CN209306450U - 硅片传输分选装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体制造技术领域，提供一种硅片传输分选装置，包括两来料传输机构、第一交叉传输机构、多个第二交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机。传输线提升机的输出端连接于分选传输机构。分选传输机构包括两分选传输链，两分选传输链均具有多个分选工位，第一交叉传输机构包括两第一交叉传输链。来料晶体硅片由来料传输机构传输至第一交叉传输机构，并传输至对应的分选工位上，当分选传输机构沿竖直方向上上移，来料晶体硅片沿分选传输链传输至其余的分选工位。当分选传输机构沿竖直方向上下移，各晶体硅片传输至对应第二交叉传输链上。该硅片传输分选装置实现来料晶体硅片由一路传输变成多路传输，分选转运效率更高。

Description

硅片传输分选装置

技术领域

本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其提供一种硅片传输分选装置。

背景技术

随着半导体行业的迅速发展，对其生产过程中的自动化程度以及清洁度也要求越来越高。例如，在晶体硅片的生产制造过程中，通常需要专用的输送机构进行传输。在工序与工序之间通常需要进行转运分选，目前，大多采用人工辅助操作进行分选，即人为地取放晶体硅片。这样，导致分选效率低。因此，亟需解决晶体硅片在工序之间进行转运分选时因采用人工分选而导致的效率低的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的提供一种硅片传输分选装置，旨在解决晶体硅片在工序之间进行转运分选时因采用人工分选而导致的效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：硅片传输分选装置，包括两来料传输机构、第一交叉传输机构、多个沿硅片传输方向并排设置的第二交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机，所述传输线提升机的输出端连接于所述分选传输机构且可沿竖直方向升降移动所述分选传输机构，所述分选传输机构包括平行且间隔设置的两分选传输链，两所述分选传输链均具有多个位置对应的分选工位，所述第一交叉传输机构包括平行且间隔设置的两第一交叉传输链，所述第一交叉传输机构的两所述第一交叉传输链设于其中一所述分选工位处且位于所述分选传输链的一侧，所述第一交叉传输链的传输端面高于所述分选传输链的传输端面，两所述来料传输机构分别布设于所述第一交叉传输机构的相对两端，各所述第二交叉传输机构均包括平行且间隔设置的两第二交叉传输链，各所述第二交叉传输机构的两所述第二交叉传输链分别设于剩余的所述分选工位处且均位于所述分选传输链的另一侧，各所述第二交叉传输链的传输端面均低于所述分选传输链的传输端面。

具体地，所述分选传输机构包括底板、多个第一侧立板、多个与所述第一侧立板相对应的第二侧立板、两所述分选传输链以及分选驱动电机，各所述第一侧立板沿垂直于硅片传输方向间隔地立设于所述底板上，各所述第二侧立板平行于对应所述第一侧立板且立设所述底板上，其中一所述分选传输链安装于各所述第一侧立板上且绕于所述分选驱动电机的第一输出端，另一所述分选传输链安装于各所述第二侧立板上且绕于所述分选驱动电机的第二传输端，各所述第一侧立板于所述分选工位处均开设有两并排设置的第一凹槽，各所述第二侧立板于所述分选工位处均开设有与两所述第一凹槽相对应的两第二凹槽，各所述交叉传输机构的一端设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，所述传输线提升机的输出端安装于所述底板上且可沿竖直方向升降所述底板。

具体地，所述第一交叉传输机构包括第一底座、第一支撑板、第二支撑板、两所述第一交叉传输链以及第一交叉驱动电机，所述第一支撑板和所述第二支撑板分别立设于所述第一底座的两端，所述第一交叉驱动电机安装于所述第一底座上且位于所述第一支撑板和所述第二支撑板之间，所述第二支撑板包括安装于所述第一底座上的第一支架以及垂直连接于所述第一支架的第一延伸板，所述第一延伸板伸出至所述第一底座的外部，两所述第一交叉传输链分别安装于所述第一支撑板和所述第一延伸板相对的两侧且均绕于所述第一交叉驱动电机的输出端，所述第一延伸板设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，并且，所述第一延伸板平行于所述底板设置。

具体地，所述第一交叉传输链包括多个第一交叉辊轴以及两平行设置的第一交叉传输皮带，各所述第一交叉辊轴每两个一组对称地设于所述第一支撑板的相对两侧、设于所述第一延伸板的相对两侧以及设于所述第一交叉驱动电机的相对两侧上，两所述第一交叉传输皮带分别依次绕于所述第一侧立板相对两侧、所述第一延伸板相对两侧以及所述第一交叉电机相对两侧上对应的各所述第一交叉辊轴。

