KR102195967B1 - 플렉서블 oled 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치 - Google Patents

플렉서블 oled 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치 Download PDF

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㈜ 엘에이티
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Abstract

본 발명은 유리기판 상에 적층되어 제조되는 플렉서블 기판을 물리적인 힘에 의해 연속적으로 분리 및 배출시킬 수 있는 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치에 관한 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치는, 유리기판 위에 플렉서블 디스플레이 기판이 적층되어 제조된 분리대상 기판이 상하 수직 방향으로 소정 간격 이격되도록 적층되어 보관되는 적재부; 상기 적재부에 적재된 상기 분리대상 기판을 낱개로 파지하여 이송하는 공급부; 상기 공급부를 통해 낱개로 공급되는 상기 분리대상 기판의 상, 하면에 각각 진공 흡인력을 인가하여 물리적인 힘에 의해 상기 유리기판과 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 서로 분리시키는 분리부; 상기 분리부를 통해 분리된 상기 유리기판과 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 각각 이송시키는 제1, 2 이송부; 및 상기 제1, 2 이송부를 통해 각각 이송되는 상기 유리기판과 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 별도로 분리 배출시키는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치{Non-Laser Lift Off Equipment of Flexible OLED Display Substrate}
본 발명은 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리기판 상에 적층되어 제조된 플렉서블 OLED 기판(이하 '플렉서블 기판'이라 한다)을 유리기판으로부터 분리 및 배출시키는 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치에 관한 것이다.
일반적으로 플렉서블 디스플레이(OLED)를 제조할 때에는 유리기판에 폴리이미드(polyimide, PI)를 도포하여 건조하고, 이러한 폴리이미드층 위에 TFT backplane, 유기물 증착층, 봉지층을 차례로 형성한 후, 레이저를 유리기판의 저면으로 조사하여 플렉서블 기판을 유리기판으로부터 분리하는 레이저 리프트 오프(Laser Lift Off, LLO) 방법이 사용되고 있다.
그러나 레이저 리프트 오프 방법은 고가의 레이저를 이용하기 때문에 초기 투자비용과 유지 보수에 많은 비용이 소요되고, 레이저를 조사하는 과정에서 플렉서블 기판이나 유기발광소자 등이 손상될 수 있는 문제가 있다.
따라서 최근에는 레이저 리프트 오프 방법을 대신하여 유리기판과 플렉서블 기판을 분리하는 방법에 있어서 다양한 Non-Laser 방식이 연구되고 있으며, 그래핀을 이용한 물리적인 힘에 의한 분리방법도 이에 포함되어 개발되고 있다.
상기와 같은 목적에 따라 본 출원인은 그래핀을 이용한 플렉서블 디스플레이의 기판 분리 방법(등록특허공보 제1982477호, 이하 '특허문헌'이라 한다)을 출원하여 등록받은 바 있다.
상기 특허문헌에 개시된 플렉서블 디스플레이의 기판 분리 방법에 따르면, 미리 제조된 그래핀 단일층 막의 저면에 수산화기(-OH)를 형성한 다음 유리기판(지지기판)에 합착시키고, 그래핀 단일층 막 위에 플렉서블 기판, TFT 백플레인, 유기 발광층 및 봉지층을 차례로 형성시키며, 이후 물리적인 힘을 가하면 유리기판과 그래핀 단일층 막 사이에 작용하는 접착력(수소 결합력)이 그래핀 단일층 막과 플렉서블 기판 사이에 작용하는 접착력(반데르발스 힘)보다 크게 작용하게 되면서 그래핀 단일층 막이 유리기판에 잔존하는 상태로 상호 분리되도록 구성한다.
그러나 종래의 논 레이저 리프트오프 장치는 유리기판 상에 직접 그래핀층을 형성시키는 방법에 따른 것으로, 그래핀층을 열 필라멘트 화학 기상 증착법 등을 이용하여 유리기판에 직접 형성시키는 고온의 공정이 포함되는 등 상기 특허문헌에 개시된 플렉서블 디스플레이의 기판 분리 방법에 따른 연속 공정을 적용하는 데에 맞지 않는 문제가 있다.
따라서 미리 제조된 그래핀 단일층 막을 수소결합을 통해 유리기판에 접착시킨 다음 플렉서블 기판 등을 형성시키고, 이후 물리적인 힘을 가하여 그래핀 단일층 막과 플렉서블 기판 사이를 분리시키는 공정을 연속적으로 수행할 수 있는 논 레이저 리프트오프 장치의 개발이 요구된다.
