CN206029581U - 气囊式双面研磨抛光机 - Google Patents

气囊式双面研磨抛光机 Download PDF

Info

Publication number
CN206029581U
CN206029581U CN201621036836.8U CN201621036836U CN206029581U CN 206029581 U CN206029581 U CN 206029581U CN 201621036836 U CN201621036836 U CN 201621036836U CN 206029581 U CN206029581 U CN 206029581U
Authority
CN
China
Prior art keywords
air bag
cylinder
top lap
model
utility
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201621036836.8U
Other languages
English (en)
Inventor
袁保军
贺贤汉
王宇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Hanhong Precision Machinery Co Ltd
Original Assignee
Shanghai Hanhong Precision Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Hanhong Precision Machinery Co Ltd filed Critical Shanghai Hanhong Precision Machinery Co Ltd
Priority to CN201621036836.8U priority Critical patent/CN206029581U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN206029581U publication Critical patent/CN206029581U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

一种气囊式双面研磨抛光机,包括:三个提拉气缸、气囊、上支撑盘、上研磨盘和下研磨盘,其中:上支撑盘、气囊、上研磨盘和下研磨盘从上至下依次设置,三个提拉气缸的本体固定在上支撑盘上,提拉气缸的气缸杆固定在上研磨盘上。本实用新型适合蓝宝石磨抛等高压力场合。

Description

气囊式双面研磨抛光机
技术领域
本实用新型涉及蓝宝石、硅片双面研磨抛光生产领域,特别是一种气囊式双面研磨抛光机。
背景技术
目前的双面研磨机抛光机,下压力由上盘的自重和固定在上盘上的气缸共同作用,进行压力调整。①上盘自重大,惯量大,需要匹配的电机功率也大。②在要求压力比较高的场合,其结构对压力的增加有所制约。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种气囊式双面研磨抛光机,适合蓝宝石磨抛等高压力场合。
为解决上述技术问题,本实用新型包括:三个提拉气缸、气囊、上支撑盘、上研磨盘和下研磨盘,其中:上支撑盘、气囊、上研磨盘和下研磨盘从上至下依次设置,三个提拉气缸的本体固定在上支撑盘上,提拉气缸的气缸杆固定在上研磨盘上。
所述的气囊的截面面积为0.3m2,比之前0.02m2大。
本实用新型上盘的下压力由气囊产生,结构轻巧,惯量小,由上支撑盘、气囊、上研磨盘组成的上盘不会出现甩盘现象,加减速平稳。由于气囊截面大,是目前气缸的10-20倍,产生的压力巨大。非常适合蓝宝石磨抛等高压力场合。气囊的充气过程柔缓,下压时,对物料的冲击小。旋转时,平稳降噪。
附图说明
图1为本实用新型的剖面图;
图2为本实用新型的整体效果图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
如图1和图2所示,本实施例包括:三个提拉气缸1、气囊2、上支撑盘3、上研磨盘4和下研磨盘5,其中:上支撑盘3、气囊2、上研磨盘4和下研磨盘5从上至下依次设置,三个提拉气缸1的本体固定在上支撑盘3上,提拉气缸1的气缸杆固定在上研磨盘4上。
所述的气囊2的截面面积为0.3m2
由上支撑盘3、气囊2、上研磨盘4组成的上盘机构下降到位,锁紧机构锁定上支撑盘3,气囊2充气,上研磨盘4下压,直到与下研磨盘5接触;在设定压力下,上、下研磨盘4、5旋转运行;加工结束,气囊2排气,提拉气缸1提升上研磨盘4,锁紧机构解除,上盘装置上升。
以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明,但本实用新型创造并不限于所述的实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型创造精神的前提下还可以作出种种的等同的变型或替换,这些等同变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (2)

1.一种气囊式双面研磨抛光机,其特征在于,包括:三个提拉气缸、气囊、上支撑盘、上研磨盘和下研磨盘,其中:上支撑盘、气囊、上研磨盘和下研磨盘从上至下依次设置,三个提拉气缸的本体固定在上支撑盘上,提拉气缸的气缸杆固定在上研磨盘上。
2.根据权利要求1所述的气囊式双面研磨抛光机,其特征在于,所述的气囊的截面面积为0.3m2
CN201621036836.8U 2016-09-05 2016-09-05 气囊式双面研磨抛光机 Active CN206029581U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621036836.8U CN206029581U (zh) 2016-09-05 2016-09-05 气囊式双面研磨抛光机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201621036836.8U CN206029581U (zh) 2016-09-05 2016-09-05 气囊式双面研磨抛光机

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN206029581U true CN206029581U (zh) 2017-03-22

Family

ID=58298307

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201621036836.8U Active CN206029581U (zh) 2016-09-05 2016-09-05 气囊式双面研磨抛光机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN206029581U (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108032157A (zh) * 2017-11-30 2018-05-15 重庆市长寿区美全家具有限公司 一种木板均匀打磨装置
CN111993268A (zh) * 2020-08-24 2020-11-27 台州市老林装饰有限公司 一种晶圆研磨头装置
CN115008300A (zh) * 2022-06-22 2022-09-06 锡斌光电(江苏)有限公司 一种高效单片双面磨抛机

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108032157A (zh) * 2017-11-30 2018-05-15 重庆市长寿区美全家具有限公司 一种木板均匀打磨装置
CN111993268A (zh) * 2020-08-24 2020-11-27 台州市老林装饰有限公司 一种晶圆研磨头装置
CN115008300A (zh) * 2022-06-22 2022-09-06 锡斌光电(江苏)有限公司 一种高效单片双面磨抛机
CN115008300B (zh) * 2022-06-22 2023-12-12 锡斌光电(江苏)有限公司 一种高效单片双面磨抛机

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN206029581U (zh) 气囊式双面研磨抛光机
CN201998018U (zh) 用于盘式刹车片的磨床
CN108620975A (zh) 一种金属制品加工用打磨装置
JP2014144525A (ja) 研磨方法
CN104858773B (zh) 可调节晶片研磨平面度的修正盘和蓝宝石晶片研磨方法
CN202021541U (zh) 抛光装置
TWI811552B (zh) 合成磨石
CN206241820U (zh) 一种琥珀打磨机
WO2016063457A1 (ja) 研磨装置及びウェーハの研磨方法
CN103158059A (zh) 晶片研磨设备
CN101214625A (zh) 硅片边缘的磨角装置
CN210499749U (zh) 一种化学机械抛光装置
CN107756160A (zh) 一种六轴打磨系统
CN208584424U (zh) 一种磨盘
CN207480326U (zh) 一种摩擦抛光装置
CN207077303U (zh) 一种自动锯片抛光机
CN217413412U (zh) 一种碳化硅支柱端头成型机
CN205928161U (zh) 一种玻璃磨边机
CN107671694A (zh) 一种纳米抗污抛光机
CN205968522U (zh) 一种玻璃磨边机构
CN210209950U (zh) 化学机械研磨设备
CN103522167B (zh) 研磨头及研磨装置
CN207415037U (zh) 一种卧式环缝砂带打磨机
CN209190545U (zh) 一种耐用的打磨抛光砂布轮
CN204525116U (zh) 可翻转式双头抛光机

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant