CN213327827U - 一种pecvd双电极连接结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种PECVD双电极连接结构，包括第一A舟电极、第二A舟电极、A舟电极连接块、B舟电极舟耳连接块、第一B舟电极、第二B舟电极、B舟、A舟、炉门，所述第一A舟电极从炉门引入一直延伸至A舟的末端并且与A舟末端的舟脚相连接，所述第二A舟电极从炉门引入延伸至A舟的前端并且与A舟前端的舟脚相连接；所述第一B舟电极从炉尾引入延伸至所述B舟的末端并且与B舟末端的下舟耳相连接，第二B舟电极从炉尾引入延伸至所述B舟的末端并且与B舟末端的上舟耳相连接。该种PECVD双电极连接结构通过双舟工艺的特殊双电极结构设计，巧妙的使单舟分为双舟，避免了单舟过长而导致的镀膜不均匀问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，尤其是一种PECVD双电极连接结构。
背景技术
管式PECVD设备是太阳能光伏行业镀膜阶段使用最普遍的技术设备，但是市场上大都是单舟管式PECVD设备，存在着大产能设备单舟镀膜不均匀的问题，并且随着光伏设备技术的发展，降低成本、提高效率的要求越来越高，所以需要提出一个管式PECVD双舟设备结构。
因此，本实用新型提供一种新的技术方案以解决现存的技术问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是公开一种PECVD双电极连接结构。
本实用新型的技术方案是：一种PECVD双电极连接结构，包括第一A舟电极、第二A舟电极、A舟电极连接块、B舟电极舟耳连接块、第一B舟电极、第二B舟电极、B舟、A舟、炉门，所述第一A舟电极从炉门引入一直延伸至A舟的末端并且与 A舟末端的舟脚相连接，所述第二A舟电极从炉门引入延伸至A舟的前端并且与A舟前端的舟脚相连接；所述第一B舟电极从炉尾引入延伸至所述B舟的末端并且与B舟末端的下舟耳相连接，第二B舟电极从炉尾引入延伸至所述B舟的末端并且与B舟末端的上舟耳相连接。
作为本技术方案的进一步技术优化，本实用新型一种PECVD双电极连接结构所述第一A舟电极的数量为两根。
作为本技术方案的进一步技术优化，本实用新型一种PECVD双电极连接结构所述两根第一A舟电极分别设置在第二A舟电极的左右两边。
作为本技术方案的进一步技术优化，本实用新型一种PECVD双电极连接结构所述A舟通过A舟电极连接块与所述第一A舟电极连接。
作为本技术方案的进一步技术优化，本实用新型一种PECVD双电极连接结构所述B舟通过B舟电极舟耳连接块连接到第一B舟电极以及第二B舟电极。
作为本技术方案的进一步技术优化，本实用新型一种PECVD双电极连接结构还包括推舟杆组件，所述B舟以及A舟套设在所述推舟杆组件上。
作为本技术方案的进一步技术优化，本实用新型一种PECVD双电极连接结构所述推舟杆组件包括两根推舟杆。
作为本技术方案的进一步技术优化，本实用新型一种PECVD双电极连接结构所述推舟杆组件还包括石墨舟垫套，所述B舟以及A舟分别通过所述石墨舟垫套套设在所述推舟杆组件中的两根推舟杆上。
本实用新型的有益效果：本实用新型提供一种PECVD双电极连接结构。本实用新型一种PECVD双电极连接结构通过双舟工艺的特殊双电极结构设计，巧妙的使单舟分为双舟，避免了单舟过长而导致的镀膜不均匀问题。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明：
图1是本实用新型实施例中一种PECVD双电极连接结构的结构示意图；
图2是本实用新型实施例中一种PECVD双电极连接结构的正视图；
图3是本实用新型实施例中一种PECVD双电极连接结构的俯视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-图3，本实用新型提供一种技术方案：一种PECVD双电极连接结构，包括第一A舟电极1、第二A舟电极2、A舟电极连接块3、B舟电极舟耳连接块4、第一B舟电极5、第二B舟电极6、B舟7、A舟8、炉门9，所述第一A舟电极1 从炉门9引入一直延伸至A舟8的末端并且与A舟8末端的舟脚相连接，所述第二 A舟电极2从炉门9引入延伸至A舟8的前端并且与A舟8前端的舟脚相连接；所述第一B舟电极5从炉尾引入延伸至所述B舟7的末端并且与B舟7末端的下舟耳相连接，第二B舟电极6从炉尾引入延伸至所述B舟7的末端并且与B舟7末端的上舟耳相连接。
所述第一A舟电极1的数量为两根。
所述两根第一A舟电极1分别设置在第二A舟电极2的左右两边。