KR 10-1982477 B1 (2019. 05. 21.) KR 10-2015-0078914 A (2015. 07. 08.) KR 10-2018-0050189 A (2018. 05. 14.) KR 10-1475182 B1 (2014. 12. 15.)
본 발명은 상기와 같은 종래의 논 레이저 리프트오프 장치가 가지는 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는 유리기판 상에 적층되어 제조되는 플렉서블 기판을 물리적인 힘에 의해 연속적으로 분리 및 배출시킬 수 있는 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치를 제공하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치는, 유리기판 위에 플렉서블 디스플레이 기판이 적층되어 제조된 분리대상 기판이 상하 수직 방향으로 소정 간격 이격되도록 적층되어 보관되는 적재부; 상기 적재부에 적재된 상기 분리대상 기판을 낱개로 파지하여 이송하는 공급부; 상기 공급부를 통해 낱개로 공급되는 상기 분리대상 기판의 상, 하면에 각각 진공 흡인력을 인가하여 물리적인 힘에 의해 상기 유리기판과 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 서로 분리시키는 분리부; 상기 분리부를 통해 분리된 상기 유리기판과 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 각각 이송시키는 제1, 2 이송부; 및 상기 제1, 2 이송부를 통해 각각 이송되는 상기 유리기판과 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 별도로 분리 배출시키는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
그리고 본 발명은 상기 분리부가 상기 공급부를 통해 이송되는 상기 분리대상 기판이 진공 흡인력에 의해 흡착 고정되도록 하는 소정 크기의 제1 흡착스테이지; 상기 제1 흡착스테이지와 소정 간격 이격되어 설치되면서 상기 분리대상 기판에서 분리된 상기 플렉서블 디스플레이 기판이 진공 흡인력에 의해 흡착 고정되도록 하는 소정 크기의 제2 흡착스테이지; 상기 제1, 2 흡착스테이지의 일측에 소정 높이를 가지도록 설치되는 한 쌍의 수직이송장치; 상기 한 쌍의 수직이송장치를 수평으로 연결하도록 설치되는 소정 길이의 수평이송장치; 및 상기 제1, 2 흡착스테이지의 상부에 위치되도록 상기 수평이송장치에 설치되면서 상기 수직 및 수평이송장치에 의해 상기 제1, 2 흡착스테이지를 왕복하여 이송되는 소정 지름의 흡착롤러를 포함하고, 상기 흡착롤러는, 진공 흡인력에 의해 상기 제1 흡착스테이지에 안착된 상기 분리대상 기판 중 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 흡착시켜 상기 유리기판으로부터 분리시키고, 분리된 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 상기 제2 흡착스테이지로 이송시켜 상기 제2 흡착스테이지에 상기 플렉서블 디스플레이 기판이 진공 흡착되도록 하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 상기 흡착롤러에 길이를 따라 이온화장치가 설치되어, 상기 흡착롤러가 상기 제1 흡착스테이지에서 상기 플렉서블 디스플레이 기판을 흡착시키기 전에 동작되어 정전기가 발생하지 않도록 하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
이에 더해 본 발명은 상기 흡착롤러를 통해 상기 플렉서블 디스플레이 기판의 일단이 흡착되면, 상기 흡착롤러가 회전 및 수평 이동되도록 제어되어 상기 플렉서블 디스플레이 기판과 상기 유리기판을 소정 폭 분리시킨 다음, 상기 유리기판 상에 잔존하는 그래핀 단일층 막에 접지판을 접지시켜 정전기가 발생하지 않도록 하는 것을 또 다른 특징으로 한다.
그리고 본 발명은 상기 흡착롤러가 상기 플렉서블 디스플레이 기판의 길이에 대응되는 외측면의 면적을 가지도록 소정 지름을 가지는 것을 또 다른 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 유리기판과 그래핀 단일층 막 사이에 수소 결합력이 작용하고, 그래핀 단일층 막과 플렉서블 디스플레이 기판 사이에 반데르발스 힘이 작용하도록 제조되는 분리대상 기판이 제1, 2 흡착스테이지와 흡착롤러를 통해 물리적인 힘(진공 흡인력)에 의해 상호 분리되고, 이렇게 분리된 유리기판과 플렉서블 디스플레이 기판이 제1, 2 이송부를 통해 자동으로 빠르게 분리되어 배출될 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명에 따른 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치의 예를 보인 평면도.
