CN208584655U - 一种真空超声脱泡注浆成型ito靶材的一体式装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，包括脱泡罐、储料罐、气动阀和输送管道，所述脱泡罐于底部通过气动阀和输送管道与储料罐连接，还包括设于脱泡罐上表面并与脱泡罐内部连通的真空泵、设于脱泡罐下表面的超声振子、空压机、设于脱泡罐与储料罐上表面并分别与罐体内部连通的泄压阀、模具、设于脱泡罐内部的搅拌机，以及空气管道。本实用新型公开的一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置集ITO浆料的脱泡与注浆工序于一体，自动化程度高，极大程度地简化了操作，自动化控制比人工操作更加稳定、精准，有效减少了不良品的产生。
Description
技术领域
本实用新型属于注浆成型机技术领域，尤其涉及一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置。
背景技术
目前ITO靶材靶坯成型方法主要有两种，一种是干法成型，将ITO粉体模压后再进行冷等静压成型，具体工艺流程为：将经过造粒处理的ITO粉体在钢模具内通过干法预压成型得到一次靶坯，再将其转移到冷等静压设备上进行成型得到ITO靶坯，这种方法制备的ITO靶坯密度均匀，通过后续致密化工序后容易获得高密度的ITO烧结体，缺点是在压制成型会造成靶坯上有残余应力，在后续致密化工序中容易发生变形，在制备大尺寸的靶坯时容易出现裂纹、坯体分成等缺陷，也不能制备形状复杂的靶坯；另一种成型方法是湿法成型,也被称为注浆成型或粉浆浇筑成型，具体工艺流程为:用ITO粉体制备性质均匀的浆体，以压缩空气为压力介质，将浆料注进多孔模具，通过注浆压力和多孔模具将浆体中的大部分水分压滤到模具腔外，再经脱模、干燥，得到ITO靶坯，这种成型方法能够制备大尺寸、形状复杂的靶坯，消除了上述模压加冷等静压成型方法造成的残余应力，在后续致密化工序中坯体不容易变形，免去喷雾干燥机、大吨位压机和冷等静压机等设备的昂贵投资，整体成本低。
中国专利CN 104786345 A公开了一种制备ITO坯体的自动压力注浆成型装置，包括气阀、真空泵、排水阀、空压机、自动注浆机、压机、压机轴、压头、模框、外模、内模、固定台及滑轨，通过自动注浆机将储料罐内不停搅拌的浆料注进数副被压机夹紧的模具内成型，同时模具连接真空泵，进行真空注浆。该方法的浆料在进模具前经历了反复搅拌，浆体内容易产生大量气泡，浆体注入模具后，虽然处于真空环境注浆，但随着浆体中的水分被模具吸走，浆体的粘度越来越大，造成浆体内包裹的气泡难以除去；另外，真空注浆会导致坯体与模具粘贴得牢固，脱模是需要使用较大的空压气，容易损伤靶坯，造成裂纹等缺陷。
针对上述不足，有必要作出改进。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可同时够对ITO浆体真空超声脱泡并把浆体注进多副模具内、靶坯成型质量好的一体式装置。
本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：
一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，包括脱泡罐、储料罐、气动阀和输送管道，所述脱泡罐于底部通过气动阀和输送管道与储料罐连接，还包括设于脱泡罐上表面并与脱泡罐内部连通的真空泵、设于脱泡罐下表面的超声振子、空压机、设于脱泡罐与储料罐上表面并分别与罐体内部连通的泄压阀、模具、设于脱泡罐内部的搅拌机，以及空气管道，所述储料罐通过气动阀和输送管道与模具内部连通，所述空压机通过空气管道和气动阀与脱泡罐的顶部连接，所述空压机通过空气管道和气动阀与储料罐的顶部连接。
其中，所述超声振子设有若干个，所述超声振子均匀分布于脱泡罐下表面。
进一步，还包括设于脱泡罐和储料罐上表面的压力表，所述压力表分别与脱泡罐和储料罐的罐体内部连通。
进一步，还包括液位观察管，所述液位观察管上端与储料罐上端连接，所述液位观察管下端与设于储料罐底部的输送管道连接。
进一步，所述搅拌机设有搅拌扇叶，所述搅拌扇叶设于搅拌机位于脱泡罐内的一端。
本实用新型的有益效果在于：该装置集ITO浆料的脱泡与注浆工序于一体，自动化程度高，极大程度地简化了操作，自动化控制比人工操作更加稳定、精准，有效减少了不良品的产生。超声振动与真空技术结合有效脱去浆体中的气泡，经脱泡处理的浆料更加均匀。该装置能够精准控制浆料进入模具的压力，能够分时段控制压缩空气的压力以及其加压的速率，有效避免了浆体在脱泡后再次产生气泡，减少了不良率。该装置成型的ITO靶坯脱模容易，无裂纹，无气泡，高密度，性质均匀。
附图说明
图1是该实用新型的整体结构示意图。
附图标记说明：1-真空泵、2-脱泡罐、3-超声振子、4-储料罐、5-空压机、6-压力表、7-泄压阀、8-气动阀、9-模具、10-搅拌机、11-液位观察管、13-输送管道、14-空气管道
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。
参见附图1，本实用新型的一种较佳实施例，一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，包括脱泡罐2、储料罐4、气动阀8和输送管道13，所述脱泡罐2于底部通过气动阀8和输送管道13与储料罐4连接，还包括设于脱泡罐2上表面并与脱泡罐2内部连通的真空泵1、设于脱泡罐2下表面的超声振子3、空压机5、设于脱泡罐2与储料罐4上表面并分别与罐体内部连通的泄压阀7、模具9、设于脱泡罐2内部的搅拌机10，以及空气管道14，所述储料罐4通过气动阀8和输送管道13与模具9内部连通，所述空压机5通过空气管道14和气动阀8与脱泡罐2的顶部连接，所述空压机5通过空气管道14和气动阀8与储料罐4的顶部连接。
该装置的使用过程中，先将完成球磨工序的ITO浆料倒进脱泡罐2中，通过主控制系统开启搅拌机10将浆体搅拌均匀,之后同时开启动超声振子3和真空泵1抽真空，对浆料进行脱泡处理。再通过主控制系统的“转移浆料”功能，控制该装置自动打开储料罐4上表面的泄压阀7、脱泡罐2与空压机5连通的气动阀8，并打开储料罐4底部的气动阀8，使脱泡罐2内的浆体得以从脱泡罐2的底部流出并从储料罐4的底部往上充满储料罐4，以这种方式，该装置能够依次将浆料转移到储料罐4内。通过主控制系统控制装置“注浆”，该装置关闭储料罐4上表面的泄压阀7、打开储料罐4顶部与空压机5连通的气动阀8，以及打开与储料罐4底部连接的气动阀8，压缩空气将以设定的、足够小并不至于使浆料产生气泡的压力推动浆料进入模具9内，待浆料充满模具9后，压缩空气将以设定的速率升到预设的注浆压力并保压到设定的时长。通过主控制系统控制装置停止，该装置将自动停止向储料罐4内加压，关闭储料罐4与模具9之间连通的气动阀8。模具9通过四柱双动液压机增压保压，经过一段时间的保压，取出模具9，并通过脱模得到无裂纹，高密度、均匀的ITO靶坯。
所述超声振子3设有若干个，所述超声振子3均匀分布于脱泡罐2下表面，所述超声振子3可高效、均匀对浆料进行脱泡处理。
还包括设于脱泡罐2和储料罐4上表面的压力表6，所述压力表6分别与脱泡罐2和储料罐4的罐体内部连通，所述压力表6可实时反馈脱泡罐2和储料罐4内部压力。
还包括液位观察管11，所述液位观察管11上端与储料罐4上端连接，所述液位观察管11下端与设于储料罐4底部的输送管道13连接，通过液位观察管12观察储料罐4内的浆料液位，按实际情况停止转料。
所述搅拌机10设有搅拌扇叶，所述搅拌扇叶设于搅拌机10位于脱泡罐2内的一端，所述搅拌扇叶对浆料起到充分、均匀搅拌的效果。
本实用新型提供的一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置集ITO浆料的脱泡与注浆工序于一体，自动化程度高，极大程度地简化了操作，自动化控制比人工操作更加稳定、精准，有效减少了不良品的产生。超声振动与真空技术结合有效脱去浆体中的气泡，经脱泡处理的浆料更加均匀。该装置能够精准控制浆料进入模具的压力，能够分时段控制压缩空气的压力以及其加压的速率，有效避免了浆体在脱泡后再次产生气泡，减少了不良率。该装置成型的ITO靶坯脱模容易，无裂纹，无气泡，高密度，性质均匀。
以上具体结构和尺寸数据是对本实用新型的较佳实施例进行了具体说明，但本实用新型并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (5)
1.一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，包括脱泡罐(2)、储料罐(4)、气动阀(8)和输送管道(13)，所述脱泡罐(2)于底部通过气动阀(8)和输送管道(13)与储料罐(4)连接，其特征在于：还包括设于脱泡罐(2)上表面并与脱泡罐(2)内部连通的真空泵(1)、设于脱泡罐(2)下表面的超声振子(3)、空压机(5)、设于脱泡罐(2)与储料罐(4)上表面并分别与罐体内部连通的泄压阀(7)、模具(9)、设于脱泡罐(2)内部的搅拌机(10)，以及空气管道(14)，所述储料罐(4)通过气动阀(8)和输送管道(13)与模具(9)内部连通，所述空压机(5)通过空气管道(14)和气动阀(8)与脱泡罐(2)的顶部连接，所述空压机(5)通过空气管道(14)和气动阀(8)与储料罐(4)的顶部连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，其特征在于：所述超声振子(3)设有若干个，所述超声振子(3)均匀分布于脱泡罐(2)下表面。
3.根据权利要求1所述的一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，其特征在于：还包括设于脱泡罐(2)和储料罐(4)上表面的压力表(6)，所述压力表(6)分别与脱泡罐(2)和储料罐(4)的罐体内部连通。
4.根据权利要求1所述的一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，其特征在于：还包括液位观察管(11)，所述液位观察管(11)上端与储料罐(4)上端连接，所述液位观察管(11)下端与设于储料罐(4)底部的输送管道(13)连接。
5.根据权利要求1所述的一种真空超声脱泡注浆成型ITO靶材的一体式装置，其特征在于：所述搅拌机(10)设有搅拌扇叶，所述搅拌扇叶设于搅拌机(10)位于脱泡罐(2)内的一端。
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|---|---|---|---|---|
| CN114619543A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-06-14 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 | 一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备 |
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- 2018-06-25 CN CN201820987708.4U patent/CN208584655U/zh active Active
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| CN114619543A (zh) * | 2022-03-23 | 2022-06-14 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 | 一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备 |
| CN114619543B (zh) * | 2022-03-23 | 2023-09-12 | 株洲火炬安泰新材料有限公司 | 一种提高ito靶材初坯致密度的制备设备 |
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