CN105269703A - 一种硅片切割机用切削液循环装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种硅片切割机用切削液循环装置，解决了现有技术中用于硅片切割机的切削液循环系统容易在管道内积聚大量的泡沫，容易造成硅片在切割时损坏的不足。本发明提供的一种硅片切割机用切削液循环装置，储水桶连接有供水泵，供水泵通过供水管将切削液供入切割机的水箱内，水箱内参与切割后的切削液经溢流口进入溢流管内，溢流管上串接有去泡池，去泡池上开设有进水口和出水口，并且，进水口的水平高度高于出水口的水平高度，在出水口内设有安全阀，出水口排出的切削液经沉淀、过滤、再沉淀之后进入储水桶内进行循环使用。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片切割机用切削液循环装置。
背景技术
硅片切割机为生产硅片的必要设备，起到切割硅锭的作用。也就是说，硅锭经过切割机切割后形成硅片，因此，生产硅片必然会用到切割机。由于硅锭的特殊性，切割机在切割硅锭时，其切削液会产生大量的泡沫，为保证切割机的正常运作不得不加入大量的水来保证切割机的正常工作。
现有技术中切割机的切削液循环系统一般是由一根供水管向若干台切割机统一进行供水，然后参与切割后的切削液再由回水管统一回收进行循环使用，这种切削液循环系统结构简单，造成切割机在工作过程中切削液会产生大量的泡沫，影响切割机的正常运行，并且提高了硅片的不良率。
发明内容
本发明提供的一种硅片切割机用切削液循环装置，旨在克服现有技术中用于硅片切割机的切削液循环系统容易在管道内积聚大量的泡沫，容易造成硅片在切割时损坏的不足。
为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种硅片切割机用切削液循环装置，包括储水桶，所述储水桶通过供水管向至少一台切割机供水，所述切割机包括水箱，所述供水管与水箱相通，所述水箱上开设有溢流口，该硅片切割机用切削液循环装置还包括过滤机，每个水箱上的溢流口均通过溢流管将切削液送至过滤机，所述溢流管上串接有去泡池，所述去泡池上开设有与溢流口相通的进水口，所述去泡池上还开设有与过滤机相通的出水口，所述出水口内安装有安全阀，所述进水口的水平高度高于出水口的水平高度，所述进水口内切削液的流量与出水口内切削液的流量相等，所述去泡池上端还固定有与去泡池相通的容泡池，所述容泡池的容积大于去泡池的容积，所述过滤机与储水桶之间通过回水管相通，所述去泡池与过滤机之间串接有第一沉淀桶，所述回水管上串接有第二沉淀桶，所述储水桶上连接有两个供水泵，两个供水泵并联后均向供水管供水。
上述构成中，溢流管上串接有去泡池，在去泡池的上端固定有容泡池，去泡池与容泡池相通，去泡池上开设有进水口和出水口，并且，进水口的水平高度高于出水口的水平高度，在出水口内设有安全阀，切割机工作过程中位于水箱内的切削液会产生大量的泡沫，该泡沫会随切削液经溢流口进入去泡池内，由于出水口内设有安全阀，所以进入去泡池内的切削液不会立即由出水口排出，而是会积聚在去泡池内，从而造成去泡池内的切削液液面上升，此时，由于泡沫的密度小于切削液，因此，位于去泡池内的泡沫高度会随切削液液面的上升而上升，并进入容泡池内，去泡池内的液面到达一定高度后，安全阀开启，位于去泡池内的切削液由出水口排出，此时，位于去泡池内的切削液没有泡沫(泡沫位于容泡池内)，从而实现去除管道内泡沫的作用，由溢流口溢出的切削液不断进入去泡池内保持去泡池内切削液的液面高度，从而使得切削液得以循环使用，达到去除泡沫的目的。
一种可选的方案，所述容泡池内固定有至少两层网状电热层，两层网状电热层之间的距离不小于毫米，所述容泡池的外壁上固定有控制网状电热层的控制器。容泡池内固定网装电热层，网状电热层通电后温度升高，从而可以使与网状电热层接触的泡沫迅速破裂，避免泡沫溢出容泡池。两层网状电热层之间的距离不小于毫米，可以更好的避免泡沫溢出。
一种可选的方案，所述网状电热层上固定有若干根立筋，所述立筋的形状为圆锥形，所述立筋的大端固定在网状电热层上。立筋可以进一步提高泡沫的破碎率，进一步避免了泡沫溢出。
一种可选的方案，该硅片切割机用切削液循环装置还包括补水桶，所述补水桶与储水桶之间通过补水管相通，所述补水管上连接有药水桶，所述补水管上还串接有控制补水桶是否向储水桶补水的第一控制阀，所述药水桶与补水管之间串接有第二控制阀。补水桶起到向储水桶内补水的作用，大大提高了切削液循环装置工作时的稳定性能。
一种可选的方案，所述过滤机为至少两台并联在一起的厢式压滤机。两台厢式压滤机并联使用，其中一台厢式压滤机可以作另一台的备用机使用，过滤机检修时不需要对切削液循环装置进行停机，操作方便。
与现有技术相比，本发明提供的一种硅片切割机用切削液循环装置，具有如下优点：储水桶连接有供水泵，供水泵通过供水管将切削液供入切割机的水箱内，水箱内参与切割后的切削液经溢流口进入溢流管内，溢流管上串接有去泡池，在去泡池的上端固定有容泡池，去泡池与容泡池相通，去泡池上开设有进水口和出水口，并且，进水口的水平高度高于出水口的水平高度，在出水口内设有安全阀，由出水口排出的切削液经沉淀、过滤、再沉淀之后进入储水桶内进行循环使用；切割机工作过程中位于水箱内的切削液会产生大量的泡沫，该泡沫会随切削液经溢流口进入去泡池内，由于出水口内设有安全阀，所以进入去泡池内的切削液不会立即由出水口排出，而是会积聚在去泡池内，从而造成去泡池内的切削液液面上升，此时，由于泡沫的密度小于切削液，因此，位于去泡池内的泡沫高度会随切削液液面的上升而上升，由排水口排出的切削液内没有泡沫，从而避免了泡沫进入切削液循环装置内循环，提高了切割机工作时的稳定性能，优化了硅片的质量。
附图说明
附图1是本发明一种硅片切割机用切削液循环装置的结构框图；
附图2是本发明一种硅片切割机用切削液循环装置中去泡池、容泡池的剖视图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的一种硅片切割机用切削液循环装置作进一步说明。如图1、图2所示，一种硅片切割机用切削液循环装置，包括储水桶1，所述储水桶1通过供水管2向至少一台切割机供水，所述储水桶1上连接有两个供水泵14，两个供水泵14并联后均向供水管2供水，也就是说，两个供水泵14并联使用，两个供水泵14均可以采用气动隔膜泵，检修过程中一个供水泵14可以作另一个供水泵14的备用机使用；
所述切割机包括水箱3，所述供水管2与水箱3相通，所述水箱3上开设有溢流口，该硅片切割机用切削液循环装置还包括过滤机4，每个水箱3上的溢流口均通过溢流管5将切削液送至过滤机4，参见图2，所述溢流管5上串接有去泡池6，所述去泡池6上开设有与溢流口相通的进水口7，所述去泡池6上还开设有与过滤机4相通的出水口8，所述出水口8内安装有安全阀9，安全阀9用来使去泡池6内积聚一定量的切削液，以将漂浮在切削液上的泡沫推入容泡池10内，所述进水口7的水平高度高于出水口8的水平高度，所述进水口7内切削液的流量与出水口8内切削液的流量相等，所述去泡池6上端还固定有与去泡池6相通的容泡池10，所述容泡池10的容积大于去泡池6的容积，所述去泡池6与容泡池10为一体式结构；
参见图2，所述容泡池10内固定有至少两层网状电热层15，两层网状电热层15之间的距离不小于10毫米，网状电热层15的顶面垂直于容泡池10的轴线，所述容泡池10的外壁上固定有控制网状电热层15的控制器16；所述网状电热层15上固定有若干根立筋17，所述立筋17的形状为圆锥形，所述立筋17的大端固定在网状电热层15上，所述立筋17与网状电热层15为一体式结构；
参见图1，所述过滤机4与储水桶1之间通过回水管11相通，所述去泡池6与过滤机4之间串接有第一沉淀桶12，所述回水管11上串接有第二沉淀桶13；该硅片切割机用切削液循环装置中切削液的流动过程为，切削液由储水桶1内经供水泵14进入供水管2，然后进入水箱3，并参与切割，参与切割后的切削液由水箱3的溢流口溢出进入去泡池6内，切削液在去泡池6内去除泡沫以后进入第一沉淀桶12，在第一沉淀桶12内沉淀后切削液进入过滤机4过滤，被过滤后的切削液再进入第二沉淀桶13内沉淀，最后进入储水桶1内循环使用。
