CN210945770U - 一种真空磁控溅射薄膜镀制设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，其包括镀膜装置主体，所述镀膜装置主体下壁面开设有通孔，所述镀膜装置主体前侧壁面开设有箱门，所述镀膜装置主体下端左右两侧装配有支撑座，所述镀膜装置主体内装配有悬挂结构，所述悬挂结构与箱门连接，所述镀膜装置主体下端装配有驱动结构；该真空磁控溅射薄膜镀制设备设计合理，结构简单，再打开箱门时，可以将悬挂结构拉出，方便于镀膜完成的设备取出，并且单个待镀膜设备在镀膜期间可自身转动，大大提高了镀膜的质量。

Description

一种真空磁控溅射薄膜镀制设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，具体为一种真空磁控溅射薄膜镀制设备。

背景技术

JN-CLD系列真空磁控溅射镀膜机广泛应用于家电电器、钟表、灯具、工艺美术品、玩具、车灯反光罩、手机按键外壳以及仪器仪表、塑料、玻璃、陶瓷、瓷砖等表面装饰性镀膜及工模具的功能涂层。所谓“溅射”就是用荷能粒子(通常用气体正离子)轰击物体，从而引起物体表面原子从母体中逸出的现象，目前，在使用上述镀膜机进行镀膜时，镀膜完成后工作人员在将镀膜后的设备取出时十分的不便，针对上述问题，深入研究，遂有本案。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，其包括镀膜装置主体，所述镀膜装置主体下壁面开设有通孔，所述镀膜装置主体前侧壁面开设有箱门，所述镀膜装置主体下端左右两侧装配有支撑座，所述镀膜装置主体内装配有悬挂结构，所述悬挂结构与箱门连接，所述镀膜装置主体下端装配有驱动结构；

所述悬挂结构包括一对相同的转动盘，一对所述转动盘分别与镀膜装置主体内腔上下壁面滑动连接，下端所述转动盘上壁面开设有安装槽，所述安装槽内转动安装有转动轴，所述安装槽向下延伸开设有通槽，所述通槽与通孔连通，所述转动轴下表面开设有卡槽，所述转动轴上端与上端转动盘转动连接，所述转动轴从上至下固定套装有多个轴承，每个所述轴承外环上固定套装有安装盘，每个所述安装盘上均匀贯穿有多个连接杆，所述连接杆与安装盘之间均转动连接，所述连接杆下端装配有挂钩，多个所述安装盘左端共同连接有固定杆，所述连接杆下端固定安装于下端转动盘上，所述转动轴上装配有转动结构；

所述转动结构包括设置于每个所述轴承上侧的一号齿轮，所述一号齿轮均固定套装于转动轴上，每个所述一号齿轮均啮合装配有多个二号齿轮，多个所述二号齿轮分别安装于连接杆上端；

所述驱动结构包括位于镀膜装置主体下端的电机，所述电机驱动端上装配有与卡槽匹配的卡块，所述卡块穿过通孔卡接于卡槽内，所述电机下端装配有电动推杆，所述电动推杆伸缩端安装于电机下端，所述电动推杆下端安装有支撑板，所述支撑板安装于一对支撑座上，所述电机以及电动推杆电源输入端均与外部电源连接。

优选的，一对所述转动盘分别通过连接板与箱门连接，所述连接板与转动盘以及箱门焊接。

优选的，所述电机左右下端装配有一对伸缩杆，一对所述伸缩杆分别位于电动推杆左右两侧，所述伸缩杆上端安装于电机下壁面，且伸缩杆下端安装于支撑板上表面。

优选的，每个所述安装盘上连接杆的数量为六个，所述二号齿轮的数量与连接杆的数量相同。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该真空磁控溅射薄膜镀制设备设计合理，结构简单，再打开箱门时，可以将悬挂结构拉出，方便于镀膜完成的设备取出，并且单个待镀膜设备在镀膜期间可自身转动，大大提高了镀膜的质量。

附图说明

图1为本实用新型结构示意主视图；

图2为本实用新型构示意左侧视图；

图3为本实用新型结构示意俯视图

1-镀膜装置主体、1-1-通孔、2-箱门、3-支撑座、4-悬挂结构、6-驱动结构、41-转动盘、42-安装槽、43-转动轴、44-通槽、45-卡槽、46-轴承、 47-安装盘、48-连接杆、49-挂钩、50-固定杆、5-转动结构、51-一号齿轮、 52-二号齿轮、61-电机、62-卡块、63-电动推杆、64-支撑板、7-伸缩杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，其包括镀膜装置主体1，镀膜装置主体1下壁面开设有通孔1-1，镀膜装置主体1前侧壁面开设有箱门2，镀膜装置主体1下端左右两侧装配有支撑座3，镀膜装置主体1内装配有悬挂结构4，悬挂结构4与箱门2连接，镀膜装置主体1下端装配有驱动结构6，悬挂结构4包括一对相同的转动盘41，一对转动盘41分别与镀膜装置主体1内腔上下壁面滑动连接，下端转动盘41上壁面开设有安装槽42，安装槽42内转动安装有转动轴43，安装槽42向下延伸开设有通槽44，通槽44与通孔1-1连通，转动轴43下表面开设有卡槽 45，转动轴43上端与上端转动盘41转动连接，转动轴43从上至下固定套装有多个轴承46，每个轴承46外环上固定套装有安装盘47，每个安装盘47上均匀贯穿有多个连接杆48，连接杆48与安装盘47之间均转动连接，连接杆 48下端装配有挂钩49，多个安装盘47左端共同连接有固定杆50，连接杆48 下端固定安装于下端转动盘41上，转动轴43上装配有转动结构5，转动结构 5包括设置于每个轴承46上侧的一号齿轮51，一号齿轮51均固定套装于转动轴43上，每个一号齿轮51均啮合装配有多个二号齿轮52，多个二号齿轮52分别安装于连接杆48上端，驱动结构6包括位于镀膜装置主体1下端的电机61，电机61驱动端上装配有与卡槽45匹配的卡块62，卡块62穿过通孔 1-1卡接于卡槽45内，电机61下端装配有电动推杆63，电动推杆63伸缩端安装于电机61下端，电动推杆63下端安装有支撑板64，支撑板64安装于一对支撑座3上，电机61以及电动推杆63电源输入端均与外部电源连接，一对转动盘41分别通过连接板与箱门2连接，连接板与转动盘41以及箱门2 焊接，电机61左右下端装配有一对伸缩杆7，一对伸缩杆7分别位于电动推杆63左右两侧，伸缩杆7上端安装于电机61下壁面，且伸缩杆7下端安装于支撑板64上表面，每个安装盘47上连接杆48的数量为六个，二号齿轮52 的数量与连接杆48的数量相同。

