CN203471978U - 浆料再生装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种浆料再生装置(10)，将废弃冷却液亦即浆料(S)再生为能够再利用的冷却液，所述废弃冷却液包含用线锯(51)切断硅锭(I)时产生的切削屑和磨粒。所述浆料再生装置(10)包括：贮存进行再生处理的浆料(S)的贮存罐(11)；以及用于储备向贮存罐(11)供应的浆料(So)的储备罐(41)。由此，无论浆料(So)的回收量如何，均能够始终稳定地连续再生浆料(S)。

Description

浆料再生装置

技术领域

本实用新型涉及一种浆料再生装置，通过从在用线锯切断硅锭时所使用的废弃冷却液(有时将其称作“浆料”)去除切削屑等，从而将所述浆料再生为能够再利用的冷却液。

背景技术

太阳能电池等中所用的硅晶片通过用线锯将硅锭切薄而获得。硅锭的切断方式大致分为固定磨粒方式与游离磨粒方式。固定磨粒方式是使磨粒固定于线锯的方式，游离磨粒方式是使磨粒含在作为冷却剂的冷却液中的方式。无论是何种方式，在切断作业过程中，均须对用线锯切断硅锭的部位供应冷却液。由此，切断部位受到冷却，从而从切断部位排出切削屑。切断后的金属硅薄片附着有冷却液或切削屑等，因此，对其进行清洗而获得硅晶片。

在切断硅锭时所使用的废弃冷却液处于包含切削屑和磨粒等的泥状态。因此，废弃冷却液有时被称作浆料。为削减成本，对浆料进行再利用。但是，若直接进行再利用，则会因混入的切削屑等而导致硅晶片的表面划伤，或硅晶片发生破损，或线锯发生劣化。对此，例如通过国际公开第2013/035438号中公开的再生方法，从浆料去除切削屑等，将浆料再生为能够再利用的冷却液。

即，国际公开第2013/035438号中公开的浆料再生方法包括离心分离工序及膜分离工序。离心分离工序是对浆料进行离心分离，分离为以高浓度含有切削屑等的固体成分(淤泥)和以低浓度含有切削屑等的离心分离液，将固体成分去除，并将离心分离液混合到浆料中使其循环的工序。膜分离工序是对浆料进行膜分离，分离为浓缩含有切削屑等的浓缩液和几乎不含切削屑等的膜过滤液，将膜过滤液回收，并将浓缩液混合到浆料中使其循环的工序。并且，通过将在离心分离工序循环的离心分离液与在膜分离工序回收的膜过滤液予以混合，从而将浆料再生为能够再利用的冷却液。

此时，如国际公开第2013/035438号的说明书段落0036～0039中所记载，将从硅锭的切断现场回收的浆料贮存到贮存罐中，从该贮存罐将浆料分配供应到离心分离装置及膜分离装置，在离心分离装置中，一边使所述离心分离液向贮存罐循环，一边进行所述离心分离工序，在膜分离装置中，一边使所述浓缩液向贮存罐循环，一边进行所述膜分离工序。

在此，例如，当从硅锭的切断现场大量地回收了浆料时，所回收的浆料无法全部装入贮存罐中，浆料的回收作业甚至硅锭的切断作业有可能中断至贮存罐内的浆料量(将其称作“贮存量”)减少为止。相反，在硅锭的切断作业处于运行率低的状态下，浆料的回收量较少或为零时，贮存罐内的浆料有可能枯竭，出现无法进行浆料的再生处理的空闲时间。

实用新型内容

本实用新型鉴于浆料再生装置中产生的所述问题而作出，其目的在于提供一种无论浆料的回收量如何，均能够始终稳定地连续再生浆料的浆料再生装置，所述浆料再生装置将废弃冷却液(也就是浆料)再生为能够再利用的冷却液，所述废弃冷却液包含用线锯切断硅锭时产生的切削屑和磨粒。

本实用新型所涉及的浆料再生装置，是将废弃冷却液亦即浆料再生为能够再利用的冷却液的浆料再生装置，其中，所述废弃冷却液包含用线锯切断硅锭时产生的切削屑和磨粒，所述浆料再生装置包括：贮存罐，贮存进行再生处理的浆料；以及储备罐，用于储备向所述贮存罐供应的浆料。

根据本实用新型，由于具备用于储备向贮存进行再生处理的浆料的贮存罐供应的浆料的储备罐，因此，能够将从硅锭的切断现场回收的浆料暂且储备在储备罐中。因此，例如，当大量地回收了浆料时，通过将其储备在储备罐中，能够避免贮存罐溢出。因此，能够不中断浆料的回收作业甚至硅锭的切断作业而持续进行。相反，在浆料的回收量较少或为零时，通过从储备罐向贮存罐供应浆料，能够持续进行浆料的再生处理。因此，能够避免无法进行浆料的再生处理的空闲时间的产生。如上所述，通过具备储备罐，无论浆料的回收量如何，均能够始终稳定地连续再生浆料，能够实现浆料的回收进而再生产性的提高。

另外，在本实用新型中，所谓“磨粒”，例如包括固定磨粒方式中的从线锯脱落的磨粒及游离磨粒方式中的冷却液中所含的磨粒等。

在本实用新型中，较为理想的是，所述储备罐的容量被设定为比所述贮存罐的容量大的值。

根据该结构，能够在储备罐中储备大于贮存罐的容量的量的浆料，因此，浆料的回收量较少或为零时，能够长时间持续进行浆料的再生处理，进一步避免空闲时间的产生。

在本实用新型中，较为理想的是，所述储备罐的容量被设定为在硅锭的一次切断作业中所使用的冷却液的量的2～5倍。

根据该结构，能够在储备罐中储备硅锭的2～5次切断作业的浆料，因此，能够不中断硅锭的切断作业而持续进行的可能性进一步提高。

在本实用新型中，较为理想的是，所述浆料再生装置还包括：导管，连接所述储备罐与所述贮存罐；泵，能够将所述储备罐内的浆料经由所述导管而输送到所述贮存罐；以及供应调整控制部，驱动所述泵，使得浆料从所述储备罐经由所述导管被供应到所述贮存罐。

根据该结构，通过泵的驱动，从储备罐经由导管向贮存罐稳定地供应浆料。

在本实用新型中，较为理想的是，所述浆料再生装置还包括：储备用导管，用于从硅锭的切断现场向所述储备罐供应浆料。

根据该结构，在硅锭的切断现场生成的浆料经由储备用导管而稳定地供应至储备罐。并且，也无需作业者将在硅锭的切断现场生成的浆料搬运至储备罐。

在本实用新型中，较为理想的是，所述浆料再生装置还包括：再生处理部，从所述贮存罐导出浆料并进行再生处理。

根据该结构，将浆料从贮存罐导出到再生处理部，因此，贮存罐内的浆料量减少。但是，即使在该情况下，通过从储备罐向贮存罐供应浆料，能够抑制贮存罐内的浆料枯竭的情况。并且，通过调节浆料的供应量，能够抑制浆料溢出。

在本实用新型中，较为理想的是，所述再生处理部将再生处理后的一部分浆料送回所述贮存罐。

根据该结构，从再生处理部将一部分浆料导入贮存罐，因此，贮存罐内的浆料量时时刻刻发生各种变化且减少。但是，即使在该情况下，通过从储备罐向贮存罐供应浆料，能够抑制贮存罐内的浆料枯竭的情况。并且，通过调节浆料的供应量，能够抑制浆料溢出。

在本实用新型中，较为理想的是，所述再生处理部是离心分离部和膜分离部中的至少一个，其中，所述离心分离部对浆料进行离心分离，将浆料分离为以高浓度含有切削屑的固体成分和以低浓度含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的离心分离液，所述膜分离部对浆料进行膜分离，将浆料分离为浓缩含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的浓缩液和不含切削屑的膜过滤液。

根据该结构，从贮存罐将浆料导出到离心分离部及/或膜分离部，因此，贮存罐内的浆料量减少。而且，从离心分离部及/或膜分离部将离心分离液及/或浓缩液导入贮存罐，因此，贮存罐内的浆料量时时刻刻发生各种变化且减少。但是，即使在该情况下，通过从储备罐向贮存罐供应浆料，能够抑制贮存罐内的浆料枯竭的情况。并且，通过调节浆料的供应量，能够抑制浆料溢出。

另外，在本实用新型中，固体成分“以高浓度含有切削屑”并且离心分离液“以低浓度含有切削屑”是指，固体成分以比离心分离液高的浓度含有切削屑，并且离心分离液以比固体成分低的浓度含有切削屑。

而且，在本实用新型中，膜过滤液“不含切削屑”，不仅包括膜过滤液完全不含切削屑的情况，还包括膜过滤液含有如下程度的量的切削屑的情况，即在将浆料再生为冷却液时，膜过滤液中即使含有也无妨的程度的量。

在本实用新型中，较为理想的是，所述再生处理部包括：至少一个离心分离部，对浆料进行离心分离，将浆料分离为以高浓度含有切削屑的固体成分和以低浓度含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的离心分离液；以及至少一个膜分离部，对浆料进行膜分离，将浆料分离为浓缩含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的浓缩液和不含切削屑的膜过滤液，其中，至少一个离心分离部与至少一个膜分离部并行地对浆料进行再生处理。

根据该结构，离心分离工序与膜分离工序并行地进行，因此，贮存罐内的浆料量的变化复杂，且其变化幅度也变大。但是，即使在该情况下，通过从储备罐向贮存罐供应浆料，能够抑制贮存罐内的浆料枯竭的情况。并且，通过调节浆料的供应量，能够抑制浆料溢出。

在本实用新型中，较为理想的是，所述浆料再生装置还包括：液面检测装置，用于检测贮存于所述贮存罐中的浆料的液面。

根据该结构，由于具备用于检测贮存罐内的浆料的液面的液面检测装置，因此，根据由所述液面检测装置检测到的浆料的液面，能够掌握贮存罐内的浆料量。因此，在浆料的再生过程中，能够抑制贮存罐内的浆料枯竭，或浆料从贮存罐溢出的现象。

在本实用新型中，较为理想的是，所述液面检测装置包括能够检测指定的下限液面的传感器，所述浆料再生装置还包括：导管，连接所述储备罐与所述贮存罐；泵，能够将所述储备罐内的浆料经由所述导管而输送到所述贮存罐；以及供应调整控制部，在所述传感器检测到所述下限液面时，驱动所述泵，使得浆料从所述储备罐经由所述导管被供应到所述贮存罐。

根据该结构，在传感器检测到指定的下限液面时，通过泵的驱动，无须经由人工便能自动地从储备罐经由导管向贮存罐稳定地供应浆料。因此，能够可靠地防止贮存罐内的浆料发生枯竭的问题。

另外，在本实用新型中，所谓“下限液面”，例如包括当贮存罐内的浆料量变得少于该下限液面时，无法足以进行浆料再生的程度的液面等。更详细而言，包含如下的液面，即当贮存罐内的浆料量变得少于该下限液面时，向离心分离装置及膜分离装置的浆料供应量不足或中断，其结果，在离心分离装置中，例如淤泥的排出性下降或者发生异常振动的程度的液面，或者在膜分离装置中，例如淤泥在过滤膜的壳体的内部沉降并堆积，从而使导管或过滤膜堵塞的程度的液面等。

在本实用新型中，较为理想的是，所述浆料再生装置还包括：加热器，用于对贮存于所述贮存罐中的浆料进行加热。

根据该结构，通过对贮存罐内的浆料进行加热，浆料的粘度下降而浆料的流动性提高。因此，浆料的再生作业得以促进。

在本实用新型中，较为理想的是，所述浆料再生装置还包括：搅拌部，用于对贮存于所述贮存罐中的浆料进行搅拌。

根据该结构，通过对贮存罐内的浆料进行搅拌，从而混入浆料中的切削屑等不会沉降而会分散。因此，浆料得以均匀地再生。

附图说明

图1是本实用新型的实施方式所涉及的浆料再生装置的整体结构图。

具体实施方式

[结构]

图1是本实用新型的第一实施方式所涉及的浆料再生装置10的整体结构图。该浆料再生装置(以下简称作“再生装置”)10是将废弃冷却液亦即浆料S再生为能够再利用的冷却液的装置，所述废弃冷却液包含在硅锭I的切断现场50用线锯51将硅锭I切薄时产生的切削屑、磨粒等。另外，在本实施方式中，硅锭I的切断方式为固定磨粒方式。即，硬质金刚石制的磨粒被固定于线锯51。因此，与游离磨粒方式相比，浆料S中几乎不含磨粒，因此，多数情况下不需要从浆料S回收磨粒的前工序。

冷却液是在二乙二醇或聚乙二醇中，根据需要混合有水、pH调整剂、粘度调整剂、分散剂、凝聚剂等而成的物质。冷却液在硅锭I的切断作业中，被供应到用线锯51切断硅锭I的部位，由此，切断部位得到冷却，从切断部位排出切削屑。硅锭I的切断时所使用的废弃冷却液、即浆料S中，混入有在硅锭I的切断时产生的切削屑等。

再生装置10具备贮存罐11及再生处理部100。贮存罐11贮存从硅锭I的切断现场50回收的、作为再生处理的对象物的浆料S。再生处理部100从贮存罐11导出浆料S并进行再生处理。再生装置10通过在再生处理部100中从浆料S去除切削屑或磨粒等，从而将浆料S再生为能够再利用的冷却液。

另外，在图1中，对贮存于贮存罐11之后的浆料标注符号S，对贮存于贮存罐11之前的浆料标注符号So，以区分两者。

再生处理部100具备进行离心分离工序的离心分离装置(离心分离部)20和进行膜分离工序的膜分离装置(膜分离部)30。离心分离装置20及膜分离装置30分别为一个。在离心分离装置20与贮存罐11之间设置有浆料导出用导管20a和离心分离液循环用导管20b。在膜分离装置30与贮存罐11之间设置有浆料导出用导管30a和浓缩液循环用导管30b。另外，虽未图示，但在各导管20a、20b、30a、30b中设置有能够输送流体的泵。

在本实施方式中，所谓离心分离工序是对经由浆料导出用导管20a从贮存罐11导出并导入离心分离装置20的浆料S进行离心分离的工序。在该工序，浆料S被分离为以比离心分离液S2高的浓度含有切削屑等的固体成分(淤泥)S1、和以比固体成分S1低的浓度含有切削屑等的离心分离液S2。固体成分S1从离心分离装置20被取出。离心分离液S2从离心分离装置20经由离心分离液循环用导管20b而向贮存罐11循环。

在本实施方式中，所谓膜分离工序是对经由浆料导出用导管30a从贮存罐11导出并导入膜分离装置30的浆料S进行膜分离的工序。在该工序，浆料S被分离为浓缩含有切削屑等的浓缩液S3和几乎不含切削屑等的膜过滤液S4。浓缩液S3从膜分离装置30经由浓缩液循环用导管30b而向贮存罐11循环。膜过滤液S4经由膜过滤液回收用导管30c被回收。

离心分离装置20是使从贮存罐11导出的浆料S绕垂直轴旋转而离心分离的纵型的离心分离装置。该离心分离装置20具备在下端侧具有锥部的筒形状的旋转体21。旋转体21通过未图示的马达驱动而绕垂直轴旋转。

在该离心分离装置20中，浆料S被导入旋转体21的内部。浆料S中所含的切削屑等基于离心力而被按压于旋转体21的内表面而被分离。对于分离后的切削屑等，每隔固定时间停止浆料S的导入，一边使旋转体21低速旋转，一边将未图示的刮板(scraper)推碰到旋转体21的内表面，从而分离后的切削屑等作为固体成分S1而从离心分离装置20取出。另一方面，切削屑等被分离后的浆料S的成分(再生处理后的浆料S的一部分)作为离心分离液S2，从离心分离装置20经由离心分离液循环用导管20b而返回到贮存罐11。

膜分离装置30使用过滤膜31，将从贮存罐11导出的浆料S膜分离成浓缩液S3和膜过滤液S4。该膜分离装置30采用将亲水性聚偏二氟乙烯制的中空纤维膜捆束而成的膜来作为过滤膜31。

在该膜分离装置30中，浓缩液S3是未通过过滤膜31的浆料S的成分(再生处理后的浆料S的一部分)，浓缩含有切削屑等。浓缩液S3从膜分离装置30经由浓缩液循环用导管30b返回到贮存罐11。另一方面，膜过滤液S4是通过过滤膜31后的浆料S的成分，几乎不含切削屑等。膜过滤液S4从膜分离装置30经由膜过滤液回收用导管30c而导出，并被回收。

在贮存罐11具备用于检测贮存于贮存罐11中的浆料S的液面的传感器(液面检测装置)12L、用于搅拌贮存于贮存罐11中的浆料S的搅拌装置(搅拌部)13、以及用于加热贮存于贮存罐11中的浆料S的加热器14。

传感器12L例如是在从贮存罐11将浆料S导出至离心分离装置20及膜分离装置30的结果，贮存罐11内的浆料S的量(贮存量)减少而浆料S的液面下降时，检测下降的浆料S的液面的液面检测传感器。传感器12L被设置在能够检测指定的下限液面的位置。此处，在本实施方式中，“下限液面”是指当贮存罐11内的浆料S的量变得少于该下限液面时，无法足以进行浆料S的再生的液面。以下，根据状况，有时将所述传感器12L称作“下限液面传感器12L”。另外，图1例示该下限液面传感器12L检测到所述下限液面的状态。

搅拌装置13包含设置于贮存罐11内的搅拌叶片13a、以及具备连接有该搅拌叶片13a的旋转轴13b的马达13c，通过马达13c使搅拌叶片13a旋转，从而搅拌贮存罐11内的浆料S。通过搅拌贮存罐11内的浆料S，混入浆料S中的切削屑等不会沉降而会分散。因此，通过离心分离装置20及膜分离装置30均匀地进行贮存于贮存罐11中的浆料S的再生。

加热器14通过加热贮存罐11内的浆料S，从而降低浆料S的粘度，提高浆料S的流动性。浆料S的流动性提高，从而离心分离装置20及膜分离装置30进行的对贮存于贮存罐11中的浆料S的再生作业得以促进。

除了以上的结构以外，本实施方式的再生装置10还具备向贮存罐11供应浆料So的供应调整部40A。该供应调整部40A具备储备罐41、导管42、泵43及控制盘44。

储备罐41用于储备供应至贮存罐11的浆料So。储备罐41被供应从硅锭I的切断现场50回收的浆料So。在硅锭I的切断现场50与储备罐41之间设置有用于从切断现场50向储备罐41供应浆料So的储备用导管52。储备罐41的容量被设定成在硅锭I的一次切断作业中所使用的冷却液的量的2～5倍的容量。这是比贮存罐11的容量大的容量。

在储备罐41具备未图示的搅拌机构。作为搅拌机构的搅拌方式，例如可采用借助搅拌叶片来搅拌的方式、通过泵来使液体循环以进行搅拌的方式等。另外，在储备罐41中也可设置液面传感器。

另外，也可取代储备用导管52而使用图1中标注符号X所示的容器，将在切断现场50生成的浆料So自动或由作业者经由人工运输到储备罐41(参照符号Y)。

导管42连接储备罐41与贮存罐11。从储备罐41经由该导管42而向贮存罐11供应浆料So。

泵43设置在导管42中，能够将储备罐41内的浆料So经由导管42输送到贮存罐11。

控制盘44进行以该再生装置10的开/关为代表的各种动作和各种设定的种种控制。控制盘44内置有供应调整控制部44a。如众所周知，供应调整控制部44a是包含CPU、ROM、RAM等的微处理器。供应调整控制部44a与下限液面传感器12L以能够进行通信的方式被连接，供应调整控制部44a与泵43电连接。在下限液面传感器12L检测到下降的浆料S的液面时，从传感器12L向供应调整控制部44a发送检测信号A。供应调整控制部44a在收到该检测信号A时，向泵43输出驱动信号B以驱动泵43。由此，储备罐41内的浆料So经由导管42被供应到贮存罐11。供应调整控制部44a驱动泵43，以从储备罐41向贮存罐11供应预先规定的固定量的浆料So。供应调整控制部44a进行大致如上的控制。