도 2는 도 1의 정면도.
도 3은 본 발명에 따른 분리부의 예를 보인 사시도.
도 4 내지 도 6은 본 발명에 따른 분리부를 통해 유리기판과 플렉서블 디스플레이 기판이 분리되는 예를 보인 도면.
도 7 및 도 8은 본 발명에 따른 제1, 2 이송부의 예를 보인 도면.
도 9는 도 1의 A-A'선 단면도.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 도시한 첨부도면에 따라 상세하게 설명한다.
본 발명은 유리기판 상에 적층되어 제조되는 플렉서블 기판을 물리적인 힘에 의해 연속적으로 분리 및 배출시킬 수 있는 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치를 제공하고자 하는 것으로, 이러한 본 발명은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 적재부(10), 공급부(20), 분리부(30), 제1, 2 이송부(40A, 40B) 및 배출부(50)를 포함한다.
적재부(10)는 그래핀을 이용한 플렉서블 디스플레이 제조 방법을 통해 제조된 분리대상 기판(1)이 적재되어 보관되는 구성이다.
이러한 적재부(10)는 도 1에 도시된 바와 같이 분리대상 기판(1)이 상하로 소정 간격 이격되어 적재되도록 상하 길이를 가지는 직사각형 모양의 프레임으로 구성된다.
이때 적재부(10)의 일측은 후술되는 공급부(20)를 통해 분리대상 기판(1)이 낱개로 인출되어 이송될 수 있도록 개방되고, 이러한 적재부(10)는 이동 가능하도록 저면에 복수 개의 바퀴 등이 설치되며, 이에 의해 적재부(10)에 적재된 분리대상 기판(1)이 모두 운반되고 나면 또 다른 적재부(10)로 교체되어 사용되도록 구성된다.
이와 다르게는 적재부(10)의 양측면이 개방되어 일측을 통해서 제조된 분리대상 기판(1)이 적재되고 타측을 통해 적재된 분리대상 기판(1)이 공급부(20)를 통해 낱개로 이송되도록 구성될 수 있다.
공급부(20)는 적재부(10)에 적재된 분리대상 기판(1)을 낱개로 파지하여 후술되는 분리부(30)의 제1 흡착스테이지(31)로 이송시키는 구성으로서, 이러한 공급부(20)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 180°로 회전 동작되는 이송로봇(21) 또는 이송클램프 등과 같이 공지되어 널리 사용되는 다양한 이송장치로 구성된다.
분리부(30)는 공급부(20)를 통해 낱개로 공급되는 분리대상 기판(1)에서 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 따로 분리시키는 구성이다.
이러한 분리부(30)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 공급부(20)를 통해 이송되는 분리대상 기판(1)이 진공 흡인력에 의해 흡착 고정되도록 하는 소정 크기의 제1 흡착스테이지(31)와, 상기 제1 흡착스테이지(31)와 수평 방향으로 소정 간격 이격되어 설치되면서 분리대상 기판(1)에서 분리된 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 진공 흡인력에 의해 흡착 고정되도록 하는 소정 크기의 제2 흡착스테이지(32)와, 상기 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)의 일측에 소정 높이를 가지도록 설치되는 한 쌍의 수직이송장치(33)와, 상기 한 쌍의 수직이송장치(33)를 수평으로 연결하도록 설치되는 소정 길이의 수평이송장치(34) 및 상기 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)의 상부에 위치되도록 수평이송장치(34)에 설치되면서 수직 및 수평이송장치(33, 34)에 의해 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)를 왕복하여 이송되는 소정 지름의 흡착롤러(35)를 포함한다.
이때 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)는 상면에 길이를 따라 소정 깊이의 장홈(31A, 32A)이 복수 열로 형성되고, 이러한 장홈(31A, 32A)에는 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)의 저면 쪽으로 연통되는 복수 개의 흡기공(H)이 형성되며, 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)의 일측에는 복수 개의 흡기공(H)을 통해 진공 흡인력을 발생시키는 진공발생장치(도시하지 않음)가 설치되어 플렉서블 호스(도시하지 않음) 등을 통해 흡기공(H)에 연결되고, 이에 의해 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)에 안착되는 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 진공 흡인력에 의해 흡착되어 고정된다.