所述A舟8通过A舟电极连接块3与所述第一A舟电极1连接。
所述B舟7通过B舟电极舟耳连接块4连接到第一B舟电极5以及第二B舟电极6。
还包括推舟杆组件，所述B舟7以及A舟8套设在所述推舟杆组件上。
所述推舟杆组件包括两根推舟杆。采用此技术方案，增强所述B舟7以及A 舟8在所述推舟杆上滑行的稳定性和平衡性。
所述推舟杆组件还包括石墨舟垫套，所述B舟7以及A舟8分别通过所述石墨舟垫套套设在所述推舟杆组件中的两根推舟杆上。采用此技术方案，所述石墨舟垫套便于所述B舟7以及A舟8在所述推舟杆上滑行，减少所述B舟7以及A舟8 与所述推舟杆之间的摩擦阻力以及磨损，省力便捷。
本实用新型一种PECVD双电极连接结构通过双舟工艺的特殊双电极结构设计，巧妙的使单舟分为双舟，避免了单舟过长而导致的镀膜不均匀问题。
以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (8)
1.一种PECVD双电极连接结构，其特征在于：包括第一A舟电极(1)、第二A舟电极(2)、A舟电极连接块(3)、B舟电极舟耳连接块(4)、第一B舟电极(5)、第二B舟电极(6)、B舟(7)、A舟(8)、炉门(9)，所述第一A舟电极(1)从炉门(9)引入一直延伸至A舟(8)的末端并且与A舟(8)末端的舟脚相连接，所述第二A舟电极(2)从炉门(9)引入延伸至A舟(8)的前端并且与A舟(8)前端的舟脚相连接；所述第一B舟电极(5)从炉尾引入延伸至所述B舟(7)的末端并且与B舟(7)末端的下舟耳相连接，第二B舟电极(6)从炉尾引入延伸至所述B舟(7)的末端并且与B舟(7)末端的上舟耳相连接。
2.根据权利要求1所述的PECVD双电极连接结构，其特征在于：所述第一A舟电极(1)的数量为两根。
3.根据权利要求2所述的PECVD双电极连接结构，其特征在于：所述两根第一A舟电极(1)分别设置在第二A舟电极(2)的左右两边。
4.根据权利要求1所述的PECVD双电极连接结构，其特征在于：所述A舟(8)通过A舟电极连接块(3)与所述第一A舟电极(1)连接。
5.根据权利要求1所述的PECVD双电极连接结构，其特征在于：所述B舟(7)通过B舟电极舟耳连接块(4)连接到第一B舟电极(5)以及第二B舟电极(6)。
6.根据权利要求1所述的PECVD双电极连接结构，其特征在于：还包括推舟杆组件，所述B舟(7)以及A舟(8)套设在所述推舟杆组件上。
7.根据权利要求6所述的PECVD双电极连接结构，其特征在于：所述推舟杆组件包括两根推舟杆。
8.根据权利要求6所述的PECVD双电极连接结构，其特征在于：所述推舟杆组件还包括石墨舟垫套，所述B舟(7)以及A舟(8)分别通过所述石墨舟垫套套设在所述推舟杆组件中的两根推舟杆上。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202021091405.8U CN213327827U (zh) | 2020-06-12 | 2020-06-12 | 一种pecvd双电极连接结构 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114016004A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-02-08 | 天合光能(宿迁)光电有限公司 | 一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构 |
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2020
- 2020-06-12 CN CN202021091405.8U patent/CN213327827U/zh active Active
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114016004A (zh) * | 2021-10-13 | 2022-02-08 | 天合光能(宿迁)光电有限公司 | 一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构 |
| CN114016004B (zh) * | 2021-10-13 | 2023-08-04 | 天合光能(宿迁)光电有限公司 | 一种避免炉内掉片的石墨舟前电极改造结构 |
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