CN208829539U - 玻璃切割裂片自动线 - Google Patents

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CN208829539U CN201821210020.1U CN201821210020U CN208829539U CN 208829539 U CN208829539 U CN 208829539U CN 201821210020 U CN201821210020 U CN 201821210020U CN 208829539 U CN208829539 U CN 208829539U
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雷万春
张钦炎
朱文飞
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Chongqing Wisdom Daewoo Technology Co Ltd
Jiangxi Dayu Carving Technology Co Ltd
Shenzhen Dayu CNC Technology Co Ltd
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Chongqing Wisdom Daewoo Technology Co Ltd
Jiangxi Dayu Carving Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了玻璃切割裂片自动线,包括用于供玻璃插装的放料架、用于供玻璃放置的放置座、上料机械手、切割机、裂片机、移送机械手、玻璃承接件;所述裂片机包括第一导轨、可移动地安装在第一导轨上的第一平移座、用于驱动第一平移座沿第一导轨延伸方向移动的第一驱动装置、第一工作台、设置在第一平移座上并用于驱动第一工作台转动的第一旋转驱动装置、刀具组件;所述刀具组件包括位于第一工作台上方的刀具、用于驱动刀具升降的第二驱动装置;所述移送机械手用于提取放置于放置座上的玻璃,并将玻璃依次移送至切割机、裂片机、玻璃承接件上。本实用新型可降低操作人员手部被误切伤的机率,提高效率。

Description

玻璃切割裂片自动线
技术领域
本实用新型涉及一种玻璃切割裂片自动线。
背景技术
目前,在手机屏幕等玻璃产品的生产过程中,操作人员一般先在玻璃上预切割,然后再持握刀具沿着玻璃切下,将玻璃分裂成多片,完成裂片操作。但通过操作人员手动进行预切割、裂片操作,容易出现操作人员手部被误切伤的事故,而存在较大的安全隐患,从而远不能满足工业需求。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型的目的在于提供一种玻璃切割裂片自动线,其通过采用放料架、放置座、上料机械手、切割机、裂片机、移送机械手、玻璃承接件的结合设计,可实现预切割、裂片操作,从而无需操作人员手动进行预切割、裂片操作,可降低操作人员手部被误切伤的机率。
本实用新型的目的采用以下技术方案实现:
玻璃切割裂片自动线,包括用于供玻璃插装的放料架、用于供玻璃放置的放置座、用于将玻璃从放料架移送至放置座上的上料机械手、切割机、裂片机、移送机械手、玻璃承接件;所述裂片机包括第一导轨、可移动地安装在第一导轨上的第一平移座、用于驱动第一平移座沿第一导轨延伸方向移动的第一驱动装置、第一工作台、设置在第一平移座上并用于驱动第一工作台转动的第一旋转驱动装置、刀具组件;所述刀具组件包括位于第一工作台上方的刀具、用于驱动刀具升降的第二驱动装置;所述移送机械手用于提取放置于放置座上的玻璃,并将玻璃依次移送至切割机、裂片机、玻璃承接件上。
所述第一驱动装置为第一直线电机;所述第一导轨的延伸方向与刀具的延伸方向一致;第一工作台、第二工作台均为真空吸附工作台。
第一旋转驱动装置为第一旋转电机,所述第一旋转电机固定在第一平移座上,且第一旋转电机的输出轴与第一工作台连接。
所述第二驱动装置包括沿竖直方向延伸的第二导轨、可移动地安装在第二导轨上的第一升降座、呈竖直设置的第一丝杆、用于带动第一丝杆转动的第二旋转电机、匹配地套接在第一丝杆上并与第一升降座连接的第一丝杆螺母;所述刀具固定在第一升降座上;所述第一导轨的延伸方向与第二导轨的延伸方向垂直。
