CN209400568U - 一种晶棒性能连续测试架 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种晶棒性能连续测试架，包括架体、测试装置、转盘和固定座，所述架体底部的四个拐角处均安装有可调机脚，且架体的顶端固定有工作台，所述工作台顶部的一端固定有支撑柱，且支撑柱一侧的底端设置有控制面板，所述支撑柱的一端固定有横杆，且横杆远离支撑柱的一端通过铰接轴铰接有环箍，所述环箍的内部套设有测试装置，且测试装置的底端安装有检测头，所述固定座上均设置有红外线接收器。本实用新型通过安装有伺服电机、转盘、测试装置以及检测头，在转盘上均匀设置有固定座，使得便于伺服电机带动转盘旋转，将固定座旋转到检测头的下方进行检测，实现多工位检测，实现连续测试。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶棒测试技术领域，具体为一种晶棒性能连续测试架。
背景技术
单晶硅是硅的单晶体，具有基本完整的点阵结构的晶体，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，晶棒是指整个的单晶硅，因为单晶硅棒的制作是用直拉法区熔法制作完成的，其成品均为棒状，故称为晶棒，目前为了方便硅材料的切割和加工，需要先对晶棒进行电阻率分布情况的检测。
传统的晶棒性能测试需要人工手动使用检测仪来进行检测，费时费力，劳动强度较大，而现阶段的部分测试装置结构简单，功能单一，测试装置的空间较小，一次只能对一个晶棒进行测试，同时也无法固定限位不同规格大小的晶棒，无法满足不同的测试需求，同时现有的测试探头无法自由调节高度角度，不便于对晶棒的不同位置进行检测，测试不够全面，此外，检测头也无法便捷拆卸更换，因此急需一种晶棒性能连续测试架来满足人们的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶棒性能连续测试架，以解决上述背景技术中提出的传统的人工检测费时费力，现有的装置无法连续测试，无法固定限位不同规格的晶棒，探头无法调节以及检测头也无法便捷拆卸更换的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶棒性能连续测试架，包括架体、测试装置、转盘和固定座，所述架体底部的四个拐角处均安装有可调机脚，且架体的顶端固定有工作台，所述工作台顶部的一端固定有支撑柱，且支撑柱一侧的底端设置有控制面板，所述支撑柱的一端固定有横杆，且横杆远离支撑柱的一端通过铰接轴铰接有环箍，所述环箍的内部套设有测试装置，且测试装置的底端安装有检测头，所述检测头的一侧固定有红外线发射器，所述工作台顶部的另一端设置有转盘，且工作台的底端固定有伺服电机，所述伺服电机的输出端通过转轴与转盘连接，且转盘的顶端均匀固定有固定座，所述固定座上均设置有红外线接收器。
优选的，所述架体呈“H”型结构，且架体与工作台为焊接一体化结构。
优选的，所述支撑柱靠近横杆的一端设置有电磁滑轨，且横杆靠近支撑柱的一端设置有与电磁滑轨相互配合的滑块，所述横杆通过滑块与电磁滑轨构成滑动机构。
优选的，所述测试装置的底端设置有卡槽，所述检测头的顶端设置有与卡槽相互配合的卡块，且检测头与测试装置构成安装拆卸结构。
优选的，所述固定座顶部的两端均通过复位弹簧固定有夹板，且夹板关于固定座左右对称分布。
优选的，所述固定座的数量设置为四个，且相邻固定座之间的夹角均为九十度。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)该晶棒性能连续测试架通过安装有伺服电机、转盘、测试装置以及检测头，在转盘上均匀设置有固定座，使得便于伺服电机带动转盘旋转，将固定座旋转到检测头的下方进行检测，实现多工位检测，实现连续测试，提高测试效率。
(2)该晶棒性能连续测试架通过安装卡块、卡槽以及检测头，使得便于通过卡块与卡槽的相互关系，将检测头螺入测试装置的卡槽内，便于检测头的固定安装与拆卸，便于根据不同的测试需求进行更换检测头，同时也便于在出现故障或损坏时进行检修维护。
(3)该晶棒性能连续测试架通过安装支撑柱、电磁滑轨、滑块以及横杆，通过滑动滑块便于调节测试装置的高度，横杆上通过铰接轴铰接有环箍，环箍内套设有测试装置，通过铰接轴便于调节测试装置的角度，使得便于对晶棒的不同位置进行测试。
(4)该晶棒性能连续测试架通过安装有固定座，固定座顶部的两端均通过复位弹簧固定有夹板，使得便于固定限位不同规格大小的晶棒，防止测试时发生跑偏移位，利于装置的使用。
(5)该晶棒性能连续测试架通过安装有红外线发射器、红外线接收器、以及控制面板，控制面板内设置有单片机，使得便于在红外线接收器接收到红外线发射器的信号后将信号传递到单片机，控制检测头开始测试，便于自动测试，无需人工操作，省时省力。
附图说明
图1为本实用新型的正视剖面结构示意图；
图2为本实用新型的转盘俯视结构示意图；
图3为本实用新型的固定座俯视结构示意图；
图4为本实用新型的图1中A处放大剖面结构示意图；
图5为本实用新型的系统框图。
图中：1、可调机脚；2、架体；3、工作台；4、控制面板；5、支撑柱；6、电磁滑轨；7、滑块；8、横杆；9、测试装置；10、环箍；11、转盘；12、转轴；13、伺服电机；14、固定座；15、复位弹簧；16、红外线接收器；17、夹板；18、红外线发射器；19、卡块；20、卡槽；21、检测头。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，本实用新型提供的一种实施例：一种晶棒性能连续测试架，包括架体2、测试装置9、转盘11和固定座14，架体2底部的四个拐角处均安装有可调机脚1，且架体2的顶端固定有工作台3，架体2呈“H”型结构，且架体2与工作台3为焊接一体化结构，保证装置稳定性，工作台3顶部的一端固定有支撑柱5，且支撑柱5一侧的底端设置有控制面板4，支撑柱5的一端固定有横杆8，支撑柱5靠近横杆8的一端设置有电磁滑轨6，且横杆8靠近支撑柱5的一端设置有与电磁滑轨6相互配合的滑块7，横杆8通过滑块7与电磁滑轨6构成滑动机构，便于调节测试装置9的高度，且横杆8远离支撑柱5的一端通过铰接轴铰接有环箍10，环箍10的内部套设有测试装置9，且测试装置9的底端安装有检测头21，测试装置9的底端设置有卡槽20，检测头21的顶端设置有与卡槽20相互配合的卡块19，且检测头21与测试装置9构成安装拆卸结构，便于拆卸更换检测头21，检测头21的一侧固定有红外线发射器18，红外线发射器18的型号可为DIP-2，工作台3顶部的另一端设置有转盘11，且工作台3的底端固定有伺服电机13，伺服电机13的型号可为Y90S-2，伺服电机13的输出端通过转轴12与转盘11连接，且转盘11的顶端均匀固定有固定座14，固定座14顶部的两端均通过复位弹簧15固定有夹板17，且夹板17关于固定座14左右对称分布，便于固定限位不同规格大小的晶棒，防止测试时发生跑偏移位，固定座14的数量设置为四个，且相邻固定座14之间的夹角均为九十度，使得每次旋转都使固定座14位于检测头21的正下方，实现连续测试固定座14上均设置有红外线接收器16，红外线接收器16的型号可为JL02564。
工作原理：使用时，接通电源，首先将需要测试的晶棒放置在固定座14上，并通过夹板17进行夹紧固定，之后根据测试需求选择合适的检测头21上的卡块19对准测试装置9的卡槽20，将检测头21安装在测试装置9上，之后伺服电机13带动转盘11旋转，设置好伺服电机13的参数，使得转盘11每次旋转九十度，而固定座14数量设置为四个，相邻固定座14之间的夹角均为九十度，使得每次旋转都使固定座14位于检测头21的正下方，实现连续测试，之后固定座14上的红外线接收器16接收到红外线发射器18发出的信号，将信号传递给控制面板4内部的单片机，单片机的型号可为ZYWYKJ，之后控制检测头21开始测试，测试时通过滑动滑块7可以调节检测头21的高度，同时通过铰接轴便于调节检测头21的角度，使得便于对晶棒的不同位置进行测试。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (6)
1.一种晶棒性能连续测试架，包括架体(2)、测试装置(9)、转盘(11)和固定座(14)，其特征在于：所述架体(2)底部的四个拐角处均安装有可调机脚(1)，且架体(2)的顶端固定有工作台(3)，所述工作台(3)顶部的一端固定有支撑柱(5)，且支撑柱(5)一侧的底端设置有控制面板(4)，所述支撑柱(5)的一端固定有横杆(8)，且横杆(8)远离支撑柱(5)的一端通过铰接轴铰接有环箍(10)，所述环箍(10)的内部套设有测试装置(9)，且测试装置(9)的底端安装有检测头(21)，所述检测头(21)的一侧固定有红外线发射器(18)，所述工作台(3)顶部的另一端设置有转盘(11)，且工作台(3)的底端固定有伺服电机(13)，所述伺服电机(13)的输出端通过转轴(12)与转盘(11)连接，且转盘(11)的顶端均匀固定有固定座(14)，所述固定座(14)上均设置有红外线接收器(16)。
2.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述架体(2)呈“H”型结构，且架体(2)与工作台(3)为焊接一体化结构。
3.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述支撑柱(5)靠近横杆(8)的一端设置有电磁滑轨(6)，且横杆(8)靠近支撑柱(5)的一端设置有与电磁滑轨(6)相互配合的滑块(7)，所述横杆(8)通过滑块(7)与电磁滑轨(6)构成滑动机构。
4.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述测试装置(9)的底端设置有卡槽(20)，所述检测头(21)的顶端设置有与卡槽(20)相互配合的卡块(19)，且检测头(21)与测试装置(9)构成安装拆卸结构。
5.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述固定座(14)顶部的两端均通过复位弹簧(15)固定有夹板(17)，且夹板(17)关于固定座(14)左右对称分布。
6.根据权利要求1所述的一种晶棒性能连续测试架，其特征在于：所述固定座(14)的数量设置为四个，且相邻固定座(14)之间的夹角均为九十度。
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