具体地，各所述第二交叉传输机构均包括第二底座、第三支撑板、第四支撑板、两所述第二交叉传输链以及第二交叉驱动电机，所述第三支撑板和所述第四支撑板分别立设于所述第二底座的两端，所述第二交叉驱动电机安装于所述第二底座上且位于所述第三支撑板和所述第四支撑板之间，所述第四支撑板包括安装于所述第二底座上的第二支架以及垂直连接于所述第二支架的第二延伸板，所述第二延伸板伸出至所述第二底座的外部，两所述第二交叉传输链分别安装于所述第三支撑板和所述第二延伸板相对的两侧且均绕于所述第二交叉驱动电机的输出端，所述第二延伸板设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，并且，所述第二延伸板平行于所述底板设置。

具体地，所述第二交叉传输链包括多个第二交叉辊轴以及两平行设置的第二交叉传输皮带，各所述第二交叉辊轴每两个一组对称地设于所述第三支撑板的相对两侧、设于所述第二延伸板的相对两侧以及设于所述第二交叉驱动电机的相对两侧上，两所述第二交叉传输皮带分别依次绕于所述第三侧立板相对两侧、所述第二延伸板相对两侧以及所述第二交叉电机相对两侧上对应的各所述第二交叉辊轴。

具体地，所述分选传输链包括多个分选辊轴以及分选传输皮带，各所述分选辊轴设于各所述第一侧立板的缘侧边界处和所述第二侧立板的缘侧边界处，各所述分选传输皮带依次绕于各所述第一侧立板上的各所述分选辊轴或者绕于各所述第二侧立板上的各所述分选辊轴，所述分选传输皮带的传输端面低于所述第一交叉传输皮带，所述分选传输皮带的传输端面高于各所述第二交叉传输皮带。

具体地，所述传输线提升机包括竖直移动电机、第一位置传感器、多个第二位置传感器以及支撑平台，所述第一位置传感器和各所述第二位置传感器均与所述竖直移动电机电性连接，所述支撑平台包括竖直板以及垂直连接于所述竖直板的水平板，所述竖直板连接于所述竖直移动电机的输出端，所述水平板连接于所述底板，所述第一位置传感器设于其中一所述分选工位处且靠近于所述第一交叉传输链，各所述第二位置传感器设于其余的所述分选工位处且靠近于对应的所述第二交叉传输链。

具体地，所述来料传输机构包括座体板、两支架板、两来料辊轴、两来料传输皮带以及来料驱动电机，两所述支架板平行且间隔立设于所述座体板的两端，所述来料驱动电机安装于所述座体板上且位于两所述支架板之间，各所述来料辊轴每两个一组对称地设于所述支架板的相对两侧以及设于所述来料驱动电机的相对两侧上，两所述来料传输皮带分别依次绕于其中一所述支架板的相对两侧、所述来料驱动电机的相对两侧以及另一所述支架板的相对两侧上对应的各所述来料辊轴。

本实用新型的有益效果：本实用新型的硅片传输分选装置，其工作过程如下，来料晶体硅片由远离分选传输机构的来料传输机构传输至第一交叉传输机构，并且，传输至对应的分选工位上，此时，传输线提升机带动分选传输机构沿竖直方向上上移，使得分选传输机构的两分选传输链的传输端面高于第一交叉传输链的传输端面，这样，来料晶体硅片沿分选传输链传输至其余的分选工位，此时，传输线提升机带动分选传输机构沿竖直方向上下移，使得分选传输机构的两分选传输链的传输端面低于第二交叉传输链的传输端面，从而，各分选工位上的晶体硅片传输至对应的第二交叉传输机构的第二交叉传输链上，再传输至下一工序，该硅片传输分选装置适用于晶体硅片制造过程中各工序之间的分选，即来料晶体硅片由一路传输变成多路传输，进行分散，避免了人为的集中取放转运，分选转运效率更高。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置的主视图；

