CN206463737U - 高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，包括第一管路、第二管路、回收管路、检测管路和洗气管路，以及若干并列设置于第一管路和第二管路之间的相互独立的待处理瓶管路；各待处理瓶管路均分别包括用于连接待处理瓶气相阀和第一管路的第三阀门，和用于连接待处理瓶液相阀和第二管路的第五阀门；所述第二管路分别与检测管路、回收管路和洗气管路的入口连接。本系统可实现全过程无排放处理，且使用方式灵活易用，兼容性高，不仅能有效提高高纯氨气瓶余气回收处理的效率，而且避免了因直接排放处理或其他方式处理效果不佳而造成的环境和安全隐患问题，具有较高的实用性和可推广性。

Description

高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统

技术领域

本实用新型涉及气体处理领域，具体涉及液氨气瓶余气的的处理系统。

背景技术

高纯氨气广泛用于LED电子行业、薄膜太阳能电池制造行业。近几年，高纯氨气体行业得到了迅速发展。氨是强腐蚀性、有毒气体，大量吸入能引起心脏停搏和呼吸停止，危及生命，因氨气导致安全环保事故不断发生。

高纯氨气体使用钢瓶包装，钢瓶属于压力容器，必须定期的检验，作业前必须对瓶内的氨气进行有效处理。

同时，高纯氨气瓶自带的阀门属于易损配件，经常会出现瓶阀漏气现象，瓶阀更换前也要对高纯氨气瓶内的气进行有效的处理。

目前，行业上对高纯氨气瓶内余气的处理方式上，没有一个可靠的方法和装置。

如果采用直接排放方式进行，不仅造成一定的环境污染，对从业人员的生命安全也会造成威胁。同时，高纯氨产品附加值高，是一种非常贵重的电子工业用气体，直接排放也存在严重的浪费；再加上，直接排放过程中，当气瓶内的残气与大气压平衡后，瓶内仍存在大量的高纯氨气体，处理效果非常有限，极易引发不安全事故和环保事故。

如果采用往高纯氨气瓶内注水的方式来处理气瓶内的余气，处理过程极其危险，极易引发事故，同时氨气与水反应生成氨水，会对处理气瓶内壁产生一定的腐蚀作用，而且气瓶再次使用前，必须对瓶内的水份进行复杂的处理。

因此，急需一种灵活易用的处理系统能高效率、高质量的解决如上问题。

发明内容

发明目的：为了解决现有技术中存在的问题，本实用新型提供了一种高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统。

技术方案：为解决上述技术问题，本实用新型提供的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，包括第一管路、第二管路、回收管路、检测管路和洗气管路，以及若干并列设置于第一管路和第二管路之间的相互独立的待处理瓶管路；

各待处理瓶管路均分别包括用于连接待处理瓶气相阀和第一管路的第三阀门，和用于连接待处理瓶液相阀和第二管路的第五阀门；

所述回收管路包括依次连接的第十阀门、压缩机、第三管路，以及若干并列设置于第三管路上的用于连接回收瓶的第十二阀门；

所述检测管路包括依次连接的第七阀门和氨气浓度测试仪；

所述洗气管路包括依次连接的第九阀门和多级吸收塔；

所述第二管路分别与检测管路、回收管路和洗气管路的入口连接。

优选的，所述第二管路上设有真空压力表。

优选的，所述第一管路与氮气入口连接。

进一步优选的，所述第一管路上还设有压力表。

作为优选的，所述第一管路上还设有压力表，第一管路通过第二阀门与氮气入口连接。

优选的，所述处理系统包括3个以上的待处理瓶管路。

同样作为优选的，所述处理系统包括3个以上的并列设置于第三管路上的用于连接回收瓶的第十二阀门。

进一步优选的，所述多级吸收塔包括依序连接的三级以上的吸收塔。

优选的，所述第二管路通过与检测管路的第七阀门连接实现与检测管路的入口连接，所述第二管路通过与回收管路的第十阀门连接实现与回收管路的入口连接，所述第二管路通过与洗气管路的第九阀门连接实现与洗气管路的入口连接。

