CN105466669A - 用于检测激光二极管性能的检测设备 - Google Patents
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Abstract
一种用于检测激光二极管性能的检测设备,包括安装平台、激光二极管位姿调整组件、激光二极管夹持件、光电二极管位姿调整组件、光电二极管夹持件、计算机及控制装置。当要检测激光二极管的性能时,先使激光二极管被激光二极管夹持件夹持固定,光电二极管被光电二极管夹持件夹持固定;接着,通过光电二极管位姿调整组件,以调整光电二极管与激光二极管之间的距离;之后,通过激光二极管位姿调整组件,以调整激光二极管的旋转角度;同时地,计算机会接收由光电二极管传来的探测到激光二极管的光功率信号,以及通过控制装置获取激光二极管旋转角度的信息,并绘制成相应的曲线,再通过作图算法得到偏移角和发散角,以此得出激光二极管性能的结果。
Description
技术领域
本发明涉及检测设备的技术领域,尤其涉及一种用于检测激光二极管性能的检测设备。
背景技术
在光电器件行业中,主要关键部件之一为半导体激光器,其又称为激光二极管(LD,LaserDiode)。当光电器件发生问题时,通过检测分析半导体激光器的性能可成为解决问题的首要突破点,随之也发展出分析LD性能的设备。而目前分析LD性能的设备多为采用工业CCD(电荷耦合元件)以进行焦点捕捉,再运用复杂算法以得到分析结果,当此类分析LD性能的设备费用较为高昂,不利于推广使用。
因此,有必要提供一种技术手段以解决上述缺陷。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术之缺陷,提供一种用于检测激光二极管性能的检测设备,以解决现有技术中的分析LD性能的设备因价格高昂而不适于推广使用的问题。
本发明是这样实现的,用于检测激光二极管性能的检测设备,包括:
安装平台;
激光二极管位姿调整组件,所述激光二极管位姿调整组件包括可绕竖直于所述安装平台的竖直方向线旋转的第一连接板、设于所述安装平台上并支承连接所述第一连接板以驱动所述第一连接板旋转工作的第一旋转动力源、设置于所述第一连接板上的安装座、可绕其轴线旋转设置在所述安装座上的旋转轴、设于所述第一连接板和/或所述安装座上以驱动所述旋转轴旋转工作的第二旋转动力源,所述安装座上设有一可容置部件并可使该部件自由活动的活动空间;所述旋转轴具有至少一个位于所述活动空间上的活动端;所述第二旋转动力源包括一动力输出端,所述动力输出端与所述旋转轴连接;
激光二极管夹持件,所述激光二极管夹持件设于所述旋转轴的活动端上,并容设于所述活动空间;
光电二极管位姿调整组件,所述光电二极管位姿调整组件包括设于所述安装平台上的支架、位于所述旋转轴的上方且可移动靠近所述旋转轴以供部件连接固定的第二连接板、设于所述支架上并与所述第二连接板连接以可驱动所述第二连接板移动的第二连接板驱动机构;
光电二极管夹持件,所述光电二极管夹持件设置在所述第二连接板上,并位于所述激光二极管夹持件的上方;
计算机,所述计算机上安装有可接收由夹持于所述光电二极管夹持件上的光电二极管传来的光功率信号以及获取所述激光二极管旋转角度的信息、并可对该光功率信号及该激光二极管旋转角度的信息进行分析以得到夹持于所述激光二极管夹持件上的激光二极管性能的检测功能模块;
控制装置,所述控制装置分别与所述第一旋转动力源、所述第二旋转动力源、所述计算机电连接。
具体地,所述激光二极管位姿调整组件还包括可驱使所述第一连接板沿所述安装平台的水平方向移动的移动机构,所述移动机构设于所述安装平台上并支承连接所述第一旋转动力源。
进一步地,所述安装平台上定义有X轴方向、及与所述X轴方向垂直相交的Y轴方向;
所述移动机构还包括可使所述第一连接板沿所述X轴方向移动的X轴滑动座、及可使所述第一连接板沿所述Y轴方向移动的Y轴滑动座,所述X轴滑动座滑动设于所述安装平台上,所述Y轴滑动座滑动设于所述X轴滑动座上,所述旋转动力源设于所述Y轴滑动座上。
进一步地,所述X轴滑动座、所述Y轴滑动座分别与所述控制装置电连接,以可由所述控制装置分别控制所述X轴滑动座、所述Y轴滑动座移动工作。
具体地,所述第二连接板驱动机构包括可沿竖直于所述安装平台上的竖直方向滑动设于所述支架上的Z轴滑动座,所述第二连接板设于所述Z轴滑动座上,并延伸凸出于所述Z轴滑动座。
进一步地,所述Z轴滑动座与所述控制装置电连接,以可由所述控制装置控制所述Z轴滑动座移动工作。
较佳地,所述光电二极管位姿调整组件还包括用以测量控制所述Z轴滑动座沿竖直方向移动的距离的测量装置,所述测量装置设于所述安装平台和/或所述支架上。
