CN202482479U - 真空镀膜装置的行星转动支架 - Google Patents

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史旭
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Abstract

本实用新型公开一种真空镀膜装置的行星转动支架，在一大圆环周边设有多个行星轮，在大圆环内设有主动轮，主动轮外缘的齿与多个行星轮的齿啮合，中心有接电器，接电器两侧有定位装置，主动轮上方用多根立柱支撑一圆盘，圆盘四周有多个短套筒，套筒内插有被镀工件挂杆，挂杆底部与行星轮连接，当大圆环转动，并同时带动多个行星轮与大圆环同步转动，多个行星轮与主动轮啮合而自转，同时带动与其连接的挂杆转动，即被镀工件围绕大圆盘中心公转并围绕行星轮中心自转。本实用新型的优点是，使被镀工件在镀膜过程中始终保持公转和自转，保证被镀工件镀层厚度和均匀性。

Description

真空镀膜装置的行星转动支架
技术领域
本实用新型涉及一种真空镀膜装置，特别涉及一种用于数量多、小体积的被镀工件实施喷镀工艺时的装置。 
背景技术
 常见的真空电镀，一般是在一个电镀仓室内放置一个镀件，如果在电镀室内放置许多较小的被镀工件进行喷镀，在喷头位置固定的情下，只能使镀件变化位置，才能使镀件各个部位都能镀到。 
发明内容
 本实用新型提供一种真空镀膜装置的行星转动支架，该支架是在一大圆环周边设有多个行星轮，在大圆环内设有主动轮，主动轮外缘的齿与多个行星轮的齿啮合，中心有接电器，接电器两侧有定位装置，主动轮上方用多根立柱支撑一圆盘，圆盘四周有多个短套筒，套筒内插有被镀工件挂杆，挂杆底部与行星轮连接，当大圆环转动，并同时带动多个行星轮与大圆环同步转动，多个行星轮与主动轮啮合而自转，同时带动与其连接的挂杆转动，即被镀工件围绕大圆盘中心公转并围绕行星轮中心自转。
本实用新型的优点是，使镀膜工件在镀膜过程中始终保持公转和自转，保证被镀工件镀层厚度和均匀性。
附图说明
附图1是本实用新型的立体结构图。 
具体实施方式
 请参阅附图所示，本实用新型提供一种真空镀膜装置的行星转动支架，该支架是在一大圆环7周边设有多个行星轮2，在大圆环7内设有主动轮1，主动轮1外缘的齿与多个行星轮2的齿啮合，中心有接电器4，接电器4两侧有定位装置3，主动轮1上方用多根立柱6支撑一圆盘8，圆盘8四周有多个短套筒5，套筒5内插有被镀件挂杆（图中未示出），挂杆底部与行星轮2连接，当大圆环7转动同时带动多个行星轮2围绕大圆环7公转并围绕自身自转，带动与其连接的挂杆转动，即挂有被镀件的圆盘8向一个方向公转时，圆盘8上悬挂的被镀件向另一个方向自转。保证挂杆上的被镀工件任何部位都能镀到。
所述大圆环7受电动机带动转动。

Claims (1)

1.一种真空镀膜装置的行星转动支架，其特征在于，在一大圆环周边设有多个行星轮，在大圆环内设有主动轮，主动轮外缘的齿与多个行星轮的齿啮合，中心有接电器，接电器两侧有定位装置，主动轮上方用多根立柱支撑一圆盘，圆盘四周有多个短套筒，套筒内插有被镀工件挂杆，挂杆底部与行星轮连接，当大圆环转动，并同时带动多个行星轮与大圆环同步转动，多个行星轮与主动轮啮合而自转，同时带动与其连接的挂杆转动，即被镀工件围绕大圆盘中心公转并围绕行星轮中心自转。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103290382A (zh) * 2013-05-15 2013-09-11 宁波韵升股份有限公司 一种真空镀膜机行星式工件架
CN110846634A (zh) * 2019-11-25 2020-02-28 中国科学院光电技术研究所 一种行星转动装置及能实现大批量生产的镀膜设备

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