有益效果：本实用新型提供的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，一方面可以对多个或全部待处理高纯氨气瓶内的余气同时进行批量回收，亦可根据作业需要灵活多变地挑选其中一个或几个高纯氨待处理气瓶及空瓶进行选择性回收或分时回收或分装；另一方面通过本系统可用惰性气体对待处理气瓶内的微量残余氨进行冲洗，并通过洗气管路对冲洗后的气体中的有害物质氨进行吸收处理，且吸收后的水溶液也可进一步回收利用；第三方面，本系统的检测管路安装有尾气检测装置，可对高纯氨气瓶回收和/或冲洗处理的效果进行检测，以进一步提高气瓶处理的有效性和安全性。第四方面，应用广泛，不仅可以用于对高纯氨气瓶内的余气进行回收处理，还可以用于洗瓶；进一步的，第五方面，还可通过第一管路与氮气入口连接，使用惰性气体吹扫待处理气瓶内微量残余氨气，不会产生腐蚀气瓶内壁的物质，能有效保护待处理气瓶的内壁，同时该气瓶再次使用前无须再对气瓶进行复杂处理(如瓶内水份处理等繁琐事宜)。

总体而言，本系统可实现全过程无排放处理，且使用方式灵活易用，兼容性高，不仅能有效提升高纯氨气瓶余气回收处理的效果，提高回收效率，具备较高的经济效益，而且避免了因直接排放处理或其他方式处理效果不佳而造成的环境和安全隐患问题，具有较高的实用性和可推广性。

附图说明

图1是实施例2的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型作更进一步的说明。

实施例1：如图1所示，实施例1提供的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，包括第一管路20、第二管路21、回收管路、检测管路和洗气管路，以及若干并列设置于第一管路20和第二管路21之间的相互独立的待处理瓶管路。

其中，各待处理瓶管路均分别包括用于连接待处理瓶气相阀和第一管路20的第三阀门3，和用于连接待处理瓶液相阀和第二管路21的第五阀门5。

其中，所述回收管路包括依次连接的第十阀门10、压缩机11、第三管路22，以及若干并列设置于第三管路22上的用于连接回收瓶的第十二阀门12。

其中，所述检测管路包括依次连接的第七阀门7和氨气浓度测试仪8。

其中，所述洗气管路包括依次连接的第九阀门9和多级吸收塔。

其中，所述第二管路21分别与检测管路、回收管路和洗气管路的入口连接。

在本实施例中，所述第二管路21上设有真空压力表6。第一管路20与氮气入口连接。

其中，所述第二管路21通过与检测管路的第七阀门7连接实现与检测管路的入口连接，所述第二管路21通过与回收管路的第十阀门10连接实现与回收管路的入口连接，所述第二管路21通过与洗气管路的第九阀门9连接实现与洗气管路的入口连接。

实施例2：实施例2提供的用于混合气体配置的尾气排放解毒系统，与实施例1结构基本相同，相同之处不再累述，所不同的是：

所述第一管路20上还设有压力表1，第一管路通过第二阀门2与氮气入口连接。

如图1所示：本实施例提供的处理系统包括3个待处理瓶管路，可对3个待处理瓶4进行同时或分时的批量处理。

所述处理系统包括3个并列设置于第三管路22上的用于连接回收瓶的第十二阀门12。可对3个回收瓶也即空瓶13进行同时或分时的批量处理。

所述多级吸收塔包括三级的依序首尾相接的吸收塔，分别为一级吸收塔、二级吸收塔和三级吸收塔。

实施例3：实施例3提供的用于混合气体配置的尾气排放解毒系统，与实施例1结构基本相同，相同之处不再累述，所不同的是：

如图1所示：本实施例提供的处理系统包括4个以上的待处理瓶管路。

所述处理系统包括4个以上的并列设置于第三管路22上的用于连接回收瓶的第十二阀门12。

所述多级吸收塔包括依序连接的四级以上的吸收塔。

以实施例2来举例说明本实用新型的工作过程：

一、准备步骤：

1、将高纯氨待处理瓶二端通过管道与处理系统连接，即：将各待处理瓶的气相阀通过该待处理瓶管路的第三阀门3与第一管路20连接，将各待处理瓶的液相阀通过该待处理瓶管路的第五阀门5与第二管路21连接；

2、将待充装瓶也即空瓶13通过管道与处理系统连接，即：三个回收瓶也即空瓶13，分别通过并列设置于第三管路22上的三个第十二阀门12与第三管路22连接。

3、将首尾相接的一级吸收塔、二级吸收塔和三级吸收塔内装上水。

4、工作前，系统内所有阀门处于关闭状态。

二、余气回收步骤或气体分装步骤：

5、依次打开第十二阀门12、第十阀门10、第五阀门5，打开液氨待处理瓶的液相阀，氨气通过压力差从待处理瓶4汇流到空瓶13中，随着液氨不断被转移，压力表6的压力读数逐步降低。

6、当压力表6的压力平稳后，待处理气瓶4与用于接受高纯氨的空瓶13压力保持平衡。

7、启动压缩机11，将高纯氨待处理瓶4中残余的氨气抽至对应的空瓶13中，压力表6逐步降至负压。

三、冲洗步骤：

8、当压力表6压力平稳后，关闭第十二阀门12，关闭压缩机11，关闭第十阀门10，打开第三阀门3，并打开第二阀门2，氮气通过第一管路20进入高纯氨待处理瓶4中进行冲洗气瓶。

9、压力表6的压力值由负压升至微微正压力，打开第九阀门9，氮气带着高纯氨待处理瓶4内残留的氨气通过第二管路21进入一级吸收塔，由于氨极易溶于水，残余氨气在一级吸收塔内被水吸收，剩余微量的尚未被吸收的氨气随氮气依次进入二级吸收塔、三级吸收塔，以确保氮气冲洗带出的氨气被水完全吸收。

四、检测步骤：

10、用氮气冲洗高纯氨气瓶一段时间如约5～10分钟后，打开第七阀门7，高纯氨待处理瓶4内的气体进入氨气浓度测试仪8，通过该氨气浓度测试仪读取气体中的氨含量，如果不符合安全环保标准，则用氮气冲洗直至符合环保标准，如符合环保标准则可停止氮气冲洗，并关闭第二阀门2、第三阀门3、第五阀门5和第九阀门9。

然后可将已处理完的高纯氨待处理瓶，从系统断开，进行气瓶的检测或维修等后续事宜。且清洗结束后，可将吸收塔内的饱和氨水溶液统一收集，以便重新回收利用。

值得强调的是，基于本实用新型提供的系统结构，上述工作过程中，根据作业需要，可以便捷地实现多个待处理瓶4和多个空瓶13与整个系统的连接和/或断开，可以对多个或全部高纯氨待处理气瓶内的余气同时进行批量回收，亦可根据作业需要灵活多变地挑选其中一个或几个高纯氨待处理气瓶及空瓶进行选择性回收或分时回收或分装，且相互之间不受影响和干扰，也就是说，可以同时作业或流水化作业或有选择性的分时作业，灵活多变，实用性较高。

以上实施列对本实用新型不构成限定，相关工作人员在不偏离本实用新型技术思想的范围内，所进行的多样变化和修改，均落在本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：包括第一管路(20)、第二管路(21)、回收管路、检测管路和洗气管路，以及若干并列设置于第一管路(20)和第二管路(21)之间的相互独立的待处理瓶管路；

各待处理瓶管路均分别包括用于连接待处理瓶气相阀和第一管路(20)的第三阀门(3)，和用于连接待处理瓶液相阀和第二管路(21)的第五阀门(5)；

所述回收管路包括依次连接的第十阀门(10)、压缩机(11)、第三管路(22)，以及若干并列设置于第三管路(22)上的用于连接回收瓶的第十二阀门(12)；

所述检测管路包括依次连接的第七阀门(7)和氨气浓度测试仪(8)；

所述洗气管路包括依次连接的第九阀门(9)和多级吸收塔；

所述第二管路(21)分别与检测管路、回收管路和洗气管路的入口连接。

2.根据权利要求1所述的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：所述第二管路(21)上设有真空压力表(6)。

3.根据权利要求1所述的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：所述第一管路(20)与氮气入口连接。

4.根据权利要求1所述的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：所述第一管路(20)上还设有压力表(1)。

5.根据权利要求1所述的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：所述第一管路(20)上还设有压力表(1)，第一管路(20)通过第二阀门(2)与氮气入口连接。

6.根据权利要求1所述的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：所述处理系统包括3个以上的待处理瓶管路。

7.根据权利要求1所述的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：所述处理系统包括3个以上的并列设置于第三管路(22)上的用于连接回收瓶的第十二阀门(12)。

8.根据权利要求1所述的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：所述多级吸收塔包括依序连接的三级以上的吸收塔。

9.根据权利要求1所述的高纯氨气瓶余气的一体化组合式批量处理系统，其特征在于：所述第二管路(21)通过与检测管路的第七阀门(7)连接实现与检测管路的入口连接，所述第二管路(21)通过与回收管路的第十阀门(10)连接实现与回收管路的入口连接，所述第二管路(21)通过与洗气管路的第九阀门(9)连接实现与洗气管路的入口连接。