进一步地,所述测量装置为光栅尺,所述光栅尺设于所述安装平台上并连接于所述支架,且所述光栅尺与所述控制装置电连接。
具体地,所述第一旋转动力源为旋转气缸,所述旋转气缸包括一旋转端,所述第一连接板设于所述旋转端上。
具体地,所述第二旋转驱动源为一步进电机。
本发明的用于检测激光二极管性能的检测设备的技术效果为:当需要检测分析激光二极管的性能时,先使激光二极管被激光二极管夹持件夹持固定,光电二极管被光电二极管夹持件夹持固定;接着,可通过光电二极管位姿调整组件,以调整光电二极管的移动位置,具体为,在调整光电二极管的移动位置时,可通过第二连接板驱动机构,以驱动第二连接板移动,而由此调整光电二极管的位置;之后,通过激光二极管位姿调整组件,以调整激光二极管的旋转角度,具体为,可通过第一旋转动力源,以调整激光二极管绕竖直于安装平台的竖直方向线旋转的旋转角度,通过第二旋转动力源,以调整激光二极管绕旋转轴的轴线旋转的旋转角度;同时地,计算机会接收由光电二极管传来的探测到激光二极管的光功率信号,以及通过控制装置获取激光二极管旋转角度的信息,并将该光功率信号与旋转角度的信息绘制成相应的曲线,再通过作图算法得到偏移角和发散角,以此得出激光二极管性能的结果。
整个操作简单方便,有利于检测人员的操作;同时地,该检测设备结构简单,不但有效检测出激光二极管的性能,而且整体造价较便宜,有利于推广使用。
附图说明
图1为本发明的用于检测激光二极管性能的检测设备的立体图;
图2为本发明的用于检测激光二极管性能的检测设备的另一实施例的示意图;
图3为本发明的用于检测激光二极管性能的检测设备的X轴滑动座和Y轴滑动座的示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
请参阅图1,下面对本发明的用于检测激光二极管性能的检测设备的实施例进行阐述。
本实施例的用于检测激光二极管性能的检测设备100,包括安装平台10、激光二极管位姿调整组件20、激光二极管夹持件30、光电二极管位姿调整组件40、光电二极管夹持件50、计算机(图中未标示)及控制装置(图中未标示),下面对用于检测激光二极管性能的检测设备100的各部件作进一步描述:
安装平台10为用于供部件安装设置;
激光二极管位姿调整组件20包括与安装平台10平行并可绕竖直于安装平台10的竖直方向线旋转的第一连接板21、设于安装平台10上并支承连接第一连接板21以驱动第一连接板21旋转工作的第一旋转动力源22、设置于第一连接板21上的安装座23、可绕其轴线旋转设置在安装座23上的旋转轴24、设于第一连接板21和/或安装座10上以驱动旋转轴24旋转工作的第二旋转动力源25,安装座23上设有一可容置部件并可使该部件自由活动的活动空间231,其中,安装座23可由第一安装座和第二安装座组成,第一安装座和第二安装座分设于第一连接板21的两侧,第一安装座与第二安装座之间的间隔距离即为活动空间231,亦可于安装座23挖空一空间,该空间即为活动空间231;旋转轴24具有至少一个位于活动空间231上的活动端241;第二旋转动力源25包括一动力输出端,动力输出端与旋转轴24连接,较佳地,该第二旋转动力源25为一步进电机,以便于取材及安装;
激光二极管夹持件30为用于夹持激光二极管,其可为一夹头,其中,激光二极管夹持件30设于旋转轴24的活动端241上,并容设于活动空间231;
光电二极管位姿调整组件40包括竖直设于安装平台10上的支架41、位于旋转轴24的上方且可移动靠近旋转轴24以供部件连接固定的第二连接板42、设于支架41上并与第二连接板42连接以可驱动第二连接板42移动的第二连接板驱动机构43,其中,该第二连接板42与第一连接板21平行;
光电二极管夹持件50为用于夹持光电二极管,其可为一夹头,其中,光电二极管夹持件50设置在第二连接板42上,并位于激光二极管夹持件30的上方;
计算机上安装有检测功能模块,以可通过该检测功能模块接收由夹持于光电二极管夹持件50上的光电二极管传来的光功率信号以及获取激光二极管旋转角度的信息,并可对该光功率信号及该激光二极管旋转角度的信息进行分析,以得到夹持于激光二极管夹持件30上的激光二极管性能;
控制装置,控制装置分别与第一旋转动力源22、第二旋转动力源25、计算机电连接。
