CN209754878U - 双面研磨机研磨盘面清洁装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于研磨加工技术领域，具体指一种双面研磨机研磨盘面清洁装置：包括控制机构、电机驱动机构、滚珠丝杠组；滚珠丝杠组包括纵向滚珠丝杠和横向滚珠丝杠；纵向滚珠丝杠连接有旋转固定座，旋转固定座包括旋转固定杆，旋转固定杆与旋转驱动电机连接，机械臂的一端与旋转固定杆轴接固定，固定连杆与横向滚珠丝杠垂直连接；水压喷洒装置、深度探测装置、砂轮修整装置分别与横向滚珠丝杠垂直连接。采用本实用新型所述的一种双面研磨机研磨盘面清洁装置，可自动清洗双面研磨机研磨盘面研磨碎屑，工作效率高，操作方便。

Description

双面研磨机研磨盘面清洁装置

技术领域

本实用新型涉及一种清洁装置，具体指一种双面研磨机研磨盘面清洁装置，属于研磨加工技术领域。

背景技术

研磨加工是目前高精密加工的加工手段之一，如半导体硅片、蓝宝石等进行研磨加工。双面研磨机主要用于两面平行的晶体或其它机械零件进行双面研磨，特别是薄脆性材料的加工，适用于各种材质的机械密封环、陶瓷片、硅、锗、石英晶体、石墨、蓝宝石、光学水晶、玻璃、铌酸锂、硬质合金、不锈钢、粉灰冶金等金属材料的平面研磨和抛光。

双面研磨机通常使用具有沿圆周方向的沟槽结构的研磨盘面，经过长时间的加工过程，沟槽内容易产生研磨碎屑，使研磨盘面的沟槽发生堵塞。现有都是通过人工配合铲刀的方式，对沟槽内的碎屑进行铲除，效率低，且去除效果不理想，沟槽内残留的碎屑不仅容易对加工晶片或其他机械零件造成划伤，而且也会影响研磨盘的使用寿命，提高研磨加工成本。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述缺陷，本实用新型提出了一种可自动清洗双面研磨机研磨盘面研磨碎屑的，操作方便，清洗效果理想，且工作效率高的双面研磨机研磨盘面清洁装置。

本实用新型是采用以下的技术方案实现的：

一种双面研磨机研磨盘面清洁装置，包括控制机构、电机驱动机构、滚珠丝杠组、水压喷洒装置、深度探测装置、砂轮修整装置；

滚珠丝杠组连接于电机驱动机构，控制机构控制所述电机驱动机构、水压喷洒装置、深度探测装置、砂轮修整装置的动作；

滚珠丝杠组包括纵向滚珠丝杠和横向滚珠丝杠；

纵向滚珠丝杠连接有旋转固定座，旋转固定座包括旋转固定杆，旋转固定杆与旋转驱动电机连接，机械臂的一端与旋转固定杆轴接固定，使机械臂与纵向滚珠丝杠相互垂直，机械臂上设有通孔，固定连杆穿过通孔与机械臂连接；固定连杆与横向滚珠丝杠垂直连接；

水压喷洒装置、深度探测装置、砂轮修整装置分别与横向滚珠丝杠垂直连接，水压喷洒装置设置有水压喷头，深度探测装置的深度探测信号传输至控制机构控制砂轮修整装置的动作。

进一步地，所述砂轮修整装置包括砂轮固定架和砂轮修整刀，砂轮修整刀与砂轮固定架底部的固定轴连接，砂轮固定架与横向滚珠丝杠垂直连接，砂轮修整刀的表面与纵向滚珠丝杠平行。

进一步地，所述砂轮修整装置上还包括高压喷气装置，砂轮固定架设置有中空的贯穿通道，高压喷气装置喷出的高压气体穿过贯穿通道。

进一步地，所述水压喷头为可伸缩水压喷头，可伸缩水压喷头包括伸缩杆和伸缩水压喷头。

进一步地，所述水压喷洒装置设置有可向上翻转的翻转装置，连接水压喷头，翻转装置与控制机构连接。

本实用新型的有益效果是：采用本实用新型所述的一种双面研磨机研磨盘面清洁装置，可自动清洗双面研磨机研磨盘面研磨碎屑，工作效率高，操作方便；设置高压喷气装置，可将被研磨液黏附的碎屑吹起，并利用砂轮修整刀清出沟槽，提高砂轮修整装置的清除效果；水压喷洒装置设置有可伸缩水压喷头，清洗时可向下伸缩，提高清洗效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型应用于双面研磨机的结构示意图。

图3是本实用新型的砂轮修整装置的结构示意图。

图4是本实用新型的水压喷头的结构示意图I。

图5是本实用新型的水压喷头的结构示意图II。

图中：

1、电机驱动机构；3、水压喷洒装置；4、深度探测装置；5、砂轮修整装置；6、旋转固定座；7、机械臂；8、研磨盘面；21、纵向滚珠丝杠；22、横向滚珠丝杠；41、水压喷头；51、砂轮固定架；52、砂轮修整刀。

具体实施方式

为了使本实用新型目的、技术方案更加清楚明白，下面结合附图，对本实用新型作进一步详细说明。

一种双面研磨机研磨盘面清洁装置，包括控制机构、电机驱动机构1、滚珠丝杠组、水压喷洒装置3、深度探测装置4、砂轮修整装置5；

滚珠丝杠组连接于电机驱动机构1，控制机构控制所述电机驱动机构1、水压喷洒装置3、深度探测装置4、砂轮修整装置5的动作；

滚珠丝杠组包括纵向滚珠丝杠21和横向滚珠丝杠22；

纵向滚珠丝杠21一端连接有电机，纵向滚珠丝杠21上安装有旋转固定座6，旋转固定座6包括旋转固定杆，旋转固定杆与旋转驱动电机连接，机械臂7的一端与旋转固定杆轴接固定，使机械臂7与纵向滚珠丝杠21相互垂直，可随旋转固定座6在纵向滚珠丝杠21上下升降；

机械臂7上设有通孔，固定连杆穿过通孔与机械臂7连接，可利用螺栓将固定连杆与机械臂7紧固；固定连杆与横向滚珠丝杠22垂直连接，从而使横向滚珠丝杠22与机械臂7连接，实现同步升降；

横向滚珠丝杠22一端连接有电机，水压喷洒装置3、深度探测装置4、砂轮修整装置5分别与横向滚珠丝杠22垂直连接，可在横向滚珠丝杠22上同步左右移动，水压喷洒装置3设置有水压喷头41，深度探测装置4的深度探测信号传输至控制机构控制砂轮修整装置5的动作。

与滚珠丝杠组连接的各个装置，可在控制机构控制作用下实现位置的准确移动，也可将不同的位置关系存储至控制机构，从而实现对同一研磨盘面一键式操作进行清洗。

水压喷洒装置3为现有技术中高压喷淋装置，连接有水箱，砂轮修整装置5对沟槽内碎屑清除后，通过控制机构控制横向滚珠丝杠22，调节水压喷洒装置3的位置，对双面研磨机研磨盘的下盘面进行高压喷水清洗。

深度探测装置4为现有技术中深度探测器，如超声波探测器、红外探测器，使探测探头与研磨盘面8垂直，利用反馈至控制机构的信号在沟槽处与研磨盘表面存在传输时间差异，确定沟槽的位置及深度，然后控制机构控制横向滚珠丝杠22的动作，使砂轮修整装置5移动至沟槽定位位置，并控制纵向滚珠丝杠21的动作，调节旋转固定座6上下升降，带动机械臂7升降，从而使砂轮修整装置5进入沟槽调整至合适的深度位置。

所述砂轮修整装置5包括砂轮固定架51和砂轮修整刀52，砂轮修整刀52与砂轮固定架51底部的固定轴连接，砂轮固定架51与横向滚珠丝杠22垂直连接，砂轮修整刀52的表面与纵向滚珠丝杠21平行。利用砂轮修整刀52对研磨盘面8的沟槽内碎屑进行清除。