所述切割机包括第三导轨、可移动地安装在第三导轨上的第二工作台、用于驱动第二工作台沿第三导轨延伸方向移动的第三驱动装置、切割工具组件;所述切割工具组件包括第四导轨、可移动地安装在第四导轨上的移动座、用于驱动移动座沿第四导轨的延伸方向移动的第四驱动装置、固定在移动座上并沿竖直方向延伸的第五导轨、可移动地安装在第五导轨上的第二升降座、设置在移动座上并用于驱动第二升降座升降的第五驱动装置、位于第二工作台上方的玻璃切割工具、设置在第二升降座上并用于驱动玻璃切割工具转动的第二旋转驱动装置;所述第三导轨的延伸方向与第四导轨的延伸方向垂直;所述第三导轨、第四导轨的延伸方向分别与第五导轨的延伸方向垂直。
所述第三驱动装置为第二直线电机;所述第四驱动装置为第三直线电机,所述第三直线电机的动力输出端与移动座连接。
所述第五驱动装置包括呈竖直设置的第二丝杆、固定在移动座上并用于带动第二丝杆转动的第三旋转电机、匹配地套接在第二丝杆上并与第二升降座连接的第二丝杆螺母。
所述第二旋转驱动装置包括固定在第二升降座上的第四旋转电机;玻璃切割工具包括刀轮;玻璃切割工具还包括轮架,所述刀轮枢接在轮架上,所述轮架与第四旋转电机的输出轴连接。
所述上料机械手包括第二平移座、用于驱动第二平移座水平移动的平移驱动装置、第三升降座、设置在第二平移座上并用于驱动第三升降座升降的升降驱动装置、转动座、设置在第三升降座上并用于驱动转动座转动的第三旋转驱动装置、设置在转动座上的取放件装置。
所述上料机械手包括呈水平设置的第六导轨;所述第二平移座可移动地安装在第六导轨上;所述平移驱动装置包括呈水平设置的第三丝杆、用于驱动第三丝杆转动的第五旋转电机、匹配地套接在第三丝杆上并与第二平移座固定连接的第三丝杆螺母;所述第二平移座上设置有呈竖直设置的第七导轨;所述第三升降座可移动地安装在第七导轨上;所述升降驱动装置包括呈竖直设置的第四丝杆、固定在第二平移座上并用于带动第四丝杆转动的第六旋转电机、匹配地套接在第四丝杆上并与第三升降座固定连接的第四丝杆螺母;第三旋转驱动装置包括固定在第三升降座上的第七旋转电机,所述第七旋转电机的输出轴与转动座连接;所述转动座可转动地安装在第三升降座上。
相比现有技术,本实用新型的有益效果在于:本实用新型提供的一种玻璃切割裂片自动线,其通过采用放料架、放置座、上料机械手、切割机、裂片机、移送机械手、玻璃承接件的结合设计,可实现预切割、裂片操作,从而无需操作人员手动进行预切割、裂片操作,可降低操作人员手部被误切伤的机率;而且,还可降低操作人员的劳动强度,提高效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图;
图2为切割机的结构示意图;
图3为第五驱动装置的结构示意图;
图4为第二旋转驱动装置与玻璃切割工具的配合示意图;
图5为裂片机的结构示意图;
图6为第二驱动装置的结构示意图;
图7为放料架、放置座、上料机械手的配合示意图;
图8为升降驱动装置的结构示意图;
图9为平移驱动装置的结构示意图;
图10为定位机构的结构示意图;
图11为定位机构的侧视图;
图中:100、切割机;110、第三驱动装置;120、第二工作台;130、移动座;140、第四驱动装置;150、第二升降座;160、第五驱动装置;161、第二丝杆;162、第三旋转电机;163、第二丝杆螺母;170、玻璃切割工具;180、第二旋转驱动装置;200、裂片机;210、第一平移座;220、第一驱动装置;230、第一工作台;240、第一旋转驱动装置;250、刀具组件;251、第一升降座;252、刀具;260、第二驱动装置;261、第一丝杆;262、第二旋转电机;263、第一丝杆螺母;300、移送机械手;410、放料架;420、放置座;421、第一活动槽;422、第二活动槽;430、上料机械手;431、第二平移座;432、第三升降座;433、转动座;440、平移驱动装置;441、第三丝杆;442、第五旋转电机;443、第三丝杆螺母;444、第六导轨;450、升降驱动装置;451、第四丝杆;452、第六旋转电机;453、第四丝杆螺母;460、第三旋转驱动装置;470、取放件装置;481、第一定位柱;482、第二定位柱;491、主动轮;492、第八旋转电机;493、从动轮;494、同步带;4941、同步带其中一侧;4942、同步带另一侧;500、玻璃承接件。
具体实施方式
下面,结合附图以及具体实施方式,对本实用新型做进一步描述,需要说明的是,在不相冲突的前提下,以下描述的各实施例之间或各技术特征之间可以任意组合形成新的实施例。
如图1-11所示,玻璃切割裂片自动线,包括用于供玻璃插装的放料架410、用于供玻璃放置的放置座420、用于将玻璃从放料架410移送至放置座420上的上料机械手430、切割机100、裂片机200、移送机械手300、玻璃承接件500;所述裂片机200包括第一导轨、可移动地安装在第一导轨上的第一平移座210、用于驱动第一平移座210沿第一导轨延伸方向移动的第一驱动装置220、第一工作台230、设置在第一平移座210上并用于驱动第一工作台230转动的第一旋转驱动装置240、刀具组件250;所述刀具组件250包括位于第一工作台230上方的刀具252、用于驱动刀具252升降的第二驱动装置260;所述移送机械手300用于提取放置于放置座420上的玻璃,并将玻璃依次移送至切割机100、裂片机200、玻璃承接件500上。
在使用时,玻璃插装在放料架410上,然后通过上料机械手430将玻璃从放料架410移送至放置座420上,然后通过移送机械手300提取放置于放置座420上的玻璃,并将玻璃先移送至切割机100上,然后经切割机100进行预切割后,再通过移送机械手300将该玻璃移送至裂片机200上,并利用裂片机200进行裂片操作,然后再通过移送机械手300将该玻璃移送至玻璃承接件500上,因而,本实用新型提供的一种玻璃切割裂片自动线,其通过采用放料架410、放置座420、上料机械手430、切割机100、裂片机200、移送机械手300、玻璃承接件500的结合设计,可实现预切割、裂片操作,从而无需操作人员手动进行预切割、裂片操作,可降低操作人员手部被误切伤的机率;而且,还可降低操作人员的劳动强度,提高效率。而裂片机200的裂片操作具体如下:而待移送机械手300将玻璃移送至第一工作台230上后,将玻璃固定在第一工作台230,然后通过第二驱动装置260工作带动刀具252下移,并通过利用第一驱动装置220驱动第一平移座210沿第一导轨的延伸方向移动,以将玻璃往刀具252方向进给可利用刀具252对玻璃不断切削,然后再通过第一旋转驱动装置240带动第一工作台230转动,调节玻璃方向,然后再通过第一驱动装置220驱动第一平移座210沿第一导轨的延伸方向移动,将工件往刀具252方向进给可利用刀具252再对玻璃切削,将玻璃分裂成多片,实现裂片操作。所述第一驱动装置220为第一直线电机,从而方便于安装。
第一旋转驱动装置240为第一旋转电机,所述第一旋转电机固定在第一平移座210上,且第一旋转电机的输出轴与第一工作台230连接,在使用时,第一旋转电机的输出轴转动,可带动第一工作台230转动。而在本实施例中,所述第一工作台230可转动地安装在第一平移座210上。
所述第二驱动装置260包括沿竖直方向延伸的第二导轨、可移动地安装在第二导轨上的第一升降座251、呈竖直设置的第一丝杆261、用于带动第一丝杆261转动的第二旋转电机262、匹配地套接在第一丝杆261上并与第一升降座251连接的第一丝杆螺母263;所述刀具252固定在第一升降座251上。在使用时,第二旋转电机262工作,带动第一丝杆261转动,从而可促使第一丝杆螺母263沿着第一丝杆261的轴向移动,以带动第一升降座251升降,从而可带动刀具252升降。而通过将第二驱动装置260采用第一丝杆261、第二旋转电机262、第一丝杆螺母263的结合设计,可提高第一升降座251升降的精确性。
所述第一导轨的延伸方向与第二导轨的延伸方向垂直,所述第一导轨的延伸方向与刀具252的延伸方向一致。
该裂片机200包括两第一导轨;所述第二驱动装置260包括两第二导轨,第一平移座210可移动地安装在该两第一导轨上,第一升降座251可移动地安装在该两第二导轨上,从而可提高移动的平稳性。
