CN214223789U - 一种尾气无害化处理的环保型扩散炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，包括壳体、石英管和送料腔，所述送料腔内部一侧的下端安装有冷凝箱，且安装槽之间的壳体内部下端均竖向设置有活性炭板，所述冷凝箱顶端的壳体内部上端均匀开设有石英管，且限位环内部均横向滑动连接有延伸至石英管外部的送气管，且石英管一侧的壳体内部上端安装有储气罐，且进料口一侧的壳体内部上端均匀开设有送料腔，且气动伸缩杆的输出端均延伸至送料腔内部并安装有铝门板，所述铝门板的一侧均设置有石英门。本实用新型通过设置换热管和活性炭板，利用换热管和活性炭板消除尾气中的热量和有毒物质，避免尾气污染环境，实现无公害处理。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，具体为一种尾气无害化处理的环保型扩散炉。
背景技术
随着社会的发展，我国科技的快速发展，使得半导体制造业愈加成熟，其中扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，但是现有的环保型扩散炉还存在很多问题或缺陷：
第一，传统的环保型扩散炉，使用时没有缓冲结构，石英门与石英管接触时，易造成石英管的损坏；
第二，传统的环保型扩散炉，使用时没有调节出气口结构，送气管固定，导致出气口固定，反应效率较慢；
第三，传统的环保型扩散炉，使用时没有尾气处理结构，反应产生的尾气直接排放会造成污染。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，以解决上述背景技术中提出的不便缓冲、不便调节出气口和不能尾气处理的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，包括壳体、石英管和送料腔，所述送料腔内部一侧的下端安装有冷凝箱，且冷凝箱的内部铺设有换热管，所述冷凝箱一侧的壳体内部下端均匀安装有安装槽，且安装槽之间的壳体内部下端均竖向设置有活性炭板，所述冷凝箱顶端的壳体内部上端均匀开设有石英管，且石英管顶端和底端的壳体内部均匀安装有加热块，所述石英管内部的下端均铺设有排气管，且排气管的一端均通过导管与换热管一端连通，所述石英管内部的上端均匀安装有限位环，且限位环内部均横向滑动连接有延伸至石英管外部的送气管，所述送气管表面的石英管一侧均设置有调节结构，且石英管一侧的壳体内部上端安装有储气罐，所述储气罐顶端和底端均通过软管与送气管一端连通，所述石英管内部的另一侧均开设有进料口，且进料口一侧的壳体内部上端均匀开设有送料腔，所述送料腔一侧的壳体内部上端均安装有气动伸缩杆，且气动伸缩杆的输出端均延伸至送料腔内部并安装有铝门板，所述铝门板的一侧均设置有石英门，且石英门一侧的下端均横向安装有送料板，所述壳体底端靠近气动伸缩杆的一侧开设有出气口，且壳体靠近气动伸缩杆一侧的上端均匀安装有PLC控制器。
优选的，所述调节结构包括调节箱、调节杆、调节弹簧和调节板，所述调节箱均安装在送气管表面的石英管一侧上端，且调节箱的顶端和底端均竖向贯穿有调节杆，所述调节杆表面的一端均缠绕有调节弹簧，且调节杆的一端均安装有调节板。
优选的，所述换热管的形状为U型管结构，且换热管的顶端和底端均与冷凝箱内部顶端和底端焊接。
优选的，所述安装槽的一侧均横向贯穿有拉杆，且拉杆表面的一侧均缠绕有固定弹簧，所述拉杆的一端均安装有压块。
优选的，所述送料腔内部的顶端均横向开设有滑槽，且滑槽的内部均滑动连接有滑块，所述滑块的底端均与铝门板顶端焊接。
优选的，所述铝门板内部的一侧均匀开设有缓冲槽，且缓冲槽内部的一侧均安装有缓冲弹簧，所述缓冲弹簧一端均安装有延伸至铝门板外部的缓冲块，且缓冲块的一端均与石英门一侧焊接。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
（1）、通过在铝门板一侧设置缓冲块、缓冲槽和缓冲弹簧，通过启动气动伸缩杆带动铝门板往石英管方向移动，直至送料板完全进入石英管内部，并且石英门完全盖住进料口，且当移动过快导致冲力较大时，通过石英门带动缓冲块滑动压缩缓冲弹簧，利用缓冲弹簧的弹力，抵消这部分冲击力，避免石英管受损，增大经济损失，同时利用石英门和铝门板的双重密封，提高对进料口的密封性，避免热量散出，提高反应效率；
（2）、通过在送气管表面的石英管一侧设置调节结构，当不同物料需要不同气体输送量时，可拉动调节杆，使得调节板移动压缩调节弹簧，之后再抽动送气管，进而改变送气管伸入石英管内部的深度，实现送气位置的调节，便于根据不同的物料来调节送气位置，便于加快反应速率，降低生产时间，提高装置实用性；
（3）、通过在冷凝箱内部设置换热管，且安装槽之间设置活性炭板，反应产生的尾气通过排气管进入换热管内部，利用U型的换热管增大与冷凝箱内部的冷却液接触时间和面积，便于提高换热效率，使得尾气中的热量快速散出，避免热污染，之后降温的尾气输送至冷凝箱外，尾气中的有毒物质被活性炭板吸附，避免尾气污染环境，实现无公害处理，避免尾气影响工作人员身体健康，同时可拉动拉杆，使得压块移动，便于将活性炭板从安装槽内部滑出，进而进行更换，保证装置尾气吸附效果。
附图说明
图1为本实用新型正面剖视结构示意图；
图2为本实用新型侧面剖视结构示意图；
图3为本实用新型正视外观结构示意图；
图4为本实用新型图1中A处放大结构示意图
图5为本实用新型调节结构处放大结构示意图。
图中：1、壳体；2、滑块；3、缓冲块；4、滑槽；5、石英门；6、送料板；7、进料口；8、加热块；9、限位环；10、送气管；11、石英管；12、调节结构；1201、调节箱；1202、调节杆；1203、调节弹簧；1204、调节板；13、储气罐；14、排气管；15、换热管；16、冷凝箱；17、安装槽；18、出气口；19、气动伸缩杆；20、送料腔；21、铝门板；22、缓冲槽；23、缓冲弹簧；24、PLC控制器；25、活性炭板；26、拉杆；27、固定弹簧；28、压块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供一种技术方案：一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，包括壳体1、石英管11和送料腔20，送料腔20内部一侧的下端安装有冷凝箱16，且冷凝箱16的内部铺设有换热管15；
换热管15的形状为U型管结构，且换热管15的顶端和底端均与冷凝箱16内部顶端和底端焊接；
具体地，如图1和图2所示，使用该结构时，首先利用U型的换热管15增大与冷凝箱16内部的冷却液接触时间和面积，便于提高换热效率，使得尾气中的热量快速散出，避免热污染；
冷凝箱16一侧的壳体1内部下端均匀安装有安装槽17，且安装槽17之间的壳体1内部下端均竖向设置有活性炭板25；
安装槽17的一侧均横向贯穿有拉杆26，且拉杆26表面的一侧均缠绕有固定弹簧27，拉杆26的一端均安装有压块28；
具体地，如图1和图4所示，使用该结构时，首先通过拉动拉杆26，使得压块28移动压缩固定弹簧27，便于将活性炭板25从安装槽17内部滑出，进而进行更换，保证装置尾气吸附效果；
冷凝箱16顶端的壳体1内部上端均匀开设有石英管11，且石英管11顶端和底端的壳体1内部均匀安装有加热块8，该加热块8的型号可为TFSY-10，石英管11内部的下端均铺设有排气管14，且排气管14的一端均通过导管与换热管15一端连通，石英管11内部的上端均匀安装有限位环9，且限位环9内部均横向滑动连接有延伸至石英管11外部的送气管10，送气管10表面的石英管11一侧均设置有调节结构12；
调节结构12包括调节箱1201、调节杆1202、调节弹簧1203和调节板1204，调节箱1201均安装在送气管10表面的石英管11一侧上端，且调节箱1201的顶端和底端均竖向贯穿有调节杆1202，调节杆1202表面的一端均缠绕有调节弹簧1203，且调节杆1202的一端均安装有调节板1204；
具体地，如图1、图2和图5所示，使用该结构时，首先当不同物料需要不同气体输送量时，可拉动调节杆1202带动调节板1204移动，之后再抽动送气管10，进而改变送气管10伸入石英管11内部的深度，实现送气位置的调节，便于加快反应速率；
且石英管11一侧的壳体1内部上端安装有储气罐13，储气罐13顶端和底端均通过软管与送气管10一端连通，石英管11内部的另一侧均开设有进料口7，且进料口7一侧的壳体1内部上端均匀开设有送料腔20；
送料腔20内部的顶端均横向开设有滑槽4，且滑槽4的内部均滑动连接有滑块2，滑块2的底端均与铝门板21顶端焊接；
具体地，如图1所示，使用该结构时，首先利用滑块2在滑槽4内部的滑动，使得铝门板21的移动更加平稳，便于将物料送入石英管11内部；
送料腔20一侧的壳体1内部上端均安装有气动伸缩杆19，该气动伸缩杆19的型号可为YQL890，且气动伸缩杆19的输出端均延伸至送料腔20内部并安装有铝门板21；
铝门板21内部的一侧均匀开设有缓冲槽22，且缓冲槽22内部的一侧均安装有缓冲弹簧23，缓冲弹簧23一端均安装有延伸至铝门板21外部的缓冲块3，且缓冲块3的一端均与石英门5一侧焊接；
具体地，如图1所示，使用该结构时，首先当铝门板21移动过快导致冲力较大时，会带动石英门5往铝门板21方向移动，进而带动缓冲块3在缓冲槽22内部滑动压缩缓冲弹簧23，利用缓冲弹簧23的弹力，抵消这部分冲击力，避免石英管11受损，降低经济损失；
铝门板21的一侧均设置有石英门5，且石英门5一侧的下端均横向安装有送料板6，壳体1底端靠近气动伸缩杆19的一侧开设有出气口18，且壳体1靠近气动伸缩杆19一侧的上端均匀安装有PLC控制器24，该PLC控制器24的型号可为JY-PH160，PLC控制器24的输出端通过导线与加热块8和气动伸缩杆19的输入端电连接。
工作原理：使用本装置时，首先外接电源，之后将需求加工的物料置于送料板6上，之后启动气动伸缩杆19带动铝门板21往石英管11方向移动，利用滑块2在滑槽4内部的滑动，使得铝门板21的移动更加平稳，直至送料板6完全进入石英管11内部，并且石英门5完全盖住进料口7，且当移动过快导致冲力较大时，会带动石英门5往铝门板21方向移动，进而带动缓冲块3在缓冲槽22内部滑动压缩缓冲弹簧23，利用缓冲弹簧23的弹力，抵消这部分冲击力，避免石英管11受损，且利用石英门5和铝门板21的双重密封，提高对进料口7的密封性；
