CN205956753U - 六氟化硫气瓶充灌预处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及六氟化硫气瓶处理装置技术领域，是一种六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其包括六氟化硫气体净化处理装置、氮气瓶组、六氟化硫气瓶组、待处理气瓶组、真空泵、六氟化硫气体回收装置和能检测露点和纯度的六氟化硫气体检测仪器，待处理气瓶组包括至少一个的待处理六氟化硫气瓶。本实用新型结构合理而紧凑，使用简单方便，其对待处理六氟化硫气瓶进行预处理后，能够保证充灌至待处理六氟化硫气瓶内的六氟化硫气体质量达到GB/T 12022‑2014《工业六氟化硫》新气验收标准，从而避免了将充灌至待处理六氟化硫气瓶内的六氟化硫气体重新进行净化处理，则大大提高了充灌效率，即提高了工作效率，降低了人员的劳动强度。

Description

六氟化硫气瓶充灌预处理装置

技术领域

本实用新型涉及六氟化硫气瓶处理装置技术领域，是一种六氟化硫气瓶充灌预处理装置。

背景技术

新制六氟化硫气瓶在出厂前均要经过严格的检查和抽真空处理，彻底地清除其内部的污染物，最后旋紧阀门、戴好瓶帽，以保证良好的密封性能。然而六氟化硫新气瓶在以后的搬抬、装卸、运输过程中，不可避免地会发生小规模的强烈冲击、碰撞，导致瓶帽轻微松动，阀门逐渐开启，使其密封性能急剧下降，外部环境中大量的空气、水分、尘埃等杂质渗入其中，从而造成气瓶内部严重污染。

因此，对六氟化硫气瓶在充灌之前进行预处理：先将待处理气瓶抽真空一至两次，当真空度符合要求后，开始进行充灌操作。此做法的弊病在于，气瓶处理的真实效果不能得到定量检验，无法衡量并判断是否真正达标；另外，气瓶内壁附着的水分并不能完全去除，从而导致六氟化硫气体的水分含量不能达到GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》新气验收标准，之后只能将超标的六氟化硫气体重新进行净化处理，从而大大降低了充灌效率，即降低了工作效率，增加了人员的劳动强度。

目前，国内市场上的六氟化硫气体净化处理装置大多是将净化处理后的六氟化硫气体液化，通过外接充灌管路与六氟化硫气瓶相连，以液体形式输出至六氟化硫气瓶中进行储存。然而外接管路本身并不具备自净功能，管路中残留的空气、水分等杂质会随着灌装过程进入六氟化硫气瓶内，从而导致六氟化硫气瓶内六氟化硫气体质量超标（不能达到GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》新气验收标准）。

发明内容

本实用新型提供了一种六氟化硫气瓶充灌预处理装置，克服了上述现有技术之不足，其能有效地解决采用现有六氟化硫气瓶充灌之前的处理方法对六氟化硫气瓶进行预处理后，存在不能确定充灌至六氟化硫气瓶内的六氟化硫气体质量是否达标的问题。

本实用新型的技术方案是通过以下措施来实现的：一种六氟化硫气瓶充灌预处理装置，包括六氟化硫气体净化处理装置、氮气瓶组、六氟化硫气瓶组、待处理气瓶组、真空泵、六氟化硫气体回收装置和能检测露点和纯度的六氟化硫气体检测仪器，待处理气瓶组包括至少一个的待处理六氟化硫气瓶，在六氟化硫气体净化处理装置的充灌接口固定连接有充灌管线，在氮气瓶组的出口固定连接有氮气管线，在六氟化硫气瓶组的出口固定连接有六氟化硫管线，在真空泵的抽气接口固定连接有抽气管线，在抽气管线上固定连接有真空测量管线，在真空测量管线上固定安装有真空计，在六氟化硫气体回收装置的进气接口固定连接有第一进气管线，在真空泵的排气接口与第一进气管线之间固定连接有排气管线，在排气管线上固定连接有排空管线，在六氟化硫气体检测仪器的进气接口与待处理气瓶组的进出口之间固定连接有气体检测管线，在气体检测管线上分别固定连接有连接管线和排放管线，在六氟化硫气体检测仪器的排气接口与第一进气管线之间固定连接有第二进气管线，在六氟化硫气体回收装置的出气接口与六氟化硫气体净化处理装置的进气接口之间固定连接有回收管线。充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、第一进气管线和连接管线相互连通，在充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、真空测量管线、第一进气管线、排气管线、气体检测管线、连接管线、排放管线、第二进气管线、回收管线和排空管线上均固定安装有调节阀。

