CN209880571U

CN209880571U - 一种传送机构

Info

Publication number: CN209880571U
Application number: CN201921092662.0U
Authority: CN
Inventors: 刘明华; 邹学彬
Original assignee: Chengdu Shangming Industrial Co Ltd
Current assignee: Chengdu Shangming Industrial Co Ltd
Priority date: 2019-07-12
Filing date: 2019-07-12
Publication date: 2019-12-31
Anticipated expiration: 2029-07-12

Abstract

本实用新型公开了一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，包括驱动机构；第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；滑轨，设于所述第四固定板顶部；第二滑块，设于所述滑轨上并沿其滑动；连接件，设于所述第一滑块和第二划滑块之间；以及送料爪，设于所述第二滑块移动方向上的一端；其中，所述驱动机构与螺纹杆的一端连接。本实用新型提供了一种传送机构，由皮带、螺纹杆、第一滑块和第二滑块进行间接式传送，使得传动动作更加平稳，防止样品跌落损坏。

Description

一种传送机构

技术领域

本实用新型涉及半导体生产设备技术领域，尤其涉及一种半导体自动化设备中用于物料传递的传送机构。

背景技术

半导体自动化设备中，传送机构主要起着传递半导体半成品的等作用。原有传送机构由气缸以及送料爪等组成，半导体半成品置于送料爪上，并由气缸推动实现传递。然而，由于气缸与送料爪直接连接且整体悬空设置，在气缸启动或者停止的瞬间以及传送过程中，传动机构容易发生晃动，半导体半成品容易从传送机构上跌落，造成其损坏。

实用新型内容

本实用新型为克服现有技术存在的问题，提供一种传送机构，由皮带、螺纹杆、第一滑块和第二滑块进行间接式传送，使得传动动作更加平稳，防止样品跌落损坏。

本实用新型采用的技术方案是：

一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，包括

驱动机构，设于工作台上；

第二固定板和第三固定板，平行间隔设于工作台上；

螺纹杆，两端设于所述第二固定板和第三固定板上；

第一滑块，设于螺纹杆上并与之配合滑动；

第四固定板，与所述螺纹杆平行，垂直设于工作台上；

滑轨，设于所述第四固定板顶部；

第二滑块，设于所述滑轨上并沿其滑动；

连接件，设于所述第一滑块和第二划滑块之间；以及

送料爪，设于所述第二滑块移动方向上的一端；

其中，所述驱动机构与螺纹杆的一端连接。

进一步地，所述驱动机构包括

第一固定板，与所述第二固定板平行，垂直设于工作台上；

主动轮和从动轮，设于所述第一固定板的同侧；以及

伺服电机，设于与主动轮相对的第一固定板另一侧；

其中，所述主动轮和从动轮表面安装有皮带，所述伺服电机与主动轮连接，所述螺纹杆与从动轮连接。

进一步地，所述第二滑块呈U形，增加两者接触面，提高滑动稳定性。

进一步地，所述滑轨长度反向的两侧开设滑槽，所述第二滑块内侧朝向滑槽的两侧分别成型配合的凸起，且凸起伸入到滑槽内，提高滑动稳定性。

进一步地，所述滑轨的长度大于第一滑动块的移动行程并与第四固定板的长度一致。

进一步地，所述第四固定板顶面沿其长度方向开设凹槽，便于滑轨固定，同时起到限制滑动的作用。

本实用新型的有益效果是：

与现有技术中采用气缸与送料爪作为传送机构的方式相比，本实用新型中采用伺服电机作为动力源，由皮带、螺纹杆、第一滑块和第二滑块进行间接式传送，使得传动动作更加平稳。另一方面，螺纹杆、第一滑块和第二滑块的位置被限制，进一步传送动作只有唯一的方向，其他方向被限制，进一步提高了传送的可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或有现技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中，传动结构的结构示意图。

图2为本实用新型中，传动机构另一状态下的结构示意图。

图3为本实用新型中，另一角度下，传动结构的结构示意图。

图4为图3中A处局部放大结构示意图。

具体实施方式

在下文中，仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样，在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此，附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本实用新型的不同结构。为了简化本实用新型的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本实用新型。

下面结合附图对本实用新型/实用新型的实施例进行详细说明。

一种传送机构，属于半导体自动化设备中的组成之一，其整体安装在半导体自动化设备的工作台100上，用于半导体半成品的传送，如附图1~4所示。传送结构，包括第一固定板1、主动轮2、从动轮3、皮带4、伺服电机5、第二固定板6、第三固定板7、螺纹杆8、第一个滑动块9、第四固定板10、滑轨11、第二滑动块12、连接件13和送料抓14，由伺服电机5作为动力源，主动轮2、从动轮3、皮带4、螺纹杆8、第一个滑动块9、滑轨11和第二滑动块12进行间接式传动。

具体的，第一固定板1，长方形平板状，以可根据需要设计为其他形状。本实施方式中，第一固定板1与工作台100的工作面垂直，沿其高度方向设置三个贯通的沉头孔，并采用螺钉穿过沉头孔将第一固定板1固定在工作台100上。在第一固定板1长度方向的两端分别开设安装孔。

主动轮2和从动轮3，位于第一固定板1的同侧，其转轴分别穿过第一个固定板1两端的安装孔，并在主动轮2和从动轮3表面安装皮带4。

伺服电机5，具备正反转功能，安装在工作台100上，其动力输出端与主动轮2的转轴连接。

第二固定板6和第三固定板7，两者平行间隔设置并与第一固定板1平行，沿其高度方向设置两个贯通的沉头孔，并采用螺钉穿过沉头孔将第二固定板6和第三固定板7固定在工作台100上。第二固定板6位于从动轮3所在的第一固定板1的一边并与从动轮3相对设置在第一固定板1的另一侧。

螺纹杆8，设置在第二固定板6和第三固定板7之间，一端与第三固定板7侧壁活动连接，另一端穿过第二固定板6并与从动轮3的转轴连接。

第一滑动块9，安装在第二固定板6和第三固定板7之间螺纹杆8部分上，并与螺纹杆8表面螺纹配合，使得其能在螺纹杆8正转或者反转时，沿着螺纹杆8表面往复滑动。第一滑动块9上表面高于第三固定板7的顶面，其下表面不与工作台100接触。

第四固定板10，与螺纹杆8平行，位于第一固定板1上从动轮3所在一端外侧并与工作台100的工作面垂直，沿其高度方向设置三个贯通的沉头孔，并采用螺钉穿过沉头孔将第一固定板1固定在工作台100上。在第四固定板10的顶面沿其长度方向开设凹槽。

滑轨11，安装第四固定板10的凹槽内，其长度大于第一滑动块9的移动行程并与第四固定板10的长度一致。滑轨11的两端开设沉头孔并采用螺钉使其与第固定板10连接。在滑轨11长度反向的两侧开设V形的滑槽。

第二滑块12，呈U形，扣合式安装在滑轨11并可沿着滑轨11滑动。第二滑块12内侧朝向V形的滑槽的两侧分别成型配合的V形的凸起，且凸起伸入到滑槽内。

连接件13，两端设置沉头流孔，并分别采用螺钉与第一滑块9和第二滑块连接。

送料爪14，安装在第二滑块12上移动方向的的一端。

本实施方式中，传送机构的工作方式是：

半导体自动化设备中，传送机构的动作控制由设备的中控中心实施。初始状态时，送料爪14位于第二滑块12的一端。取样机构，将半成品置于送料爪14上后，伺服电机5启动工作，由主动轮2、从动轮3以及皮带4带动螺纹杆8转动。第一滑块9与螺纹杆8配合，并沿着螺纹杆8滑动。第二滑块12由于连接件13作用，在滑轨11上移动，并驱使送料爪14完成，实施送料操作。完成后，伺服电机5反转，送料爪14回到初始状态。采用上述传送结构，可以半成品传送平稳过度，防止其晃动跌落。

Claims

1.一种传送机构，整体安装在半导体自动化设备的工作台上，用于半导体半成品的传送，其特征在于：