CN209567414U - 真空吸附传送载具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开一种真空吸附传送载具，包括有﹕一真空箱、一传动元件及一输送带。该真空箱具有一中空箱体，与外部真空动力装置连结，其上具有多个孔槽，该些孔槽平行间隔的配置于该中空箱体的一侧面。该传动元件位于该中空箱体的两端。该输送带包覆于该传动元件上，使该中空箱体位于该输送带内形成平行相对应，该输送带上设有多个贯穿孔，该些贯穿孔均以二维轴向间隔配置排列，其中一方与该些孔槽方向相对应重叠配置。其中，该中空箱体受真空动力装置驱动后，使该中空箱体产生负压，经由该些孔槽与该些贯穿孔提供乘载吸力，能将输送的物体吸引住。本实用新型可以利于进行涂布、蚀刻、烘干等作业。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种用于薄型基板加工作业的传输载具，尤其是指一种具有对薄型基板吸附功能的传送载具。
背景技术
随着电子产品的日新月异，相关基板材料上会配合产品需求，于材料表面涂覆或增设其它材质，如软性胶片或玻璃基板于表面涂覆导电材料以制作导电层，并配合产品结构需求进一步会在结构上增设其它材质的导电层或绝缘层等，相关应用产品如触控面板、太阳能基板等都需要在软性基板上进行相关涂料的涂布作业。
由于现有技术多以塑料传送皮带结合多个滚轮，作为基板的传送载具，由于素料等胶片材质较软且厚，长时间使用会疲乏，使传送的基板会随皮带表面变形，无法与涂布作业维持固定距离，此外基板与皮带间无法固定贴附，移载过程可能易受外力而飘移或掀动。
进一步为提升涂布作业的平稳与精度，现有设备作业方式，为保持基板与涂头间作业维持稳定平整的距离，基板载具多采用大型花岗岩，再将基板贴附在花岗岩平台上，以利进行移载与涂布，因此也使得相关作业设备笨重，且无法提供基板良好的定位与吸附固定效果。
据前揭技术限制，对于大尺寸及幅宽的软性基板涂布作业，需要一克服前诸问题提供一种可以固定、传送且传送时可以提供基板保持表面平整以利相关作业涂布、蚀刻、烘干等作业的进行，本实用新型提供一种新颖的基板传送载具以符前述需求。
实用新型内容
因此，本实用新型的目的在于提供一种新颖的真空吸附传送载具，利用传输的输送带结合真空装置，于输送带设置多个贯穿孔结合真空动力装置以吸引固定基板，利用输送带具备良好的支撑平面挺性，可以利于进行涂布、蚀刻、烘干等作业，提供大尺寸基板尤其是薄型、软性基板的加工作业。
为达上述的目的，本实用新型提供一种真空吸附传送载具，与一真空动力装置连结，包括有﹕一真空箱、一传动元件及一输送带。该真空箱具有一中空箱体，且与该真空动力装置连结，该真空箱上具有多个孔槽，该些孔槽平行间隔地配置于该中空箱体的一侧面。该传动元件位于该中空箱体的两端。该输送带包覆于该传动元件上，使该中空箱体于该输送带内形成平行相对应，该输送带上设有多个贯穿孔，该些贯穿孔均以二维轴向间隔配置排列，其中一方与该些孔槽方向相对应重叠配置。其中，该中空箱体受真空动力装置驱动后，使该中空箱体产生负压，经由该些孔槽与该些贯穿孔提供乘载吸力，能将输送的物体吸引住。
在本实用新型的一实施例中，该中空箱体为扁立方体。
在本实用新型的一实施例中，该真空动力装置为泵。
在本实用新型的一实施例中，该些孔槽为狭缝的形状。
在本实用新型的一实施例中，该狭缝宽为0.5mm-2mm。
在本实用新型的一实施例中，该传动元件为滚轮或滚轴。
在本实用新型的一实施例中，该传动元件其一的一端上配置有一传动齿轮，该传动齿轮受一驱动装置驱动，该驱动装置具有一马达，该马达上配有一传动该传动齿轮的传动齿轮组。
在本实用新型的一实施例中，该传动元件其一的一端上配置有一皮带轮，该皮带轮受一驱动装置驱动，该驱动装置具有一马达，该马达上配有一传动该皮带轮的皮带传动组。
在本实用新型的一实施例中，该输送带环状地包覆于该传动元件上。
在本实用新型的一实施例中，该些贯穿孔的孔径为0.5mm-2.0mm。
在本实用新型的一实施例中，该输送带为钢带。
在本实用新型的一实施例中，该传送载具能配合500mm幅宽的狭缝式涂布装置进行软性基板表面化材的涂布作业。
在本实用新型的一实施例中，该软性基板为厚度50mm、长度为500mm及宽度600mm的尺寸。
在本实用新型的一实施例中，该软性基板为聚酯薄膜。
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。
附图说明
图1为本实用新型的传送载具裸视立体示意图﹔
图2为图1的传送载具包覆于输出带示意图﹔
图3为本实用新型的传送载具的第一个运用状态示意图﹔
图4为本实用新型的传送载具的第二个运用状态示意图。
其中，附图标记：
10 传送载具
1 真空箱
11 中空箱体
12 孔槽
2 传动元件
21 传动齿轮
3 输送带
31 贯穿孔
20 驱动装置
201 马达
202 传动齿轮组
30 基板
40 狭缝式涂布装置
具体实施方式
兹有关本实用新型的技术内容及详细说明，现配合图式说明如下：
请参阅图1、图2，为本实用新型的传送载具裸视立体及图1的传送载具包覆于输送带示意图。如图所示﹕本实用新型的真空吸附传送载具，该传送载具10包括﹕一真空箱1、一传动元件2及一输送带3。
该真空箱1，具有一扁立方体的中空箱体11，其上具有多个孔槽12，该些孔槽12以平行间隔的配置于该中空箱体11的一侧面。该中空箱体11对外连结一真空动力装置(图中未示)，使该中空箱体11能够产生负压。在本图式中，该些孔槽12为狭缝的形状，该狭缝宽为0.5mm-2mm，该真空动力装置为泵。
该传动元件2，位于该中空箱体11的两端，并受外部的驱动装置(图中未示)驱动旋转。在本图式中，该传动元件2为滚轮或滚轴。其中，所谓的传动元件(滚轮)2用以支撑及带动输送带，该传动元件(滚轮)2可以借由其它动力连结装置驱动，如马达(容后详述)。