또한, 흡착롤러(35)는 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)의 폭과 길이에 대응되도록 소정 길이와 지름을 가지는 원통 모양으로 형성되고, 이러한 흡착롤러(35)의 양측면 중앙 부분에는 소정 길이의 회전축(도면부호 없음)이 돌출 형성되며, 상기 회전축을 통해 수평이송장치(34)에 회전 가능하게 설치된다.
그리고 흡착롤러(35)의 외측면을 따라 소정 간격을 두고 복수 개의 구멍(도면부호 없음)이 형성되고, 이러한 복수 개의 구멍은 흡착롤러(35)의 중심 부분으로 연결된 다음 일측 회전축과 연통되도록 형성되며, 이러한 회전축에 진공발생기(도시하지 않음)와 연결되는 호스가 설치되어 흡착롤러(35)의 외측면 구멍을 통해 진공 흡인력이 작용하도록 구성된다.
또한, 흡착롤러(35)의 외측면에는 길이를 따라 소정 길이를 가지는 이온화장치(35A, ionizer)가 설치되고, 이에 의해 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 초기에 분리될 때 이온화장치(35A)에 의해 정전기가 발생하지 않도록 구성되며, 이에 더해 제1 흡착스테이지(31)의 일측에는 접지판(G)이 설치되어 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 소정 폭 분리되고 나면 유리기판(1A) 상에 잔존하는 그래핀 단일층 막에 접지판(G)이 접지되고, 이에 의해 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 서로 분리될 때 이온화장치(35A)의 동작이 정지되더라도 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B) 사이에 정전기가 발생하지 않도록 방지되며, 그 결과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 유리기판(1A)으로부터 분리되는 과정에서 정전기에 의해 손상되는 것이 방지된다.
이하에서는 상기와 같은 분리부(30)를 통해 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 서로 분리되는 예에 따라 설명한다.
공급부(20)를 통해 낱장의 분리대상 기판(1)이 도 4에 도시된 바와 같이 제1 흡착스테이지(31) 위로 이송되면, 제1 흡착스테이지(31)의 흡기공(H)을 통해 진공 흡인력이 작용하도록 제어되고, 이를 통해 분리대상 기판(1)이 제1 흡착스테이지(31)에 진공 흡착되어 고정된다.
그런 다음, 도 5에 도시된 바와 같이 흡착롤러(35)에 구비된 이온화장치(35A)에 전원이 인가되고, 이 상태에서 흡착롤러(35)가 제1 흡착스테이지(31)의 일측에 위치되며, 이후 흡착롤러(35)의 외측면 구멍을 통해 진공 흡인력이 작용하도록 제어되고, 이에 의해 플렉서블 디스플레이 기판(1B)의 일단이 흡착롤러(35)의 외측면에 흡착된다.
이렇게 흡착롤러(35)의 외측면에 플렉서블 디스플레이 기판(1B)의 일단이 흡착되고 나면, 수평이송장치(34)를 제어하여 흡착롤러(35)가 수평 방향으로 소정 거리 회전 이동되도록 하고, 이에 의해 플렉서블 디스플레이 기판(1B)의 일단이 유리기판(1A)으로부터 소정 폭 분리되게 되며, 이 상태에서 제1 흡착스테이지(31)의 일측에 구비된 접지판(G)을 유리기판(1A)의 그래핀 단일층 막에 접지시킴과 동시에 이온화장치(35A)의 전원 공급이 차단된다.
그런 다음, 수평이송장치(34)가 제어되어 흡착롤러(35)가 수평 방향으로 회전 이동되고, 이에 의해 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 흡착롤러(35)의 외측면에 차례대로 진공 흡착된다.
이렇게 흡착롤러(35)가 수평 방향으로 회전 이동되면서 그 외측면에 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 흡착되어 유리기판(1A)으로부터 분리되면, 도 6에 도시된 바와 같이 흡착롤러(35)가 제2 흡착스테이지(32) 쪽으로 이동됨과 동시에 제2 흡착스테이지(32)의 흡기공(H)을 통해 진공 흡인력이 작용하도록 제어되고, 이에 의해 흡착롤러(35)에 흡착된 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 제2 흡착스테이지(32) 위에 차례대로 진공 흡착되면서 분리 작업이 완료된다.
제1, 2 이송부(40A, 40B)는 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)에 흡착된 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 후술되는 배출부(50)로 이송시키는 구성이다.
