CN203787390U - 多轨进料的旋转式晶粒检测设备 - Google Patents

多轨进料的旋转式晶粒检测设备 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及一种多轨进料的旋转式晶粒检测设备，主要包括转动架、多个晶粒取放装置、多个进料装置、多个检测站以及多个分类站。其中，多个晶粒取放装置等距地环设于转动架上；多个进料装置、多个检测站和多个分类站等距地环设于该转动架的径向延伸方向上。其中，晶粒取放装置到进料装置取得晶粒后，转动架旋转而将晶粒移载至检测站进行测试，接着又旋转移载晶粒至分类站放置晶粒，而分类站对晶粒进行分类。据此，本实用新型以同时多轨进料以及旋转进给移载的方式，逐一地对晶粒进行测试和分类，实为一高效率的连续检测和分类技术。

Description

多轨进料的旋转式晶粒检测设备
技术领域
本实用新型涉及一种多轨进料的旋转式晶粒检测设备，特别涉及一种适用于检测半导体晶粒的检测设备。
背景技术
半导体晶粒在制造过程中通常会经过两次检测，一次是半成品检测，另一次是成品检测。其中，半成品检测通常针对完成基本半导体制程后的晶粒，其主要目的在于先行筛检过滤瑕疵晶粒，以免瑕疵晶粒流入后续包括黏晶(die mount)、打线(wire bond)、封胶(mold)、以及印字(mark)等制程，造成成本上无谓的耗费，并且影响良品率。
公知的晶粒检测设备可参考中国台湾公告第M439261号专利。即，如图1所示，其公开一种V型旋臂90，每一个旋臂各装设有取放装置91、92。当其中一个取放装置91在进给装置93吸取晶粒后，便移到进给装置93一侧的探针座94上进行测试。此时，另一个取放装置91则回到进给装置93上吸取下一个晶粒，据此V型旋臂90不断地往复摆转进给及测试。此外，当取放装置91上的晶粒测试完成后，便直接使完成测试的晶粒掉落于下方的分料装置(图中未示出)，以对该完成测试的晶粒进行分类。
据此，公知晶粒检测设备以上述循环摆转的方式来进行测试，尽管其测试的准确率或测试效率都已经达到相当稳定的程度。但是，当面临更高测试速度的需求之下，公知晶粒检测设备已面临瓶颈，且无法再明显提升。
有鉴于此，一种可大幅提高检测速度，又具备弹性扩充功能的晶粒检测设备，实为目前产业上的一种迫切需要。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其能多轨晶粒同时进料、同时移载晶粒、同时测试晶粒以及同时分类晶粒，且每一旋转移载的角度相同，可显著地缩短移载时间，相较于公知的晶粒检测设备，能以数倍的方式大幅提升检测速度，且更为弹性，可视实际需求任意扩充或变更各种测试功能。
为实现上述目的，本实用新型的多轨进料的旋转式晶粒检测设备主要包括转动架、多个晶粒取放装置、多个进料装置、多个检测站以及多个分类站。其中，转动架包括中心轴，而转动架沿着中心轴旋转；多个晶粒取放装置等距地环设于转动架上；多个进料装置等距地环设于该转动架的径向延伸方向上，且每一进料装置邻近转动架的一侧包括一晶粒拾取区；多个检测站与多个分类站也等距地环设于转动架的径向延伸方向上。其中，多个晶粒取放装置分别到多个进料装置的晶粒拾取区上取得一个晶粒后，转动架旋转，而多个晶粒取放装置移载晶粒至多个检测站进行测试，接着转动架又旋转，而多个晶粒取放装置移载晶粒至多个分类站放置晶粒，由多个分类站对晶粒进行分类。
据此，本实用新型所提供的多轨进料的旋转式晶粒检测设备可利用转动架以不断地旋转进给移载的方式，逐一地将晶粒由进料装置搬运至检测站进行测试，当测试完毕又将晶粒搬运至分类站进行分类，实为一高效率的连续检测和分类技术。此外，本实用新型又以同时多轨进料的方式，大幅提高了测试产能。
较优选的是，本实用新型的多个进料装置包括第一进料装置和第二进料装置，其遥遥相对地设置于转动架的两侧。换言之，本实用新型可以采取双轨进料的方式，而所述两个进料装置之间的夹角可为180度，据此相较于公知的单轨进给测试的方式，本实用新型可提高两倍以上的测试产能，且体积上也不致增加太多。不过，本实用新型不受双轨进料方式所限，也可为三轨进料、四轨进料或其它的多轨进料，其中三轨进料方式时两个相邻的进料装置之间的夹角可为120°，四轨进料方式时两个相邻的进料装置之间的夹角可为90°。
再者，本实用新型的每一进料装置可包括震动喂料盘、进料轨道以及回料轨道，而震动喂料盘可包括喂料口，其与进料轨道连通，且晶粒拾取区可位于进料轨道上与震动喂料盘遥遥相对的一侧，另外回料轨道可设置于进料轨道的下方，并用以承接自进料轨道掉落的晶粒。
此外，本实用新型的每一检测站可包括探针座以及至少一个探针，而所述至少一个探针的一侧可固定于探针座，另一侧可自探针座的侧端凸伸露出；其中，多个晶粒取放装置移载晶粒至所述至少一个探针的上方并与所述至少一个探针电性接触。另外，本实用新型的每一晶粒取放装置可包括吸嘴以及升降机构，而升降机构可组装于转动架上并驱使吸嘴上升或下降。
再者，本实用新型的每一分类站可包括旋转分料管以及多个容仓，旋转分料管可包括入料口和出料口，而入料口可与旋转分料管的出料口连通，且旋转分料管可旋转并使出料口对准多个容仓中的一个；其中多个晶粒取放装置旋转移载晶粒至入料口并放置晶粒。另外，本实用新型的每一分类站还可包括转动驱动器，其连接并驱动旋转分料管旋转。
又，本实用新型的多个检测站可包括多个第一检测站以及多个第二检测站，而所述多个进料装置、多个第一检测站、多个第二检测站以及多个分类站可分别依序地布设于转动架的径向延伸的环周方向上。而且，本实用新型的转动架可沿着中心轴朝同一旋转方向步进式地旋转。
附图说明
图1为公知的晶粒检测设备。