切割机100包括第三导轨、可移动地安装在第三导轨上的第二工作台120、用于驱动第二工作台120沿第三导轨的延伸方向X移动的第三驱动装置110、切割工具组件;所述切割工具组件包括第四导轨、可移动地安装在第四导轨上的移动座130、用于驱动移动座130沿第四导轨的延伸方向Y移动的第四驱动装置140、固定在移动座130上并沿竖直方向延伸的第五导轨、可移动地安装在第五导轨上的第二升降座150、设置在移动座130上并用于驱动第二升降座150升降的第五驱动装置160、位于第二工作台120上方的玻璃切割工具170、设置在第二升降座150上并用于驱动玻璃切割工具170转动的第二旋转驱动装置180。在使用时,先将玻璃固定在第二工作台120上,并通过第三驱动装置110驱动第二工作台120沿第三导轨延伸方向X移动,以将玻璃带动至玻璃切割工具170的下方,然后通过第五驱动装置160驱动第二升降座150下降,并利用第四驱动装置140驱动移动座130沿第四导轨的延伸方向Y移动,以带动玻璃切割工具170相对于玻璃沿第四导轨延伸方向Y移动,以在第四导轨的延伸方向上进给,对玻璃进行预切割。当然,在使用时,还可通过第二旋转驱动装置180带动玻璃切割工具170转动调节玻璃切割工具170的方向,然后通过利用第三驱动装置110驱动第二工作台120沿第三导轨延伸方向X移动,使得工件可相对于玻璃切割工具170沿第三导轨延伸方向移动,以在第三导轨延伸的延伸方向上进给,对玻璃进行预切割。
所述第三导轨的延伸方向与第四导轨的延伸方向垂直;所述第三导轨、第四导轨的延伸方向分别与第五导轨的延伸方向垂直。
优选的,所述第三驱动装置110为第二直线电机,从而方便于安装。
优选的,所述第四驱动装置140为第三直线电机,所述第三直线电机的动力输出端与移动座130连接,从而方便于安装。在使用时,第三直线电机工作,带动移动座130移动。
优选的,所述第五驱动装置160包括呈竖直设置的第二丝杆161、固定在移动座130上并用于带动第二丝杆161转动的第三旋转电机162、匹配地套接在第二丝杆161上并与第二升降座150连接的第二丝杆螺母163。在使用时,第三旋转电机162工作,带动第二丝杆161转动,从而可促使第二丝杆螺母163沿着第二丝杆161的轴向移动,以带动第二升降座150升降。而通过将第五驱动装置160采用第二丝杆161、第三旋转电机162、第二丝杆螺母163的结合设计,可提高第二升降座150升降的精确性。
该切割机100包括两第三导轨,所述第二工作台120可移动地安装在两第三导轨上;所述切割工具组件包括两第四导轨,所述移动座130可移动地安装在第四导轨上,以提高移动的稳定性。
移动座130上固定有两第五导轨,第二升降座150可移动地安装在该两第五导轨上,以提高第二升降座150升降的稳定性。
所述第二旋转驱动装置180包括固定在第二升降座150上的第四旋转电机,从而方便于安装。在使用时,通过第四旋转电机工作,可带动玻璃切割工具170转动,以调节玻璃切割工具170的切割角度。
优选的,玻璃切割工具170包括刀轮。具体的,玻璃切割工具170还包括轮架,所述刀轮枢接在轮架上,所述轮架与第四旋转电机的输出轴连接。
在本实施例中,所述移送机械手300采用真空吸附装置,以利用吸附的方式提取工件,当然,所述移送机械手不限于上述结构,可采用现有的任意一种机械手,只要可用于提取放置于放置座420上的玻璃,并将玻璃依次移送至切割机100、裂片机200、玻璃承接件500上即可。
其中,所述第一工作台230、第二工作台120均为真空吸附工作台,以可通过吸附的方式将工件固定在其上。
所述上料机械手430包括第二平移座431、用于驱动第二平移座431水平移动的平移驱动装置440、第三升降座432、设置在第二平移座431上并用于驱动第三升降座432升降的升降驱动装置450、转动座433、设置在第三升降座432上并用于驱动转动座433转动的第三旋转驱动装置460、设置在转动座433上的取放件装置470。在使用时,上料机械手430的升降驱动装置450带动第三升降座432下降,从而可利用取放件装置470从放料架410提取玻璃,然后通过升降驱动装置450带动第三升降座432上升,并利用第三旋转驱动装置460驱动转动座433转动,以带动玻璃从竖直状态转动至水平状态,然后利用平移驱动装置440带动第二平移座431朝着靠近放置座420方向水平移动,再通过升降驱动装置450驱动第三升降座432下降,而待玻璃下降至放置座420上后,取放件装置470释放玻璃,从而可将玻璃从放料架410移送至放置座420上,因而,通过合理设置上料机械手430,可利用上料机械手430将玻璃从放料架410移送至放置座420上,从而无需操作人员手动移送玻璃,可减轻操作人员的劳动强度。
所述上料机械手430包括呈水平设置的第六导轨444;所述第二平移座431可移动地安装在第六导轨444上;所述平移驱动装置440包括呈水平设置的第三丝杆441、用于驱动第三丝杆441转动的第五旋转电机442、匹配地套接在第三丝杆441上并与第二平移座431固定连接的第三丝杆螺母443。在使用时,第五旋转电机442工作,带动第三丝杆441转动,从而可促使第三丝杆螺母443沿着第三丝杆441的轴向移动,从而可带动第二平移座431移动。
该上料机械手430包括相互平行的两第六导轨444,所述第二平移座431可移动地安装在该两第六导轨444上,从而使得第二平移座431的移动更为平稳。
所述第二平移座431上设置有呈竖直设置的第七导轨;所述第三升降座432可移动地安装在第七导轨上;所述升降驱动装置450包括呈竖直设置的第四丝杆451、固定在第二平移座431上并用于带动第四丝杆451转动的第六旋转电机452、匹配地套接在第四丝杆451上并与第三升降座432固定连接的第四丝杆螺母453。在使用时,第六旋转电机452工作,带动第四丝杆451转动,从而可促使第四丝杆螺母453沿着第四丝杆451的轴向移动,以带动第三升降座432升降。
所述第二平移座431上设置有相互平行的两第七导轨;所述第三升降座432可移动地安装在该两第七导轨上,从而使得第三升降座432的升降更为平稳。
第三旋转驱动装置460包括固定在第三升降座432上的第七旋转电机,所述第七旋转电机的输出轴与转动座433连接,从而通过第七旋转电机的输出轴转动,可带动转动座433转动。而本实用新型通过将第三旋转驱动装置460采用第七旋转电机,可方便于安装。所述转动座433可转动地安装在第三升降座433上。
所述放置座420的其中一端设置有第一活动槽421,另一端设置有第二活动槽422,该玻璃切割裂片自动线还包括定位机构;所述定位机构包括位于放置座420下方的底架、枢接在底架上的主动轮491、用于驱动主动轮491转动的第八旋转电机492、枢接在底架上的从动轮493、绕设于主动轮491和从动轮493上的同步带494、连接在同步带其中一侧4941上的第一定位座、连接在同步带另一侧4942上的第二定位座;所述第一定位座包括穿插于第一活动槽421内的第一定位柱481,第二定位座包括穿插于第二活动槽422内的第二定位柱482。在使用时,而待上料机械手430将玻璃移送至放置座420上后,可通过第八旋转电机492的输出轴正向转动,可带动主动轮491正向转动,以带动同步带494传动,从而可带动第一定位柱481和第二定位柱482相向运动,以利用第一定位柱481和第二定位柱482对放置座420上的玻璃进行定位,以方便于后续移送机械手300取件。
所述放料架410上设置有开口朝上并用于供玻璃插装的插装槽。
其中,所述取放件装置470可采用真空吸附装置、夹持装置等等,只要可取放玻璃即可。
上述实施方式仅为本实用新型的优选实施方式,不能以此来限定本实用新型保护的范围,本领域的技术人员在本实用新型的基础上所做的任何非实质性的变化及替换均属于本实用新型所要求保护的范围。

Claims (10)

1.玻璃切割裂片自动线,其特征在于:包括用于供玻璃插装的放料架、用于供玻璃放置的放置座、用于将玻璃从放料架移送至放置座上的上料机械手、切割机、裂片机、移送机械手、玻璃承接件;所述裂片机包括第一导轨、可移动地安装在第一导轨上的第一平移座、用于驱动第一平移座沿第一导轨延伸方向移动的第一驱动装置、第一工作台、设置在第一平移座上并用于驱动第一工作台转动的第一旋转驱动装置、刀具组件;所述刀具组件包括位于第一工作台上方的刀具、用于驱动刀具升降的第二驱动装置;所述移送机械手用于提取放置于放置座上的玻璃,并将玻璃依次移送至切割机、裂片机、玻璃承接件上。
2.如权利要求1所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:所述第一驱动装置为第一直线电机;所述第一导轨的延伸方向与刀具的延伸方向一致;第一工作台、第二工作台均为真空吸附工作台。
3.如权利要求1所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:第一旋转驱动装置为第一旋转电机,所述第一旋转电机固定在第一平移座上,且第一旋转电机的输出轴与第一工作台连接。
4.如权利要求1所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:所述第二驱动装置包括沿竖直方向延伸的第二导轨、可移动地安装在第二导轨上的第一升降座、呈竖直设置的第一丝杆、用于带动第一丝杆转动的第二旋转电机、匹配地套接在第一丝杆上并与第一升降座连接的第一丝杆螺母;所述刀具固定在第一升降座上;所述第一导轨的延伸方向与第二导轨的延伸方向垂直。
5.如权利要求1所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:所述切割机包括第三导轨、可移动地安装在第三导轨上的第二工作台、用于驱动第二工作台沿第三导轨延伸方向移动的第三驱动装置、切割工具组件;所述切割工具组件包括第四导轨、可移动地安装在第四导轨上的移动座、用于驱动移动座沿第四导轨的延伸方向移动的第四驱动装置、固定在移动座上并沿竖直方向延伸的第五导轨、可移动地安装在第五导轨上的第二升降座、设置在移动座上并用于驱动第二升降座升降的第五驱动装置、位于第二工作台上方的玻璃切割工具、设置在第二升降座上并用于驱动玻璃切割工具转动的第二旋转驱动装置;所述第三导轨的延伸方向与第四导轨的延伸方向垂直;所述第三导轨、第四导轨的延伸方向分别与第五导轨的延伸方向垂直。
6.如权利要求5所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:所述第三驱动装置为第二直线电机;所述第四驱动装置为第三直线电机,所述第三直线电机的动力输出端与移动座连接。
7.如权利要求5所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:所述第五驱动装置包括呈竖直设置的第二丝杆、固定在移动座上并用于带动第二丝杆转动的第三旋转电机、匹配地套接在第二丝杆上并与第二升降座连接的第二丝杆螺母。
8.如权利要求5所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:所述第二旋转驱动装置包括固定在第二升降座上的第四旋转电机;玻璃切割工具包括刀轮;玻璃切割工具还包括轮架,所述刀轮枢接在轮架上,所述轮架与第四旋转电机的输出轴连接。
9.如权利要求1所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:所述上料机械手包括第二平移座、用于驱动第二平移座水平移动的平移驱动装置、第三升降座、设置在第二平移座上并用于驱动第三升降座升降的升降驱动装置、转动座、设置在第三升降座上并用于驱动转动座转动的第三旋转驱动装置、设置在转动座上的取放件装置。
10.如权利要求9所述的玻璃切割裂片自动线,其特征在于:所述上料机械手包括呈水平设置的第六导轨;所述第二平移座可移动地安装在第六导轨上;所述平移驱动装置包括呈水平设置的第三丝杆、用于驱动第三丝杆转动的第五旋转电机、匹配地套接在第三丝杆上并与第二平移座固定连接的第三丝杆螺母;所述第二平移座上设置有呈竖直设置的第七导轨;所述第三升降座可移动地安装在第七导轨上;所述升降驱动装置包括呈竖直设置的第四丝杆、固定在第二平移座上并用于带动第四丝杆转动的第六旋转电机、匹配地套接在第四丝杆上并与第三升降座固定连接的第四丝杆螺母;第三旋转驱动装置包括固定在第三升降座上的第七旋转电机,所述第七旋转电机的输出轴与转动座连接;所述转动座可转动地安装在第三升降座上。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN110394908A (zh) * 2019-07-11 2019-11-01 上海理工大学 翻转式半导体解理装置
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