[动作]

接下来，说明本实施方式所涉及的再生装置10的动作。

包含在硅锭I的切断现场50用线锯51切薄硅锭I时产生的切削屑及磨粒等的浆料So被回收，并从切断现场50经由储备用导管52而被供应到储备罐41。

在贮存罐11中贮存有超过下限液面传感器12L能检测的下限液面的量的浆料S。即，在贮存罐11中，传感器12L处于被浆料S没过而未检测到浆料S的液面的状态。

在此状态下，从贮存罐11向离心分离装置20及膜分离装置30分别分配供应浆料S。

在离心分离装置20中，使离心分离液S2向贮存罐11循环，与贮存罐11内的浆料S进行混合，并进行离心分离工序。在膜分离装置30中，使浓缩液S3向贮存罐11循环，与贮存罐11内的浆料S进行混合，并进行膜分离工序。即，离心分离装置20中的离心分离工序与膜分离装置30中的膜分离工序同时并行地进行。

离心分离液S2通过在离心分离装置20中进行的离心分离工序而去除了切削屑等，因此，通过将其与贮存罐11内的浆料S进行混合，从而贮存罐11内的浆料S的固体成分浓度下降。另一方面，浓缩液S3通过在膜分离装置30中进行的膜分离工序而浓缩含有切削屑等，因此，通过将其与贮存罐11内的浆料S进行混合，从而贮存罐11内的浆料S的固体成分浓度上升。

通过同时并行地以指定次数或指定时间来反复进行离心分离液S2的循环(具体地说，贮存罐11内的浆料S向离心分离装置20的导出、以及去除了切削屑等的离心分离液S2向贮存罐11的导入)和浓缩液S3的循环(具体地说，贮存罐11内的浆料S向膜分离装置30的导出、以及浓缩含有切削屑等的浓缩液S3向贮存罐11的导入)，由此使贮存罐11内的浆料S的固体成分浓度逐渐变化，在两者对固体成分浓度变化的影响平衡的时刻稳定。

并且，通过使离心分离工序的离心分离液S2的循环及膜分离工序的浓缩液S3的循环反复进行指定次数或指定时间，并回收膜过滤液S4，从而将贮存罐11内的浆料S再生为能够再利用的冷却液。此时，适当地补充新的冷却液，进行成分调整。

而且，通过同时并行地以指定次数或指定时间来反复进行离心分离液S2的循环(具体地说，贮存罐11内的浆料S向离心分离装置20的导出、以及离心分离液S2向贮存罐11的导入)和浓缩液S3的循环(具体地说，贮存罐11内的浆料S向膜分离装置30的导出、以及浓缩液S3向贮存罐11的导入)，由此使贮存罐11内的浆料S的量(贮存量)发生各种变化，并逐渐减少。

然后，当浆料S的贮存量减少到下限液面，下限液面传感器12L检测到下降的浆料S的液面时，从传感器12L向供应调整控制部44a发送检测信号A。供应调整控制部44a接收该检测信号A，向泵43输出驱动信号B。由此，储备罐41内的指定的固定量的浆料So被供应到贮存罐11。其结果，贮存罐11内的浆料S的量恢复到传感器12L能够检测的下限液面加上所述固定量的量。

进行此种浆料S的液面管理或贮存量管理，并反复进行浆料S从贮存罐11向离心分离装置20及膜分离装置30的分配供应、与离心分离液S2的循环及浓缩液S3的循环，当浆料S的贮存量再次减少到下限液面而下限液面传感器12L检测到浆料S的液面时，使浆料S的贮存量恢复所述固定量。

这样，在本实施方式所涉及的再生装置10中，浆料S的贮存量始终处于固定的幅度内，即，始终处于下限液面与对下限液面加上所述固定量时的液面之间，能够抑制贮存罐11内的浆料S的性状(例如固体成分浓度等)发生大幅变化，并且始终稳定地连续进行浆料S的再生。

[作用]

如上所述，根据本实用新型的实施方式，由于具备用于储备向贮存进行再生处理的浆料S的贮存罐11供应的浆料So的储备罐41，因此，能够将从硅锭I的切断现场50回收的浆料So暂时储备在储备罐41中。因此，例如，当大量回收了浆料So时，通过将其储备在储备罐41中，能够避免贮存罐11溢出。因此，能够不中断浆料So的回收作业甚至硅锭的切断作业而持续进行。相反，在浆料So的回收量较少或为零时，通过从储备罐41向贮存罐11供应浆料So，能够持续进行浆料S的再生处理。因此，能够避免无法进行浆料S的再生处理的空闲时间的产生。如上所述，通过具备储备罐41，无论浆料So的回收量如何，均能够始终稳定地连续再生浆料S，能够实现浆料So的回收进而再生产性的提高。

而且，在该实施方式中，能够在储备罐41中储备大于贮存罐11的容量的量的浆料So，因此，当浆料So的回收量较少或为零时，能够长时间持续进行浆料S的再生处理，进一步避免空闲时间的产生。

而且，在该实施方式中，能够在储备罐41中储备硅锭I的2～5次切断作业的浆料So，因此，能够不中断硅锭I的切断作业而持续进行的可能性进一步提高。

而且，在该实施方式中，通过泵43的驱动，从储备罐41经由导管42向贮存罐11稳定地供应浆料So。

而且，在该实施方式中，经由储备用导管52，将在硅锭I的切断现场50生成的浆料So稳定地供应至储备罐41。并且，也无需作业者将在硅锭I的切断现场50生成的浆料So搬运至储备罐41。

而且，在该实施方式中，从贮存罐11向再生处理部100导出浆料S，因此，贮存罐11内的浆料S的量减少。但是，即使在该情况下，通过从储备罐41向贮存罐11供应浆料So，能够抑制贮存罐11内的浆料S枯竭的情况。并且，通过调节浆料So的供应量，能够抑制浆料S溢出。

而且，在该实施方式中，从再生处理部100向贮存罐11导入一部分浆料S，因此，贮存罐11内的浆料S的量时时刻刻发生各种变化并减少。但是，即使在该情况下，通过从储备罐41向贮存罐11供应浆料So，能够抑制贮存罐11内的浆料S枯竭的情况。并且，通过调节浆料So的供应量，能够抑制浆料S溢出。

而且，在该实施方式中，从贮存罐11向离心分离装置20及膜分离装置30导出浆料S，因此，贮存罐11内的浆料S的量减少。而且，从离心分离装置20及膜分离装置30向贮存罐11导入离心分离液S2及浓缩液S3，因此，贮存罐11内的浆料S的量时时刻刻发生各种变化并减少。但是，即使在该情况下，通过从储备罐41向贮存罐11供应浆料So，能够抑制贮存罐11内的浆料S枯竭的情况。并且，通过调节浆料So的供应量，能够抑制浆料S溢出。

而且，在该实施方式中，离心分离工序与膜分离工序并行地进行，因此，贮存罐11内的浆料S的量的变化复杂，且其变化幅度也变大。但是，即使在该情况下，通过从储备罐41向贮存罐11供应浆料So，能够抑制贮存罐11内的浆料S枯竭的情况。并且，通过调节浆料So的供应量，能够抑制浆料S溢出。

而且，在该实施方式中，由于具备用于检测贮存罐11内的浆料S的液面的传感器12L，因此，根据由所述传感器12L检测到的浆料S的液面，能够掌握贮存罐11内的浆料S的量。因此，在浆料S的再生过程中，能够抑制贮存罐11内的浆料S枯竭，或浆料S从贮存罐11溢出。

而且，在该实施方式中，在传感器12L检测到指定的下限液面时，通过泵43的驱动，无须经由人工便能自动地从储备罐41经由导管42向贮存罐11稳定地供应浆料So。因此，能够可靠地防止贮存罐11内的浆料S枯竭的问题。

