CN208247213U - 一种高效硅片切片装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种高效硅片切片装置，包括机床，所述机床底部的中端固定连接有集尘箱，且集尘箱右侧的底部开设有出料口，所述机床底部的四周均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部固定连接有套筒，所述套筒内腔的顶端通过弹簧活动连接有活动杆，活动杆的底部活动安装有滚轮，且机床顶部的中端固定连接有安装座，所述安装座内表面的下端对称设置有收放转轴。本实用新型在安装座内表面的下端对称设置了收放转轴，并在安装板的内侧从下到上均通过转子依次活动安装了第一金刚线切片、第二金刚线切片和第三金刚线切片，可有效提高硅片的切割效率以及切割精度，同时本切片装置结构简单，便于拆卸安装与检查，符合企业自身的利益。

Description

一种高效硅片切片装置

技术领域

本实用新型涉及硅片加工设备技术领域，具体为一种高效硅片切片装置。

背景技术

硅片厚度是影响生产力的一个因素，它关系到每个硅块所生产出的硅片数量，超薄的硅片给线锯技术提出了额外的挑战，因为其生产过程要困难得多，除了硅片的机械脆性以外，如果线锯工艺没有精密控制，细微的裂纹和弯曲都会对产品良率产生负面影响，超薄硅片线锯系统必须可以对工艺线性、切割线速度和压力以及切割冷却液进行精密控制。

无论硅片的厚薄，晶体硅光伏电池制造商都对硅片的质量提出了极高的要求，硅片不能有表面损伤（细微裂纹、线锯印记），且形貌缺陷（弯曲、凹凸、厚薄不均）要最小化，同时对额外后端处理如抛光等的要求也要降到最低，硅片在加工过程中离不开切片机的使用，但现有的切片机其切割效率低下，切割精度得不到保障，同时其结构复杂，为人们的拆卸安装与检查带来不便，为此，我们提出一种高效硅片切片装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高效硅片切片装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高效硅片切片装置，包括机床，所述机床底部的中端固定连接有集尘箱，且集尘箱右侧的底部开设有出料口，所述机床底部的四周均固定连接有支撑腿，且支撑腿的底部固定连接有套筒，所述套筒内腔的顶端通过弹簧活动连接有活动杆，活动杆的底部活动安装有滚轮，且机床顶部的中端固定连接有安装座，所述安装座内表面的下端对称设置有收放转轴，且收放转轴外表面的前后两面均套接有外套，外套的外侧固定连接有限位块，所述安装座的内表面且位于收放转轴的内侧对称设置有安装板，且安装板的内侧从下到上均通过转子依次活动安装有第一金刚线切片、第二金刚线切片和第三金刚线切片，所述安装座左侧的上端开设有出线口，且安装座右侧的上端开设有进线口，所述安装座左侧的下端固定安装有吸风机，且吸风机的出风端通过管道与集尘箱左侧的顶端连通。

优选的，其操作方法包括以下步骤：

A、机床冲洗；

B、外套、转子更换；

C、线网准备；

D、零点设置；

E、热机检查；

F、切割开始、线网监控；

G、加工结束。

优选的，所述机床冲洗包括以下部分：①、滤袋每刀清理；②、浆料嘴每刀清理；③、滤网每刀清理；④、每刀用纯水冲洗切割室，重点清理导轮及线网、切割室正面和侧面。

优选的，所述外套、转子更换对机床切割质量有严重影响，不及时更换将导致断线等潜在运行风险，因此切割前必须对外套、转子磨损情况进行检查确认，并重点检查出线口、进线口的外套磨损情况，此外针对部分使用转子机床，对转子更换按照上、下颠倒的方式使用二次周期。

优选的，所述线网准备包括线网走线和线网调整，且线网走线为出刀采用返线切割的工艺，要求将旧线部分从放线轴上反转给收线轴，具体反线量根据切割工艺指导操作；线网调整主要对齐线网去底情况，防止因硅块尺寸不一致导致的中线缝隙不一致导致切割质量影响。

优选的，所述零点设置为：由于金刚线切割的加工开始位置为-1.0mm，因此硅块零点设置的位置要完全贴合线网进行设置，如零点位置设置过高，将导致切割结束后且不同的情况。

优选的，所述热机作为机床切割前最后一项工作，要求操作人员认真检查线网情况，将导轮、切割室内异物清理干净，要求打开侧板，低速向前转动线网，观察线网各处是否有异常空槽和跳线情况，并通过线网的平整性进行判断。

优选的，所述线网监控是对切割过程中的线网进行定时查看，并对异常情况及时进行调整避免出现更大的损失；线网查看从机床观察窗使用手电辅助进行，观察前确定线网正在反向运行，避免切割液影响观察效果以及切割液溅出，且所有线网运行过程中停机，停机前保证线网运行一个循环，即反向运行降速时停机，否则会造成停机线痕和色差片。

优选的，所述机床加工结束后机床自动报警，员工需要对硅块是否切透进行判断，切透时线网从进线口到出线口基本成一条直线，没有一次明显出现低凹，同时可与调整对比线网对比，线网与其平行。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1.本实用新型在安装座内表面的下端对称设置了收放转轴，并在安装板的内侧从下到上均通过转子依次活动安装了第一金刚线切片、第二金刚线切片和第三金刚线切片，可有效提高硅片的切割效率以及切割精度，同时本切片装置结构简单，便于拆卸安装与检查，符合企业自身的利益。

2.本实用新型在套筒与活动杆之间设置了弹簧，可起到减震的作用，保障了本切片装置在移动与使用过程中的稳定性，提高了其使用寿命。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型工艺流程示意图。

图中：1机床、2限位块、3收放转轴、4进线口、5安装板、6第一金刚线切片、7第二金刚线切片、8第三金刚线切片、9出线口、10外套、11安装座、12支撑腿、13转子、14套筒、15滚轮、16活动杆、17弹簧、18出料口、19集尘箱、20管道、21吸风机。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，一种高效硅片切片装置，包括机床1，机床1底部的中端固定连接有集尘箱19，且集尘箱19右侧的底部开设有出料口18，机床1底部的四周均固定连接有支撑腿12，且支撑腿12的底部固定连接有套筒14，套筒14内腔的顶端通过弹簧17活动连接有活动杆16，弹簧17可起到减震的作用，保障了本切片装置在移动与使用过程中的稳定性，提高了其使用寿命，活动杆16的底部活动安装有滚轮15，且机床1顶部的中端固定连接有安装座11，安装座11内表面的下端对称设置有收放转轴3，且收放转轴3外表面的前后两面均套接有外套10，外套10的外侧固定连接有限位块2，安装座11的内表面且位于收放转轴3的内侧对称设置有安装板5，且安装板5的内侧从下到上均通过转子13依次活动安装有第一金刚线切片6、第二金刚线切片7和第三金刚线切片8，可有效提高硅片的切割效率以及切割精度，同时本切片装置结构简单，便于拆卸安装与检查，符合企业自身的利益，安装座11左侧的上端开设有出线口9，且安装座11右侧的上端开设有进线口4，安装座11左侧的下端固定安装有吸风机21，且吸风机21的出风端通过管道20与集尘箱19左侧的顶端连通。

其操作方法包括以下步骤：

A、机床1冲洗；

B、外套10、转子13更换；

C、线网准备；

D、零点设置；

E、热机检查；

F、切割开始、线网监控；

G、加工结束。

机床1冲洗包括以下部分：①、滤袋每刀清理；②、浆料嘴每刀清理；③、滤网每刀清理；④、每刀用纯水冲洗切割室，重点清理导轮及线网、切割室正面和侧面。

外套10、转子13更换对机床1切割质量有严重影响，不及时更换将导致断线等潜在运行风险，因此切割前必须对外套10、转子13磨损情况进行检查确认，并重点检查出线口9、进线口4的外套10磨损情况，此外针对部分使用转子机床，对转子13更换按照上、下颠倒的方式使用二次周期。

线网准备包括线网走线和线网调整，且线网走线为出刀采用返线切割的工艺，要求将旧线部分从放线轴上反转给收线轴，具体反线量根据切割工艺指导操作；线网调整主要对齐线网去底情况，防止因硅块尺寸不一致导致的中线缝隙不一致导致切割质量影响。

零点设置为：由于金刚线切割的加工开始位置为-1.0mm，因此硅块零点设置的位置要完全贴合线网进行设置，如零点位置设置过高，将导致切割结束后且不同的情况。

热机作为机床1切割前最后一项工作，要求操作人员认真检查线网情况，将导轮、切割室内异物清理干净，要求打开侧板，低速向前转动线网，观察线网各处是否有异常空槽和跳线情况，并通过线网的平整性进行判断。

线网监控是对切割过程中的线网进行定时查看，并对异常情况及时进行调整避免出现更大的损失；线网查看从机床1观察窗使用手电辅助进行，观察前确定线网正在反向运行，避免切割液影响观察效果以及切割液溅出，且所有线网运行过程中停机，停机前保证线网运行一个循环，即反向运行降速时停机，否则会造成停机线痕和色差片。

机床1加工结束后机床1自动报警，员工需要对硅块是否切透进行判断，切透时线网从进线口4到出线口9基本成一条直线，没有一次明显出现低凹，同时可与调整对比线网对比，线网与其平行。

使用时，在安装座11内表面的下端对称设置了收放转轴3，并在安装板5的内侧从下到上均通过转子13依次活动安装了第一金刚线切片6、第二金刚线切片7和第三金刚线切片8，可有效提高硅片的切割效率以及切割精度，同时本切片装置结构简单，便于拆卸安装与检查，符合企业自身的利益，同时，在套筒14与活动杆16之间设置了弹簧17，可起到减震的作用，保障了本切片装置在移动与使用过程中的稳定性，提高了其使用寿命。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (1)

1.一种高效硅片切片装置，包括机床（1），其特征在于：所述机床（1）底部的中端固定连接有集尘箱（19），且集尘箱（19）右侧的底部开设有出料口（18），所述机床（1）底部的四周均固定连接有支撑腿（12），且支撑腿（12）的底部固定连接有套筒（14），所述套筒（14）内腔的顶端通过弹簧（17）活动连接有活动杆（16），活动杆（16）的底部活动安装有滚轮（15），且机床（1）顶部的中端固定连接有安装座（11），所述安装座（11）内表面的下端对称设置有收放转轴（3），且收放转轴（3）外表面的前后两面均套接有外套（10），外套（10）的外侧固定连接有限位块（2），所述安装座（11）的内表面且位于收放转轴（3）的内侧对称设置有安装板（5），且安装板（5）的内侧从下到上均通过转子（13）依次活动安装有第一金刚线切片（6）、第二金刚线切片（7）和第三金刚线切片（8），所述安装座（11）左侧的上端开设有出线口（9），且安装座（11）右侧的上端开设有进线口（4），所述安装座（11）左侧的下端固定安装有吸风机（21），且吸风机（21）的出风端通过管道（20）与集尘箱（19）左侧的顶端连通。