CN204666124U - 一体化板板面平整度检测装置 - Google Patents

Abstract

一体化板板面平整度检测装置，包括底座，底座上部两侧分别安装一个辊轴输送装置，底座的上侧中部安装步进电机和固定支架，固定支架能在底座上滑动，固定支架的下部安装螺母，步进电机的输出轴安装丝杆，本实用新型的步进电机可以通过丝杆与螺母的配合使固定支架在底座上滑动，从而使平整度测量仪的测量范围大大增加，方便平整度测量仪对较宽的材料进行测量。

Description

一体化板板面平整度检测装置

技术领域

本实用新型涉及一种平整度检测装置，具体地说是一体化板板面平整度检测装置。

背景技术

平整度测试装置，采用光学方法测量晶圆、蓝宝石、Sic、Si、玻璃等材质的表面特征，在无需任何接触的情况下测量厚度、TTV、LTV、弯曲度、平整度等，可在线和离线测量。现有的装置的测量宽度有限，不能对较宽的材料进行测量。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种一体化板板面平整度检测装置，能够解决上述问题。

本实用新型为实现上述目的，通过以下技术方案实现：一体化板板面平整度检测装置，包括底座，底座上部两侧分别安装一个辊轴输送装置，底座的上侧中部安装步进电机和固定支架，固定支架能在底座上滑动，固定支架的下部安装螺母，步进电机的输出轴安装丝杆，丝杆与螺母配合，固定支架的侧部安装平整度测量仪，底座的侧部安装控制装置，控制装置通过导线分别链接平整度测量仪、步进电机和计算机，计算机通过导线连接报警装置。

为了进一步实现本实用新型的目的，还可以采用以下技术方案：所述固定支架的上部安装数个万向轮。

本实用新型的优点在于：本实用新型的步进电机可以通过丝杆与螺母的配合使固定支架在底座上滑动，从而使平整度测量仪的测量范围大大增加，方便平整度测量仪对较宽的材料进行测量。本实用新型的辊轴输送装置可以带动被测量材料通过平整度测量仪。本实用新型的控制装置可以接收平整度测量仪的测量信号，并且将平整度测量仪的测量信号转化为电信号传递给计算机，计算机可以根据控制装置发出的电信号判断被测量材料的平整度，当被测量材料的平整度过低时，计算机控制报警装置发出警报。本实用新型还具有结构简洁紧凑、制造成本低廉和使用简便的优点。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；图2为图1的沿A-A的剖视结构示意图。

标注说明：1万向轮 2固定支架 3平整度测量仪 4丝杆 5螺母 6辊轴输送装置 7计算机 8报警装置 9底座 10控制装置 11步进电机 12打码器。

具体实施方式

一体化板板面平整度检测装置，如图1和图2所示，包括底座9，底座9上部两侧分别安装一个辊轴输送装置6，底座9的上侧中部安装步进电机11和固定支架2，固定支架2能在底座9上滑动，固定支架2的下部安装螺母5，步进电机11的输出轴安装丝杆4，丝杆4与螺母5配合，固定支架2的侧部安装平整度测量仪3，底座9的侧部安装控制装置10，控制装置10通过导线分别链接平整度测量仪3、步进电机11和计算机7，计算机7通过导线连接报警装置8。

本实用新型的步进电机11可以通过丝杆4与螺母5的配合使固定支架2在底座9上滑动，从而使平整度测量仪3的测量范围大大增加，方便平整度测量仪3对较宽的材料进行测量。本实用新型的辊轴输送装置6可以带动被测量材料通过平整度测量仪3。本实用新型的控制装置10可以接收平整度测量仪3的测量信号，并且将平整度测量仪3的测量信号转化为电信号传递给计算机7，计算机7可以根据控制装置10发出的电信号判断被测量材料的平整度，当被测量材料的平整度过低时，计算机7控制报警装置8发出警报。

