CN102796990A - 镀膜承载架 - Google Patents

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Abstract

一种镀膜承载架，其包括基座、载盘及翻转组件。所述基座包括外框及转动设置在所述外框上的圆盘状的内框。所述外框上开设第一通孔。所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置。所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上。所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔。所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴。所述两个翻转马达固定在所述内框上，用于驱动对应的转轴转动。所述两个转轴相对设置，且位于同一直线上。每个转轴的相对两端分别固定在对应的翻转马达及所述载盘上。本发明的镀膜承载架，利用所述翻转组件能自动对待镀件进行翻面，无需打开真空腔就可对待镀件进行双面镀膜。

Description

镀膜承载架
技术领域
本发明涉及一种镀膜承载架。
背景技术
现有的真空镀膜设备中，一次仅能对待镀件的一面进行镀膜，若需对待镀件进行双面镀膜，则必须将真空腔打开，利用人工对承载着待镀件的承载部进行翻面。这样会存在以下缺点：第一，需进行两次抽真空的动作，比较耗费时间；第二，蒸镀时真空腔内的温度极高，因此人工翻面时，必须等到真空腔冷却后才可打开真空腔，将承载部取出，翻面后再将其放入真空腔内，延长了镀膜的加工时间；第三，要将真空腔打开两次，无法保持真空腔内的环境参数完全一致，导致待镀件两面的膜层特征不一致；第四，打开真空腔时，会造成待镀件的清洁度下降，进而影响待镀件良率。
发明内容
有鉴于此，有必要提供一种可使待镀件自动翻面进行双面镀膜的镀膜承载架。
一种镀膜承载架，其包括基座、载盘及翻转组件。所述基座包括外框及转动设置在所述外框上的圆盘状的内框。所述外框上开设第一通孔。所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置。所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上。所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔。所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴。所述两个翻转马达固定在所述内框上，用于驱动对应的转轴转动。所述两个转轴相对设置，且位于同一直线上。每个转轴的相对两端分别固定在对应的翻转马达及所述载盘上。
本发明的镀膜承载架，在所述待镀件的其中一面镀膜完成之后，利用所述翻转组件对所述载盘进行翻转，然后就可以对所述待镀件的另一面进行镀膜，因此无需打开真空腔就可使待镀件自动翻面，进行双面镀膜，减少了加热和抽真空的次数，大大缩短了待镀件的镀膜时间。
附图说明
图1是本发明较佳实施方式的镀膜承载架的结构示意图。
图2是图1的镀膜承载架的分解示意图。
图3是图1的镀膜承载架沿III-III方向的剖视图。
图4是图1的镀膜承载架沿IV-IV方向的剖视图。
主要元件符号说明
镀膜承载架 100
基座 10
外框 11
第一通孔 110
内侧壁 111
容置槽 112
上表面 113
下表面 114
内框 13
第二通孔 130
外侧壁 131
卡槽 132
顶板 133
底板 135
抵持面 136
转动组件 15
旋转马达 151
主动轴 152
从动轴 153
转盘 154
传动带 156
载盘 30
承载通孔 31
翻转组件 50
翻转马达 51
转轴 53
控制器 60
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
请参阅图1，为本发明实施方式提供的一种镀膜承载架100，用于承载多个待镀膜的待镀件。所述镀膜承载架100包括一个基座10、一个载盘30、一个翻转组件50及一个控制器60。
如图2及图3所示，所述基座10包括一个圆盘状的外框11、一个圆盘状的内框13及一个转动组件15。
所述外框11固定在一个镀膜腔(未图示)内。所述外框11以其自身的圆心为轴开设一个第一通孔110，以形成一个圆环形的内侧壁111。所述内侧壁111上沿其自身的圆周方向开设一个容置槽112。所述容置槽112包括一个圆环状的上表面113及一个与所述上表面113相对的圆环状的下表面114。