图3为本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置的左视图；

图4为本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置的俯视图；

图5为本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置的分选传输机构的结构示意图；

图6为本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置的第一交叉传输机的构结构示意图；

图7为本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置的第二交叉传输机的构结构示意图；

图8为本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置的来料传输机构的构结构示意图。

其中，图中各附图标记：

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参考图1至图4，本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置，包括两来料传输机构500、第一交叉传输机构300、多个沿硅片传输方向并排设置的第二交叉传输机构400、分选传输机构100以及传输线提升机200。传输线提升机200的输出端连接于分选传输机构100且可沿竖直方向升降移动分选传输机构100。分选传输机构100包括平行且间隔设置的两分选传输链105，两分选传输链105均具有多个位置对应的分选工位10a，第一交叉传输机构300包括平行且间隔设置的两第一交叉传输链305，第一交叉传输机构300的两第一交叉传输链305设于其中一分选工位10a处且位于分选传输链105的一侧。在初始阶段，第一交叉传输链305的传输端面高于分选传输链105的传输端面。两来料传输机构500分别布设于第一交叉传输机构300的相对两端。各第二交叉传输机构400均包括平行且间隔设置的两第二交叉传输链405，各第二交叉传输机构400的两第二交叉传输链405分别设于剩余的分选工位10a处且均位于分选传输链105的另一侧。在初始阶段，各第二交叉传输链405的传输端面均低于分选传输链105的传输端面。

本实用新型实施例提供的硅片传输分选装置，其工作过程如下，来料晶体硅片由远离分选传输机构100的来料传输机构500传输至第一交叉传输机构300，并且，传输至对应的分选工位10a上，此时，传输线提升机200带动分选传输机构100沿竖直方向上上移，使得分选传输机构100的两分选传输链105的传输端面高于第一交叉传输链305的传输端面，这样，来料晶体硅片沿分选传输链105传输至其余的分选工位10a，此时，传输线提升机200带动分选传输机构100沿竖直方向上下移，使得分选传输机构100的两分选传输链105的传输端面低于第二交叉传输链405的传输端面，从而，各分选工位10a上的各晶体硅片传输至对应的第二交叉传输机构400的两第二交叉传输链405上，再传输至下一工序，该硅片传输分选装置适用于晶体硅片制造过程中各工序之间的分选，即来料晶体硅片由一路传输变成多路传输，进行分散，避免了人为的集中取放转运，分选转运效率更高。同时，若无需改变晶体硅片的传输路数，则由第一交叉传输机构300的第一交叉传输链305直接传输至另一来料传输机构500上，保持一路传输状态传输至下一工序。

具体地，请参考图1至图5，在本实施例中，分选传输机构100包括底板101、多个第一侧立板102、多个与第一侧立板102相对应的第二侧立板103、两分选传输链105以及分选驱动电机104。各第一侧立板102沿垂直于硅片传输方向间隔地立设于底板101上，各第二侧立板103平行于对应第一侧立板102且立设底板101上，这里，可以理解地，各第一侧立板102和各第二侧立板103的放置方向与晶体硅片的传输方向相垂直，即两分选传输链105的传输方向与晶体硅片的传输方向相垂直。其中一分选传输链105安装于各第一侧立板102上且绕于分选驱动电机104的第一输出端，另一分选传输链105安装于各第二侧立板103上且绕于分选驱动电机104的第二传输端，这里，两条平行的分选传输链105能够平稳的支撑晶体硅片，同时，也减少分选传输链105的整体体积，为第一交叉传输链和各第二交叉传输链提供容置空间。各第一侧立板102于分选工位10a处均开设有两并排设置的第一凹槽10b，各第二侧立板103于分选工位10a处均开设有与两第一凹槽10b相对应的两第二凹槽10c，各交叉传输机构300的一端设于对应的第一凹槽10b内和第二凹槽10c内，传输线提升机200的输出端安装于底板101上且可沿竖直方向升降底板101。可以理解地，第一凹槽10b和第二凹槽10c即为分选工位10a，两者也改变了两分选传输链105的安装位置，形成空档，满足了分选传输机构100在竖直方向上移动时，其分选传输链105不与第一交叉传输链相交叉接触以及不与各第二交叉传输链相交叉接触。

具体地，请参考图1、图4、图5和图6，第一交叉传输机构300包括第一底座301、第一支撑板302、第二支撑板303、两第一交叉传输链305以及第一交叉驱动电机304。第一支撑板302和第二支撑板303分别立设于第一底座301的两端，第一交叉驱动电机304安装于第一底座301上且位于第一支撑板302和第二支撑板303之间，第二支撑板303包括安装于第一底座301上的第一支架306以及垂直连接于第一支架306的第一延伸板307，第一延伸板307伸出至第一底座301的外部，两第一交叉传输链305分别安装于第一支撑板302和第一延伸板307相对的两侧，并且，两第一交叉传输链305分别均绕于第一交叉驱动电机304的输出端，同理地，两条平行的第一交叉传输链305能够平稳的支撑晶体硅片，同时，也减少第一交叉传输链305的整体体积，从而与分选传输链105实现同一平面内的交叉。第一延伸板307设于第一凹槽10b内和第二凹槽10c内，并且，第一延伸板平行于底板101设置。优选地，第一延伸板307呈Y形结构，具有两个延伸臂供第一交叉传输链305安装，同时，其两个延伸臂分别容置在第一凹槽10b和第二凹槽10c内，从而在分选传输链105上下移动时，不与第一交叉传输链305发生接触。当然，也可在第一延伸板307上开孔，形成两末端相连的延伸臂，均能到达上述效果。

具体地，请参考图1、图4、图5和图6，在本实施例中，第一交叉传输链305包括多个第一交叉辊轴308以及两平行设置的第一交叉传输皮带309。各第一交叉辊轴308每两个一组对称地设于第一支撑板302的相对两侧、设于第一延伸板307的相对两侧以及设于第一交叉驱动电机304的相对两侧上。两第一交叉传输皮带309分别依次绕于第一支撑板302相对两侧、第一延伸板307相对两侧以及第一交叉电机304相对两侧上对应的各第一交叉辊轴308。

具体地，请参考图1、图4、图5和图7，在本实施例中，第一交叉传输机构300与各第二交叉传输机构400的整体机构相同，可以理解地，其中，底座、第一支撑板和第三支撑板、第二支撑板和第四支撑板、交叉传输链以及交叉驱动电机均对应相同，尽是通过“第一”和“第二”进行区分，因此，对于第二交叉传输机构400不再赘述，可参考第一交叉传输机构的各部件。各第二交叉传输机构400均包括第二底座401、第三支撑板402、第四支撑板403、两第二交叉传输链405以及第二交叉驱动电机404，第三支撑板402和第四支撑板403分别立设于第二底座401的两端，第二交叉驱动电机404安装于第二底座401上且位于第三支撑板402和第四支撑板403之间，第四支撑板403包括安装于第二底座401上的第二支架406以及垂直连接于第二支架406的第二延伸板405，第二延伸板405伸出至第二底座401的外部，两第二交叉传输链405分别安装于第三支撑板402和第二延伸板407相对的两侧且均绕于第二交叉驱动电机404的输出端，第二延伸板407设于对应的第一凹槽10b内和第二凹槽10c内，并且，第二延伸板407平行于底板设置。

具体地，请参考图7，在本实施例中，第二交叉传输链405包括多个第二交叉辊轴408以及两平行设置的第二交叉传输皮带409，各第二交叉辊轴408每两个一组对称地设于第三支撑板402的相对两侧、设于第二延伸板407的相对两侧以及设于第二交叉驱动电机404的相对两侧上，两第二交叉传输皮带409分别依次绕于第三支撑板402相对两侧、第二延伸板407相对两侧以及第二交叉电机404相对两侧上对应的各第二交叉辊轴408。

具体地，请参考图1、图4和图5，在本实施例中，分选传输链105包括多个分选辊轴106以及两平行设置的分选传输皮带107，各分选辊轴106设于各第一侧立板102的缘侧边界处和各第二侧立板103的缘侧边界处，各分选传输皮带107依次绕于各第一侧立板102上的各分选辊轴106或者绕于各第二侧立板103上的各分选辊轴106，分选传输皮带107的传输端面低于第一交叉传输皮带309，分选传输皮带107的传输端面高于各第二交叉传输皮带409。可以理解地，初始时，分选传输皮带107的传输端面与第一交叉传输皮带309的传输端面以及第二交叉传输皮带409的传输端面不再同一平面。当需要进行分选操作，将一路晶体硅片传输分为多路晶体硅片传输时，首先，分选传输皮带107的传输端面被传输线提升机200上抬，使得其传输端面高于第一交叉传输皮带309的传输端面，将第一交叉传输皮带309上的一路传输晶体硅片分布至分选传输皮带107各分选工作10a处，再次，分选传输皮带107的传输端面被传输线提升机200下拉，使得其传输端面低于第二交叉传输皮带409的传输端面，从而使得各分选工位10a处的晶体硅片转运至各第二交叉传输皮带409上，形成多路传输。

具体地，请参考图1、图2和图4，在本实施例中，传输线提升机200包括竖直移动电机201、第一位置传感器202、多个第二位置传输206以及支撑平台203。第一位置传感器202以及各第二位置传感器206均与竖直移动电机201电性连接。支撑平台203包括竖直板204以及垂直连接于竖直板204的水平板205，竖直板204连接于竖直移动电机201的输出端，水平板205连接于底板101。第一位置传感器202设于其中一分选工位10a处且靠近于第一交叉传输链309，各第二位置传感器206设于其余的分选工位10a处且靠近于对应的第二交叉传输链409。可以理解地，各位置传感器的作用是检测分选工位10a处是否有晶体硅片，当第一位置传感器202检测到晶体硅片时，竖直移动电机201则启动，实现支撑平台203上移，即带动整个分选传输机构100上移，从而实现分选传输皮带107的传输端面高于第一交叉传输皮带309的传输端面。而当其中一第二位置传感器206检测到晶体硅片或各第二位置传感器206均检测到晶体硅片时，竖直移动电机201则启动，实现支撑平台203下移，即带动整个分选传输机构100下移，从而实现分选传输皮带107的传输端面低于第一交叉传输皮带309的传输端面。

具体地，请参考图1、图4和图8，在本实施例中，来料传输机构500包括座体板501、两支架板502、两来料辊轴503、两来料传输皮带(图中未示)以及来料驱动电机504。两支架板502平行且间隔立设于座体板501的两端，来料驱动电机504安装于座体板501上且位于两支架板502之间，各来料辊轴503每两个一组对称地设于支架板502的相对两侧以及设于来料驱动电机504的相对两侧上，两来料传输皮带分别依次绕于其中一支架板502的相对两侧、来料驱动电机504的相对两侧以及另一支架板502的相对两侧上对应的各来料辊轴503。可以理解地，当来料晶体硅片不需分成多路传输时，晶体硅片由其中一来料传输机500构的来料传输皮带传输至第一交叉传输皮带309上，再由第一交叉传输皮带309传输至另一来料传输机构500的来料传输皮带上，即该过程传输线提升机停止工作。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种硅片传输分选装置，其特征在于：包括两来料传输机构、第一交叉传输机构、多个沿硅片传输方向并排设置的第二交叉传输机构、分选传输机构以及传输线提升机，所述传输线提升机的输出端连接于所述分选传输机构且可沿竖直方向升降移动所述分选传输机构，所述分选传输机构包括平行且间隔设置的两分选传输链，两所述分选传输链均具有多个位置对应的分选工位，所述第一交叉传输机构包括平行且间隔设置的两第一交叉传输链，所述第一交叉传输机构的两所述第一交叉传输链设于其中一所述分选工位处且位于所述分选传输链的一侧，所述第一交叉传输链的传输端面高于所述分选传输链的传输端面，两所述来料传输机构分别布设于所述第一交叉传输机构的相对两端，各所述第二交叉传输机构均包括平行且间隔设置的两第二交叉传输链，各所述第二交叉传输机构的两所述第二交叉传输链分别设于剩余的所述分选工位处且均位于所述分选传输链的另一侧，各所述第二交叉传输链的传输端面均低于所述分选传输链的传输端面。

2.根据权利要求1所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述分选传输机构包括底板、多个第一侧立板、多个与所述第一侧立板相对应的第二侧立板、两所述分选传输链以及分选驱动电机，各所述第一侧立板沿垂直于硅片传输方向间隔地立设于所述底板上，各所述第二侧立板平行于对应所述第一侧立板且立设所述底板上，其中一所述分选传输链安装于各所述第一侧立板上且绕于所述分选驱动电机的第一输出端，另一所述分选传输链安装于各所述第二侧立板上且绕于所述分选驱动电机的第二传输端，各所述第一侧立板于所述分选工位处均开设有两并排设置的第一凹槽，各所述第二侧立板于所述分选工位处均开设有与两所述第一凹槽相对应的两第二凹槽，各所述交叉传输机构的一端设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，所述传输线提升机的输出端安装于所述底板上且可沿竖直方向升降所述底板。

3.根据权利要求2所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述第一交叉传输机构包括第一底座、第一支撑板、第二支撑板、两所述第一交叉传输链以及第一交叉驱动电机，所述第一支撑板和所述第二支撑板分别立设于所述第一底座的两端，所述第一交叉驱动电机安装于所述第一底座上且位于所述第一支撑板和所述第二支撑板之间，所述第二支撑板包括安装于所述第一底座上的第一支架以及垂直连接于所述第一支架的第一延伸板，所述第一延伸板伸出至所述第一底座的外部，两所述第一交叉传输链分别安装于所述第一支撑板和所述第一延伸板相对的两侧且均绕于所述第一交叉驱动电机的输出端，所述第一延伸板设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，并且，所述第一延伸板平行于所述底板设置。

4.根据权利要求3所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述第一交叉传输链包括多个第一交叉辊轴以及两平行设置的第一交叉传输皮带，各所述第一交叉辊轴每两个一组对称地设于所述第一支撑板的相对两侧、设于所述第一延伸板的相对两侧以及设于所述第一交叉驱动电机的相对两侧上，两所述第一交叉传输皮带分别依次绕于所述第一侧立板相对两侧、所述第一延伸板相对两侧以及所述第一交叉电机相对两侧上对应的各所述第一交叉辊轴。

5.根据权利要求4所述的硅片传输分选装置，其特征在于：各所述第二交叉传输机构均包括第二底座、第三支撑板、第四支撑板、两所述第二交叉传输链以及第二交叉驱动电机，所述第三支撑板和所述第四支撑板分别立设于所述第二底座的两端，所述第二交叉驱动电机安装于所述第二底座上且位于所述第三支撑板和所述第四支撑板之间，所述第四支撑板包括安装于所述第二底座上的第二支架以及垂直连接于所述第二支架的第二延伸板，所述第二延伸板伸出至所述第二底座的外部，两所述第二交叉传输链分别安装于所述第三支撑板和所述第二延伸板相对的两侧且均绕于所述第二交叉驱动电机的输出端，所述第二延伸板设于对应的所述第一凹槽内和所述第二凹槽内，并且，所述第二延伸板平行于所述底板设置。

6.根据权利要求5所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述第二交叉传输链包括多个第二交叉辊轴以及两平行设置的第二交叉传输皮带，各所述第二交叉辊轴每两个一组对称地设于所述第三支撑板的相对两侧、设于所述第二延伸板的相对两侧以及设于所述第二交叉驱动电机的相对两侧上，两所述第二交叉传输皮带分别依次绕于所述第三支撑板相对两侧、所述第二延伸板相对两侧以及所述第二交叉电机相对两侧上对应的各所述第二交叉辊轴。

7.根据权利要求6所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述分选传输链包括多个分选辊轴以及分选传输皮带，各所述分选辊轴设于各所述第一侧立板的缘侧边界处和所述第二侧立板的缘侧边界处，各所述分选传输皮带依次绕于各所述第一侧立板上的各所述分选辊轴或者绕于各所述第二侧立板上的各所述分选辊轴，所述分选传输皮带的传输端面低于所述第一交叉传输皮带，所述分选传输皮带的传输端面高于各所述第二交叉传输皮带。

8.根据权利要求2至7任一项所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述传输线提升机包括竖直移动电机、第一位置传感器、多个第二位置传感器以及支撑平台，所述第一位置传感器和各所述第二位置传感器均与所述竖直移动电机电性连接，所述支撑平台包括竖直板以及垂直连接于所述竖直板的水平板，所述竖直板连接于所述竖直移动电机的输出端，所述水平板连接于所述底板，所述第一位置传感器设于其中一所述分选工位处且靠近于所述第一交叉传输链，各所述第二位置传感器设于其余的所述分选工位处且靠近于对应的所述第二交叉传输链。

9.根据权利要求1至7任一项所述的硅片传输分选装置，其特征在于：所述来料传输机构包括座体板、两支架板、两来料辊轴、两来料传输皮带以及来料驱动电机，两所述支架板平行且间隔立设于所述座体板的两端，所述来料驱动电机安装于所述座体板上且位于两所述支架板之间，各所述来料辊轴每两个一组对称地设于所述支架板的相对两侧以及设于所述来料驱动电机的相对两侧上，两所述来料传输皮带分别依次绕于其中一所述支架板的相对两侧、所述来料驱动电机的相对两侧以及另一所述支架板的相对两侧上对应的各所述来料辊轴。