使用时通过控制机构控制电机驱动机构1，驱动旋转固定座6带动机械臂7旋转，使机械臂7驱动至双面研磨机上下盘面之间，由深度探测装置4确认研磨盘面8的下盘面沟槽的深度及定位，将砂轮修整装置5调整至合适的位置及深度，启动双面研磨机使下盘面转动，砂轮修整刀52对双面研磨机下盘面沟槽内堵塞的碎屑进行清除，各个圆周的沟槽清除完成后，开启水压喷洒装置3清洁去除沟槽内剩余的残留物，保证清洗效果。

作为本实用新型的另一种改进，还可以在本实用新型的砂轮修整装置5上设置高压喷气装置，砂轮固定架51设置有中空的贯穿通道，高压喷气装置喷出的高压气体穿过贯穿通道，可将被研磨液黏附的碎屑吹起，并利用砂轮修整刀52清出沟槽，提高砂轮修整装置5的清除效果。

作为本实用新型的另一种改进，还可以在本实用新型的水压喷洒装置3设置有可伸缩水压喷头，可伸缩水压喷头包括伸缩杆和伸缩水压喷头，通过控制机构控制水压喷洒装置3可实现上下伸缩，调节水压喷头41与双面研磨机研磨盘面的距离，提升清洗效果。

作为本实用新型的另一种改进，还可以在本实用新型的所述水压喷洒装置3设置有可向上翻转的翻转装置，连接水压喷头41，翻转装置与控制机构连接，通过控制机构控制翻转装置使水压喷头41向上翻转，并通过横向滚珠丝杠22的调节，调整水压喷洒装置3的位置，可对双面研磨机研磨盘的上盘面进行高压喷水清洗。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“连通”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而己，并不以本实用新型为限制，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的均等修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的专利涵盖范围内。

Claims (5)

1.一种双面研磨机研磨盘面清洁装置，其特征在于，包括控制机构、电机驱动机构(1)、滚珠丝杠组、水压喷洒装置(3)、深度探测装置(4)、砂轮修整装置(5)；

滚珠丝杠组连接于电机驱动机构(1)，控制机构控制所述电机驱动机构(1)、水压喷洒装置(3)、深度探测装置(4)、砂轮修整装置(5)的动作；

滚珠丝杠组包括纵向滚珠丝杠(21)和横向滚珠丝杠(22)；

纵向滚珠丝杠(21)连接有旋转固定座(6)，旋转固定座(6)包括旋转固定杆，旋转固定杆与旋转驱动电机连接，机械臂(7)的一端与旋转固定杆轴接固定，使机械臂(7)与纵向滚珠丝杠(21)相互垂直，机械臂(7)上设有通孔，固定连杆穿过通孔与机械臂(7)连接；固定连杆与横向滚珠丝杠(22)垂直连接；

水压喷洒装置(3)、深度探测装置(4)、砂轮修整装置(5)分别与横向滚珠丝杠(22)垂直连接，水压喷洒装置(3)设置有水压喷头(41)，深度探测装置(4)的深度探测信号传输至控制机构控制砂轮修整装置(5)的动作。

2.根据权利要求1所述的双面研磨机研磨盘面清洁装置，其特征在于，所述砂轮修整装置(5)包括砂轮固定架(51)和砂轮修整刀(52)，砂轮修整刀(52)与砂轮固定架(51)底部的固定轴连接，砂轮固定架(51)与横向滚珠丝杠(22)垂直连接，砂轮修整刀(52)的表面与纵向滚珠丝杠(21)平行。

3.根据权利要求2所述的双面研磨机研磨盘面清洁装置，其特征在于，所述砂轮修整装置(5)还设置有高压喷气装置，砂轮固定架(51)设置有中空的贯穿通道，高压喷气装置喷出的高压气体穿过贯穿通道。

4.根据权利要求1所述的双面研磨机研磨盘面清洁装置，其特征在于，所述水压喷头(41)为可伸缩水压喷头，可伸缩水压喷头包括伸缩杆和伸缩水压喷头。

5.根据权利要求1所述的双面研磨机研磨盘面清洁装置，其特征在于，所述水压喷洒装置(3)设置有可向上翻转的翻转装置，连接水压喷头(41)，翻转装置与控制机构连接。