而且，在该实施方式中，通过对贮存罐11内的浆料S进行加热，从而浆料S的粘度下降而浆料S的流动性提高。因此，浆料S的再生作业得以促进。

而且，在该实施方式中，通过对贮存罐11内的浆料S进行搅拌，从而混入浆料S中的切削屑等不会沉降而会分散。因此，浆料S得以均匀地再生。

[其他实施方式]

硅锭I的切断方式也可为使磨粒含在冷却液中的游离磨粒方式。此时，在浆料S中，与切削屑一并含有磨粒，因此，较为理想的是进行从浆料S回收磨粒的前工序。

再生处理部100也可仅具备离心分离装置20，还可仅具备膜分离装置30。

离心分离装置20及膜分离装置30也可具备两个以上。

也可以采用两个以上的离心分离装置20与两个以上的膜分离装置30并行地对浆料S进行再生处理的结构。

离心分离装置20的离心分离工序及膜分离装置30的膜分离工序也可不同时并行地进行。例如，也可不使离心分离工序与膜分离工序在时间上重叠，而是依次进行。

离心分离工序的离心分离液S2的循环及膜分离工序的浓缩液S3的循环也可不反复进行。例如，也可将离心分离液S2的循环及浓缩液S3的循环仅设为一次。

另外，也可取代离心分离装置20而使用例如压滤机(filter press)来作为从浆料S去除固体成分(淤泥)S1的装置。

Claims (13)

1.一种浆料再生装置，将废弃冷却液亦即浆料再生为能够再利用的冷却液，其中，所述废弃冷却液包含用线锯切断硅锭时产生的切削屑和磨粒，所述浆料再生装置的特征在于包括：

贮存罐，贮存进行再生处理的浆料；以及

储备罐，用于储备向所述贮存罐供应的浆料。

2.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述储备罐的容量被设定为比所述贮存罐的容量大的值。

3.根据权利要求2所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述储备罐的容量被设定为在硅锭的一次切断作业中所使用的冷却液的量的2～5倍。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

导管，连接所述储备罐与所述贮存罐；

泵，能够将所述储备罐内的浆料经由所述导管而输送到所述贮存罐；以及

供应调整控制部，驱动所述泵，使得浆料从所述储备罐经由所述导管被供应到所述贮存罐。

5.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

储备用导管，用于从硅锭的切断现场向所述储备罐供应浆料。

6.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

再生处理部，从所述贮存罐导出浆料并进行再生处理。

7.根据权利要求6所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述再生处理部将再生处理后的一部分浆料送回所述贮存罐。

8.根据权利要求6所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述再生处理部是离心分离部和膜分离部中的至少一个，其中，

所述离心分离部对浆料进行离心分离，将浆料分离为以高浓度含有切削屑的固体成分和以低浓度含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的离心分离液，

所述膜分离部对浆料进行膜分离，将浆料分离为浓缩含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的浓缩液和不含切削屑的膜过滤液。

9.根据权利要求6所述的浆料再生装置，其特征在于，所述再生处理部包括：

至少一个离心分离部，对浆料进行离心分离，将浆料分离为以高浓度含有切削屑的固体成分和以低浓度含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的离心分离液；以及

至少一个膜分离部，对浆料进行膜分离，将浆料分离为浓缩含有切削屑且送回所述贮存罐而被循环利用的浓缩液和不含切削屑的膜过滤液，其中，

至少一个离心分离部与至少一个膜分离部并行地对浆料进行再生处理。

10.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

液面检测装置，用于检测贮存于所述贮存罐中的浆料的液面。

11.根据权利要求10所述的浆料再生装置，其特征在于：

所述液面检测装置包括能够检测指定的下限液面的传感器，

所述浆料再生装置还包括：

导管，连接所述储备罐与所述贮存罐；

泵，能够将所述储备罐内的浆料经由所述导管而输送到所述贮存罐；以及

供应调整控制部，在所述传感器检测到所述下限液面时，驱动所述泵，使得浆料从所述储备罐经由所述导管被供应到所述贮存罐。

12.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

加热器，用于对贮存于所述贮存罐中的浆料进行加热。

13.根据权利要求1所述的浆料再生装置，其特征在于还包括：

搅拌部，用于对贮存于所述贮存罐中的浆料进行搅拌。

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