所述固定支架2的上部安装数个万向轮1。本实用新型的万向轮1可以对被测量材料起到支撑作用，同时万向轮1不会阻碍固定支架2的滑动。

本实用新型的使用方法为：

①根据本次产品板材的宽度、长度及厚度，确定板面平整度（相关标准要求小于2mm），设定波浪纹的上下限（±1mm），在计算机上设定数据；

    ②调节高精度传感器的基准位置，使其与板面保持良好接触，高精度探头与传感器保持良好连接；

    ③检查线路、计算机、打码器、报警器等正常工作；

④生产开始后，板材在平面滚床上前进，高精度探头跟随板材板面做相应的波动，当板材板面存在波浪纹缺陷时，高精度探头亦跟随板面作相应的波浪纹运动；

⑤传感器将高精度探头采集的数据传输给计算机，计算机利用专业软件将数据做成振幅图，直观显示出来；

    ⑥计算机软件根据设定的上下限来甄别筛选处理的数据，数据复合设定要求，计算机不做任何响应，当振幅变大，超出设定的上下限时，计算机作出响应；

    ⑦计算机将信号处理后传输至打码器上，打码器将信号进行转换后做出响应，在板材表面上喷打不合格标记；

    ⑧计算机在传输信号至打码器的同时，也将信号传输至警报器，对生产控制室发出警报，提示工人对设备做出及时调整，减少不合格品量；

    ⑨生产完成后，对装置进行检查维护，以备下次生产。

本实用新型的生产流程为：

①确认该项目板材的规格：板材宽度为800mm，板材厚度为30mm，板材长度为1500mm，板材板面允许的不平度为2mm,在计算机软件中设定波浪纹的上下限为±1mm；

②调节高精度传感器的基准位置，使其与板面保持良好接触，高精度探头与传感器保持良好连接；检查线路、计算机、打码器、报警器等正常工作；

③生产开始后，板材在平面滚床上前进，高精度探头跟随板材板面做相应的波动，当板材板面存在波浪纹缺陷时，高精度探头亦跟随板面作相应的波浪纹运动；

④传感器将高精度探头采集的数据传输给计算机，计算机利用专业软件将数据做成振幅图，直观显示出来；

⑤计算机软件根据设定的上下限1mm来甄别筛选处理的数据，数据在1mm范围内波动时，计算机不做任何响应，当振幅变大，超出设定的上下限1mm时，计算机作出响应，传出信号；

⑥计算机将信号传输至打码器上，打码器将信号进行转换后做出响应，在板材表面上喷打不合格标记；

⑦产品下线后，质检员对板材板面进行复检，确认不合格产品；

⑧计算机在传输信号至打码器的同时，也将信号传输至警报器，对生产控制室发出警报，提示工人对设备做出及时调整，减少不合格品量；

⑨生产完成后，对装置进行检查维护，以备下次生产。

本实用新型的技术方案并不限制于本实用新型所述的实施例的范围内。本实用新型未详尽描述的技术内容均为公知技术。

Claims (3)

1.一体化板板面平整度检测装置，其特征在于：包括底座(9)，底座(9)上部两侧分别安装一个辊轴输送装置(6)，底座(9)的上侧中部安装步进电机(11)和固定支架(2)，固定支架(2)能在底座(9)上滑动，固定支架(2)的下部安装螺母(5)，步进电机(11)的输出轴安装丝杆(4)，丝杆(4)与螺母(5)配合，固定支架(2)的内侧上部安装平整度测量仪(3)，底座(9)的侧部安装控制装置(10)，控制装置(10)通过导线分别链接平整度测量仪(3)、步进电机(11)和计算机(7)，计算机(7)通过导线连接报警装置(8)。

2.根据权利要求1所述的一体化板板面平整度检测装置，其特征在于：所述固定支架(2)的上部安装数个万向轮(1)。

3.根据权利要求1所述的一体化板板面平整度检测装置，其特征在于：所述固定支架(2)的内侧上部安装打码器(12)。