CN205904846U - 一种双面抛光硅片抛光机 - Google Patents
一种双面抛光硅片抛光机 Download PDFInfo
- Publication number
- CN205904846U CN205904846U CN201620670142.3U CN201620670142U CN205904846U CN 205904846 U CN205904846 U CN 205904846U CN 201620670142 U CN201620670142 U CN 201620670142U CN 205904846 U CN205904846 U CN 205904846U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- polishing
- silicon wafer
- twin
- driving pulley
- motor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Abstract
本实用新型涉及一种双面抛光硅片抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机不具备双面抛光功能，对一块硅片抛光时需要进行两次，这就导致抛光效率降低，降低整体生产进度，存在不足。本实用新型涉及一种双面抛光硅片抛光机，其中：第一抛光轮设有第一抛光齿，第二电机与第二主动带轮同轴连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与第二抛光轮固定连接，第二抛光轮设有第二抛光齿，机体与支架固定连接，支架与固定块固定连接，抛光液箱通过液管与喷头连通。本装置采用双面抛光的方式，一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光，大大提高了抛光效率，降低生产成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域，尤其是一种双面抛光硅片抛光机。
背景技术
当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机不具备双面抛光功能，对一块硅片抛光时需要进行两次，这就导致抛光效率降低，降低整体生产进度，存在不足。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种双面抛光硅片抛光机，为克服上述的不足，采用双面抛光的方式，一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光，大大提高了抛光效率，降低生产成本。
本实用新型的技术方案：
一种双面抛光硅片抛光机，包括机体、第一电机、第一主动带轮、第一传动带、第一从动带轮、第一抛光轮、第一抛光齿、抛光液箱、液管、喷头、第二电机、第二主动带轮、第二传动带、第二从动带轮、第二抛光轮、第二抛光齿、支架、固定块；其中：机体与第一电机固定连接，第一电机与第一主动带轮同轴连接，第一主动带轮通过第一传动带与第一从动带轮连接，第一从动带轮与第一抛光轮固定连接，第一抛光轮设有第一抛光齿，第二电机与第二主动带轮同轴连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与第二抛光轮固定连接，第二抛光轮设有第二抛光齿，机体与支架固定连接，支架与固定块固定连接，抛光液箱通过液管与喷头连通。
一种双面抛光硅片抛光机，其中：第一抛光轮与第二抛光轮之间采用上下对称的结构。
本实用新型的优点在于：本装置采用双面抛光的方式，一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光，大大提高了抛光效率，降低生产成本。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记：机体1、第一电机2、第一主动带轮3、第一传动带4、第一从动带轮5、第一抛光轮6、第一抛光齿7、抛光液箱8、液管9、喷头10、第二电机11、第二主动带轮12、第二传动带13、第二从动带轮14、第二抛光轮15、第二抛光齿16、支架17、固定块18。
具体实施方式
实施例1、一种双面抛光硅片抛光机，包括机体1、第一电机2、第一主动带轮3、第一传动带4、第一从动带轮5、第一抛光轮6、第一抛光齿7、抛光液箱8、液管9、喷头10、第二电机11、第二主动带轮12、第二传动带13、第二从动带轮14、第二抛光轮15、第二抛光齿16、支架17、固定块18；其中：机体1与第一电机2固定连接，第一电机2与第一主动带轮3同轴连接，第一主动带轮3通过第一传动带4与第一从动带轮5连接，第一从动带轮5与第一抛光轮6固定连接，第一抛光轮6设有第一抛光齿7，第二电机11与第二主动带轮12同轴连接，第二主动带轮12通过第二传动带13与第二从动带轮14连接，第二从动带轮14与第二抛光轮15固定连接，第二抛光轮15设有第二抛光齿16，机体1与支架17固定连接，支架17与固定块18固定连接，抛光液箱8通过液管9与喷头10连通。
实施例2、一种双面抛光硅片抛光机，其中：第一抛光轮6与第二抛光轮15之间采用上下对称的结构，一次加工可以同时对硅片的两面进行抛光，大大提高了抛光效率，降低生产成本。其余同实施例1。
工作原理：
将硅片固定于固定块18之上，同时启动第一电机2与第二电机11，第一电机2与第二电机11分别带动第一主动带轮3与第二主动带轮12旋转，第一主动带轮3通过第一传动带4带动第一从动带轮5旋转，第二主动带轮12通过第二传动带13带动第二从动带轮14旋转，第一从动带轮5与第二从动带轮14分别同时带动第一抛光轮6与第二抛光轮15旋转，进而分别带动第一抛光齿7与第二抛光齿16转动，同时，抛光液由抛光液箱8流出，经过通过液管9与喷头10流向硅片表面，最终实现对硅片的双面抛光，双面抛光相对传统的单面抛光具有更高的抛光效率，大大提高企业的生产效率，动作结束。
Claims (2)