下面是对上述实用新型技术方案的进一步优化或/和改进：

上述充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、第一进气管线和连接管线之间固定安装有使充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、第一进气管线和连接管线相互连通的六通。

上述六氟化硫气体回收装置包括过滤器、六氟化硫气体压缩机和储气罐，在过滤器的进气接口固定连接有第一进气管线，过滤器的出气接口与六氟化硫气体压缩机的进气接口通过管线固定连接在一起，六氟化硫气体压缩机的出气接口与储气罐的进气接口通过管线固定连接在一起，储气罐的出气接口与六氟化硫气体净化处理装置的进气接口之间固定连接有回收管线。

上述六氟化硫气体检测仪器包括六氟化硫露点仪和六氟化硫纯度仪，在六氟化硫露点仪的进样接口与气体检测管线之间固定连接有第一采样管线，在第一采样管线上固定安装有第一采样阀，六氟化硫露点仪的排气接口与第二进气管线之间通过管线固定连接在一起，在六氟化硫纯度仪的进样接口与气体检测管线之间固定连接有第二采样管线，在第二采样管线上固定安装有第二采样阀，六氟化硫纯度仪的排气接口与第二进气管线之间通过管线固定连接在一起。

上述氮气瓶组包括至少一个的氮气瓶，每一个氮气瓶的出口均通过氮气支管线与氮气管线固定连接在一起，在每一条氮气支管线上均固定安装有调节阀，在氮气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，六氟化硫气瓶组包括至少一个的六氟化硫气瓶，每一个六氟化硫气瓶的出口均通过六氟化硫支管线与六氟化硫管线固定连接在一起，在每一条六氟化硫支管线上均固定安装有调节阀，在六氟化硫气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，还包括电子平台秤，每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口均通过待处理管线与气体检测管线固定连接在一起，在每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口处均固定安装有机械抗震压力表，在每一条待处理管线上均固定安装有调节阀，每一个电子平台秤上放置有一个待处理六氟化硫气瓶；或/和，还包括底座，真空泵放置在底座上，底座下部设置有至少一组能使底座移动的万向轮，真空泵为无油涡旋真空泵；或/和，充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、真空测量管线、第一进气管线、排气管线、气体检测管线、连接管线、排放管线、第二进气管线、回收管线和排空管线均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。

上述调节阀为不锈钢制手动球阀；或/和，管线、氮气支管线、六氟化硫支管线和待处理管线均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。

本实用新型结构合理而紧凑，使用简单方便，其对待处理六氟化硫气瓶进行预处理后，能够保证充灌至待处理六氟化硫气瓶内的六氟化硫气体质量达到GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》新气验收标准，从而避免了将充灌至待处理六氟化硫气瓶内的六氟化硫气体重新进行净化处理，则大大提高了充灌效率，即提高了工作效率，降低了人员的劳动强度。

附图说明

附图1为本实用新型最佳实施例的结构示意图。

附图1中的编码分别表示为：1为六氟化硫气体净化处理装置，2为真空泵，3为六氟化硫气体回收装置，4为六氟化硫气体检测仪器，5为待处理六氟化硫气瓶，6为充灌管线，7为氮气管线，8为六氟化硫管线，9为抽气管线，10为真空测量管线，11为真空计，12为第一进气管线，13为排气管线，14为气体检测管线，15为连接管线，16为排放管线，17为第二进气管线，18为回收管线，19为调节阀，20为六通，21为氮气瓶，22为氮气支管线，23为六氟化硫气瓶，24为六氟化硫支管线，25为电子平台秤，26为待处理管线，27为底座，28为万向轮，29为排空管线。

具体实施方式

本实用新型不受下述实施例的限制，可根据本实用新型的技术方案与实际情况来确定具体的实施方式。

在本实用新型中，为了便于描述，各部件的相对位置关系的描述均是根据说明书附图1的布图方式来进行描述的，如：前、后、上、下、左、右等的位置关系是依据说明书附图的布图方向来确定的。

下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步描述：

如附图1所示，该六氟化硫气瓶充灌预处理装置包括六氟化硫气体净化处理装置1、氮气瓶组、六氟化硫气瓶组、待处理气瓶组、真空泵2、六氟化硫气体回收装置3和能检测露点和纯度的六氟化硫气体检测仪器4，待处理气瓶组包括至少一个的待处理六氟化硫气瓶5，在六氟化硫气体净化处理装置1的充灌接口固定连接有充灌管线6，在氮气瓶组的出口固定连接有氮气管线7，在六氟化硫气瓶组的出口固定连接有六氟化硫管线8，在真空泵2的抽气接口固定连接有抽气管线9，在抽气管线9上固定连接有真空测量管线10，在真空测量管线10上固定安装有真空计11，在六氟化硫气体回收装置3的进气接口固定连接有第一进气管线12，在真空泵2的排气接口与第一进气管线12之间固定连接有排气管线13，在排气管线13上固定连接有排空管线29，在六氟化硫气体检测仪器4的进气接口与待处理气瓶组的进出口之间固定连接有气体检测管线14，在气体检测管线14上分别固定连接有连接管线15和排放管线16，在六氟化硫气体检测仪器4的排气接口与第一进气管线12之间固定连接有第二进气管线17，在六氟化硫气体回收装置3的出气接口与六氟化硫气体净化处理装置1的进气接口之间固定连接有回收管线18。充灌管线6、氮气管线7、六氟化硫管线8、抽气管线9、第一进气管线12和连接管线15相互连通，在充灌管线6、氮气管线7、六氟化硫管线8、抽气管线9、真空测量管线10、第一进气管线12、排气管线13、气体检测管线14、连接管线15、排放管线16、第二进气管线17、回收管线18和排空管线29上均固定安装有调节阀19。

六氟化硫气体回收装置3和六氟化硫气体检测仪器4均为现有公知技术，六氟化硫气体净化处理装置1为现有公知公用的净化处理六氟化硫气体的装置。

采用本实用新型对待处理六氟化硫气瓶5进行预处理时，首先，采用氮气瓶组中的高纯氮气对待处理气瓶组中的待处理六氟化硫气瓶5以及相应的管线进行氮气清洗，通过氮气清洗，能够将待处理六氟化硫气瓶5以及相应的管线中的空气、水分、尘埃等杂质排放至大气中，达到清除待处理六氟化硫气瓶5以及相应的管线中的空气、水分、尘埃等杂质的目的；然后，采用六氟化硫气瓶组中的高纯六氟化硫气体对经过氮气清洗后的待处理六氟化硫气瓶5进行置换，将待处理六氟化硫气瓶5中的氮气置换出待处理六氟化硫气瓶5。在六氟化硫气体置换过程中，通过六氟化硫气体检测仪器4对待处理六氟化硫气瓶5中的六氟化硫气体的纯度和水分含量进行检测，直至六氟化硫气体的纯度和水分含量的检测结果达到GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》新气验收标准时，则六氟化硫气体置换操作结束，最后对待处理六氟化硫气瓶5以及相应的管线进行抽真空处理。通过采用本实用新型对待处理六氟化硫气瓶5进行预处理后，能够保证充灌至待处理六氟化硫气瓶5内的六氟化硫气体质量达到GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》新气验收标准，从而避免了将充灌至待处理六氟化硫气瓶5内的六氟化硫气体重新进行净化处理，从而大大提高了充灌效率，即提高了工作效率，降低了人员的劳动强度。同时，能够防止在充灌过程中，水分、空气等杂质进入待处理六氟化硫气瓶5内。

可根据实际需要，对上述六氟化硫气瓶充灌预处理装置作进一步优化或/和改进：

如附图1所示，在充灌管线6、氮气管线7、六氟化硫管线8、抽气管线9、第一进气管线12和连接管线15之间固定安装有使充灌管线6、氮气管线7、六氟化硫管线8、抽气管线9、第一进气管线12和连接管线15相互连通的六通20。六通20便于管线相互之间的拆装和连接，提高了本实用新型的使用灵活性。

根据需要，六氟化硫气体回收装置3包括过滤器、六氟化硫气体压缩机和储气罐，在过滤器的进气接口固定连接有第一进气管线12，过滤器的出气接口与六氟化硫气体压缩机的进气接口通过管线固定连接在一起，六氟化硫气体压缩机的出气接口与储气罐的进气接口通过管线固定连接在一起，储气罐的出气接口与六氟化硫气体净化处理装置1的进气接口之间固定连接有回收管线18。

待回收的六氟化硫气体可以先通过第一进气管线12或第二进气管线17进入过滤器进行过滤，然后经过六氟化硫气体压缩机压缩后储存至储气罐内，当储气罐的压力达到一定值时，再将储气罐内的气体输送至六氟化硫气体净化处理装置1中进行净化处理。通过六氟化硫气体回收装置3，将置换操作过程中排放的六氟化硫气体、真空泵2对待处理六氟化硫气瓶5置换后抽真空排放的气体、六氟化硫气体检测仪器4使用时排放的尾气进行集中回收，从而实现了六氟化硫气体的零排放和资源的整合利用，具有良好的经济效益和社会效益。

根据需要，六氟化硫气体检测仪器4包括六氟化硫露点仪和六氟化硫纯度仪，在六氟化硫露点仪的进样接口与气体检测管线14之间固定连接有第一采样管线，在第一采样管线上固定安装有第一采样阀，六氟化硫露点仪的排气接口与第二进气管线17之间通过管线固定连接在一起，在六氟化硫纯度仪的进样接口与气体检测管线14之间固定连接有第二采样管线，在第二采样管线上固定安装有第二采样阀，六氟化硫纯度仪的排气接口与第二进气管线17之间通过管线固定连接在一起。

如附图1所示，氮气瓶组包括至少一个的氮气瓶21，每一个氮气瓶21的出口均通过氮气支管线22与氮气管线7固定连接在一起，在每一条氮气支管线22上均固定安装有调节阀19，在氮气瓶21的出口处均固定安装有减压阀；或/和，六氟化硫气瓶组包括至少一个的六氟化硫气瓶23，每一个六氟化硫气瓶23的出口均通过六氟化硫支管线24与六氟化硫管线8固定连接在一起，在每一条六氟化硫支管线24上均固定安装有调节阀19，在六氟化硫气瓶23的出口处均固定安装有减压阀；或/和，还包括电子平台秤25，每一个待处理六氟化硫气瓶5的进出口均通过待处理管线26与气体检测管线14固定连接在一起，在每一个待处理六氟化硫气瓶5的进出口处均固定安装有机械抗震压力表，在每一条待处理管线26上均固定安装有调节阀19，每一个电子平台秤25上放置有一个待处理六氟化硫气瓶5；或/和，还包括底座27，真空泵2放置在底座27上，底座27下部设置有至少一组能使底座27移动的万向轮28，真空泵2为无油涡旋真空泵；或/和，充灌管线6、氮气管线7、六氟化硫管线8、抽气管线9、真空测量管线10、第一进气管线12、排气管线13、气体检测管线14、连接管线15、排放管线16、第二进气管线17、回收管线18和排空管线29均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。隔热保温层的材料可以采用石棉。

多个氮气瓶21、多个六氟化硫气瓶23的设置，可以通过调节阀19的开关操作更换气瓶，简便易行，节省了换瓶所耽搁的时间，提高了工作效率。

多个待处理六氟化硫气瓶5的待处理管线26的设置，同时实现多瓶处理，待处理六氟化硫气瓶5处理合格后，可同时进行多瓶充灌，能够有效地避免由于换瓶而导致的停机操作，极大提高了处理效率和充灌速度。

万向轮28的设置便于自由移动真空泵2。所有管线均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管的设置，以防止液态六氟化硫与外界环境发生大量的热交换而轻易被汽化，可使低温灌装过程连续进行，大幅度提高了充灌效率。

根据需要，调节阀19为不锈钢制手动球阀；或/和，管线、氮气支管线22、六氟化硫支管线24和待处理管线26均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。管线、氮气支管线22、六氟化硫支管线24和待处理管线26均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管的设置，以防止液态六氟化硫与外界环境发生大量的热交换而轻易被汽化，可使低温灌装过程连续进行，大幅度提高了充灌效率。

以上技术特征构成了本实用新型的最佳实施例，其具有较强的适应性和最佳实施效果，可根据实际需要增减非必要的技术特征，来满足不同情况的需求。

本实用新型最佳实施例的使用过程如下：

1.氮气清洗：

依次开启待处理气瓶组中任意一个待处理管线26上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、氮气管线7上的调节阀19、任意一个氮气支管线22上的调节阀19，其它阀门均处于关闭状态，调整氮气瓶21出口的减压阀，将压力控制在1.0MPa左右，开始向待处理六氟化硫气瓶5以及相应的管线中充入高纯氮气。当待处理六氟化硫气瓶5的压力达到约1.0MPa时，依次关闭氮气支管线22上的调节阀19、氮气管线7上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、待处理管线26上的调节阀19，停止充入高纯氮气。待静置一定时间后，依次开启排放管线16上的调节阀19和待处理管线26上的调节阀19，将氮气通过排放管线16直接排放至大气中，当待处理六氟化硫气瓶5的压力下降至0MPa时，依次关闭待处理管线26上的调节阀19和排放管线16上的调节阀19。

然后启动真空泵2，依次开启排空管线29上的调节阀19、抽气管线9上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、经过氮气清洗后的待处理六氟化硫气瓶5的待处理管线26上的调节阀19，其它阀门均处于关闭状态，开始对待处理六氟化硫气瓶5以及相应的管线进行抽真空处理，真空泵所排放的尾气通过排空管线29直接排放至大气中，打开真空计11，开启真空测量管线10上的调节阀19，当真空度低于10Pa并保持一定时间后，依次关闭待处理管线26上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、抽气管线9上的调节阀19、真空测量管线10上的调节阀19、排空管线29上的调节阀19，停运真空泵2，关闭真空计11。重复上述操作过程2次至3次，待处理气瓶组中所有待处理六氟化硫气瓶5的氮气清洗均按上述方法进行，则氮气清洗结束。

2.六氟化硫气体置换：

依次开启待处理气瓶组中任意一个待处理管线26上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、六氟化硫管线8上的调节阀19、任意一个六氟化硫支管线24上的调节阀19，其它阀门均处于关闭状态，调整六氟化硫气瓶23出口的减压阀，将压力控制在1.0MPa左右，开始向待处理六氟化硫气瓶5以及相应的管线中充入高纯六氟化硫气体。当待处理六氟化硫气瓶5压力达到约1.0MPa时，依次关闭六氟化硫支管线24上的调节阀19、六氟化硫管线8上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、待处理管线26上的调节阀19，停止充入高纯六氟化硫气体。待静置一定时间后，六氟化硫露点仪和六氟化硫纯度仪开机，启动六氟化硫气体回收装置3，依次开启第二进气管线17上的调节阀19、气体检测管线14上的调节阀19、经过六氟化硫气体置换后的待处理六氟化硫气瓶5的待处理管线26上的调节阀19，其它阀门均处于关闭状态，开始对待处理六氟化硫气瓶5以及相应管线中六氟化硫气体的纯度和水分含量进行在线检测，六氟化硫露点仪和六氟化硫纯度仪所排放的尾气通过第二进气管线17进入六氟化硫气体回收装置3中进行回收。当六氟化硫气体的纯度和水分含量的检测结果不能达到GB/T 12022-2014《工业六氟化硫》新气验收标准时，依次关闭待处理管线26上的调节阀19、气体检测管线14上的调节阀19、第二进气管线17上的调节阀19，停运六氟化硫气体回收装置3，六氟化硫露点仪和六氟化硫纯度仪关机。接着，依次开启上述检测结果超标的待处理六氟化硫气瓶5的待处理管线26上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、第一进气管线12上的调节阀19，其它阀门均处于关闭状态，启动六氟化硫气体回收装置3，对该待处理六氟化硫气瓶5以及相应管线中的六氟化硫气体进行回收。当待处理六氟化硫气瓶5的压力下降至0MPa时，停运六氟化硫气体回收装置3，依次关闭第一进气管线12上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、待处理管线26上的调节阀19。重复上述操作过程，直至待处理六氟化硫气瓶5以及相应管线中六氟化硫气体的纯度和水分含量完全达标，待处理气瓶组中所有待处理六氟化硫气瓶5的六氟化硫气体置换均按上述方法进行，则六氟化硫气体置换结束。

3.抽真空：

启动真空泵2，依次开启第一进气管线12上的调节阀19、排气管线13上的调节阀19、抽气管线9上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、任意一个待处理管线26上的调节阀19，其它阀门均处于关闭状态，启动六氟化硫气体回收装置3，开始对待处理六氟化硫气瓶5以及相应的管线进行抽真空处理，同时真空泵2所排放的尾气通过排气管线13和第一进气管线12进入六氟化硫气体回收装置3中进行回收。打开真空计11，开启真空测量管线10上的调节阀19，当真空度低于10Pa并保持一定时间后，停运六氟化硫气体回收装置3，依次关闭待处理管线26上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、抽气管线9上的调节阀19、排气管线13上的调节阀19、第一进气管线12上的调节阀19、真空测量管线10上的调节阀19，停运真空泵2，关闭真空计11。重复上述操作过程2次至3次，待处理气瓶组中所有待处理六氟化硫气瓶5的抽真空均按上述方法进行，则抽真空结束。

通过上述氮气清洗、六氟化硫气体置换和抽真空操作，即可完成对待处理六氟化硫气瓶5充灌前的处理，之后可以对待处理六氟化硫气瓶5进行充灌。

六氟化硫气体充灌：

启动六氟化硫气体净化处理装置1，依次开启充灌管线6上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、任意一个待处理管线26上的调节阀19，液态六氟化硫开始输出并灌装至待处理六氟化硫气瓶5中，同时电子平台秤25监测待处理六氟化硫气瓶5质量的变化，以此判断充灌终点。当待处理六氟化硫气瓶5中液态六氟化硫的质量达到一定值（容量为40L的待处理六氟化硫气瓶5一般可容纳约50kg六氟化硫）时，停运六氟化硫气体净化处理装置1，依次关闭灌装六氟化硫气体的待处理管线26上的调节阀19、连接管线15上的调节阀19、充灌管线6上的调节阀19。待处理气瓶组中所有待处理六氟化硫气瓶5的充灌均按上述方法进行，则六氟化硫气体充灌结束。

当六氟化硫气体回收装置3中储气罐的压力达到一定值时，启动六氟化硫气体净化处理装置1，开启回收管线18上的调节阀19，开始进气。当储气罐的压力下降至0MPa时，关闭回收管线18上的调节阀19，停运六氟化硫气体净化处理装置1，则进气结束。

Claims (10)