参见图1，为了避免储水桶1内的切削液水位过低而造成硅片切割机用切削液循环装置停机，该硅片切割机用切削液循环装置还包括补水桶18，所述补水桶18与储水桶1之间通过补水管19相通，所述补水管19上连接有药水桶20，所述补水管19上还串接有控制补水桶18是否向储水桶1补水的第一控制阀21，所述药水桶20与补水管19之间串接有第二控制阀22。补水桶18可以向储水桶1内补水，提高了硅片切割机用切削液循环装置工作时的稳定性能。
上述结构中去泡池6的工作原理为：切割机工作过程中位于水箱3内的切削液会产生大量的泡沫，该泡沫会随切削液经溢流口进入去泡池6内，由于出水口8内设有安全阀9，所以进入去泡池6内的切削液不会立即由出水口8排出，而是会积聚在去泡池6内，从而造成去泡池6内的切削液液面上升，此时，由于泡沫的密度小于切削液，因此，位于去泡池6内的泡沫高度会随切削液液面的上升而上升，并进入容泡池10内，去泡池6内的液面到达一定高度后，安全阀9开启，该液面高度由安全阀9控制，位于去泡池6内的切削液由出水口8排出，位于去泡池6内的切削液没有泡沫(泡沫位于容泡池10内)，从而实现去除管道内泡沫的作用，溢流口溢出的切削液不断进入去泡池6内保持去泡池6内切削液的液面高度恒定，从而使得切削液得以循环使用，达到了去除切削液内泡沫的效果。
以上仅为本发明的优选实施方式，旨在体现本发明的突出技术效果和优势，并非是对本发明的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是，一切基于本发明技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征，皆应涵盖于本发明所附权利要求主张的技术范畴内。
Claims (5)
1.一种硅片切割机用切削液循环装置，其特征在于：包括储水桶(1)，所述储水桶(1)通过供水管(2)向至少一台切割机供水，所述切割机包括水箱(3)，所述供水管(2)与水箱(3)相通，所述水箱(3)上开设有溢流口，该硅片切割机用切削液循环装置还包括过滤机(4)，每个水箱(3)上的溢流口均通过溢流管(5)将切削液送至过滤机(4)，所述溢流管(5)上串接有去泡池(6)，所述去泡池(6)上开设有与溢流口相通的进水口(7)，所述去泡池(6)上还开设有与过滤机(4)相通的出水口(8)，所述出水口(8)内安装有安全阀(9)，所述进水口(7)的水平高度高于出水口(8)的水平高度，所述进水口(7)内切削液的流量与出水口(8)内切削液的流量相等，所述去泡池(6)上端还固定有与去泡池(6)相通的容泡池(10)，所述容泡池(10)的容积大于去泡池(6)的容积，所述过滤机(4)与储水桶(1)之间通过回水管(11)相通，所述去泡池(6)与过滤机(4)之间串接有第一沉淀桶(12)，所述回水管(11)上串接有第二沉淀桶(13)，所述储水桶(1)上连接有两个供水泵(14)，两个供水泵(14)并联后均向供水管(2)供水。
2.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液循环装置，其特征在于：所述容泡池(10)内固定有至少两层网状电热层(15)，两层网状电热层(15)之间的距离不小于10毫米，所述容泡池(10)的外壁上固定有控制网状电热层(15)的控制器(16)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片切割机用切削液循环装置，其特征在于：所述网状电热层(15)上固定有若干根立筋(17)，所述立筋(17)的形状为圆锥形，所述立筋(17)的大端固定在网状电热层(15)上。
4.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液循环装置，其特征在于：该硅片切割机用切削液循环装置还包括补水桶(18)，所述补水桶(18)与储水桶(1)之间通过补水管(19)相通，所述补水管(19)上连接有药水桶(20)，所述补水管(19)上还串接有控制补水桶(18)是否向储水桶(1)补水的第一控制阀(21)，所述药水桶(20)与补水管(19)之间串接有第二控制阀(22)。
5.根据权利要求1所述的一种硅片切割机用切削液循环装置，其特征在于：所述过滤机(4)为至少两台并联在一起的厢式压滤机。
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