1.一种双面抛光硅片抛光机，包括机体（1）、第一电机（2）、第一主动带轮（3）、第一传动带（4）、第一从动带轮（5）、第一抛光轮（6）、第一抛光齿（7）、抛光液箱（8）、液管（9）、喷头（10）、第二电机（11）、第二主动带轮（12）、第二传动带（13）、第二从动带轮（14）、第二抛光轮（15）、第二抛光齿（16）、支架（17）、固定块（18）；其特征在于：机体（1）与第一电机（2）固定连接，第一电机（2）与第一主动带轮（3）同轴连接，第一主动带轮（3）通过第一传动带（4）与第一从动带轮（5）连接，第一从动带轮（5）与第一抛光轮（6）固定连接，第一抛光轮（6）设有第一抛光齿（7），第二电机（11）与第二主动带轮（12）同轴连接，第二主动带轮（12）通过第二传动带（13）与第二从动带轮（14）连接，第二从动带轮（14）与第二抛光轮（15）固定连接，第二抛光轮（15）设有第二抛光齿（16），机体（1）与支架（17）固定连接，支架（17）与固定块（18）固定连接，抛光液箱（8）通过液管（9）与喷头（10）连通。
2.根据权利要求1所述的一种双面抛光硅片抛光机，其特征在于：第一抛光轮（6）与第二抛光轮（15）之间采用上下对称的结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620670142.3U CN205904846U (zh) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 一种双面抛光硅片抛光机 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201620670142.3U CN205904846U (zh) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 一种双面抛光硅片抛光机 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN205904846U true CN205904846U (zh) | 2017-01-25 |
Family
ID=57813147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201620670142.3U Expired - Fee Related CN205904846U (zh) | 2016-06-30 | 2016-06-30 | 一种双面抛光硅片抛光机 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN205904846U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110524385A (zh) * | 2019-08-31 | 2019-12-03 | 厦门曦哲贸易有限公司 | 一种旋转式圆盘抛光机 |
| CN111390687A (zh) * | 2020-06-08 | 2020-07-10 | 莱州伟辰汽车配件有限公司 | 一种刹车盘双面打磨装置 |
-
2016
- 2016-06-30 CN CN201620670142.3U patent/CN205904846U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110524385A (zh) * | 2019-08-31 | 2019-12-03 | 厦门曦哲贸易有限公司 | 一种旋转式圆盘抛光机 |
| CN111390687A (zh) * | 2020-06-08 | 2020-07-10 | 莱州伟辰汽车配件有限公司 | 一种刹车盘双面打磨装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN205904846U (zh) | 一种双面抛光硅片抛光机 | |
| CN205904845U (zh) | 一种往复式硅块抛光机 | |
| CN207027201U (zh) | 一种平面砂光抛光装置 | |
| CN106312718A (zh) | 四驱双面晶片磨光机 | |
| CN205904793U (zh) | 一种高效硅片抛光机 | |
| CN206140220U (zh) | 四驱双面晶片磨光机 | |
| CN202185797U (zh) | 一种吸尘式砂光机的抛光装置 | |
| CN108705392A (zh) | 一种金属片的磨料打磨装置 | |
| CN105171567B (zh) | 一种去外竹节磨青一体机 | |
| CN205904853U (zh) | 一种硅棒抛光机 | |
| CN106239343A (zh) | 通用式建筑型材抛光机 | |
| CN110091247A (zh) | 一种研磨抛光装置 | |
| CN205904847U (zh) | 一种双向转动高效硅片抛光机 | |
| CN205588134U (zh) | 晶片双面研磨机 | |
| CN106541322A (zh) | 一种三工位电饭煲内胆自动化打磨装置 | |
| CN108063361B (zh) | 一种插接式三角线束生产设备 | |
| CN211305932U (zh) | 一种基于长钢板的自动涂蜡抛光机 | |
| CN205904810U (zh) | 一种圆形硅片快速倒角机 | |
| CN208557052U (zh) | 一种对椅子进行打磨的打磨机 | |
| CN205904852U (zh) | 一种行星式中空硅棒抛光机 | |
| CN201841470U (zh) | 一种纸管磨头机抛光磨头 | |
| CN209021902U (zh) | 一种抛光液循环利用的化学机械抛光设备 | |
| CN207255965U (zh) | 自动上料型安全阀磨外圆机 | |
| CN201711851U (zh) | 一种硅片抛光装置 | |
| CN207669080U (zh) | 手机盖板玻璃高效抛光机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170125 Termination date: 20170630 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |