CN205904847U - 一种双向转动高效硅片抛光机 - Google Patents
一种双向转动高效硅片抛光机 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及一种双向转动高效硅片抛光机。当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机均为单向转动的模式，这种转动模式相对速度较低，在同等产量的前提下需要更多的时间才能完成，抛光效率较低，存在不足。本实用新型涉及一种双向转动高效硅片抛光机，其中：第一从动带轮与磨轮同轴连接，磨轮上部设有磨齿，第二电机与第二主动带轮同轴连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与弹簧室固定连接，弹簧室内部设有弹簧，弹簧与固定块连接，抛光液箱通过管道与喷头连通。本装置采用双向转动模式，硅片与磨轮同时具有相反的转动，大大提高了相对转速，提高抛光效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片抛光设备技术领域，尤其是一种双向转动高效硅片抛光机。
背景技术
当前，企业在对硅片进行抛光加工时所采用的抛光机均为单向转动的模式，这种转动模式相对速度较低，在同等产量的前提下需要更多的时间才能完成，抛光效率较低，存在不足。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种双向转动高效硅片抛光机，为克服上述的不足，采用双向转动模式，硅片与磨轮同时具有相反的转动，大大提高了相对转速，提高抛光效率。
本实用新型的技术方案：
一种双向转动高效硅片抛光机，包括机体、第一电机、第一传动带、第一主动带轮、第一从动带轮、磨轮、磨齿、第二电机、第二主动带轮、第二传动带、第二从动带轮、弹簧室、弹簧、固定块、抛光液箱、管道、喷头；其中：机体与第一电机固定连接，第一电机与第一主动带轮同轴连接，第一主动带轮通过第一传动带与第一从动带轮连接，第一从动带轮与磨轮同轴连接，磨轮上部设有磨齿，第二电机与第二主动带轮同轴连接，第二主动带轮通过第二传动带与第二从动带轮连接，第二从动带轮与弹簧室固定连接，弹簧室内部设有弹簧，弹簧与固定块连接，抛光液箱通过管道与喷头连通。
一种双向转动高效硅片抛光机，其中：磨轮与固定块的转动方向相反。
本实用新型的优点在于：本装置采用双向转动模式，硅片与磨轮同时具有相反的转动，大大提高了相对转速，提高抛光效率。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意简图。
附图标记：机体1、第一电机2、第一传动带3、第一主动带轮4、第一从动带轮5、磨轮6、磨齿7、第二电机8、第二主动带轮9、第二传动带10、第二从动带轮11、弹簧室12、弹簧13、固定块14、抛光液箱15、管道16、喷头17。
具体实施方式
实施例1、一种双向转动高效硅片抛光机，包括机体1、第一电机2、第一传动带3、第一主动带轮4、第一从动带轮5、磨轮6、磨齿7、第二电机8、第二主动带轮9、第二传动带10、第二从动带轮11、弹簧室12、弹簧13、固定块14、抛光液箱15、管道16、喷头17；其中：机体1与第一电机2固定连接，第一电机2与第一主动带轮4同轴连接，第一主动带轮4通过第一传动带3与第一从动带轮5连接，第一从动带轮5与磨轮6同轴连接，磨轮6上部设有磨齿7，第二电机8与第二主动带轮9同轴连接，第二主动带轮9通过第二传动带10与第二从动带轮11连接，第二从动带轮11与弹簧室12固定连接，弹簧室12内部设有弹簧13，弹簧13与固定块14连接，抛光液箱15通过管道16与喷头17连通。
实施例2、一种双向转动高效硅片抛光机，其中：磨轮6与固定块14的转动方向相反，固定块14与磨轮6同时具有相反的转动方向，大大提高了相对转速，提高抛光效率。其余同实施例1。
工作原理：
同时启动第一电机2与第二电机8，第二电机8带动第二主动带轮9旋转，第二主动带轮9通过第二传动带10带动第二从动带轮11旋转，第二从动带轮11带动弹簧室12旋转，弹簧室12带动固定块14旋转，同时，弹簧13通过弹力将固定块14顶出，使得固定块14将硅片推向磨轮6，此时，第一电机2带动第一主动带轮4旋转，第一主动带轮4通过第一传动带3带动第一从动带轮5旋转，第一从动带轮5带动磨轮6旋转，进而带动磨齿7转动，同时，抛光液从抛光液箱15中流出，经过管道16与喷头17喷向被加工的硅料表面，最终实现对硅料的抛光加工，当磨轮6与固定块14的转动方向相反时，其相对速度得到大幅度提高，进而提高抛光效率，同时也确保了抛光表面的光洁度，有利于提升产品质量，动作结束。
Claims (2)
1.一种双向转动高效硅片抛光机，包括机体（1）、第一电机（2）、第一传动带（3）、第一主动带轮（4）、第一从动带轮（5）、磨轮（6）、磨齿（7）、第二电机（8）、第二主动带轮（9）、第二传动带（10）、第二从动带轮（11）、弹簧室（12）、弹簧（13）、固定块（14）、抛光液箱（15）、管道（16）、喷头（17）；其特征在于：机体（1）与第一电机（2）固定连接，第一电机（2）与第一主动带轮（4）同轴连接，第一主动带轮（4）通过第一传动带（3）与第一从动带轮（5）连接，第一从动带轮（5）与磨轮（6）同轴连接，磨轮（6）上部设有磨齿（7），第二电机（8）与第二主动带轮（9）同轴连接，第二主动带轮（9）通过第二传动带（10）与第二从动带轮（11）连接，第二从动带轮（11）与弹簧室（12）固定连接，弹簧室（12）内部设有弹簧（13），弹簧（13）与固定块（14）连接，抛光液箱（15）通过管道（16）与喷头（17）连通。
2.根据权利要求1所述的一种双向转动高效硅片抛光机，其特征在于：磨轮（6）与固定块（14）的转动方向相反。
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- 2016-06-30 CN CN201620670342.9U patent/CN205904847U/zh not_active Expired - Fee Related
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