该输送带3，为环状的包覆或套设于该传动元件2上，使该中空箱体11位于该输送带3内形成平行相对应，该输送带3上设有多个贯穿孔31，该些贯穿孔31的孔径为0.5mm-2.0mm，该些贯穿孔31均以二维(2D)轴向间隔配置排列，其中一方与该些孔槽12方向相对应重叠配置。在本图式中，该输送带3为钢带。
在该真空箱1的中空箱体11连结该真空动力装置后，使该中空箱体11能够产生负压，经由该些孔槽12与该些贯穿孔31提供乘载吸力，能将输送的基板(图中未示)吸引住。
请参阅图3，为本实用新型的传送载具的第一个运用状态示意图。如图所示﹕本实用新型的传送载具10在运用时，于该其一的传动元件2的一端配置有一传动齿轮(或皮带轮)21，该传动齿轮(或皮带轮)21受驱动装置20所驱动，该驱动装置20具有一马达201，该马达201上配有一传动齿轮组(或皮带传动组)202，在马达201被驱动后，使该马达201上的传动齿轮组(或皮带传动组)202连动该传动齿轮(或皮带轮)21，让该传动元件2转动而带动该输送带3动作。
在该输送带3被传动时，该真空动力装置(图中未示)使该真空箱1的中空箱体11能够产生负压，经由该些孔槽12与该些贯穿孔31提供输送带3吸力，让输送带3上的基板30被吸引住，使该基板30被吸引住的方式输送。
请参阅图4，为本实用新型的传送载具的第二个运用状态示意图。如图所示﹕在本实用新型的传送载具10在运用时，可以将该传送载具10安装于一般加工机上使用，本实用新型以狭缝式涂布装置(Solt Die Coater)40为举例说明。
在该传送载具10安装于该狭缝式涂布装置40，在输送带3被传动，同时该真空动力装置(图中未示)使该真空箱1的中空箱体11能够产生负压，经由该些孔槽12与该些贯穿孔31提供输送带3吸力，让输送带3上的基板30被吸引住，使该基板30被吸引住的方式输送过程中，在该基板30通过狭缝式涂布装置40时，该狭缝式涂布装置40可以对该基板30进行涂布作用。可配合500mm幅宽的狭缝式涂布装置40进行软性的基板(如厚度50mm，500mmX600mm长宽)30的聚酯薄膜(PET film)进行表面化材的涂布作业。
本实用新型取代过去花岗岩的移动平台，利用输送带(钢带)结合平整的真空箱，提供稳定作业空间进行支撑与涂布作业，且提供良好定位与吸附基板的稳定效果，除了可以提供涂布作业之外进一步更可以结合雷射蚀刻或烘干设备进行更多的应用。
惟以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，非意欲局限本实用新型的专利保护范围。
当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型权利要求的保护范围。
Claims (14)
1.一种真空吸附传送载具，与一真空动力装置连结，其特征在于，包括有﹕
一真空箱，具有一中空箱体，且与该真空动力装置连结，该真空箱上具有多个孔槽，该孔槽平行间隔地配置于该中空箱体的一侧面；
一传动元件，位于该中空箱体的两端；以及
一输送带，包覆于该传动元件上，使该中空箱体于该输送带内形成平行相对应，该输送带上设有多个贯穿孔，该贯穿孔均以二维轴向间隔配置排列，该贯穿孔其中一方与该孔槽方向相对应重叠配置；
其中，该中空箱体受真空动力装置驱动后，使该中空箱体产生负压，经由该孔槽与该贯穿孔提供乘载吸力，能将输送的物体吸引住。
2.根据权利要求1所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该中空箱体为扁立方体。
3.根据权利要求1所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该真空动力装置为泵。
4.根据权利要求1所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该孔槽为狭缝的形状。
5.根据权利要求4所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该狭缝宽为0.5mm-2mm。
6.根据权利要求1所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该传动元件为滚轮或滚轴。
7.根据权利要求6所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该传动元件其一的一端上配置有一传动齿轮，该传动齿轮受一驱动装置驱动，该驱动装置具有一马达，该马达上配有一传动该传动齿轮的传动齿轮组。
8.根据权利要求6所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该传动元件其一的一端上配置有一皮带轮，该皮带轮受一驱动装置驱动，该驱动装置具有一马达，该马达上配有一传动该皮带轮的皮带传动组。
9.根据权利要求1所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该输送带环状地包覆于该传动元件上。
10.根据权利要求1所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该贯穿孔的孔径为0.5mm-2.0mm。
11.根据权利要求1所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该输送带为钢带。
12.根据权利要求1所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该传送载具能配合500mm幅宽的狭缝式涂布装置进行软性基板表面化材的涂布作业。
13.根据权利要求12所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该软性基板为厚度50mm、长度为500mm及宽度600mm的尺寸。
14.根据权利要求13所述的真空吸附传送载具，其特征在于，该软性基板为聚酯薄膜。
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