CN2043244U - 多弧型离子镀膜机 - Google Patents

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CN2043244U
CN2043244U CN 89200748 CN89200748U CN2043244U CN 2043244 U CN2043244 U CN 2043244U CN 89200748 CN89200748 CN 89200748 CN 89200748 U CN89200748 U CN 89200748U CN 2043244 U CN2043244 U CN 2043244U
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王殿儒
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Beijing Great Wall Titanium Metal Technology United Development Co
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Beijing Great Wall Titanium Metal Technology United Development Co
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Abstract

一种多弧型离子镀膜机,其镀膜室为筒式结构,室壁与镀膜室底焊接,镀膜室立于镀膜室底座上,镀膜室底上的法兰盘上装有加热器,镀膜室的顶部有带有转动架和工件架的上盖,室壁上开有门,蒸发离化源均布在室壁四周,真空排气系统与镀膜室并排相连。这种镀膜机的高度可大大降低,无需大型特殊厂房,还可制成大型镀膜机。

Description

本实用新型是在真空条件下进行镀制钛金的成膜技术,工具、模具、刀具表面上镀复超硬薄膜提高其性能,可代替黄金、白银在各种建筑五金、钟表首饰、工艺美术、钢木家具、卫生洁具、制笔、餐具等物品上镀制仿金膜,属于真空等离子体表面沉积技术。
目前,现有技术中的离子镀膜机为一种钟罩式,镀膜室取钟罩形,转动架和工件架装在镀膜室底座上,镀膜室底座内装真空系统,因此,这种钟罩式镀膜机的高度很大,工件装卸    时需用升降机把镀膜室整个升起来才能进行工件的装、卸工作,给工作带来很大不便,且需要特殊设计的大型厂房,因而不宜制成大型机。
为了克服上述缺点,本实用新型的镀膜室采用筒式侧开门结构,顶上装有上盖,上盖上装有转动架和工件架,工件可根据需要直接开盖或开门进行装、卸,装、卸起来很方便,且真空排气系统与镀膜室
Figure 892007486_IMG2
排相连,大大降低了镀膜机的高度,无需大型特殊厂房,可制成大型镀膜机。
这种多弧型离子镀膜机由镀膜室(1)、镀膜室底座(2)、转动架(3)、工件架(4)、蒸发离化源(5)、真空排气系统(6)组成,镀膜室(1)为筒式结构,镀膜式(1)的室壁(7)与镀膜室底(8)焊接,镀膜室(1)立于镀膜室底座(2)上,镀膜室底(8)上装有法兰盘(9),加热器(10)焊在法兰盘(9)上且密封于镀膜室底(8)上,镀膜室(1)顶部有上盖(11),上盖(11)上装有转动架(3)和工件架(4),镀膜室(1)室壁(7)的侧面上开门(12),镀膜室(1)四周均布装有数个蒸发离化源(5),真空排气系统(6)与镀膜室(1) 排相连。镀膜室(1)四周均布装有的数个蒸发离化源(5)可按螺旋线(13)分布,这样得到更佳的镀膜效果。镀膜室(1)的门上还开有观察窗口(14),上盖上装有电机(15)减速箱(16),电机通过上盖上的密封轴(17)带动工件架来实现自公转,工件架与转动架靠卡口方式连结,装卸方便,转动架可随上盖一起吊出镀膜室外,架放在装载支架上,同时将另一上盖架到镀膜室上,以此实现连续作业。多弧型离子镀膜机带有操作板,操作板上装有总电源开关及机械泵(18),扩散泵(19),转动架、加热器、轰偏电源和蒸发离化源电源按钮。工作时,将工件装入镀膜室后,将镀膜室壁上的门或上盖关好,用密封条实现密封,启动电机带动工件转动正常后,再抽至高真空依次启动加热器电源,轰偏电源和蒸发离化源电源,开始进行镀膜。
附图1、2、3为最佳实施例简图。
附图1为多弧型离子镀膜机主视图。
附图2为多弧型离子镀膜机俯视图。
附图3为多弧型离子镀膜机侧视图。
图中主要结构为:镀膜室(1),镀膜室底座(2)、转动架(3),工件架(4),蒸发离化源(5),真空排气系统(6),室壁(7),镀膜室底(8),法兰盘(9),加热器(10),上盖(11),门(12),螺旋线(13),观察窗口(14),电机(15),减速箱(16),密封轴(17),机械泵(18),扩散泵(19),吊环(20),轰偏电源输入插头(21),中真空规管(22),高伐(23),排气管道(24),蒸发离化源安装孔(25)。

Claims (2)

1、一种由镀膜室(1)、镀膜室底座(2)、转动架(3)、工件架(4)、蒸发离化源(5)、真空排气系统(6)组成的多弧型离子镀膜机,其特征在于:镀膜室(1)为筒式结构,镀膜室(1)的室壁(7)与镀膜室底(8)焊接,镀膜室(1)立于镀膜室底座(2)上,镀膜室底(8)上装有法兰盘(9),加热器(10)焊在法兰盘(9)上且密封于镀膜室底(8)上,镀膜室(1)顶部有上盖(11),上盖(11)上装有转动架(3)和工件架(4),镀膜室(1)室壁(7)的侧面上开门(12),镀膜室(1)四周均布装有数个蒸发离化源(5),真空排气系统(6)与镀膜室(1)并排相连。
2、按权利要求1所述的多弧型离子镀膜机,其特征在于:镀膜室(1)四周均布装有的数个蒸发离化源(5)按螺旋线(13)分布。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106967950A (zh) * 2017-06-06 2017-07-21 马鞍山市润启新材料科技有限公司 一种不锈钢板镀膜机

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Date Code Title Description
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PB01 Publication
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C15 Extension of patent right duration from 15 to 20 years for appl. with date before 31.12.1992 and still valid on 11.12.2001 (patent law change 1993)
RN01 Renewal of patent term
C17 Cessation of patent right
CX01 Expiry of patent term