工作原理：将待镀膜设备挂到挂钩49上，启动电机61，电机61工作，由于电机61驱动端上的卡块62卡接于卡槽45内，电机61驱动端转动带动转动轴43转动，转动轴43转动，带动一号齿轮51转动，由于安装盘47与转动轴43之间通过轴承46连接，并且安装盘47均通过固定杆50与下端转动盘41固定，故安装盘47不会随着转动轴43一起转动，由于连接杆48与安装盘47之间转动连接，且一号齿轮51与二号齿轮52啮合，当一号齿轮51 转动时，带动二号齿轮52转动，进而带动连接杆48转动，从而使挂钩49上的待镀膜设备进行转动，镀膜装置主体1用荷能粒子通常用气体正离子轰击物体，完成镀膜，由于单个待镀膜设备可以自行发生转动，在进行镀膜时可以使镀膜更加彻底，在镀膜完成后，控制电动推杆63伸缩端向下，带动电机 61向下移动，从而使卡块62移出通槽44，通过打开箱门2，由于箱门2与悬挂结构4之间焊接有连接板，当打开箱门2时，悬挂结构4随之转出，便于将镀完膜的设备取出，通过伸缩杆7可以加强电机61与电动推杆63之间的连接。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，其特征在于，其包括镀膜装置主体(1)，所述镀膜装置主体(1)下壁面开设有通孔(1-1)，所述镀膜装置主体(1)前侧壁面开设有箱门(2)，所述镀膜装置主体(1)下端左右两侧装配有支撑座(3)，所述镀膜装置主体(1)内装配有悬挂结构(4)，所述悬挂结构(4)与箱门(2)连接，所述镀膜装置主体(1)下端装配有驱动结构(6)；

所述悬挂结构(4)包括一对相同的转动盘(41)，一对所述转动盘(41)分别与镀膜装置主体(1)内腔上下壁面滑动连接，下端所述转动盘(41)上壁面开设有安装槽(42)，所述安装槽(42)内转动安装有转动轴(43)，所述安装槽(42)向下延伸开设有通槽(44)，所述通槽(44)与通孔(1-1)连通，所述转动轴(43)下表面开设有卡槽(45)，所述转动轴(43)上端与上端转动盘(41)转动连接，所述转动轴(43)从上至下固定套装有多个轴承(46)，每个所述轴承(46)外环上固定套装有安装盘(47)，每个所述安装盘(47)上均匀贯穿有多个连接杆(48)，所述连接杆(48)与安装盘(47)之间均转动连接，所述连接杆(48)下端装配有挂钩(49)，多个所述安装盘(47)左端共同连接有固定杆(50)，所述连接杆(48)下端固定安装于下端转动盘(41)上，所述转动轴(43)上装配有转动结构(5)；

所述转动结构(5)包括设置于每个所述轴承(46)上侧的一号齿轮(51)，所述一号齿轮(51)均固定套装于转动轴(43)上，每个所述一号齿轮(51)均啮合装配有多个二号齿轮(52)，多个所述二号齿轮(52)分别安装于连接杆(48)上端；

所述驱动结构(6)包括位于镀膜装置主体(1)下端的电机(61)，所述电机(61)驱动端上装配有与卡槽(45)匹配的卡块(62)，所述卡块(62)穿过通孔(1-1)卡接于卡槽(45)内，所述电机(61)下端装配有电动推杆(63)，所述电动推杆(63)伸缩端安装于电机(61)下端，所述电动推杆(63)下端安装有支撑板(64)，所述支撑板(64)安装于一对支撑座(3)上，所述电机(61)以及电动推杆(63)电源输入端均与外部电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，其特征在于，一对所述转动盘(41)分别通过连接板与箱门(2)连接，所述连接板与转动盘(41)以及箱门(2)焊接。

3.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，其特征在于，所述电机(61)左右下端装配有一对伸缩杆(7)，一对所述伸缩杆(7)分别位于电动推杆(63)左右两侧，所述伸缩杆(7)上端安装于电机(61)下壁面，且伸缩杆(7)下端安装于支撑板(64)上表面。

4.根据权利要求1所述的一种真空磁控溅射薄膜镀制设备，其特征在于，每个所述安装盘(47)上连接杆(48)的数量为六个，所述二号齿轮(52)的数量与连接杆(48)的数量相同。

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