CN205881880U - 蚀刻设备及其显影装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种蚀刻设备及其显影装置，该显影装置包括架体、传送装置、以及至少一个与所述传送装置相对设置在所述架体上的喷淋装置，所述喷淋装置包括至少一个喷淋单元，所述喷淋单元包括至少一个纵长的出水部，所述出水部长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。本实用新型通过传送装置传送基板，利用喷淋装置向基板喷淋液体，通过改变喷淋装置上的喷淋单元的出水部方向，使其与传送装置的传送方向成锐角或者钝角，从而解决了现有技术中因为“水池效应”引起的腐蚀液需要蚀刻的地方蚀刻不足或者蚀刻过度的问题。

Description

蚀刻设备及其显影装置

技术领域

本实用新型涉及一种成型设备，尤其涉及一种蚀刻设备及其显影装置。

背景技术

现有的诸如集成电路引线框架在制作过程中，通常都会通过精密冲压的方式在料带上形成通孔或引脚等。冲压的方式一定程度上的满足了引线框架的制作需求。然而，随着电子技术的飞速发展，集成电路的体积越来越小，引脚的数量越来越多。此时，如果仍然采用传统的冲压方式进行成型，模具的花费非常高昂。因此，有必要采用新的技术来替代。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种改进的蚀刻设备及其显影装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种蚀刻设备用显影装置，包括架体、传送装置、以及至少一个与所述传送装置相对设置在所述架体上的喷淋装置，所述喷淋装置包括至少一个喷淋单元，所述喷淋单元包括至少一个纵长的出水部，所述出水部长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。

在一些实施例中，所述至少一个喷淋装置包括两个喷淋单元，其中一个喷淋单元的出水部的长度方向与所述传送方向成锐角，另一个喷淋单元出水部的长度方向与所述传送方向成钝角。

在一些实施例中，所述至少一个喷淋装置包括设置在所述传送装置上方的第一喷淋装置、设置在所述传送装置下方的第二喷淋装置。

在一些实施例中，所述出水部包括若干个沿着所述出水部长度方向间隔设置的喷淋口、或者至少一个沿着所述出水部长度方向设置的长条形出水缝。

在一些实施例中，所述至少一个喷淋装置包括喷淋架以及若干根平行间隔设置在所述喷淋架上的喷淋管，每一喷淋管包括若干个沿着所述喷淋管长度方向间隔排列的喷淋口，所述喷淋管长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。

在一些实施例中，所述喷淋装置相对传送方向可横向往复移动地设置在所述架体上；所述蚀刻设备用显影装置还包括驱动装置，所述驱动装置包括电机、与所述电机连接并随所述电机同步转动的传动杆、设置在所述传动杆上的至少一个偏心机构、以及与所述至少一个偏心机构配合并带动所述喷淋装置相对传送方向可横向往复移动的从动件。

所述至少一个喷淋装置包括设置在所述传送装置上方的第一喷淋装置、设置在所述传送装置下方的第二喷淋装置；所述至少一个偏心机构包括设置在所述传动杆上与第一喷淋装置对应的第一偏心机构和与第二喷淋装置对应的第二偏心机构，所述从动件包括分别与第一偏心机构和第一偏心机构配合的第一从动件和第二从动件。

所述喷淋装置还包括设置在所述喷淋架上的滚轮，所述架体包括与所述滚轮配合的导轨

所述传送装置包括传送架、沿着所述传送方向设置在传送架上并传送基板的下传送辊组、设置在所述下传送辊上方并压紧基板的上传送辊组、以及沿着所述传送架长度方向活动固定在传送架上，并带动所述下传送辊组和所述下传送辊组转动的传动轴。

依序包括卷式放料装置、片料放料装置、上述的显影装置、拉料装置、蚀刻装置、片式收料装置以及卷式收料装置。

本实用新型的有益效果：本实用新型通过传送装置传送基板，利用与所述传送装置相对设置在架体上的喷淋装置向基板喷淋液体，通过改变喷淋装置上的喷淋单元的出水部方向，使其与传送装置的传送方向成锐角或者钝角，从而解决了现有技术中因为“水池效应”引起的腐蚀液需要蚀刻的地方蚀刻不足或者蚀刻过度的问题。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中：

图1是本实用新型一些实施例中的蚀刻设备的侧视图；

图2是图1所示蚀刻设备的俯视图；

图3是图2所示蚀刻设备用显影装置俯视图；

图4是图3所示蚀刻设备用显影装置的传送装置结构示意图；

图5是图3所示蚀刻设备用显影装置的喷淋装置仰视图；

图6是图3所示蚀刻设备用显影装置的喷淋装置俯视图；

图7是图3所示蚀刻设备用显影装置的喷淋装置侧视图；

图8是图3所示蚀刻设备用显影装置的驱动装置俯视图。

具体实施方式

为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本实用新型的具体实施方式。

本实用新型一些实施例提供了一种蚀刻设备，该蚀刻设备可用于诸如集成电路引线框架等结构的蚀刻成型，具备成型精度高、成本低廉的优点。另外，本蚀刻设备还能实现卷对卷(卷料进卷料出)、卷对片(卷料进片料出)以及片对片(片料进片料出)等多功能，极大地满足了用户的不同需求。

如图1及图2所示，本实用新型一些实施例中的蚀刻设备可依序包括卷式放料装置A、输送辊道B、校平装置C、拉料装置D、显影装置E、第一水洗装置F、第一烘干装置G、蚀刻装置H、第二水洗装置I、剥离装置J、第三水洗装置K、第二烘干装置L、片式收料装置M以及卷式收料装置N。

卷式放料装置A用于承载并平稳放出卷料，该卷料可为按照需要曝光后的材料。可以理解地，在一些实施例中也可以把曝光设备整合到蚀刻设备，从而可以在蚀刻设备中进行曝光。该输送辊道B大致贯穿整个蚀刻设备，以将料带或片料由上游向下游平稳输送，该输送辊道B可包括一个可敞开的前端，以供片料放入，形成片料放料装置。校平装置C可布置在该片料放料装置的紧邻下游，用于对料带进行校平，防止料带不够平整而影响到后续的蚀 刻效果。拉料装置D用于拉动料带驱动料带向下游行进，使得卷料被蚀刻呈片料时，料带仍然能够很好地移动。显影装置E用于对曝光后的料带或片料进行显影。第一水洗装置F用于对显影后的料带或片料进行清洗，防止显影药水被带入下游的蚀刻装置H中，而对蚀刻装置H内药水造成污染。第一烘干装置G用于对清洗后的料带进行烘干，在一些实施例中，在第一水洗装置F和第一烘干装置G之间还设置有吸水装置P。蚀刻装置H用于对显影后的料带或片料进行蚀刻，以形成需要的成型结构；蚀刻装置可以将料带蚀刻成片料。第二水洗装置I用于对蚀刻后的料带或片料进行清洗，剥离装置J用于对清洗后的料带或片料上的菲林膜进行剥离，并将具备菲林膜废渣回收功能，以节约剥离药水的使用。第三水洗装置K用于对剥离菲林膜的料带或片料进行清洗，第二烘干装置L则用于对清洗后的料带或片料进行烘干；同样，第三水洗装置K和第二烘干装置L之间也可以设置吸水装置P。片式收料装置M用于收取片料，卷式收料装置N用于收取卷料。

在上述的蚀刻设备中，由于同时具备了卷式放料装置A、片料放料装置、显影装置E、拉料装置D、蚀刻装置H、片式收料装置M以及卷式收料装置N，使得该蚀刻设备具备卷对卷、卷对片以及片对片三种蚀刻成型模式。具体而言，当需要卷料进和卷料出时，则只要片料放料装置和片式收料装置M不工作即可。当需要卷料进和片料出时，只要卷式收料装置N不工作即可。而当需要片料进和片料出时，只要卷式放料装置A和卷式收料装置N不工作即可。如此，该蚀刻设备为用户的使用带来了极大的便利。

如图3所示，显影装置E在一些实施例中可包括架体1、传送装置2、与传送装置2相对设置在架体1上的喷淋装置3、以及安装在架体1上并驱动喷淋装置3在垂直于传送装置2相对传送方向可横向往复移动的驱动装置4。

架体1包括设置在传送装置2两侧相对的侧板11、以及导轨12，用于固定电机42和喷淋装置3。导轨12设置在两侧板11之间，导轨12用于放置喷淋装置3上的滚轮，使喷淋装置3相对传送方向可横向往复移动，使得喷淋液体也更好的与基板接触，从而达到更好的喷淋效果。

如图3及图4所示，该传送装置2在一些实施例中可以包括传送架21、 固定在传送架21上的上传送辊组23、固定在传送架21上并位于上传送辊组23下方的下传送辊组22、以及沿着传送架21长度方向活动固定在传送架21一侧，并带动下传送辊组23和下传送辊组22转动的传动轴24。

该传送架21呈长方形沿着传送装置2传送方向设置，用于固定上传送辊组23、下传送辊组22、以及传动轴24。

该传动轴24为金属杆，该传动轴24活动固定在传送架上的一侧，传动杆上等距设置有若干个纵向齿轮241，通过传动轴24的转动，从而带动上传送辊组23和下传送辊组22的转动，进一步的传送架可以设置电机，用于带动传送杆的转动，可以理解的，也可以使用液压动力或者其他动力带动传送杆的转动。

该下传送辊组22包括若干根等距设置的下传送辊221，且每根下传送辊221一端设置有一个转向齿轮222和一个主动齿轮223，通过纵向齿轮241与转向齿轮222相互咬合，当传动轴24转动时，纵向齿轮241也跟着转动，纵向齿轮241带动转向齿轮222的转动，从而带动下传送辊221的转动，进而将基板从传送装置2一端传送到另外一端。在一些实施例中，下传送辊组22还包括设置在下传送辊221上的若干个橡胶圈224，用于使下传送辊221传送基板更速度更均匀，更平稳。

该上传送辊组23包括若干根等距设置的上传送辊231，且每根上传送辊231与下传送辊221相同的一端设置有与主动齿轮223相互咬合的从动齿轮232，当下传送辊221转动时，带动主动齿轮223转动，主动齿轮223带动从动齿轮232转动，进而带动上传送辊231的转动，上传送辊231配合下传送辊221传送基板。

如图3、图5、图6、以及图7所示，该喷淋装置3在传送装置2上下两侧，喷淋装置3包括喷淋架31、设置在喷淋架31上的喷淋管32、以及设置在喷淋管32上的喷淋口33。设置在传送装置上部的喷淋装置3向下喷，设置在传送装置2下部的喷淋装置3向上喷，从而可以是基板两面都同时受到喷淋。可以理解的，喷淋装置也可以是一个喷淋箱表面设置有若干纵长的出水部。

该喷淋架31可为长方形金属框架，该喷淋架31长度方向与传送方向平行，用于固定喷淋管32为其提供支撑，并带动喷淋管32相对传送方向做横向往复运动。为了使得喷淋装置3方便地相对传送方向可横向往复移动，在一些实施例中，可以在该喷淋架31四个角各设置一个滚轮35，滚轮35放置在导轨12上，使其可以在导轨12上相对传送方向可横向往复移动，使得喷淋液体也更好覆盖整个基板并与基板更好接触，从而达到更好的喷淋效果。

该喷淋管32设置喷淋架31上，用于存储腐蚀液，并向喷淋口33提供喷淋液体。在本实施例中，该喷淋管32等距设置在喷淋架31上，设置在传送装置2上下两侧的一对喷淋装置3的喷淋管32长度方向与传送方向夹角呈锐角，设置在传送装置2上下两侧的的另外一对喷淋装置3的喷淋管32长度方向与传送方向夹角也可以呈钝角。从而可以使得喷淋管32从不同的方向喷淋液体，解决了现有技术中因为“水池效应”引起的腐蚀液需要蚀刻的地方蚀刻不足或者蚀刻过度的问题。

该喷淋口33沿着喷淋管32长度方向等距设置在喷淋管32上，用于向基板喷射喷淋液体，可以理解的，喷淋口还可以是沿着喷淋管32长度方向设置的长条形出水缝，为了使得喷淋效果更好，在一些实施例中，每个喷淋口33上可以设置有喷淋嘴34，使其可以调整喷射方向和喷射量。

如图8所示，在一些实施例中，该驱动装置4包括电机42、传动杆43、偏心机构4444、以及从动件45，该电机42固定在架体1上，该传动杆43与电机42连接，该偏心机构4444固定在传动杆43上，该从动件45活动套设在偏心机构44周围并与喷淋装置3连接，用于驱动喷淋装置3在传送方向上做横向的往复运动。

该电机42设置在电机座41上，电机座41设置在架体1上，用于为驱动装置4提供动力。该传动杆43为金属杆，一端与电机42连接，另外一端设置有两个偏心机构44，该偏心机构44为设置在传动杆43上的凸轮，可以理解的，也可以是椭圆偏心机构、长条偏心机构或者其他形式的偏心机构。每个偏心机构44上活动套设有一个从动件45，该从动件45为方形金属块，从动件中间开设有长条形的限位孔451，限制在其中运动的偏心机构44，该限 位孔451尺寸与偏心机构44的尺寸匹配，从动件45的一端与喷淋装置3连接。在一些实施例中，为了使得传动杆43转动时更加稳定，还会在传动杆43上加上固定块46，固定块46活动套设在传动杆43上，一端固定在架体1上。当电机42转动时，电机42带动传动杆43传动，传动杆43带动偏心机构44在限位孔451中做偏心转动，偏心机构44推动着从动件45相对传送方向可横向往复移动，进而从动件45带动放置在导轨12上的喷淋装置3相对传送方向可横向往复移动。

该蚀刻设备用显影装置工作时，传动轴24的转动带动了上传送辊组23和下传送辊组22的转动，基板开始从传送装置2一端向另外一端运动，同时驱动装置4的电机42开始工作，驱动装置4带动着喷淋装置3在垂直于传送方向上往复运动，喷淋装置3不断地向基板上下两侧喷射喷淋液体，使得基板上的喷淋液体充分与基板接触，从而解决了现有技术中因为“水池效应”引起的腐蚀液需要蚀刻的地方蚀刻不足或者蚀刻过度的问题。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种蚀刻设备用显影装置，包括架体、传送装置、以及至少一个与所述传送装置相对设置在所述架体上的喷淋装置，其特征在于，所述喷淋装置包括至少一个喷淋单元，所述喷淋单元包括至少一个纵长的出水部，所述出水部长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。

2.根据权利要求1所述的蚀刻设备用显影装置，其特征在于，所述至少一个喷淋装置包括两个喷淋单元，其中一个喷淋单元的出水部的长度方向与所述传送方向成锐角，另一个喷淋单元出水部的长度方向与所述传送方向成钝角。

3.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置，其特征在于，所述至少一个喷淋装置包括设置在所述传送装置上方的第一喷淋装置、设置在所述传送装置下方的第二喷淋装置。

4.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置，其特征在于，所述出水部包括若干个沿着所述出水部长度方向间隔设置的喷淋口、或者至少一个沿着所述出水部长度方向设置的长条形出水缝。

5.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置，其特征在于，所述至少一个喷淋装置包括喷淋架以及若干根平行间隔设置在所述喷淋架上的喷淋管，每一喷淋管包括若干个沿着所述喷淋管长度方向间隔排列的喷淋口，所述喷淋管长度方向与该传送装置的传送方向成锐角或者钝角。

6.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置，其特征在于，所述喷淋装置相对传送方向可横向往复移动地设置在所述架体上；所述蚀刻设备用显影装置还包括驱动装置，所述驱动装置包括电机、与所述电机连接并随所述电机同步转动的传动杆、设置在所述传动杆上的至少一个偏心机构、以及与所述至少一个偏心机构配合并带动所述喷淋装置相对传送方向可横向往复移动的从动件。

7.根据权利要求6所述的蚀刻设备用显影装置，其特征在于，所述至少一个喷淋装置包括设置在所述传送装置上方的第一喷淋装置、设置在所述传送装置下方的第二喷淋装置；所述至少一个偏心机构包括设置在所述传动杆上与第一喷淋装置对应的第一偏心机构和与第二喷淋装置对应的第二偏心机构，所述从动件包括分别与第一偏心机构和第一偏心机构配合的第一从动件和第二从动件。

8.根据权利要求6所述的蚀刻设备用显影装置，其特征在于，所述喷淋装置还包括设置在所述喷淋架上的滚轮，所述架体包括与所述滚轮配合的导轨。

9.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备用显影装置，其特征在于，所述传送装置包括传送架、沿着所述传送方向设置在传送架上并传送基板的下传送辊组、设置在所述下传送辊上方并压紧基板的上传送辊组、以及沿着所述传送架长度方向活动固定在传送架上，并带动所述下传送辊组和所述下传送辊组转动的传动轴。

10.一种蚀刻设备，其特征在于，依序包括卷式放料装置、片料放料装置、权利要求1至8任一项所述的显影装置、拉料装置、蚀刻装置、片式收料装置以及卷式收料装置。