CN103499209A - 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法 - Google Patents

一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN103499209A
CN103499209A CN201310404270.4A CN201310404270A CN103499209A CN 103499209 A CN103499209 A CN 103499209A CN 201310404270 A CN201310404270 A CN 201310404270A CN 103499209 A CN103499209 A CN 103499209A
Authority
CN
China
Prior art keywords
burner hearth
cavity
mesh belt
mullite
guipure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201310404270.4A
Other languages
English (en)
Inventor
孙良欣
岳树民
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GIGA SOLAR HOLDING Co Ltd
Original Assignee
GIGA SOLAR HOLDING Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by GIGA SOLAR HOLDING Co Ltd filed Critical GIGA SOLAR HOLDING Co Ltd
Priority to CN201310404270.4A priority Critical patent/CN103499209A/zh
Publication of CN103499209A publication Critical patent/CN103499209A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Photovoltaic Devices (AREA)

Abstract

一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法,属于机械技术领域。莫来石构成了腔体外部的双层保温层,两层保温层中间预留气流通过空间;上下两层的红外加热灯管横向穿透保温层;金属循环网带位于两层红外加热灯管中间,在腔体内部纵向穿过,通过石英网带支架对其进行支撑;金属网带可同时并排输送两排晶硅电池硅片;仅在外部保温层上打孔,外部常温气流进入管道可通达两层保温层之间;将双层保温层打穿孔,通过该孔,温度传感器深入到腔体内部,直接测量腔内温度;在网带输送的纵向方向上,分段腔体纵向两端的顶部设置排气通道。本发明具备低成本、低能耗、高产能、高性能、占地少、维护少等诸多优势。

Description

一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法
技术领域
本发明涉及一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法,属于机械技术领域。
背景技术
太阳能是人类取之不尽,用之不竭的可再生能源,它不产生任何环境污染,是完全清洁的能源。太阳光辐射能转化电能是近年来发展最快,最具活力的研究之一,人们研制和开发了不同类型的太阳能电池(亦称光伏电池。光伏电池其独特优势,超过风能、水能、地热能、核能等资源,有望成为未来电力供应主要支柱。
光伏电池简单的讲就是低电压高电流的发电器件。现已工业化大规模生产的晶体硅光伏电池,通常采用丝网印刷并烧结银导体作为正面电极。其串联电阻是影响光伏电池填充因子和短路电流,进而影响光电转换效率的重要因素之一。这种情况下,作为太阳电池正面接触部分的金属化,必须满足硅与银电极接触电阻最小。
链式烧结炉就是基于将晶硅电池片的正面电极、背面电极以及背面场一起通过快速烧结,完成其表面电接触的快速烧结工艺而研发的设备。其工艺的基本要求为温度精确控制(控制精度±1℃的快速烧结(温度上升速度>20℃/s,温度达到高温900℃。而工业化量产又要求研发制造及运行成本低,便于光伏电池大规模生产的烧结设备。
由国内外光伏电池设备制造公司批量生产的常规链式烧结炉,只能满足之前一般性的工艺要求,存在着下述诸多问题:气流均匀性差、调整结构不合理;受保温性能、加温温度上限、升温速率等关键指标的限定,实施高方阻工艺(浅扩散存在困难;红外加热灯管烧毁频繁;炉体内腔结构限制了炉体气氛的流向,而气氛的流向不均匀也会对晶硅硅片翘曲、温区温度漂移产生不利的影响。同时,随着行业技术进步,对设备整体产能、占地、能耗等提出了更高的要求。
综上所述,研发低成本、低能耗、高产能、高性能、占地少、维护少的晶硅光伏电池链式烧结炉设备成为了迫切需要。而作为链式烧结炉设备的核心,其炉膛结构的方案则是重中之重。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明提供一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法。
为了适应晶硅光伏电池生产对链式烧结设备要求的不断提高,本发明提供了一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构,炉膛保温性好、灯管被动冷却、气流平稳、温度均匀、网带平稳、产能加倍。
一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构,莫来石构成了腔体外部的双层保温层,两层保温层中间预留气流通过空间;上下两层的红外加热灯管横向穿透保温层;金属循环网带位于两层红外加热灯管中间,在腔体内部纵向穿过,通过石英网带支架对其进行支撑;金属网带可同时并排输送两排晶硅电池硅片;仅在外部保温层上打孔,外部常温气流进入管道可通达两层保温层之间;将双层保温层打穿孔,通过该孔,温度传感器深入到腔体内部,直接测量腔内温度;在网带输送的纵向方向上,分段腔体纵向两端的顶部设置排气通道。
为了提高炉膛的保温性能,炉膛采用双层莫来石保温、两层中间通过气体的方案,莫来石和气体都是热的不良导体。通过此方案,莫来石能够尽可能减少热辐射,而中间夹层的气体能够尽可能减少热传导。
外部常温气流通过管道从外部首先进入莫来石夹层,然后向设备横向两侧扩散,从灯管与炉膛内层的安装缝隙中进入内部高温炉膛。通过这一方案,相当于对红外加热灯管两端的非加热区采取了冷却措施,充分延长了灯管的使用寿命,同时达到了气流均匀、平稳进入炉膛内部的要求。
气流进入炉膛内部后,向设备纵向两侧扩散,携带工艺反应生成的其他气体一起通过两端的外部抽风通道排出。通过前述横向以及此处纵向气流控制方案,提高了气氛流向的均匀性,对减少硅片翘曲、降低温区温度漂移均产生有益的影响。
通过在网带底部设置石英网带支架,提高网带运行的平稳性,同时减少刮擦产生的尘埃。
通过在网带上设置双排轨道,两排硅片可同时通过炉膛。这就意味着占地面积、设备制造成本、设备总功率消耗增加不大的情况下,将单台设备产能提高了一倍。
一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结方法,含有以下步骤;
外部常温气流通过管道从外部首先进入莫来石夹层,然后向设备横向两侧扩散,从灯管与炉膛内层的安装缝隙中进入内部高温炉膛;携带工艺反应生成的其他气体一起通过两端的外部抽风通道排出;对红外加热灯管两端的非加热区采取冷却,延长灯管的使用寿命;
气流进入炉膛内部后,向设备纵向两侧扩散,携带工艺反应生成的其他气体一起通过两端的外部抽风通道排出;在网带底部设置石英网带支架,提高网带运行的平稳性,同时减少刮擦产生的尘埃;在网带上设置双排轨道,两排硅片同时通过炉膛。
本发明的具备低成本、低能耗、高产能、高性能、占地少、维护少等诸多优势,以此方案生产的链式烧结炉势必成为替代现有国产及进口设备的最优选择。
附图说明
当结合附图考虑时,通过参照下面的详细描述,能够更完整更好地理解本发明以及容易得知其中许多伴随的优点,但此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解,构成本发明的一部分,本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明,并不构成对本发明的不当限定,如图其中:
图1是本发明炉膛结构的横截面图。
图2是本发明炉膛结构的纵截面图。
图3是应用本发明炉膛结构的链式气氛炉整体设计方案图。
图中各个编号及各个部分材料构成:
炉膛内外层莫来石1;红外加热灯管2;带双排轨道的网带3;常温气流进入管道4;温度传感器5;石英网带支架6;纵向两端的排气通道7。
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
具体实施方式
显然,本领域技术人员基于本发明的宗旨所做的许多修改和变化属于本发明的保护范围。
实施例1:如图1、图2、图3所示,
一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构,
炉膛采用双层莫来石结构1,莫来石夹层之间存在气流流通的空间;
灯管2穿过炉膛横截面,炉膛内层与灯管之间留有缝隙,炉膛外层进行密封;
内层外部气流从管道4首先进入莫来石夹层,向炉膛横向两侧扩散,从灯管2与炉膛1内层的安装缝隙中进入炉膛内部,如图1箭头所示;
气流进入炉膛内部后,向炉膛纵向两侧扩散,带动工艺反应发生的废气一起通过两端的外部抽风通道排出,如图2箭头7以及图3排气管道7所示;
温度传感器5穿透炉膛内外两层,直接测量炉膛内部温度;
如图1所示,网带上设置双排轨道3,两排硅片可同时通过炉膛;
如图2所示,在炉膛内部,石英网带支架6安装在炉膛底部莫来石1上;
如图3所示,网带3在网带支架6上穿过整个炉膛,并从设备炉膛外部形成闭环。
如上所述,对本发明的实施例进行了详细地说明,但是只要实质上没有脱离本发明的发明点及效果可以有很多的变形,这对本领域的技术人员来说是显而易见的。因此,这样的变形例也全部包含在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构,其特征在于莫来石构成了腔体外部的双层保温层,两层保温层中间预留气流通过空间;上下两层的红外加热灯管横向穿透保温层;金属循环网带位于两层红外加热灯管中间,在腔体内部纵向穿过,通过石英网带支架对其进行支撑;金属网带可同时并排输送两排晶硅电池硅片;仅在外部保温层上打孔,外部常温气流进入管道可通达两层保温层之间;将双层保温层打穿孔,通过该孔,温度传感器深入到腔体内部,直接测量腔内温度;在网带输送的纵向方向上,分段腔体纵向两端的顶部设置排气通道。
2.根据权利要求1所述的一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构,其特征在于炉膛采用双层莫来石结构,莫来石夹层之间存在气流流通的空间;外部气流从管道首先进入莫来石夹层,向设备横向两侧扩散,从灯管在炉膛的安装缝隙中进入炉膛内部;气流进入炉膛内部,向设备纵向两侧扩散,通过两端的外部抽风通道排出;在炉膛内部,石英网带支架安装在炉膛底部莫来石上;网带上设置双排轨道,两排硅片同时通过炉膛;网带在网带支架上穿过整个炉膛,并从设备炉膛外部形成闭环。
3.一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结方法,其特征在于含有以下步骤;
外部常温气流通过管道从外部首先进入莫来石夹层,然后向设备横向两侧扩散,从灯管与炉膛内层的安装缝隙中进入内部高温炉膛;携带工艺反应生成的其他气体一起通过两端的外部抽风通道排出;对红外加热灯管两端的非加热区采取冷却,延长灯管的使用寿命;
气流进入炉膛内部后,向设备纵向两侧扩散,携带工艺反应生成的其他气体一起通过两端的外部抽风通道排出;在网带底部设置石英网带支架,提高网带运行的平稳性,同时减少刮擦产生的尘埃;在网带上设置双排轨道,两排硅片同时通过炉膛。
CN201310404270.4A 2013-09-06 2013-09-06 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法 Pending CN103499209A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310404270.4A CN103499209A (zh) 2013-09-06 2013-09-06 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310404270.4A CN103499209A (zh) 2013-09-06 2013-09-06 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103499209A true CN103499209A (zh) 2014-01-08