当需要检测分析激光二极管的性能时,先使激光二极管被激光二极管夹持件30夹持固定,光电二极管被光电二极管夹持件50夹持固定;接着,可通过光电二极管位姿调整组件40,以调整光电二极管的移动位置,具体为,在调整光电二极管的移动位置时,可通过第二连接板驱动机构43,以驱动第二连接板42移动,而由此调整光电二极管的位置;之后,通过激光二极管位姿调整组件20,以调整激光二极管的旋转角度,具体地,可通过第一旋转动力源22,以调整激光二极管绕竖直于安装平台10的竖直方向线旋转的旋转角度,通过第二旋转动力源25,以调整激光二极管绕旋转轴24的轴线旋转的旋转角度;同时地,计算机会接收由光电二极管传来的探测到激光二极管的光功率信号,以及通过控制装置获取激光二极管旋转角度的信息,并将该光功率信号与旋转角度的信息绘制成相应的曲线,再通过作图算法得到偏移角和发散角,以此得出激光二极管性能的结果。
整个操作简单方便,有利于检测人员的操作;同时地,该检测设备100结构简单,不但有效检测出激光二极管的性能,而且整体造价较便宜,有利于推广使用。
请再参阅图1,本实施例的第一旋转动力源22的优选实施方式为,第一旋转动力源22为旋转气缸,旋转气缸包括一旋转端221,第一连接板21设于旋转端221上,借由旋转气缸的设置,简单方便地使激光二极管绕安装平台10的竖直方向线旋转至所需的角度,有利于对激光二极管的全方位检测;较佳地,该旋转气缸为90°旋转气缸。
请参阅图2和图3,本实施例中的激光二极管位姿调整组件20的优选实施方式为,激光二极管位姿调整组件20还包括可驱使第一连接板21沿安装平台10的水平方向移动的移动机构26,移动机构26设于安装平台10上并支承连接第一旋转动力源22,而借由该移动机构26的设置,可使到该检测设备100具有测量焦距平台的功能。
具体地,安装平台10上定义有X轴方向、及与X轴方向垂直相交的Y轴方向;
而移动机构26包括可使第一连接板21沿X轴方向移动的X轴滑动座261、及可使第一连接板21沿Y轴方向移动的Y轴滑动座262,X轴滑动座261滑动设于安装平台10上,Y轴滑动座262滑动设于X轴滑动座261上,第一旋转动力源22设于Y轴滑动座262上;另外,X轴滑动座261、Y轴滑动座262可为手动控制,亦可为电动控制。
据此,当需要调整激光二极管的X轴方向的位置时,只要滑动X轴滑动座261即可;而需要调整激光二极管的Y轴方向的位置时,只要滑动Y轴滑动座222即可,简单方便。
而为了减轻检测人员的工作强度,并同时提高工作效率,X轴滑动座261、Y轴滑动座262分别与控制装置电连接,以可由控制装置分别控制X轴滑动座261、Y轴滑动座262移动工作。
请参阅图2,本实施例中的第二连接板驱动机构43的优选实施方式为,第二连接板驱动机构43包括可沿竖直于安装平台10上的竖直方向滑动设于支架41上的Z轴滑动座431,第二连接板42设于Z轴滑动座431上,并延伸凸出于Z轴滑动座431;另外,Z轴滑动座431可为手动控制,亦可为电动控制。
据此,当需要调整光电二极管竖直方向的位置时,只要滑动Z轴滑动座431即可,简单方便。
而为了减轻检测人员的工作强度,并同时提高工作效率,Z轴滑动座431与控制装置电连接,以可由控制装置控制Z轴滑动座431移动工作。
请继续参阅图2,进一步地,本实施例的光电二极管位姿调整组件40还包括用以测量控制Z轴滑动座431沿竖直方向移动的距离的测量装置44,测量装置44设于安装平台10和/或支架41上,而借由该测量装置44,可便于检测人员控制Z轴滑动座431的精确移动,有利于提高检测质量。
其中,较佳地,该测量装置44为光栅尺,光栅尺设于安装平台10上并连接于支架41,且光栅尺与控制装置电连接,而光栅尺,也称为光栅尺位移传感器(光栅尺传感器),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺可用作直线位移或者角位移的检测,其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大、检测精度高、响应速度快的特点。
下面结合各图式,对本发明的用于检测激光二极管性能的检测设备100的工作原理作进一步说明:
当需要检测分析激光二极管的性能时,先使激光二极管被激光二极管夹持件30夹持固定,光电二极管被光电二极管夹持件50夹持固定;接着,可通过光电二极管位姿调整组件40,以调整光电二极管的移动位置,具体为,在调整光电二极管的移动位置时,可通过第二连接板驱动机构43,以驱动第二连接板42移动,而由此调整光电二极管的位置;之后,通过激光二极管位姿调整组件20,以调整激光二极管的旋转角度,具体地,可通过第一旋转动力源22,以调整激光二极管绕竖直于安装平台10的竖直方向线旋转的旋转角度,通过第二旋转动力源25,以调整激光二极管绕旋转轴24的轴线旋转的旋转角度;同时地,计算机会接收由光电二极管传来的探测到激光二极管的光功率信号,以及通过控制装置获取激光二极管旋转角度的信息,并将该光功率信号与旋转角度的信息绘制成相应的曲线,再通过作图算法得到偏移角和发散角,以此得出激光二极管性能的结果。
以上所述仅为本发明较佳的实施例而已,其结构并不限于上述列举的形状,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于,包括:
安装平台;
激光二极管位姿调整组件,所述激光二极管位姿调整组件包括可绕竖直于所述安装平台的竖直方向线旋转的第一连接板、设于所述安装平台上并支承连接所述第一连接板以驱动所述第一连接板旋转工作的第一旋转动力源、设置于所述第一连接板上的安装座、可绕其轴线旋转设置在所述安装座上的旋转轴、设于所述第一连接板和/或所述安装座上以驱动所述旋转轴旋转工作的第二旋转动力源,所述安装座上设有一可容置部件并可使该部件自由活动的活动空间;所述旋转轴具有至少一个位于所述活动空间上的活动端;所述第二旋转动力源包括一动力输出端,所述动力输出端与所述旋转轴连接;
激光二极管夹持件,所述激光二极管夹持件设于所述旋转轴的活动端上,并容设于所述活动空间;
光电二极管位姿调整组件,所述光电二极管位姿调整组件包括设于所述安装平台上的支架、位于所述旋转轴的上方且可移动靠近所述旋转轴以供部件连接固定的第二连接板、设于所述支架上并与所述第二连接板连接以可驱动所述第二连接板移动的第二连接板驱动机构;
光电二极管夹持件,所述光电二极管夹持件设置在所述第二连接板上,并位于所述激光二极管夹持件的上方;
计算机,所述计算机上安装有可接收由夹持于所述光电二极管夹持件上的光电二极管传来的光功率信号以及获取所述激光二极管旋转角度的信息、并可对该光功率信号及该激光二极管旋转角度的信息进行分析以得到夹持于所述激光二极管夹持件上的激光二极管性能的检测功能模块;
控制装置,所述控制装置分别与所述第一旋转动力源、所述第二旋转动力源、所述计算机电连接。
2.如权利要求1所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述激光二极管位姿调整组件还包括可驱使所述第一连接板沿所述安装平台的水平方向移动的移动机构,所述移动机构设于所述安装平台上并支承连接所述第一旋转动力源。
3.如权利要求2所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述安装平台上定义有X轴方向、及与所述X轴方向垂直相交的Y轴方向;
所述移动机构包括可使所述第一连接板沿所述X轴方向移动的X轴滑动座、及可使所述第一连接板沿所述Y轴方向移动的Y轴滑动座,所述X轴滑动座滑动设于所述安装平台上,所述Y轴滑动座滑动设于所述X轴滑动座上,所述旋转动力源设于所述Y轴滑动座上。
4.如权利要求3所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述X轴滑动座、所述Y轴滑动座分别与所述控制装置电连接,以可由所述控制装置分别控制所述X轴滑动座、所述Y轴滑动座移动工作。
5.如权利要求1所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述第二连接板驱动机构包括可沿竖直于所述安装平台上的竖直方向滑动设于所述支架上的Z轴滑动座,所述第二连接板设于所述Z轴滑动座上,并延伸凸出于所述Z轴滑动座。
6.如权利要求5所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述Z轴滑动座与所述控制装置电连接,以可由所述控制装置控制所述Z轴滑动座移动工作。
7.如权利要求5所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述光电二极管位姿调整组件还包括用以测量控制所述Z轴滑动座沿竖直方向移动的距离的测量装置,所述测量装置设于所述安装平台和/或所述支架上。
8.如权利要求7所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述测量装置为光栅尺,所述光栅尺设于所述安装平台上并连接于所述支架,且所述光栅尺与所述控制装置电连接。
9.如权利要求1-8任一项所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述第一旋转动力源为旋转气缸,所述旋转气缸包括一旋转端,所述第一连接板设于所述旋转端上。
10.如权利要求1-8任一项所述的用于检测激光二极管性能的检测设备,其特征在于:所述第二旋转驱动源为一步进电机。
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---|---|
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |