CN205045491U - 一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，包括依次设置的上料台、装片过渡台、基片架、PVD上料段及PVD镀膜段，基片架设置在装片过渡台上，上料台与装片过渡台之间设有用于吸取玻璃衬底并放置在基片架内的吸盘夹具、吸盘夹具连接有第一机器人；基片架与PVD上料段之间设有用于搬运基片架的夹爪夹具，夹爪夹具连接有第二机器人。本实用新型通过机器人与夹爪夹具连接，夹爪夹具对基片架进行搬运取代了目前常用的机器人通过吸盘对玻璃衬底镀膜面进行搬运的方式，并且对玻璃衬底镀膜面无影响、不受玻璃变形影响；通过机器人吸盘夹具吸住衬底背面搬运衬底进行基片架的上下片避免了吸盘等对衬底镀膜面的影响。
Description
技术领域
本实用新型属于物理气相沉积镀膜设备技术领域，涉及一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统。
背景技术
目前采用物理气相沉积(PhysialVaporDeposition,PVD)对基片进行镀膜时，小尺寸(355*406mm)的基片有的采用人工上、下片，有的采用小吸盘点吸或者非接触式吸取基片镀膜面来完成上、下片；大规格、工业化规格的基片大部分都采用翻片机配套X/Y轴传输的方式；大规格超薄玻璃大部分都采用非接触式上、下片。
但是采用翻片机配套X/Y轴传输的方式的机械机构比较复杂，信号、到位等都也比较复杂，一旦发生跑偏后容易造成玻璃破碎，系统稳定性不高；非接触式上片(通过正吸气＞正吹气方式)只能针对玻璃较轻的可以实现，一旦玻璃较重或者变形较大时则无法实现。
其次目前翻片机配套X/Y轴传输的方式由于步骤较多，稳定翻转过程中需要的时间比较长，无法满足PVD镀膜段的高节拍的需求。
实用新型内容
为了克服现有技术的缺点与不足，本实用新型的目的在于提供一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，特别是在玻璃基片的物理气相沉积镀膜过程中，即能实现自动取放基片而不需要手工取放的目的，又可保持镀膜面的洁净，同时可实现高效率、高节拍的效果。
本实用新型的目的通过下述技术方案实现：
一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，包括依次设置的用于放置玻璃衬底的上料台、装片过渡台、基片架、PVD上料段及PVD镀膜段，所述基片架设置在装片过渡台上，所述上料台与装片过渡台之间设有用于吸取玻璃衬底并放置在基片架内的吸盘夹具、所述吸盘夹具连接有第一机器人；所述基片架与PVD上料段之间设有用于搬运基片架的夹爪夹具，所述夹爪夹具连接有第二机器人。
具体的，所述上料台包括一机架和若干归正气缸；所述机架为框架结构，所述归正气缸相对设置在机架两侧；机架用于放置玻璃衬底，归正气缸连接有用于将玻璃衬底进行归正、定位的对位推块。
具体的，所述吸盘夹具包括一吸盘底座和若干真空吸盘；所述吸盘底座为框架结构，所述真空吸盘均匀设置在吸盘底座周边，所述吸盘底座一端设有与第一机器人固定连接的第一连接件。
具体的，所述第一机器人设有第一机械臂，所述第一机械臂前端设置有与吸盘夹具固定连接的第二连接件，所述第一连接件与第二连接件铰接。
具体的，所述夹爪夹具包括一夹爪支撑座，在相对夹爪支撑座的底部向前突出延伸有气缸固定轴，所述气缸固定轴上安装有偶数个夹持气缸，所述夹持气缸每两个为一组且每一组夹持气缸相互对称地设置在气缸固定轴上，所述夹持气缸的活动端固定设置有夹持铝块。
具体的，所述装片过渡台包括无痕垫块以及升降平台，所述无痕垫块与升降平台相连并设置在升降平台的上方。
具体的，所述基片架为镂空框架结构，包括基片支撑框架，所述基片支撑框架上设有用于固定玻璃衬底的弹簧夹具，所述弹簧夹具连接有夹具开合气缸。
具体的，所述基片架还设有磁导杆和下导杆，所述PVD上料段包括上料机架，所述上料机架上设有磁导轨、V型轮及伸缩气缸，所述伸缩气缸设置在上料机架的顶部，所述伸缩气缸的活塞杆与磁导轨连接，所述V型轮与基片架的下导杆相连接，所述的磁导轨与基片架的磁导杆相连接。
本实用新型相对于现有技术具有如下的优点及效果：
本实用新型通过机器人与夹爪夹具连接，夹爪夹具对基片架进行搬运取代了目前常用的机器人通过吸盘对玻璃衬底镀膜面进行搬运的方式，稳定性高、节拍快、可兼容不同基片规格，并且对玻璃衬底镀膜面无影响、不受玻璃变形影响；通过机器人吸盘夹具吸住衬底背面搬运衬底进行基片架的上下片避免了吸盘等对衬底镀膜面的影响；可以完全取代现有的平移段、翻片机及X/Y轴上下料传输系统。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为上料台的结构示意图。
图3为吸盘夹具的结构示意图。
图4为第一机器人的结构示意图。
图5为夹爪夹具的结构示意图。
图6为装片过渡台的结构示意图。
图7为基片架的结构示意图。
图8为PVD上料段的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
实施例
如图1所示，本实施例提供一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，包括依次设置的用于放置玻璃衬底的上料台1、装片过渡台2、基片架3、PVD上料段4及PVD镀膜段5，所述基片架3设置在装片过渡台4上，所述上料台1与装片过渡台2之间设有用于吸取玻璃衬底并放置在基片架内的吸盘夹具6、所述吸盘夹具6连接有第一机器人7；所述基片架3与PVD上料段4之间设有用于搬运基片架3的夹爪夹具8，所述夹爪夹具8连接有第二机器人9。
本实施例中，所述PVD镀膜段5之后还设有PVD下料段10；为了节省提高机台稼动率，所述上料台1的一侧还设有下料台11。
如图2，所述上料台1包括一机架101和若干归正气缸102；所述机架101为框架结构，所述归正气缸102相对设置在机架两侧；机架101用于放置玻璃衬底，归正气缸102连接有用于将玻璃衬底进行归正、定位的对位推块103。通过上述结构，在玻璃衬底输送到机架内时，归正气缸驱动对位推块将玻璃衬底归正，使吸盘夹具可准确吸取玻璃衬底。
如图3，所述吸盘夹具6包括一吸盘底座601和若干真空吸盘602；所述吸盘底座601为框架结构，所述真空吸盘602均匀设置在吸盘底座601周边，所述吸盘底座601一端设有与第一机器人7固定连接的第一连接件603。
如图4，所述第一机器人7设有第一机械臂701，所述第一机械臂701前端设置有与吸盘夹具6固定连接的第二连接件702，所述第一连接件603与第二连接件702铰接。
如图5，所述夹爪夹具8包括一夹爪支撑座801，在相对夹爪支撑座801的底部向前突出延伸有气缸固定轴802，所述气缸固定轴802上安装有偶数个夹持气缸803，所述夹持气缸803每两个为一组且每一组夹持气缸相互对称地设置在气缸固定轴802上，所述夹持气缸803的活动端固定设置有夹持铝块804。通过上述结构，在夹持气缸802的驱动下，相向设置的一对夹持铝块将基片架夹紧。
如图6，所述装片过渡台2包括无痕垫块201以及升降平台202，所述无痕垫块201与升降平台202相连并设置在升降平台202的上方。
结合图6与图7，所述基片架3为镂空框架结构，包括基片支撑框架301，所述基片支撑框架301上设有用于固定玻璃衬底的弹簧夹具302，所述弹簧夹具302连接有夹具开合气缸303。
结合图7与图8，所述基片架3还设有磁导杆303和下导杆304，所述PVD上料段4包括上料机架401，所述上料机架401上设有磁导轨402、V型轮403及伸缩气缸404，所述伸缩气缸404设置在上料机架的顶部，所述伸缩气缸404的活塞杆与磁导轨402连接，所述V型轮403与基片架的下导杆304相连接，所述的磁导轨402与基片架的磁导杆303相连接。通过上述结构，夹爪夹具8搬运基片架5放置在PVD上料段4的V型轮20上，磁导轨402通过伸缩气缸404伸出后将基片架5的磁导杆303套住，实现定位。
工作时，玻璃衬底传输至上料台后，归正气缸102将玻璃衬底归正，吸盘夹具6进行取料后放置在装片过渡台2的无痕垫块201上；升降平台202下降后将玻璃衬底落到基片架3上，此时，夹具开合气缸303动作，通过弹簧夹具302闭合固定好玻璃衬底；夹爪夹具8移动到基片架3的两侧，夹持铝块804通过夹持气缸802运动后将基片架3夹紧；夹爪夹具7在第二机器人的搬运下将基片架3放置在PVD上料段4的V型轮上，磁导轨通过升缩气缸伸出后将基片架3的磁导杆套住；夹爪夹具8松开，基片架3完成自动传输至PVD镀膜段5，完成衬底上料；镀膜完成后，夹爪夹具8从PVD下料段10取出基片架3；将取出的基片架3翻转放置在装片过渡台2上；所述装片过渡台2设置有归正机构，归正机构将基片架3归正后，夹具开合气缸303将夹具打开；升降平台202提升后将玻璃衬底顶起；吸盘夹具6将玻璃衬底搬运至下料台11后完成下料工作；重复以上步骤，即可进行连续式上下片动作。
上述实施例为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：包括依次设置的用于放置玻璃衬底的上料台、装片过渡台、基片架、PVD上料段及PVD镀膜段，所述基片架设置在装片过渡台上，所述上料台与装片过渡台之间设有用于吸取玻璃衬底并放置在基片架内的吸盘夹具、所述吸盘夹具连接有第一机器人；所述基片架与PVD上料段之间设有用于搬运基片架的夹爪夹具，所述夹爪夹具连接有第二机器人。
2.根据权利要求1所述的用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：所述上料台包括一机架和若干归正气缸；所述机架为框架结构，所述归正气缸相对设置在机架两侧；机架用于放置玻璃衬底，归正气缸连接有用于将玻璃衬底进行归正、定位的对位推块。
3.根据权利要求1或2所述的用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：所述吸盘夹具包括一吸盘底座和若干真空吸盘；所述吸盘底座为框架结构，所述真空吸盘均匀设置在吸盘底座周边，所述吸盘底座一端设有与第一机器人固定连接的第一连接件。
4.根据权利要求3所述的用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：所述第一机器人设有第一机械臂，所述第一机械臂前端设置有与吸盘夹具固定连接的第二连接件，所述第一连接件与第二连接件铰接。
5.根据权利要求1所述的用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：所述夹爪夹具包括一夹爪支撑座，在相对夹爪支撑座的底部向前突出延伸有气缸固定轴，所述气缸固定轴上安装有偶数个夹持气缸，所述夹持气缸每两个为一组且每一组夹持气缸相互对称地设置在气缸固定轴上，所述夹持气缸的活动端固定设置有夹持铝块。
6.根据权利要求1所述的用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：所述装片过渡台包括无痕垫块以及升降平台，所述无痕垫块与升降平台相连并设置在升降平台的上方。
7.根据权利要求1所述的用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：所述基片架为镂空框架结构，包括基片支撑框架，所述基片支撑框架上设有用于固定玻璃衬底的弹簧夹具，所述弹簧夹具连接有夹具开合气缸。
8.根据权利要求1、2、5、6或7所述的用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统，其特征在于：所述基片架还设有磁导杆和下导杆，所述PVD上料段包括上料机架，所述上料机架上设有磁导轨、V型轮及伸缩气缸，所述伸缩气缸设置在上料机架的顶部，所述伸缩气缸的活塞杆与磁导轨连接，所述V型轮与基片架的下导杆相连接，所述的磁导轨与基片架的磁导杆相连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201520524548.6U CN205045491U (zh) | 2015-07-17 | 2015-07-17 | 一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统 |
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Publications (1)
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|---|---|
| CN205045491U true CN205045491U (zh) | 2016-02-24 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201520524548.6U Active CN205045491U (zh) | 2015-07-17 | 2015-07-17 | 一种用于物理气相沉积镀膜的基片自动装卸系统 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN205045491U (zh) |
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