1.一种六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于包括六氟化硫气体净化处理装置、氮气瓶组、六氟化硫气瓶组、待处理气瓶组、真空泵、六氟化硫气体回收装置和能检测露点和纯度的六氟化硫气体检测仪器，待处理气瓶组包括至少一个的待处理六氟化硫气瓶，在六氟化硫气体净化处理装置的充灌接口固定连接有充灌管线，在氮气瓶组的出口固定连接有氮气管线，在六氟化硫气瓶组的出口固定连接有六氟化硫管线，在真空泵的抽气接口固定连接有抽气管线，在抽气管线上固定连接有真空测量管线，在真空测量管线上固定安装有真空计，在六氟化硫气体回收装置的进气接口固定连接有第一进气管线，在真空泵的排气接口与第一进气管线之间固定连接有排气管线，在排气管线上固定连接有排空管线，在六氟化硫气体检测仪器的进气接口与待处理气瓶组的进出口之间固定连接有气体检测管线，在气体检测管线上分别固定连接有连接管线和排放管线，在六氟化硫气体检测仪器的排气接口与第一进气管线之间固定连接有第二进气管线，在六氟化硫气体回收装置的出气接口与六氟化硫气体净化处理装置的进气接口之间固定连接有回收管线，充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、第一进气管线和连接管线相互连通，在充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、真空测量管线、第一进气管线、排气管线、气体检测管线、连接管线、排放管线、第二进气管线、回收管线和排空管线上均固定安装有调节阀。

2.根据权利要求1所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、第一进气管线和连接管线之间固定安装有使充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、第一进气管线和连接管线相互连通的六通。

3.根据权利要求1或2所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述六氟化硫气体回收装置包括过滤器、六氟化硫气体压缩机和储气罐，在过滤器的进气接口固定连接有第一进气管线，过滤器的出气接口与六氟化硫气体压缩机的进气接口通过管线固定连接在一起，六氟化硫气体压缩机的出气接口与储气罐的进气接口通过管线固定连接在一起，储气罐的出气接口与六氟化硫气体净化处理装置的进气接口之间固定连接有回收管线。

4.根据权利要求1或2所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述六氟化硫气体检测仪器包括六氟化硫露点仪和六氟化硫纯度仪，在六氟化硫露点仪的进样接口与气体检测管线之间固定连接有第一采样管线，在第一采样管线上固定安装有第一采样阀，六氟化硫露点仪的排气接口与第二进气管线之间通过管线固定连接在一起，在六氟化硫纯度仪的进样接口与气体检测管线之间固定连接有第二采样管线，在第二采样管线上固定安装有第二采样阀，六氟化硫纯度仪的排气接口与第二进气管线之间通过管线固定连接在一起。

5.根据权利要求3所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述六氟化硫气体检测仪器包括六氟化硫露点仪和六氟化硫纯度仪，在六氟化硫露点仪的进样接口与气体检测管线之间固定连接有第一采样管线，在第一采样管线上固定安装有第一采样阀，六氟化硫露点仪的排气接口与第二进气管线之间通过管线固定连接在一起，在六氟化硫纯度仪的进样接口与气体检测管线之间固定连接有第二采样管线，在第二采样管线上固定安装有第二采样阀，六氟化硫纯度仪的排气接口与第二进气管线之间通过管线固定连接在一起。

6.根据权利要求1或2所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述氮气瓶组包括至少一个的氮气瓶，每一个氮气瓶的出口均通过氮气支管线与氮气管线固定连接在一起，在每一条氮气支管线上均固定安装有调节阀，在氮气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，六氟化硫气瓶组包括至少一个的六氟化硫气瓶，每一个六氟化硫气瓶的出口均通过六氟化硫支管线与六氟化硫管线固定连接在一起，在每一条六氟化硫支管线上均固定安装有调节阀，在六氟化硫气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，还包括电子平台秤，每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口均通过待处理管线与气体检测管线固定连接在一起，在每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口处均固定安装有机械抗震压力表，在每一条待处理管线上均固定安装有调节阀，每一个电子平台秤上放置有一个待处理六氟化硫气瓶；或/和，还包括底座，真空泵放置在底座上，底座下部设置有至少一组能使底座移动的万向轮，真空泵为无油涡旋真空泵；或/和，充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、真空测量管线、第一进气管线、排气管线、气体检测管线、连接管线、排放管线、第二进气管线、回收管线和排空管线均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。