이러한 제1, 2 이송부(40A, 40B)는 도 2 및 도 7에 도시된 바와 같이 분리부(30)의 양측에 각각 위치되면서 수직으로 소정 길이를 가지는 수직이송장치(41)와, 상기 수직이송장치(41)를 통해 수평 방향으로 소정 길이를 가지는 수평이송장치(42)와, 상기 수평이송장치(42)에 설치되는 소정 크기의 흡착프레임(43) 및 상기 흡착프레임(43)에 설치되면서 유리기판(1A) 및 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 진공 흡착시키는 복수 개의 흡착판(44)을 포함한다.
상기와 같은 제1, 2 이송부(40A, 40B)의 구성에 의해 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 흡착프레임(43)이 수직이송장치(41)를 통해 소정 높이로 하강되어 제1, 2 흡착스테이지(31, 32) 위에 분리된 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 흡착판(44)에 흡착되고, 이후 소정 높이로 재차 상승된 다음 수평이송장치(42)를 통해 배출부(50) 쪽으로 이송되어 분리 배출된다.
배출부(50)는 제1, 2 이송부(40A, 40B)를 통해 각각 이송되는 유리기판(1A)과 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 별도로 분리 배출시키는 구성이다.
이러한 배출부(50)는 도 1 및 도 9에 도시된 바와 같이 제1 이송부(40A)를 통해 제1 흡착스테이지(31)에서 이송되는 유리기판(1A)이 적재되는 소정 크기의 제1 배출스테이지(51)와, 제2 이송부(40B)를 통해 제2 흡착스테이지(32)에서 이송되는 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 안착되는 소정 크기의 제2 배출스테이지(52)를 포함한다.
이때 제2 배출스테이지(52)는 수평 방향으로 소정 거리 이송되어 후속 공정 등으로 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 이송시키도록 구성될 수 있고, 이를 위해 도 1에 도시된 바와 같이 제2 배출스테이지(52)를 수평 방향으로 이송시키는 소정 길이의 이송레일(53)과, 상기 이송레일(53)을 통해 제2 배출스테이지(52)를 이송시키는 이송장치(54)가 더 구비된다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명은 유리기판에 그래핀 단일층 막 사이에 수소 결합력이 작용하고, 그래핀 단일층 막과 플렉서블 디스플레이 기판 사이에 반데르발스 힘이 작용하도록 제조되는 분리대상 기판이 제1, 2 흡착스테이지와 흡착롤러를 통해 물리적인 힘(진공 흡인력)에 의해 상호 분리되고, 이렇게 분리된 유리기판과 플렉서블 디스플레이 기판이 제1, 2 이송부를 통해 자동으로 빠르게 분리되어 배출되게 된다.
위에서는 설명의 편의를 위해 바람직한 실시예를 도시한 도면과 도면에 나타난 구성에 도면부호와 명칭을 부여하여 설명하였으나, 이는 본 발명에 따른 하나의 실시예로서 도면상에 나타난 형상과 부여된 명칭에 국한되어 그 권리범위가 해석되어서는 안 될 것이며, 발명의 설명으로부터 예측 가능한 다양한 형상으로의 변경과 동일한 작용을 하는 구성으로의 단순 치환은 통상의 기술자가 용이하게 실시하기 위해 변경 가능한 범위 내에 있음은 지극히 자명하다고 볼 것이다.
1: 분리대상 기판 1A: 유리기판
1B: 플렉서블 디스플레이 기판 10: 적재부
20: 공급부 21: 이송로봇
30: 분리부 31: 제1 흡착스테이지
31A: 장홈 32: 제2 흡착스테이지
33: 수직이송장치 34: 수평이송장치
35: 흡착롤러 35A: 이온화장치
40A: 제1 이송부 40B: 제2 이송부
41: 수직이송장치 42: 수평이송장치
43: 흡착프레임 44: 흡착판
50: 배출부 51: 제1 배출스테이지
52: 제2 배출스테이지 53: 이송레일
54: 이송장치 G: 접지판
H: 흡기공

Claims (5)

  1. 유리기판(1A)과 그래핀 단일층 막 사이에 수소 결합력이 작용하고, 그래핀 단일층 막과 플렉서블 디스플레이 기판(1B) 사이에 반데르발스 힘이 작용하도록 제조되는 분리대상 기판(1)을 분리하는 논 레이저 리프트오프 장치에 있어서,
    유리기판(1A) 위에 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 적층되어 제조된 분리대상 기판(1)이 상하 수직 방향으로 소정 간격 이격되도록 적층되어 보관되는 적재부(10);
    상기 적재부(10)에 적재된 상기 분리대상 기판(1)을 낱개로 파지하여 이송하는 공급부(20);
    상기 공급부(20)를 통해 낱개로 공급되는 상기 분리대상 기판(1)의 상, 하면에 각각 진공 흡인력을 인가하여 물리적인 힘에 의해 상기 유리기판(1A)과 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 서로 분리시키는 분리부(30);
    상기 분리부(30)를 통해 분리된 상기 유리기판(1A)과 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 각각 이송시키는 제1, 2 이송부(40A, 40B); 및
    상기 제1, 2 이송부(40A, 40B)를 통해 각각 이송되는 상기 유리기판(1A)과 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 별도로 분리 배출시키는 배출부(50);
    를 포함하고,
    상기 분리부(30)는,
    상기 공급부(20)를 통해 이송되는 상기 분리대상 기판(1)이 진공 흡인력에 의해 흡착 고정되도록 하는 소정 크기의 제1 흡착스테이지(31);
    상기 제1 흡착스테이지(31)와 소정 간격 이격되어 설치되면서 상기 분리대상 기판(1)에서 분리된 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 진공 흡인력에 의해 흡착 고정되도록 하는 소정 크기의 제2 흡착스테이지(32);
    상기 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)의 일측에 소정 높이를 가지도록 설치되는 한 쌍의 수직이송장치(33);
    상기 한 쌍의 수직이송장치(33)를 수평으로 연결하도록 설치되는 소정 길이의 수평이송장치(34); 및
    상기 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)의 상부에 위치되도록 상기 수평이송장치(34)에 설치되면서 상기 수직 및 수평이송장치(33, 34)에 의해 상기 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)를 왕복하여 이송되는 소정 지름의 흡착롤러(35);
    를 포함하며,
    상기 흡착롤러(35)는,
    소정 길이와 지름을 가지는 원통 모양으로 형성되면서 양측면 중앙에는 소정 길이의 회전축이 돌출 형성되고, 상기 회전축을 통해 상기 수평이송장치(34)에 회전 가능하게 설치되며,
    상기 흡착롤러(35)의 외측면을 따라 소정 간격을 두고 복수 개의 구멍이 형성된 다음, 상기 구멍이 상기 흡착롤러(35)의 중심 부분으로 연결되어 일측 상기 회전축과 연통되도록 구성되고,
    상기 회전축에 진공발생기와 연결되는 호스가 설치되어 상기 흡착롤러(35)의 상기 구멍을 통해 진공 흡인력이 작용하도록 구성되며,
    상기 진공 흡인력에 의해 상기 제1 흡착스테이지(31)에 안착된 상기 분리대상 기판(1) 중 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 흡착시켜 상기 유리기판(1A)으로부터 분리시킨 다음, 분리된 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 상기 제2 흡착스테이지(32)로 이송시켜 상기 제2 흡착스테이지(32)에 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)이 진공 흡착되도록 하고,
    상기 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)에는,
    상면에 길이를 따라 소정 깊이의 장홈(31A, 32A)이 복수 열로 형성되며,
    상기 장홈(31A, 32A)에는,
    상기 제1, 2 흡착스테이지(31, 32)의 저면 쪽으로 연통되는 복수 개의 흡기공(H)이 형성되고,
    상기 흡착롤러(35)에는,
    길이를 따라 이온화장치(35A)가 설치되어, 상기 흡착롤러(35)가 상기 제1 흡착스테이지(31)에서 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)을 흡착시키기 전에 동작되어 정전기가 발생하지 않도록 하며,
    상기 흡착롤러(35)를 통해 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)의 일단이 흡착되면, 상기 흡착롤러(35)가 회전 및 수평 이동되도록 제어되어 상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)과 상기 유리기판(1A)을 소정 폭 분리시킨 다음, 상기 유리기판(1A) 상에 잔존하는 그래핀 단일층 막에 접지판(G)을 접지시켜 정전기가 발생하지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 흡착롤러(35)는,
    상기 플렉서블 디스플레이 기판(1B)의 길이에 대응되는 외측면의 면적을 가지도록 소정 지름을 가지는 것을 특징으로 하는 플렉서블 OLED 디스플레이 기판용 논 레이저 리프트오프 장치.
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