之后启动加热块8对石英管11内部开始加热，同时将储气罐13的内部气体通过导管输送至送气管10内部，再喷向石英管11内部，便于反应的进行，同时当不同物料需要不同气体输送量时，可拉动调节杆1202，使得调节板1204移动压缩调节弹簧1203，之后再抽动送气管10，进而改变送气管10伸入石英管11内部的深度，实现送气位置的调节，便于加快反应速率；
反应产生的尾气通过排气管14进入换热管15内部，利用U型的换热管15增大与冷凝箱16内部的冷却液接触时间和面积，便于提高换热效率，使得尾气中的热量快速散出，之后降温的尾气输送至冷凝箱16外，尾气中的有毒物质被活性炭板25吸附，避免尾气污染环境，同时可拉动拉杆26，使得压块28移动压缩固定弹簧27，便于将活性炭板25从安装槽17内部滑出，进而进行更换，保证装置尾气吸附效果。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，包括壳体（1）、石英管（11）和送料腔（20），其特征在于：所述送料腔（20）内部一侧的下端安装有冷凝箱（16），且冷凝箱（16）的内部铺设有换热管（15），所述冷凝箱（16）一侧的壳体（1）内部下端均匀安装有安装槽（17），且安装槽（17）之间的壳体（1）内部下端均竖向设置有活性炭板（25），所述冷凝箱（16）顶端的壳体（1）内部上端均匀开设有石英管（11），且石英管（11）顶端和底端的壳体（1）内部均匀安装有加热块（8），所述石英管（11）内部的下端均铺设有排气管（14），且排气管（14）的一端均通过导管与换热管（15）一端连通，所述石英管（11）内部的上端均匀安装有限位环（9），且限位环（9）内部均横向滑动连接有延伸至石英管（11）外部的送气管（10），所述送气管（10）表面的石英管（11）一侧均设置有调节结构（12），且石英管（11）一侧的壳体（1）内部上端安装有储气罐（13），所述储气罐（13）顶端和底端均通过软管与送气管（10）一端连通，所述石英管（11）内部的另一侧均开设有进料口（7），且进料口（7）一侧的壳体（1）内部上端均匀开设有送料腔（20），所述送料腔（20）一侧的壳体（1）内部上端均安装有气动伸缩杆（19），且气动伸缩杆（19）的输出端均延伸至送料腔（20）内部并安装有铝门板（21），所述铝门板（21）的一侧均设置有石英门（5），且石英门（5）一侧的下端均横向安装有送料板（6），所述壳体（1）底端靠近气动伸缩杆（19）的一侧开设有出气口（18），且壳体（1）靠近气动伸缩杆（19）一侧的上端均匀安装有PLC控制器（24）。
2.根据权利要求1所述的一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，其特征在于：所述调节结构（12）包括调节箱（1201）、调节杆（1202）、调节弹簧（1203）和调节板（1204），所述调节箱（1201）均安装在送气管（10）表面的石英管（11）一侧上端，且调节箱（1201）的顶端和底端均竖向贯穿有调节杆（1202），所述调节杆（1202）表面的一端均缠绕有调节弹簧（1203），且调节杆（1202）的一端均安装有调节板（1204）。
3.根据权利要求1所述的一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，其特征在于：所述换热管（15）的形状为U型管结构，且换热管（15）的顶端和底端均与冷凝箱（16）内部顶端和底端焊接。
4.根据权利要求1所述的一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，其特征在于：所述安装槽（17）的一侧均横向贯穿有拉杆（26），且拉杆（26）表面的一侧均缠绕有固定弹簧（27），所述拉杆（26）的一端均安装有压块（28）。
5.根据权利要求1所述的一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，其特征在于：所述送料腔（20）内部的顶端均横向开设有滑槽（4），且滑槽（4）的内部均滑动连接有滑块（2），所述滑块（2）的底端均与铝门板（21）顶端焊接。
6.根据权利要求1所述的一种尾气无害化处理的环保型扩散炉，其特征在于：所述铝门板（21）内部的一侧均匀开设有缓冲槽（22），且缓冲槽（22）内部的一侧均安装有缓冲弹簧（23），所述缓冲弹簧（23）一端均安装有延伸至铝门板（21）外部的缓冲块（3），且缓冲块（3）的一端均与石英门（5）一侧焊接。
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20210917 |
|
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