CN203571621U - 散热灯罩 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及散热灯罩，包括顶部具敞口的外壳，所述外壳的底部中心设有通孔，所述外壳的其中两个相对侧壁分别设有通风口，所述外壳的另外两个相对侧壁之间设有多层散热片，每层散热片分别具有与反光罩形状相适应的槽。这种结构的散热灯罩，反光罩设置在外壳内的散热片上，散热片与外壳之间形成良好的散热通道，从而有效解决了反光罩的散热问题，提升了反光罩的反光效率及使用寿命。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种散热灯罩，具体指一种在曝光机中用于对反光罩起冷却及散热作用的散热灯罩。
背景技术
曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，70 年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物（通常称为电子抗蚀剂或光刻胶）进行曝光。在曝光机中，反光罩的散热性能对整个设备来说是至关重要的，其直接影响曝光机内反光罩的反光效率及使用寿命，然而现有技术中对于反光罩的散热问题一直没有得到很好的解决。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服上述现有技术的问题，提供一种散热灯罩，其可有效解决反光罩的散热问题，提升反光罩的反光效率及使用寿命。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现：
散热灯罩，包括顶部具敞口的外壳，所述外壳的底部中心设有通孔，所述外壳的其中两个相对侧壁分别设有通风口，所述外壳的另外两个相对侧壁之间设有多层散热片，每层散热片分别具有与反光罩形状相适应的槽。
进一步地，所述散热片均匀间隔设置。
进一步地，所述槽的形状为圆形，自所述通孔至所述敞口的方向所述槽的直径递增。
进一步地，所述散热片与所述外壳焊接固定。
进一步地，所述散热片的层数为五层。
本实用新型所述的散热灯罩，包括顶部具敞口的外壳，所述外壳的底部中心设有通孔，所述外壳的其中两个相对侧壁分别设有通风口，所述外壳的另外两个相对侧壁之间设有多层散热片，每层散热片分别具有与反光罩形状相适应的槽。这种结构的散热灯罩，反光罩设置在外壳内的散热片上，散热片与外壳之间形成良好的散热通道，从而有效解决了反光罩的散热问题，提升了反光罩的反光效率及使用寿命。
附图说明
图1为本实用新型所述散热灯罩的结构示意图；
图2为图1的俯视图；
图3为图1中P处的局部放大图。
具体实施方式
下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
如图1至图3所示，本实用新型实施例所述的散热灯罩，包括顶部具敞口11的外壳1，所述外壳1的底部中心设有通孔12，所述外壳1的其中两个相对侧壁分别设有通风口13，所述外壳1的另外两个相对侧壁之间设有多层散热片2，每层散热片2分别具有与反光罩3形状相适应的槽21。
所述散热片2均匀间隔设置。所述槽21的形状为圆形，自所述通孔12至所述敞口11的方向所述槽21的直径递增。所述散热片2与所述外壳1焊接固定。所述散热片2的层数为五层。
以上所述仅为说明本实用新型的实施方式，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.散热灯罩，包括顶部具敞口的外壳，其特征在于，所述外壳的底部中心设有通孔，所述外壳的其中两个相对侧壁分别设有通风口，所述外壳的另外两个相对侧壁之间设有多层散热片，每层散热片分别具有与反光罩形状相适应的槽。
2.如权利要求1所述的散热灯罩，其特征在于，所述散热片均匀间隔设置。
3.如权利要求2所述的散热灯罩，其特征在于，所述槽的形状为圆形，自所述通孔至所述敞口的方向所述槽的直径递增。
4.如权利要求3所述的散热灯罩，其特征在于，所述散热片与所述外壳焊接固定。
5.如权利要求4所述的散热灯罩，其特征在于，所述散热片的层数为五层。
Priority Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN203571621U (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109764284A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-05-17 | 蚌埠崧欣电子科技有限公司 | 一种装有驱动电源的led射灯 |
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2013
- 2013-11-21 CN CN201320738560.8U patent/CN203571621U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
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| CN109764284A (zh) * | 2019-03-28 | 2019-05-17 | 蚌埠崧欣电子科技有限公司 | 一种装有驱动电源的led射灯 |
| CN109764284B (zh) * | 2019-03-28 | 2021-01-29 | 蚌埠崧欣电子科技有限公司 | 一种装有驱动电源的led射灯 |
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