图2为本实用新型第一实施例的俯视示意图。
图3为本实用新型第一实施例的俯视局部放大图。
图4为本实用新型第一实施例的进料装置的晶粒拾取区的侧视图。
图5为本实用新型第一实施例的检测站的侧视图。
图6为本实用新型第一实施例的分类站的侧视图。
图7为本实用新型第二实施例的俯视示意图。
图8为本实用新型第三实施例的俯视示意图。
具体实施方式
本实用新型的多轨进料的旋转式晶粒检测设备在本实施例中被详细描述之前，要特别注意的是，在以下的说明中，类似的组件将以相同的组件符号来表示。
以下对本实用新型的第一实施例以双轨进料方式进行说明，请同时参考图2～图3，图2为本实用新型第一实施例的俯视图，图3为本实用新型第一实施例的俯视局部放大图。
图中显示有转动架2，其包括中心轴21，且转动架2沿着中心轴21旋转。在本实施例中，转动架2是受致动器(图中未示)驱动而沿着中心轴21朝同一旋转方向步进式地旋转。再者，两组晶粒取放装置3包括第一进料装置41以及第二进料装置42，其等距地环设于转动架2的径向延伸方向上，即，以180°夹角的方式遥遥相对地设置于转动架2外的相对应的两侧。
在本实施例中，每一进料装置4包括震动喂料盘43、进料轨道44以及回料轨道45，而震动喂料盘43包括喂料口431，其与进料轨道44连通。而且，进料轨道44邻近转动架2的一侧包括晶粒拾取区40，即晶粒拾取区40位于进料轨道44上与震动喂料盘43遥遥相对的一侧。至于回料轨道45，其设置于进料轨道44的下方，用以承接自进料轨道44掉落的晶粒C。
请再一并参考图4，图4为本实用新型第一实施例的进料装置4的晶粒拾取区40的侧视图。其中，在转动架2上等距地环设有八组晶粒取放装置3。如图4所示，在本实施例中，每一晶粒取放装置3包括吸嘴31以及升降机构32，而升降机构32组装于转动架2上并可驱使吸嘴31上升或下降。
请再一并参考图5，图5为本实用新型第一实施例的检测站5的侧视图。如图2中所示，本实施例的检测站5包括两个第一检测站53和两个第二检测站54，而这些检测站分别依序地布设于转动架2的径向延伸的环周方向上，且位于进料轨道44的一侧。其中，第一检测站53以及第二检测站54分别对晶粒C进行两种不同的测试。不过，本实用新型并不以此为限，也可为单一检测站或其它多个检测站的形式。此外，在本实施例中，每一检测站5包括探针座51、两根探针52，而两根探针52的一侧固定于探针座51，另一侧系从探针座51的侧端凸伸露出。其中，探针52用以电性接触晶粒C，并对晶粒C进行测试。
请再一并参考图6，图6为本实用新型第一实施例的分类站6的侧视图。如图2中所示，两个分类站6等距地环设于转动架2的径向延伸方向上，且位于第二检测站54的一侧。在本实施例中，每一分类站6包括旋转分料管62、转动驱动器64以及八个容仓63，且旋转分料管62包括入料口61和出料口621。其中，入料口61与旋转分料管62的出料口621连通，而转动驱动器64连接并驱动旋转分料管62旋转，且八个容仓63分别为不同等级的晶粒C所放置之处。换言之，本实施例的分类站6可通过转动驱动器64驱动旋转分料管62旋转并使出料口621对准于八个容仓63中的一个，以对晶粒C进行分类。
本实施例的多轨进料的旋转式晶粒检测设备实际操作方式说明如下，首先两个晶粒取放装置3分别至两侧的进料装置4的晶粒拾取区40上分别取得一晶粒C后，接着，转动架2逆时针旋转，而两个晶粒取放装置3分别移载待测试的晶粒C至两个第一检测站53，以进行第一阶段的测试。待第一检测站53检测完毕后，转动架2又再次逆时针旋转将晶粒C移载到第二检测站54，以进行第二阶段的测试。
在此值得特别说明的是，在第一检测站53与第二检测站54进行测试时，晶粒取放装置3始终吸取着晶粒C。待第二检测站54检测完毕后，转动架2再次逆时针旋转，晶粒取放装置3便将测完的晶粒C移载至分类站6的入料口61上方，并使其掉落进入该入料口61，由旋转分料管62对该晶粒C进行分类，使其落入对应的容仓63内。其中，在本实施例中，当第二检测站54一旦测试完毕，其检测结果便随即传送至分类站6，故等到晶粒取放装置3将测完的晶粒C移载至分类站6的入料口61时，旋转分料管62的出料口621也已经对准相应的容仓63，等待晶粒C落下。据此，本实施例的晶粒取放装置3在分类站6并无闲置的等待时间，一旦放置晶粒C可随即进行下一步骤的取放任务。
然而，本实用新型并不以第一实施例的双轨进料为限，也可为三轨进料、四轨进料、或其它更多轨的进料方式。如图7所示的第二实施例，其为三轨进料的实施形态，其中两个相邻的进料装置4之间的夹角为120°，以此方式配置测试产能可提高三倍以上。另外，如图8所示为一个四轨进料方式，其中两个相邻的进料装置4之间的夹角为90°，以此方式配置则测试产能可提高四倍以上。
上述实施例仅用于方便说明而举例而已，本实用新型所主张的保护范围自应以权利要求书所述为准，而非仅限于上述实施例。
【符号说明】
90       V型旋臂
91、92   取放装置
93       进给装置
94       探针座
2        转动架
21       中心轴
3        晶粒取放装置
31       吸嘴
32       升降机构
4        进料装置
41       第一进料装置
42       第二进料装置
43       震动喂料盘
431  喂料口
44   进料轨道
45   回料轨道
40   晶粒拾取区
5    检测站
51   探针座
52   探针
53   第一检测站
54   第二检测站
6    分类站
61   入料口
62   旋转分料管
621  出料口
63   容仓
64   转动驱动器

