槽12分别对准各个石墨舟片1上定位孔10，使定位孔10卡在凹槽12内，再接着将陶瓷杆7的两端通过石墨螺母6进行锁紧固定，即可实现石墨舟片1的限位，以及保证相邻的石墨舟片1之间隔开的距离为10.5mm，从而无需使用陶瓷管8进行隔开，避免了拆装过程中频繁往陶瓷杆7上套陶瓷管8的情况，明显降低了拆装难度，可以减少工作量，提高生产效率。
综上所述，本实用新型通过将石墨舟片1的厚度控制在2.0-2.4mm，以及将相邻石墨舟片1之间的距离控制在9.5-10.5mm，可以保证得到的装有二十三组石墨舟片1的石墨舟和现有二十组石墨舟片1所形成的石墨舟的整体尺寸相差不大，从而保证石墨舟制造成本相似以及不更换设备的情况下，可以提高生产效率和产能，且还能保证硅片的加工品质。另外，通过合理降低石墨舟片1之间的距离，可以保证硅片能够镀膜均匀的情况下，使石墨舟片1之间被电离的等离子体的轻度得到提高，从而可以提高硅片的加工效率。本实用新型还通过在陶瓷杆7上设置与石墨舟片1厚度相同的凹槽12，可以通过凹槽12卡住在定位孔10内将石墨舟片1进行隔开，省去了频繁往陶瓷杆7上套陶瓷管8将石墨舟片1隔开的重复作用，从而大大降低了拆装难度，以及可以减少工作量和提高生产效率。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (6)
1.一种可以承载264片硅片的石墨舟，包括石墨舟片（1）、舟腿（2）、上电极块（3）和下电极块（4），所述的上电极块（3）和下电极块（4）上均设有石墨隔块（5），所述的石墨舟片（1）上设有硅片放置位（9）、定位孔（10）和卡点（11），其特征在于，所述的石墨舟是由二十三组石墨舟片（1）通过陶瓷杆（7）连接而成，所述石墨舟片（1）的厚度为2.0-2.4mm，且上面设有凹槽（12）；所述的石墨舟片（1）之间通过陶瓷管（8）或者凹槽（12）进行隔开。
2.根据权利要求1所述的一种可以承载264片硅片的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片（1）的厚度为2.0mm，所述的石墨舟片（1）上设有六组硅片放置位（9）。
3.根据权利要求1或2所述的一种可以承载264片硅片的石墨舟，其特征在于，所述的硅片放置位（9）倾斜设置在石墨舟片（1）上，其相对于水平线的倾斜角度为2-10°。
4.根据权利要求1所述的一种可以承载264片硅片的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片（1）之间隔开的距离为9.5-10.5mm；所述的陶瓷杆（7）两端设有螺纹，并与石墨螺母（6）进行螺纹连接。
5.根据权利要求4所述的一种可以承载264片硅片的石墨舟，其特征在于，所述的石墨舟片（1）之间通过陶瓷管（8）进行隔开；所述的陶瓷管（8）套在陶瓷杆（7）上，设置在相邻的石墨舟片（1）之间，其长度为10.5mm；所述陶瓷管（8）的半径大于定位孔（10）的半径。
6.根据权利要求4所述的一种可以承载264片硅片的石墨舟，其特征在于，所述的石墨舟片（1）之间通过凹槽（12）卡住在定位孔（10）内进行隔开；所述凹槽（12）一共有二十三组，且均匀地设置在石墨舟片（1）上；所述凹槽（12）的宽度等于石墨舟片（1）的厚度，且相邻的凹槽（12）之间的距离a为10.5mm。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201822263770.1U CN209232747U (zh) | 2018-12-31 | 2018-12-31 | 一种可以承载264片硅片的石墨舟 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201822263770.1U CN209232747U (zh) | 2018-12-31 | 2018-12-31 | 一种可以承载264片硅片的石墨舟 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209232747U true CN209232747U (zh) | 2019-08-09 |
Family
ID=67509932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201822263770.1U Active CN209232747U (zh) | 2018-12-31 | 2018-12-31 | 一种可以承载264片硅片的石墨舟 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209232747U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111020532A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-17 | 昊诚光电（太仓）有限公司 | 一种用于太阳能电池镀膜的石墨舟 |
| CN111188029A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-05-22 | 上海弘枫实业有限公司 | 一种多框石墨舟 |
| CN114016004A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-02-08 | 天合光能(宿迁)光电有限公司 | 一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构 |
-
2018
- 2018-12-31 CN CN201822263770.1U patent/CN209232747U/zh active Active
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111020532A (zh) * | 2019-12-31 | 2020-04-17 | 昊诚光电（太仓）有限公司 | 一种用于太阳能电池镀膜的石墨舟 |
| CN111188029A (zh) * | 2020-03-11 | 2020-05-22 | 上海弘枫实业有限公司 | 一种多框石墨舟 |
| CN114016004A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-02-08 | 天合光能(宿迁)光电有限公司 | 一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构 |
| CN114016004B (zh) * | 2021-10-13 | 2023-08-04 | 天合光能(宿迁)光电有限公司 | 一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN209232747U (zh) | 一种可以承载264片硅片的石墨舟 | |
| Yi et al. | An ultrahigh rate and stable zinc anode by facet‐matching‐induced dendrite regulation | |
| CN105470579B (zh) | 一种用于锂电池材料除磁性异物的装置及方法 | |
| CN206778712U (zh) | 一种湿式电除尘器阳极装置 | |
| CN205944245U (zh) | 一种铅蓄电池板栅 | |
| CN105977494A (zh) | 适用于锂离子电池的铝箔及其制备方法 | |
| CN205249131U (zh) | 一种旋转式太阳能发电装置 | |
| CN204582919U (zh) | 用于低温等离子工业废气处理器上的等离子芯体 | |
| CN203562479U (zh) | 一种斜筋渐变结构的板栅 | |
| CN205828586U (zh) | 方便调节的调节式蓄电池极群整形工装 | |
| CN205824547U (zh) | 一种三脚架中心管锁紧结构 | |
| CN208115993U (zh) | 等离子电场发生器 | |
| CN106467976A (zh) | 一种制备电镀金刚石线锯的装置 | |
| CN208346279U (zh) | 电解锌装置 | |
| CN104052394B (zh) | 一种光伏组件电池片的连接方法 | |
| CN202185351U (zh) | 一种电除尘器阳极板 | |
| CN204980855U (zh) | 一种c型钳 | |
| CN204348798U (zh) | 汽车用锂离子电池壳体的正负极隔离结构 | |
| CN212882722U (zh) | 莫来石烧结后破碎装置 | |
| CN202925108U (zh) | 一种新型铝电解槽 | |
| CN208565171U (zh) | 一种可伸缩铝棒 | |
| CN207047335U (zh) | 电解锌阳极板 | |
| CN209082009U (zh) | 一种快速隔离铝电解槽不稳定区的阴极结构 | |
| CN202283490U (zh) | 一种电收尘器和阳极沉淀极板 | |
| WO2011079526A1 (zh) | 一种铝电解槽的阴极配置方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20200507 Address after: 201708 room 438, zone I, floor 4, building 1, 1288 Huateng Road, Huaxin Town, Qingpu District, Shanghai Patentee after: Shanghai Hongjun new energy materials Co., Ltd Address before: Huaxin Town, Qingpu District 201708 Shanghai City Huateng Road No. 1288 Building 1 B zone 5 room 558 Patentee before: SHANGHAI HONGJUN INDUSTRIAL Co.,Ltd. |