所述内框13的半径等于所述第一通孔110的内径，使得所述内框13能够恰好容置在所述第一通孔110内，且与所述第一通孔110同轴设置。所述内框13上开设有一个与所述第一通孔110同轴设置的第二通孔130。所述内框13包括一个面向所述容置槽112的外侧壁131。所述外侧壁131上沿其自身的圆周方向开设一个卡槽132。所述卡槽132包括一个顶板133及一个与所述顶板133相对设置的底板135。所述顶板133包括一个面向所述底板135的抵持面136。所述内框13的底板135抵持在所述外框11的内侧壁111上，以增大所述内框13转动时的稳定性，使所述内框13始终在所述第一通孔110内进行转动。为了减小所述内框13的底板135与所述外框11之间的摩擦力，所述内框13的底板135与所述外框11之间涂敷有润滑油，起润滑作用。
所述转动组件15包括一个旋转马达151、多个主动轴152、多个从动轴153、多个转盘154及一个圆环状的传动带156。所述旋转马达151固定在所述外框11上。所述多个主动轴152及所述多个从动轴153等间距转动设置在所述外框11的上表面113与所述下表面114之间，且位于靠近所述第一通孔110的同一圆周上。所述主动轴152的一端穿过所述上表面113，以与所述旋转马达151相耦合，使得所述旋转马达151能够带动所述主动轴152转动。所述多个转盘154分别套设且固定在对应的一个主动轴152或从动轴153上，且所述转盘154伸出所述容置槽112，并伸入所述第一通孔110内。所述传动带156套设在所述转盘154的侧壁上，使得所述主动轴152上的转盘154转动时，能够带动所述从动轴153上的转盘154进行同步转动。为了增大所述传动带156与所述转盘154之间的摩擦力，所述传动带156与所述转盘154相接触的表面上设置有防滑图案。
结合图4所示，所述内框13的抵持面136压设在所述多个转盘154上，由于所述抵持面136与所述转盘154之间存在摩擦力，因此所述转盘154转动时能带动所述内框13进行旋转。为了增大所述抵持面136与所述转盘154之间的摩擦力，所述抵持面136与所述转盘154相接触的表面上设置有防滑图案。
所述载盘30为圆盘状结构，且开设有多个承载通孔31，用于承载待镀的待镀件。所述载盘30的外径小于所述第二通孔130的内径，使得所述载盘30能够容置在所述第二通孔130内，且与所述内框13之间形成一间隙。
所述翻转组件50容置在所述第二通孔130内，且位于所述载盘30与所述内框13之间的间隙内。所述翻转组件50用于带动所述载盘30进行翻转，其包括两个翻转马达51及两个分别与所述两个翻转马达51相耦合的转轴53。所述两个翻转马达51相对设置，且均固定在所述内框13上。所述翻转马达51用于驱动对应的转轴53进行转动。所述两个转轴53相对设置，且位于同一直线上，且所述转轴53的两端分别固定在对应的翻转马达51及所述载盘30上。
所述控制器60与所述旋转马达151及所述翻转马达51电连接，用于控制所述旋转马达151及所述翻转马达51相互配合进行有序地动作。
所述镀膜承载架100的工作过程如下：将待镀件(未图示)固定在所述承载通孔31内，将所述外框11固定在一个镀膜腔(未图示)内，使得所述待镀件的第一镀膜面面对一个靶材(未图示)，所述控制器60控制所述旋转马达151带动所述主动轴152进行转动，所述传动带156带动所述从动轴153进行同步转动，以使所述内框13转动，所述载盘30随所述内框13一起转动，使得所述待镀件镀膜均匀，直至所述待镀件的第一表面镀膜完成；所述控制器60控制所述翻转马达51带动所述载盘30翻转180度，使得所述待镀件的第二镀膜面面向所述靶材，所述控制器60控制所述旋转马达151带动所述主动轴152再次进行转动，以带动所述载盘30进行转动，直至所述待镀件的第二镀膜面镀膜完成。
在其他实施方式中，所述传动带156也可省去，而在所述外框11上设置多个与所述从动轴153相耦合且与所述旋转马达151同步转动的马达，利用所述马达带动所述从动轴153转动。
在其他实施方式中，所述翻转马达51也可不设置在所述转盘154与所述内框13之间的间隙内，而设置在所述内框13的顶板133或底板135上。
在其他实施方式中，所述载盘30也可不容置在所述第二通孔130内，而设置在所述内框13的顶板133或底板135远离所述卡槽132的表面上。
在其他实施方式中，所述外框11的形状也可为其他形状，比如长方体、正方体或其他不规则形状。
本发明的镀膜承载架，在所述待镀件的其中一面镀膜完成之后，利用所述翻转组件对所述载盘进行翻转，然后就可以对所述待镀件的另一面进行镀膜，因此无需打开真空腔就可使待镀件自动翻面，进行双面镀膜，减少了加热和抽真空的次数，大大缩短了待镀件的镀膜时间；并且可保证真空腔内的真空参数固定，同时不会影响待镀件的清洁度，从而有效提高待镀件的良率。
可以理解的是，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形，而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (8)

1.一种镀膜承载架，其包括一个基座、一个载盘及一个翻转组件，所述基座包括一个外框及一个转动设置在所述外框上的圆盘状的内框；所述外框上开设一个第一通孔，所述内框容置在所述第一通孔内，且与所述第一通孔同轴设置；所述载盘通过所述翻转组件可翻转地设置在所述内框上；所述载盘上开设多个用于承载待镀件的承载通孔；所述翻转组件包括两个翻转马达及两个与对应的翻转马达相耦合的转轴；所述两个翻转马达固定在所述内框上，用于驱动对应的转轴进行转动；所述两个转轴相对设置，且位于同一直线上；每转轴的相对两端分别固定在对应的翻转马达及所述载盘上。
2.如权利要求1所述的镀膜承载架，其特征在于，所述内框的半径等于所述第一通孔的半径，以使得所述内框能够与所述外框相接触。
3.如权利要求2所述的镀膜承载架，其特征在于，所述内框与所述外框相接触的表面涂敷润滑油。
4.如权利要求1所述的镀膜承载架，其特征在于，所述内框上以其自身的圆心为轴开设一第二通孔，所述载盘的半径比所述第二通孔的内径小，以使得所述载盘与所述内框之间形成一间隙，所述翻转组件容置在所述间隙内。
5.如权利要求1所述的镀膜承载架，其特征在于，所述外框的内侧壁上沿其自身的圆周方向开设一个容置槽，所述内框的外侧壁上沿其自身的圆周方向开设一个卡槽，所述卡槽包括相对设置的顶板及底板，所述基座还包括一个转动组件，所述转动组件包括一个旋转马达、一个主动轴、多个从动轴、多个转盘及一个传动带，所述旋转马达设置在所述外框上，所述主动轴及所述多个从动轴转动设置在所述容置槽内，且位于靠近所述第一通孔的同一圆周上，所述主动轴与所述转动马达相耦合，以使得所述转动马达能够带动所述主动轴进行转动，所述多个转盘分别套设在对应的主动轴或从动轴上，且伸出所述容置槽，并伸入所述第一通孔内，所述顶板压设在所述多个转盘上，所述底板与所述外框相接触。
6.如权利要求5所述的镀膜承载架，其特征在于，所述内框与所述转盘相接触的表面设置防滑图案。
7.如权利要求5所述的镀膜承载架，其特征在于，所述传动带与所述转盘相接触的表面设置防滑图案。
8.如权利要求5所述的镀膜承载架，其特征在于，所述镀膜承载架还包括一控制器，所述控制器与所述转动马达及所述翻转马达电连接，用于控制所述转动马达及所述翻转马达相互配合进行有序地动作。
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