Claims (10)

1.一种多轨进料的旋转式晶粒检测设备，包括：
转动架，其包括中心轴，该转动架沿着该中心轴旋转；
多个晶粒取放装置，其等距地环设于该转动架上；
多个进料装置，其等距地环设于该转动架的径向延伸方向上，每一进料装置邻近该转动架的一侧包括一晶粒拾取区；
多个检测站，其等距地环设于该转动架的径向延伸方向上；以及
多个分类站，其等距地环设于该转动架的径向延伸方向上；
其中，该多个晶粒取放装置分别到该多个进料装置的所述晶粒拾取区上取得晶粒后，该转动架旋转，而该多个晶粒取放装置将该晶粒移载至所述多个检测站进行测试，该转动架又旋转，而所述多个晶粒取放装置移载该晶粒至所述多个分类站放置该晶粒，所述多个分类站对该晶粒进行分类。
2.如权利要求1所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，所述多个进料装置包括第一进料装置和第二进料装置，在该转动架外侧相对地设置。
3.如权利要求1所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，每一进料装置包括震动喂料盘和进料轨道，该震动喂料盘包括喂料口，其与该进料轨道连通，所述晶粒拾取区位于该进料轨道上与该震动喂料盘相对的一侧。
4.如权利要求3所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，每一进料装置还包括回料轨道，其设置于该进料轨道下方，用以承接自该进料轨道掉落的该晶粒。
5.如权利要求1所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，每一检测站包括探针座和至少一个探针，所述至少一个探针的一侧固定于该探针座，另一侧自该探针座的侧端凸伸露出；所述多个晶粒取放装置移载该晶粒至所述至少一个探针的上方并与所述至少一个探针电性接触。
6.如权利要求1所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，每一晶粒取放装置包括吸嘴和升降机构，该升降机构组装于该转动架上并驱使该吸嘴上升或下降。
7.如权利要求1所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，每一分类站包括旋转分料管以及多个容仓，该旋转分料管包括入料口和出料口，该入料口与该旋转分料管的该出料口连通，该旋转分料管旋转并使该出料口对准所述多个容仓中的一个；所述多个晶粒取放装置旋转移载该晶粒至该入料口并放置该晶粒。
8.如权利要求7所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，每一分类站还包括转动驱动器，其连接并驱动该旋转分料管旋转。
9.如权利要求1所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，所述多个检测站包括多个第一检测站以及多个第二检测站，所述多个进料装置、多个第一检测站、多个第二检测站以及多个分类站分别依序地布设于该转动架的径向延伸的环周方向上。
10.如权利要求1所述的多轨进料的旋转式晶粒检测设备，其中，该转动架沿着该中心轴朝同一旋转方向步进式地旋转。
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