Family

ID=49864441

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310404270.4A Pending CN103499209A (zh) 2013-09-06 2013-09-06 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103499209A (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104801711A (zh) * 2015-04-29 2015-07-29 宁波依司特加热设备有限公司 一种用燃料加热的脱蜡方法及装置
CN106288772A (zh) * 2016-10-07 2017-01-04 苏州南北深科智能科技有限公司 一种用于光伏太阳能电池硅片的烧结炉
CN106643125A (zh) * 2015-10-30 2017-05-10 上海太阳能工程技术研究中心有限公司 导电银浆烧结炉
CN107442385A (zh) * 2017-09-21 2017-12-08 青岛五五智能科技有限公司 全自动钛极板喷涂烧结流水线及其作业方法
CN109237938A (zh) * 2018-11-02 2019-01-18 黄翔鸥 一种双层链杆式网带烧结炉
WO2022051012A1 (en) * 2020-09-01 2022-03-10 Illinois Tool Works Inc. Sintering apparatus

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3239651A (en) * 1963-08-21 1966-03-08 Ekco Products Company Heating unit
US4477718A (en) * 1983-01-10 1984-10-16 Radiant Technology Corporation Infrared furnace with controlled environment
US4517448A (en) * 1981-03-23 1985-05-14 Radiant Technology Corporation Infrared furnace with atmosphere control capability
JPS6296602A (ja) * 1985-10-23 1987-05-06 Kawasaki Steel Corp 原料金属粉の熱処理炉
EP0270548B1 (en) * 1985-08-15 1995-11-02 Tri Innovations AB Heat treating oven
WO2007067216A2 (en) * 2005-12-08 2007-06-14 Despatch Industries Limited Partnership Continuous infrared furnace
CN200949998Y (zh) * 2006-06-29 2007-09-19 苏州汇科机电设备有限公司 太阳能电池板烧成炉
JP2011075132A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Kazuhiro Utano 太陽電池用連続焼成炉
CN201837238U (zh) * 2010-10-12 2011-05-18 东莞市科隆威自动化设备有限公司 光伏太阳能硅板烧结炉
CN102393139A (zh) * 2011-11-16 2012-03-28 杨桂玲 一种辊道式太阳电池硅片烧结炉
CN202770198U (zh) * 2012-07-10 2013-03-06 中国电子科技集团公司第四十八研究所 分层控温的太阳能烧结炉体
CN202770183U (zh) * 2012-07-10 2013-03-06 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种链式退火炉
CN203489664U (zh) * 2013-09-06 2014-03-19 北京吉阳技术股份有限公司 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3239651A (en) * 1963-08-21 1966-03-08 Ekco Products Company Heating unit
US4517448A (en) * 1981-03-23 1985-05-14 Radiant Technology Corporation Infrared furnace with atmosphere control capability
US4477718A (en) * 1983-01-10 1984-10-16 Radiant Technology Corporation Infrared furnace with controlled environment
EP0270548B1 (en) * 1985-08-15 1995-11-02 Tri Innovations AB Heat treating oven
JPS6296602A (ja) * 1985-10-23 1987-05-06 Kawasaki Steel Corp 原料金属粉の熱処理炉
WO2007067216A2 (en) * 2005-12-08 2007-06-14 Despatch Industries Limited Partnership Continuous infrared furnace
CN200949998Y (zh) * 2006-06-29 2007-09-19 苏州汇科机电设备有限公司 太阳能电池板烧成炉
JP2011075132A (ja) * 2009-09-29 2011-04-14 Kazuhiro Utano 太陽電池用連続焼成炉
CN201837238U (zh) * 2010-10-12 2011-05-18 东莞市科隆威自动化设备有限公司 光伏太阳能硅板烧结炉
CN102393139A (zh) * 2011-11-16 2012-03-28 杨桂玲 一种辊道式太阳电池硅片烧结炉
CN202770198U (zh) * 2012-07-10 2013-03-06 中国电子科技集团公司第四十八研究所 分层控温的太阳能烧结炉体
CN202770183U (zh) * 2012-07-10 2013-03-06 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种链式退火炉
CN203489664U (zh) * 2013-09-06 2014-03-19 北京吉阳技术股份有限公司 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李争等: "太阳电池片烧结炉的设计及其关键性能探讨", 《太阳能》 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104801711A (zh) * 2015-04-29 2015-07-29 宁波依司特加热设备有限公司 一种用燃料加热的脱蜡方法及装置
CN106643125A (zh) * 2015-10-30 2017-05-10 上海太阳能工程技术研究中心有限公司 导电银浆烧结炉
CN106288772A (zh) * 2016-10-07 2017-01-04 苏州南北深科智能科技有限公司 一种用于光伏太阳能电池硅片的烧结炉
CN106288772B (zh) * 2016-10-07 2019-08-20 苏州南北深科智能科技有限公司 一种用于光伏太阳能电池硅片的烧结炉
CN107442385A (zh) * 2017-09-21 2017-12-08 青岛五五智能科技有限公司 全自动钛极板喷涂烧结流水线及其作业方法
CN109237938A (zh) * 2018-11-02 2019-01-18 黄翔鸥 一种双层链杆式网带烧结炉
CN109237938B (zh) * 2018-11-02 2024-02-09 黄翔鸥 一种双层链杆式网带烧结炉
WO2022051012A1 (en) * 2020-09-01 2022-03-10 Illinois Tool Works Inc. Sintering apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103499209A (zh) 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构及方法
CN102820383B (zh) 多晶硅太阳能电池扩散方法
CN104393107B (zh) 一种高方阻晶体硅电池低压扩散工艺
CN104505424B (zh) 一种减少太阳能电池光致衰减的装置及其方法
CN104404626B (zh) 物理冶金多晶硅太阳能电池的磷扩散方法
JP5244170B2 (ja) 太陽電池の熱処理装置
CN105140347A (zh) 快速改善p型晶硅电池光致衰减的量产装置及其使用方法
CN102332491A (zh) 一种太阳能硅片快速烧结的方法
CN105780127A (zh) 一种晶体硅太阳能电池的磷扩散方法
CN204668282U (zh) 一种高温低压扩散装置
CN105543976B (zh) 一种减压扩散炉炉口冷却密封装置
CN103579414A (zh) 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式气氛炉及烧结方法
CN213266791U (zh) 一种半导体制备扩散炉
CN203489664U (zh) 一种应用于晶硅光伏电池生产的链式烧结炉炉膛结构
CN206188931U (zh) 一种扩散炉
CN104752564A (zh) 一种提高多晶硅开路电压的新型扩散工艺
CN105552000B (zh) 一种减压扩散炉及载板承载装置
CN103743231A (zh) 辊道式太阳电池硅片干燥烧结一体炉
CN103021823B (zh) 一种非真空的步进通过式快速硒化装置及利用其实现的硒化方法
CN202989270U (zh) 一种非真空的步进通过式快速硒化装置
CN103436967B (zh) 一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法
CN212339925U (zh) 一种用于太阳能电池生产的固化钝化一体炉
CN209785887U (zh) 一种扩散均匀的扩散烧结炉
CN111146308B (zh) 一种用于降低perc双面电池效率衰减的光源再生炉及方法
CN113078240A (zh) N型TOPCon电池的烧结方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C05 Deemed withdrawal (patent law before 1993)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20140108