CN220526938U - 一种链式高温氧化退火设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及光伏和半导体领域，具体涉及一种链式高温氧化退火设备。本实用新型提供了一种链式高温氧化退火设备，包括：高温腔室，所述高温腔室防污染层和保温层；所述防污染层设置在所述保温层内侧。链式高温设备的高温腔室为石英内壁，杜绝了金属离子的污染；石英内壁的外部为保温层，有效的保证腔室内部温度稳定；腔室整体设计高度低、空间紧凑，散热慢、能耗低；红外灯管控温方式，根据工艺需求实现分段精准控温。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏和半导体领域，具体涉及一种链式高温氧化退火设备。
背景技术
太阳能光伏发电是目前发展最为迅速、并且前景最为看好的可再生能源产业之一。在光伏发电技术中硅片是核心元件，从硅片到电池片的生产过程需要经过多道工序才能完成。随着太阳能电池片降本提效的一些新技术的导入，目前在电池片的生产中增加了高温氧化退火吸杂工序，这个工艺的实现一般有两种方式：管式高温氧化退火吸杂和链式高温氧化退火吸杂。
目前各大电池生产企业用的都是管式高温设备来实现高温氧化退火吸杂的工艺，此工艺方式炉管内空间利用率低，能耗高，电阻丝传导的加热方式对硅片的损伤大，需要用到的自动化辅助上下料设备多，近年来随着设备不断发展，管式炉管径不断变大，长度不断加长。整个管式炉系统热质量不断增加，导致整个工艺流程中，降温所需的时间越来越长。链式高温氧化退火吸杂设备是链式传输的方式，可以与前后道的链式机台进行“无缝衔接”实现产线的平面化管理，兼容不同尺寸电池片的生产，红外加热管的控温方式有效降低了硅片的损伤和减少了能耗，而高温工艺腔室的制备室链式高温设备的重要部分。
因此，设计一种能够实现杜绝金属离子污染的链式高温氧化退火设备是必要的。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种链式高温氧化退火设备，以解决上述问题。
为了实现上述目的，本实用新型实施例提供了一种链式高温氧化退火设备，包括：高温腔室，所述高温腔室包括防污染层和保温层；
所述防污染层设置在所述保温层外侧。
进一步的，所述防污染层材质为高纯石英板。
进一步的，所述保温层包括两第一隔热层、两第二隔热层和高温炉体包覆层；
所述第一隔热层和所述第二隔热层依次交错设置；
所述防污染层与位于外侧的所述第一隔热层连接；
所述高温炉体包覆层与位于外侧的所述第二隔热层连接。
进一步的，所述第一隔热层材质为硅酸盐。
进一步的，所述第二隔热层材质为石英棉。
进一步的，所述高温炉体包覆层材质为304不锈钢。
进一步的，各所述第一隔热层、各所述第二隔热层和所述高温炉体包覆层由陶瓷钉贯穿连接。
进一步的，所述链式高温氧化退火设备还包括若干传动层，所述传动层设置在所述高温腔室上；
所述传动层沿所述高温腔室高度方向依次设置；
所述传动层包括若干陶瓷辊，所述陶瓷辊沿所述高温腔室长度方向依次设置。
进一步的，所述高温腔室顶部设置有若干支撑辊；
所述高温腔室底部设置有若干层高温隔热层。
进一步的，所述高温腔室内还设置两加热组件；
各所述传动层设置在两所述加热组件之间；
所述加热组件包括若干红外加热灯，各所述红外加热灯沿所述高温腔室长度方向依次设置。
相对于现有技术，本实用新型实施例具有以下有益效果：高温腔室为石英内壁，杜绝了金属离子的污染；石英内壁的外部为保温层，有效的保证腔室内部温度稳定；腔室整体设计高度低、空间紧凑，散热慢、能耗低；红外灯管控温方式，根据工艺需求实现分段精准控温。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1示出了本实用新型的链式高温氧化退火设备的立体图；
图2示出了本实用新型的高温腔室的纵截面剖视图；
图3示出了本实用新型的高温腔室的结构示意图。
图中：
1、高温腔室；11、支撑辊；12、高温隔热层；
2、防污染层；
3、保温层；31、第一隔热层；32、第二隔热层；33、高温炉体包覆层；
4、传动层；41、陶瓷辊；
5、加热组件；51、红外加热灯。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型做进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本实用新型的基本结构，因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
实施例，如图1至3所示，本实施例提供了一种链式高温氧化退火设备，包括：高温腔室1。高温腔室1内能够注入高温的工艺气体，工件放置到高温腔室1内后高温气体可以对工件进行高温氧化退火。但是，现有技术中高温腔室1的内壁通常采用金属制成，这样当高温的工艺气体与高温腔室1的内壁接触后，高温腔室1的内壁可能会分解出金属离子，从而对高温腔室1内的工件造成污染，因此本实施例中，高温腔室1内具有防污染层2和保温层3。所述防污染层2设置在所述保温层3外侧，即防污染层2在高温腔室1内壁的最外层，从而避免了金属直接暴露在外侧，进而避免金属离子污染。同时，配合高温层对高温腔室1内壁进行保温，以减小对金属高温氧化退火所需的能耗。本实施例中，作为优选，所述防污染层2由高纯石英板制成，也可采用陶瓷板、碳化硅等不产生金属离子杂质的耐高温材料制成，在满足高温腔室1内部的温度需求，保证高温腔室1的温度稳定的同时，采用非金属来杜绝金属离子的产生。
为了实现上述对高温腔室1进行保温的效果，所述保温层3包括两第一隔热层31、两第二隔热层32和高温炉体包覆层33。所述第一隔热层31和所述第二隔热层32依次交错设置。所述防污染层2与位于外侧的所述第一隔热层31连接。所述高温炉体包覆层33与位于外侧的所述第二隔热层32连接。本实施例中，第一隔热层31的材质为硅盐酸，即形成硅盐酸隔热层，硅盐酸适于在高温环境下使用。所述第二隔热层32的材质为石英棉，即形成石英棉隔热层，通过将石英棉制成可压缩的适用于高温环境下使用的石英棉隔热层。所述高温炉体包覆层33材质为304不锈钢。
为了连接各第一隔热层31、各所述第二隔热层32和所述高温炉体包覆层33，本实施例中，各所述第一隔热层31、各所述第二隔热层32和所述高温炉体包覆层33由陶瓷钉贯穿连接。
为了时工件放置到高温腔室1内后依次进行输送，所述链式高温氧化退火设备还包括若干传动层4，所述传动层4设置在所述高温腔室1上。所述传动层4沿所述高温腔室1高度方向依次设置，本实施例中，传动层4共分为三层。所述传动层4包括若干陶瓷辊41，所述陶瓷辊41沿所述高温腔室1长度方向依次设置。工件放置到对应传动层4的陶瓷辊41上后，通过驱动机构驱动对应的陶瓷辊41转动，即可实现各传动辊转动的同时驱动放置在其上方的工件沿高温腔室1输送。本实施例中，作为优选，哥传动辊之间可采用链条连接，以实现传动，这样通过驱动其中的一个或者多个传动辊转动时，即可驱动所有的传动辊整体同步转动。
高温腔室1的顶部具有顶部石英板，以封盖高温腔室1，同时高温腔室1的顶部还设置有若干支撑辊11，用以支撑顶部石英板。所述高温腔室1底部设置有若干层高温隔热层12，用以隔绝高温腔室1内腔与底板之间的热传导，放置烫坏底板。
此外，为了实现对高温腔室1内腔进行加热的效果，本实施例中，还设置有两加热组件5，各所述传动层4设置在两所述加热组件5之间，即两加热组件5分别设置在高温腔室1的顶部和底部，以使两加热组件5从两侧高温强势内腔进行加热。所述加热组件5包括若干红外加热灯51，各所述红外加热灯51沿所述高温腔室1长度方向依次设置。
值得一提的是，本实用新型专利申请涉及的链式高温氧化退火设备的其他部件等技术特征应被视为现有技术，这些技术特征的具体结构、工作原理以及可能涉及的控制方式、空间布置方式采用本领域的常规选择即可，不应被视为本实用新型专利的发明点所在，本实用新型专利不作进一步具体展开详述。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种链式高温氧化退火设备，其特征在于，包括：
高温腔室（1），所述高温腔室（1）包括防污染层（2）和保温层（3）；
所述防污染层（2）设置在所述保温层（3）外侧；
所述防污染层（2）材质为高纯石英板。
2.如权利要求1所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
所述保温层（3）包括两第一隔热层（31）、两第二隔热层（32）和高温炉体包覆层（33）；
所述第一隔热层（31）和所述第二隔热层（32）依次交错设置；
所述防污染层（2）与位于外侧的所述第一隔热层（31）连接；
所述高温炉体包覆层（33）与位于外侧的所述第二隔热层（32）连接。
3.如权利要求2所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
所述第一隔热层（31）材质为硅酸盐。
4.如权利要求2所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
所述第二隔热层（32）材质为石英棉。
5.如权利要求2所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
所述高温炉体包覆层（33）材质为304不锈钢。
6.如权利要求2所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
各所述第一隔热层（31）、各所述第二隔热层（32）和所述高温炉体包覆层（33）由陶瓷钉贯穿连接。
7.如权利要求1所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
所述链式高温氧化退火设备还包括若干传动层（4），所述传动层（4）设置在所述高温腔室（1）上；
所述传动层（4）沿所述高温腔室（1）高度方向依次设置；
所述传动层（4）包括若干陶瓷辊（41），所述陶瓷辊（41）沿所述高温腔室（1）长度方向依次设置。
8.如权利要求7所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
所述高温腔室（1）顶部设置有若干支撑辊（11）；
所述高温腔室（1）底部设置有若干层高温隔热层（12）。
9.如权利要求8所述的链式高温氧化退火设备，其特征在于，
所述高温腔室（1）内还设置两加热组件（5）；
各所述传动层（4）设置在两所述加热组件（5）之间；
所述加热组件（5）包括若干红外加热灯（51），各所述红外加热灯（51）沿所述高温腔室（1）长度方向依次设置。
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