CN205904793U - 一种高效硅片抛光机 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种高效硅片抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机一次只能抛光一块硅片，这种方式的抛光效率非常低，不适合当今快节奏的生产模式，尤其是大批量快速生产，限制了企业的生产效率，存在不足。本实用新型涉及一种高效硅片抛光机，其中：一级带轮、二级带轮均与弹簧罩固定连接，弹簧罩内部设有弹簧，弹簧与固定块连接，第二电机与第二主动带轮固定连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮通过中空管与磨盘连接，磨盘底部设有磨齿，抛光液箱通过管道与喷头连通。本装置采用双硅片同时抛光的方式，将抛光效率提高一倍，有利于当今快节奏的生产模式，提高企业的经济效益。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域，尤其是一种高效硅片抛光机。
背景技术
当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机一次只能抛光一块硅片，这种方式的抛光效率非常低，不适合当今快节奏的生产模式，尤其是大批量快速生产，限制了企业的生产效率，存在不足。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种高效硅片抛光机，为克服上述的不足，采用双硅片同时抛光的方式，将抛光效率提高一倍，有利于当今快节奏的生产模式，提高企业的经济效益。
本实用新型的技术方案：
一种高效硅片抛光机，包括机体、第一电机、第一主动带轮、一级传动带、一级带轮、二级传动带、二级带轮、弹簧罩、弹簧、固定块；其中：机体与第一电机固定连接，第一电机与第一主动带轮固定连接，第一主动带轮通过一级传动带与一级带轮连接，一级带轮通过二级传动带与二级带轮连接，一级带轮、二级带轮均与弹簧罩固定连接，弹簧罩内部设有弹簧，弹簧与固定块连接，第二电机与第二主动带轮固定连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮通过中空管与磨盘连接，磨盘底部设有磨齿，抛光液箱通过管道与喷头连通。
一种高效硅片抛光机，其中：磨盘内部设有进液管。
一种高效硅片抛光机，其中：第二从动带轮内部设有进液口。
一种高效硅片抛光机，其中：固定块的数量为2。
本实用新型的优点在于：本装置采用双硅片同时抛光的方式，将抛光效率提高一倍，有利于当今快节奏的生产模式，提高企业的经济效益。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记：机体1、第一电机2、第一主动带轮3、一级传动带4、一级带轮5、二级传动带6、二级带轮7、弹簧罩8、弹簧9、固定块10、第二电机11、第二主动带轮12、第二传动带13、抛光液箱14、管道15、喷头16、进液口17、第二从动带轮18、中空管19、进液管20、磨盘21、磨齿22。
具体实施方式
实施例1、一种高效硅片抛光机，包括机体1、第一电机2、第一主动带轮3、一级传动带4、一级带轮5、二级传动带6、二级带轮7、弹簧罩8、弹簧9、固定块10；其中：机体1与第一电机2固定连接，第一电机2与第一主动带轮3固定连接，第一主动带轮3通过一级传动带4与一级带轮5连接，一级带轮5通过二级传动带6与二级带轮7连接，一级带轮5、二级带轮7均与弹簧罩8固定连接，弹簧罩8内部设有弹簧9，弹簧9与固定块10连接，第二电机11与第二主动带轮12固定连接，第二主动带轮12通过第二传动带13与第二从动带轮18连接，第二从动带轮18通过中空管19与磨盘21连接，磨盘21底部设有磨齿22，抛光液箱14通过管道15与喷头16连通。
实施例2、一种高效硅片抛光机，其中：磨盘21内部设有进液管20，有利于快速冷却，防止硅片受热变形。其余同实施例1。
实施例3、一种高效硅片抛光机，其中：第二从动带轮18内部设有进液口17，方便抛光液进入，提高抛光效率。其余同实施例1。
实施例4、一种高效硅片抛光机，其中：固定块10的数量为2，将抛光效率提高一倍，有利于当今快节奏的生产模式，提高企业的经济效益。其余同实施例1。
工作原理：
第一电机2带动第一主动带轮3旋转，第一主动带轮3通过一级传动带4带动一级带轮5旋转，一级带轮5通过二级传动带6带动二级带轮7旋转，一级带轮5与二级带轮7均带动弹簧罩8旋转，弹簧罩8带动固定块10旋转，同时，弹簧9通过弹力将固定块10顶出，进而将硅料推向磨盘21，此时，第二电机11带动第二主动带轮12旋转，第二主动带轮12通过第二传动带13带动第二从动带轮18旋转，第二从动带轮18通过中空管19带动磨盘21转动，磨盘21带动磨齿22转动，抛光液由抛光液箱14流出，并通过管道15与喷头16喷向进液口17内，最终由中空管19与进液管20流向硅料表面，实现抛光加工，当固定块10的数量为2时，不仅确保了设备的结构紧凑，同时一次可以加工两个产品，将生产效率提高了一倍，动作结束。
Claims (4)
1.一种高效硅片抛光机，包括机体（1）、第一电机（2）、第一主动带轮（3）、一级传动带（4）、一级带轮（5）、二级传动带（6）、二级带轮（7）、弹簧罩（8）、弹簧（9）、固定块（10）；其特征在于：机体（1）与第一电机（2）固定连接，第一电机（2）与第一主动带轮（3）固定连接，第一主动带轮（3）通过一级传动带（4）与一级带轮（5）连接，一级带轮（5）通过二级传动带（6）与二级带轮（7）连接，一级带轮（5）、二级带轮（7）均与弹簧罩（8）固定连接，弹簧罩（8）内部设有弹簧（9），弹簧（9）与固定块（10）连接，第二电机（11）与第二主动带轮（12）固定连接，第二主动带轮（12）通过第二传动带（13）与第二从动带轮（18）连接，第二从动带轮（18）通过中空管（19）与磨盘（21）连接，磨盘（21）底部设有磨齿（22），抛光液箱（14）通过管道（15）与喷头（16）连通。
2.根据权利要求1所述的一种高效硅片抛光机，其特征在于：磨盘（21）内部设有进液管（20）。
3.根据权利要求1所述的一种高效硅片抛光机，其特征在于：第二从动带轮（18）内部设有进液口（17）。
4.根据权利要求1所述的一种高效硅片抛光机，其特征在于：固定块（10）的数量为2。
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| CN205904793U true CN205904793U (zh) | 2017-01-25 |
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Cited By (3)
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|---|---|---|---|---|
| CN108857638A (zh) * | 2018-06-07 | 2018-11-23 | 陈欣 | 一种机电产品生产用板材打磨装置 |
| CN108942453A (zh) * | 2018-07-26 | 2018-12-07 | 苏州润桐专利运营有限公司 | 一种单晶硅的磨削装置 |
| CN113681438A (zh) * | 2021-10-27 | 2021-11-23 | 徐州科聚利鑫机械设备制造有限公司 | 金属表面预处理装置 |
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2016
- 2016-06-30 CN CN201620670566.XU patent/CN205904793U/zh not_active Expired - Fee Related
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