7.根据权利要求3所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述氮气瓶组包括至少一个的氮气瓶，每一个氮气瓶的出口均通过氮气支管线与氮气管线固定连接在一起，在每一条氮气支管线上均固定安装有调节阀，在氮气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，六氟化硫气瓶组包括至少一个的六氟化硫气瓶，每一个六氟化硫气瓶的出口均通过六氟化硫支管线与六氟化硫管线固定连接在一起，在每一条六氟化硫支管线上均固定安装有调节阀，在六氟化硫气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，还包括电子平台秤，每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口均通过待处理管线与气体检测管线固定连接在一起，在每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口处均固定安装有机械抗震压力表，在每一条待处理管线上均固定安装有调节阀，每一个电子平台秤上放置有一个待处理六氟化硫气瓶；或/和，还包括底座，真空泵放置在底座上，底座下部设置有至少一组能使底座移动的万向轮，真空泵为无油涡旋真空泵；或/和，充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、真空测量管线、第一进气管线、排气管线、气体检测管线、连接管线、排放管线、第二进气管线、回收管线和排空管线均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。

8.根据权利要求4所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述氮气瓶组包括至少一个的氮气瓶，每一个氮气瓶的出口均通过氮气支管线与氮气管线固定连接在一起，在每一条氮气支管线上均固定安装有调节阀，在氮气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，六氟化硫气瓶组包括至少一个的六氟化硫气瓶，每一个六氟化硫气瓶的出口均通过六氟化硫支管线与六氟化硫管线固定连接在一起，在每一条六氟化硫支管线上均固定安装有调节阀，在六氟化硫气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，还包括电子平台秤，每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口均通过待处理管线与气体检测管线固定连接在一起，在每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口处均固定安装有机械抗震压力表，在每一条待处理管线上均固定安装有调节阀，每一个电子平台秤上放置有一个待处理六氟化硫气瓶；或/和，还包括底座，真空泵放置在底座上，底座下部设置有至少一组能使底座移动的万向轮，真空泵为无油涡旋真空泵；或/和，充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、真空测量管线、第一进气管线、排气管线、气体检测管线、连接管线、排放管线、第二进气管线、回收管线和排空管线均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。

9.根据权利要求5所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述氮气瓶组包括至少一个的氮气瓶，每一个氮气瓶的出口均通过氮气支管线与氮气管线固定连接在一起，在每一条氮气支管线上均固定安装有调节阀，在氮气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，六氟化硫气瓶组包括至少一个的六氟化硫气瓶，每一个六氟化硫气瓶的出口均通过六氟化硫支管线与六氟化硫管线固定连接在一起，在每一条六氟化硫支管线上均固定安装有调节阀，在六氟化硫气瓶的出口处均固定安装有减压阀；或/和，还包括电子平台秤，每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口均通过待处理管线与气体检测管线固定连接在一起，在每一个待处理六氟化硫气瓶的进出口处均固定安装有机械抗震压力表，在每一条待处理管线上均固定安装有调节阀，每一个电子平台秤上放置有一个待处理六氟化硫气瓶；或/和，还包括底座，真空泵放置在底座上，底座下部设置有至少一组能使底座移动的万向轮，真空泵为无油涡旋真空泵；或/和，充灌管线、氮气管线、六氟化硫管线、抽气管线、真空测量管线、第一进气管线、排气管线、气体检测管线、连接管线、排放管线、第二进气管线、回收管线和排空管线均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。

10.根据权利要求9所述的六氟化硫气瓶充灌预处理装置，其特征在于所述调节阀为不锈钢制手动球阀；或/和，管线、氮气支管线、六氟化硫支管线和待处理管线均为内侧设置有隔热保温层的不锈钢制软管。