CN111006719A - 一种vcsel测量装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及VCSEL参数测量技术领域，提供了一种VCSEL测量装置，包括用于搁置芯片的测量台，还包括架设于所述测量台上方的支撑架、用于测量芯片的不同参数的若干参数测量组件以及用于将任一所述参数测量组件的位置调整至所述测量台的正上方的调整机构，各所述参数测量组件均可拆卸安装在所述调整机构上，所述调整机构安装在所述支撑架上。本发明的通过将多个参数测量组件集成在一起，通过调整来选择性地调整参数测量组件的位置，进而选择性地对需要的参数进行测量，解决了现有技术中的缺陷，而且通过参数测量组件的可拆卸连接的形式，可以根据实际需要拆下当前的参数测量组件并安装另外种类的参数测量组件，使得本测量装置的扩展性更好且使测量更为灵活。

Description

一种VCSEL测量装置
技术领域
本发明涉及VCSEL参数测量技术领域，具体为一种VCSEL测量装置。
背景技术
目前，VCSEL芯片进行测量，因为垂直方向物理空间限制，通常一个装置只能测量一个参数，需要测量多个参数时，要重新更换设备，造成设备的重复购买，进而增加了成本。
发明内容
本发明的目的在于提供一种VCSEL测量装置，通过将多个参数测量组件集成在一起，并通过调整来选择性地调整参数测量组件的位置，进而选择性地对需要的参数进行测量，解决了现有技术中的缺陷，而且通过参数测量组件的可拆卸连接的形式，可以根据实际需要拆下当前的参数测量组件并安装另外种类的参数测量组件，使得本测量装置的扩展性更好且使测量更为灵活。
为实现上述目的，本发明实施例提供如下技术方案：一种VCSEL测量装置，包括用于搁置芯片的测量台，还包括架设于所述测量台上方的支撑架、用于测量芯片的不同参数的若干参数测量组件以及用于将任一所述参数测量组件的位置调整至所述测量台的正上方的调整机构，各所述参数测量组件均可拆卸安装在所述调整机构上，所述调整机构安装在所述支撑架上。
进一步，所述调整机构包括安装在所述支撑架上的扇形转盘以及用于驱使所述扇形转盘旋转的驱动件，沿所述扇形转盘的弯曲方向各所述参数测量组件依次布设在所述扇形转盘上。
进一步，所述扇形转盘上设有沿所述扇形转盘的弯曲方向布设的导轨槽，每一所述参数测量组件均包括用于测量的测量件以及设于所述导轨槽内的导轨，所述测量件安装在所述导轨上。
进一步，所述导轨包括叠设且可互相滑动的两层板、用于调整两层板的相对位置的移动旋钮以及用于锁定两层板的位置的固定旋钮，所述测量件安装在其中一层板上。
进一步，所述驱动件为步进电机，所述步进电机的旋转轴与所述扇形转盘的转动轴线同轴设置。
进一步，其中一个所述参数测量组件包括积分球，所述积分球可拆卸安装在所述调整机构上。
进一步，其中一个所述参数测量组件包括光纤以及光谱仪，所述光纤可拆卸安装在所述调整机构上，且所述光纤的输出端与所述光谱仪连接。
进一步，其中一个所述参数测量组件包括相机，所述相机可拆卸安装在所述调整机构上。
进一步，还包括用于收集各所述参数测量组件测得的参数的计算机。
进一步，还包括可与所述芯片连接的探针以及与所述探针连接的源表，所述探针连接所述源表的正极，所述测量台连接所述源表的负极。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、通过将多个参数测量组件集成在一起，并通过调整来选择性地调整参数测量组件的位置，进而选择性地对需要的参数进行测量，解决了现有技术中的缺陷，而且通过参数测量组件的可拆卸连接的形式，可以根据实际需要拆下当前的参数测量组件并安装另外种类的参数测量组件，使得本测量装置的扩展性更好且使测量更为灵活。
2、使用计算机控制积分球、步进电机、源表和相机，在计算机上使用软件对测量完成的数据进行分析和整理，便于科学统计。
3、计算机控制步进电机，步进电机连接扇形转盘，控制转盘转动，切换积分球，光纤，相机，测量多种VCSEL性能参数。
4、扇形转盘与步进电机通过轴承互联，共同使用支撑架固定于工作台面，支撑架体积小，可以适应各种工作台面和移动，提高设备的便利性。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种VCSEL测量装置的示意图；
图2为本发明实施例提供的一种VCSEL测量装置的扇形转盘和支撑架的示意图；
图3为本发明实施例提供的一种VCSEL测量装置的扇形转盘和步进电机的示意图；
图4为本发明实施例提供的一种VCSEL测量装置的导轨的示意图；
附图标记中：1-光谱仪；2-计算机；3-源表；4-积分球；5-光纤；6-相机；7-扇形转盘；8-支撑架；9-测量台；10-探针；11-导轨槽；12-导轨；13-固定旋钮；14-移动旋钮；15-步进电机。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-图4，本发明实施例提供一种VCSEL测量装置，包括用于搁置芯片的测量台9、架设于所述测量台9上方的支撑架8、用于测量芯片的不同参数的若干参数测量组件以及用于将任一所述参数测量组件的位置调整至所述测量台9的正上方的调整机构，各所述参数测量组件均可拆卸安装在所述调整机构上，所述调整机构安装在所述支撑架8上。现有技术中，VCSEL(垂直腔面发射激光器)芯片的参数很多，需要用不同的测量部件来进行测量，而且由于垂直方向物理空间限制，通常一个装置也只能测量一个参数，这就会导致需要购买很多不同种类的设备，繁杂不说，还提高了成本。因此本实施例的一种测量装置，将各个参数测量组件集成在一起，需要使用哪个参数测量组件来进行对应的参数测量时，就利用调整机构将其作用端调至测量台9的正上方，使其正对着芯片，采用哪个参数测量组件，选择性好的同时还不会杂乱，整体结构简单，成本低。而且由于参数测量组件是可拆卸安装在调整机构上的，因此在实际的使用过程中，我们也可以选择合适的参数测量组件安装或拆卸，灵活多变。优选的，测量台9为金属导体，其表面喷金，优良的导电性能作为VCSEL的导电底盘使用。
优化上述方案，请参阅图1和图2，所述调整机构包括安装在所述支撑架8上的扇形转盘7以及用于驱使所述扇形转盘7旋转的驱动件，沿所述扇形转盘7的弯曲方向各所述参数测量组件依次布设在所述扇形转盘7上。在本实施例中，调整机构采用的是旋转调整的方式，被转动的转盘为扇形，当然也可以是圆形，将需要用到的参数测量组件布设在扇形转盘7上后，通过驱动件转动扇形转盘7，即可调整不同的参数测量组件的位置，进而进行不同的参数测量。
进一步优化上述方案，请参阅图1和图2，所述扇形转盘7上设有沿所述扇形转盘7的弯曲方向布设的导轨槽11，每一所述参数测量组件均包括用于测量的测量件以及设于所述导轨槽11内的导轨12，所述测量件安装在所述导轨12上。在本实施例中，测量件通过导轨12安装在轨道槽内，以便于测量件的安装。
进一步优化上述方案，请参阅图1、图2和图4，所述导轨12包括叠设且可互相滑动的两层板、用于调整两层板的相对位置的移动旋钮14以及用于锁定两层板的位置的固定旋钮13，所述测量件安装在其中一层板上。在本实施例中，将导轨12细化为两层板结构，如此可以根据实际需要对测量件的位置进行微调，例如当扇形转盘7带动测量件转动到合适的位置后，再通过两层板之间的滑动来调整安装在其中一层板上的测量件与测量台9之间的距离，进而使其能更为精准地测量。
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1和图3，所述驱动件为步进电机15，所述步进电机15的旋转轴与所述扇形转盘7的转动轴线同轴设置。在本实施例中，驱动扇形转盘7的驱动件采用的是步进电机15，通过步进电机15的旋转轴的转动来驱动扇形转盘7转动，扇形转盘7与步进电机15以轴承互联，并依靠支撑架8立于工作台面上，该步进电机15可以由人工操控，也可以由计算机2操作，计算机2操控可以是预先设定好程序来控制。
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1，其中一个所述参数测量组件包括积分球4，所述积分球4可拆卸安装在所述调整机构上。在本实施例中，采用积分球4来测量VCSEL芯片的功率，积分球4可以连接计算机2，由计算机2软件控制，通过数据传输线传递信号，在计算机2内生成芯片的功率供人们直观地观察。
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1，其中一个所述参数测量组件包括光纤5以及光谱仪1，所述光纤5可拆卸安装在所述调整机构上，且所述光纤5的输出端与所述光谱仪1连接。在本实施例中，光纤5为多模光纤5，光纤5收集的光信号传入光谱仪1，以光谱仪1计算收集到的光信号，输出芯片的光谱参数，波长，峰值波长等。
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1，其中一个所述参数测量组件包括相机6，所述相机6可拆卸安装在所述调整机构上。在本实施例中，相机6可以采用红外相机6，它能拍摄芯片的表面外观，还有不反光和发光时的影响，通过数据传输线传递图片信息到计算机2内，使用计算机2内的图片分析软件，计算芯片的发光均匀性。
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1，本装置还包括可与所述芯片连接的探针10以及与所述探针10连接的源表3，所述探针10连接所述源表3的正极，所述测量台9连接所述源表3的负极。在本实施例中，源表3与计算机2通过数据线连接，计算机2通过软件控制源表3的电流开关以及收集源表3返回的测量参数，包括电压，电流和电阻。
作为本发明实施例的优化方案，请参阅图1，本装置还包括用于收集各所述参数测量组件测得的参数的计算机2。计算机2不仅可以对这些参数测量组件进行控制，而且还可以对它们测得参数进行处理和收集。
作为本发明实施例的优化方案，本装置不仅仅限于上述的积分球4、光纤5、相机6、源表3，还可以有紫外相机6、红外成像仪等等，它们都可以根据实际情况安装或拆下。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种VCSEL测量装置，包括用于搁置芯片的测量台，其特征在于：还包括架设于所述测量台上方的支撑架、用于测量芯片的不同参数的若干参数测量组件以及用于将任一所述参数测量组件的位置调整至所述测量台的正上方的调整机构，各所述参数测量组件均可拆卸安装在所述调整机构上，所述调整机构安装在所述支撑架上。
2.如权利要求1所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：所述调整机构包括安装在所述支撑架上的扇形转盘以及用于驱使所述扇形转盘旋转的驱动件，沿所述扇形转盘的弯曲方向各所述参数测量组件依次布设在所述扇形转盘上。
3.如权利要求2所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：所述扇形转盘上设有沿所述扇形转盘的弯曲方向布设的导轨槽，每一所述参数测量组件均包括用于测量的测量件以及设于所述导轨槽内的导轨，所述测量件安装在所述导轨上。
4.如权利要求3所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：所述导轨包括叠设且可互相滑动的两层板、用于调整两层板的相对位置的移动旋钮以及用于锁定两层板的位置的固定旋钮，所述测量件安装在其中一层板上。
5.如权利要求2所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：所述驱动件为步进电机，所述步进电机的旋转轴与所述扇形转盘的转动轴线同轴设置。
6.如权利要求1所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：其中一个所述参数测量组件包括积分球，所述积分球可拆卸安装在所述调整机构上。
7.如权利要求1所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：其中一个所述参数测量组件包括光纤以及光谱仪，所述光纤可拆卸安装在所述调整机构上，且所述光纤的输出端与所述光谱仪连接。
8.如权利要求1所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：其中一个所述参数测量组件包括相机，所述相机可拆卸安装在所述调整机构上。
9.如权利要求1所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：还包括用于收集各所述参数测量组件测得的参数的计算机。
10.如权利要求1所述的一种VCSEL测量装置，其特征在于：还包括可与所述芯片连接的探针以及与所述探针连接的源表，所述探针连接所述源表的正极，所述测量台连接所述源表的负极。
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