CN105269698B - 一种多线切割机用切削液循环装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种多线切割机用切削液循环装置，解决了现有技术中切削液循环系统的结构不合理，切削液参与切割时会产生大量泡沫，进而影响硅片质量的不足。本发明提供的一种多线切割机用切削液循环装置，水箱上开设有溢流口，溢流口经过溢流管与过滤机相通，过滤机经过回水管与储水桶相通，在溢流管上串接有第一沉淀桶、回水管上串接有第二沉淀桶；溢流口溢出的切削液先经第一沉淀桶沉淀，然后再经过滤机过滤，过滤机过滤后的切削液再经第二沉淀桶沉淀，最后再进入储水桶内进行循环使用，切削液经沉淀、过滤、再沉淀后具有良好的水质，从而使得切削液循环使用时不会产生大量的泡沫，减小了切削液循环系统的用水量。

Description

一种多线切割机用切削液循环装置

技术领域

本发明涉及一种多线切割机用切削液循环装置。

背景技术

硅片切割机为生产硅片的必要设备，起到切割硅锭的作用。也就是说，硅锭经过切割机切割后形成硅片，因此，生产硅片必然会用到切割机。由于硅锭的特殊性，切割机在切割硅锭时，其切削液会产生大量的泡沫，为保证切割机的正常运作不得不加入大量的水来保证切割机的正常工作。

现有技术中切割机的切削液循环系统一般是由一根供水管向若干台切割机统一进行供水，然后参与切割后的切削液再由回水管统一回收进行循环使用，这种切削液循环系统结构简单，造成切割机在工作过程中切削液会产生大量的泡沫，影响切割机的正常运行，并且提高了硅片的不良率。

发明内容

本发明提供的一种多线切割机用切削液循环装置，旨在克服现有技术中切削液循环系统的结构不合理，切削液参与切割时会产生大量泡沫，进而影响硅片质量的不足。

为了解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：一种多线切割机用切削液循环装置，包括储水桶，所述储水桶通过供水管向至少一台切割机供水，所述切割机包括水箱，所述供水管与水箱相通，所述水箱上开设有溢流口，该多线切割机用切削液循环装置还包括过滤机，每个水箱上的溢流口均通过溢流管将切削液送至过滤机，所述过滤机与储水桶之间通过回水管相通，所述溢流管上串接有第一沉淀桶，所述回水管上串接有第二沉淀桶，所述储水桶上连接有两个供水泵，两个供水泵并联后均向供水管供水，该多线切割机用切削液循环装置还包括补水桶，所述补水桶与储水桶之间通过补水管相通，所述补水管上连接有药水桶，所述补水管上还串接有控制补水桶是否向储水桶补水的第一控制阀，所述药水桶与补水管之间串接有第二控制阀。

上述构成中，溢流口与过滤机之间串接有第一沉淀桶，过滤机与储水桶之间串接有第二沉淀桶，溢流口溢出的切削液先在第一沉淀桶内沉淀后再进入过滤机内进行过滤，过滤完毕后再经第二沉淀桶沉淀后才重新进入储水桶内，然后再由供水泵将其泵入供水管，并由供水管将其引至切割现场，溢流口溢流出的液体会经沉淀、过滤后再循环使用，大大提高了储水桶内切削液的水质，从而减少了切削液参于切割时产生的泡沫，提高了硅片的质量。

一种可选的方案，所述第一沉淀桶与第二沉淀桶之间并联有两台过滤机。两台过滤机并联使用，也就是说其中一台过滤机可以作为另一台过滤机的备用机使用，需要对过滤机进行维护时可以将该过滤机旁路而无需关闭整个切削液循环系统，使用方便。

一种可选的方案，所述过滤机为厢式压滤机。厢式压滤机具有较高的过滤效率和较好的过滤效果，使用方便。

一种可选的方案，所述第二沉淀桶与储水桶之间设有备用水桶，所述备用水桶与回水管之间串接有第三控制阀。备用水桶的设置可以避免由于补水桶内没有水而造成切削液循环系统停机，进一步提高了切削液循环系统工作时的稳定性能。

一种可选的方案，所述供水管上固定有检测供水管内切削液压力的压力检测器，所述供水管上还固定有报警器，所述报警器由固定在供水管上的控制器控制，所述压力检测器与控制器相互通讯。供水管上固定压力检测器可以时时对供水管内切削液的压力进行检测，保证切削液循环系统的水压正常，进而提高了切削液循环系统的稳定性能。供水管内水压波动过大时报警器报警，操作人员可控制切割机停机，避免造成硅片质量降低。

与现有技术相比，本发明提供的一种多线切割机用切削液循环装置，具有如下优点：水箱上开设有溢流口，溢流口经过溢流管与过滤机相通，过滤机经过回水管与储水桶相通，在溢流管上串接有第一沉淀桶、回水管上串接有第二沉淀桶；溢流口溢出的切削液先经第一沉淀桶沉淀，然后再经过滤机过滤，过滤机过滤后的切削液再经第二沉淀桶沉淀，最后再进入储水桶内进行循环使用，切削液经沉淀、过滤、再沉淀后具有良好的水质，从而使得切削液循环使用时不会产生大量的泡沫，减小了切削液循环系统的用水量；另外，由于切削液的水质提高从而使得切割机在切割时更加稳定，优化了硅片的质量；

两台供水泵并联向供水管供水，一台供水泵可做另一台供水泵的备用机使用，当需要对供水泵检修时，可以方便地对供水泵进行检修而不需关闭整个切削液循环系统，使用方便。

附图说明

附图1是本发明一种多线切割机用切削液循环装置的结构框图。

具体实施方式

下面结合附图，对本发明的一种多线切割机用切削液循环装置作进一步说明。如图1所示，一种多线切割机用切削液循环装置，包括储水桶1，储水桶1用于储存参与循环的切削液，所述储水桶1通过供水管2向至少一台切割机供水，所述切割机包括水箱3，所述供水管2与水箱3相通，参与切割的切削液经供水管2输送到每台切割机的水箱3，所述水箱3上开设有溢流口，该溢流口用于溢出多余的切削液，该多线切割机用切削液循环装置还包括过滤机4，每个水箱3上的溢流口均通过溢流管5将切削液送至过滤机4，也就是说，所有溢流口溢出的切削液均汇流至溢流管5内再进行输送，所述过滤机4可以为厢式压滤机，并且，所述过虑机可以由两台并联使用，即溢流管5可以向两台过滤机4输送切削液，而同时参与过滤的过滤机4可以为一台也可以为两台，此时，其中一台过滤机4可作另一台过滤机4的备用机使用，便于过滤机4的检修；

参与切割的切削液中含有较多的杂质，因此，参与切割的切削液经溢流口溢出后，所述溢流管5上串接有第一沉淀桶7，所述过滤机4与储水桶1之间通过回水管6相通，所述回水管6上串接有第二沉淀桶8，也就是说，参与切割的切削液经溢流口溢出后首先在第一沉淀桶7内沉淀，然后再过滤，过滤后再沉淀，最后送入储水桶1内参与循环使用，提高了切削液的水质。

为了保证供水管2供水的稳定性能，所述储水桶1上连接有两个供水泵9，两个供水泵9并联后均向供水管2供水，两个供水泵9并联使用，其中一个供水泵9可以作另一个供水泵9的备用机使用，便于供水泵9的检修，所述供水泵9可以采用气动隔膜泵；

为了避免储水桶1内水量过少，该多线切割机用切削液循环装置还包括补水桶10，所述补水桶10与储水桶1之间通过补水管11相通，所述补水管11上连接有药水桶12，所述补水管11上还串接有控制补水桶10是否向储水桶1补水的第一控制阀13，所述药水桶12与补水管11之间串接有第二控制阀14，补水桶10用于向储水桶1补水；为了进一步保证储水桶1内的水位恒定，所述第二沉淀桶8与储水桶1之间设有备用水桶，所述备用水桶与回水管6之间串接有第三控制阀16。

为了保证硅锭切割时切削液供给稳定，所述供水管2上固定有检测供水管2内切削液压力的压力检测器17，所述供水管2上还固定有报警器18，所述报警器18由固定在供水管2上的控制器19控制，所述压力检测器17与控制器19相互通讯。供水管2内切削液压力不符合要求时，报警器18报警，提示操作人员关闭切割机，保证硅片质量稳定。

以上仅为本发明的优选实施方式，旨在体现本发明的突出技术效果和优势，并非是对本发明的技术方案的限制。本领域技术人员应当了解的是，一切基于本发明技术内容所做出的修改、变化或者替代技术特征，皆应涵盖于本发明所附权利要求主张的技术范畴内。

Claims (2)

1.一种多线切割机用切削液循环装置，其特征在于：包括储水桶(1)，所述储水桶(1)通过供水管(2)向至少一台切割机供水，所述切割机包括水箱(3)，所述供水管(2)与水箱(3)相通，所述水箱(3)上开设有溢流口，该多线切割机用切削液循环装置还包括过滤机(4)，每个水箱(3)上的溢流口均通过溢流管(5)将切削液送至过滤机(4)，所述过滤机(4)与储水桶(1)之间通过回水管(6)相通，所述溢流管(5)上串接有第一沉淀桶(7)，所述回水管(6)上串接有第二沉淀桶(8)，所述储水桶(1)上连接有两个供水泵(9)，两个供水泵(9)并联后均向供水管(2)供水，该多线切割机用切削液循环装置还包括补水桶(10)，所述补水桶(10)与储水桶(1)之间通过补水管(11)相通，所述补水管(11)上连接有药水桶(12)，所述补水管(11)上还串接有控制补水桶(10)是否向储水桶(1)补水的第一控制阀(13)，所述药水桶(12)与补水管(11)之间串接有第二控制阀(14)；

所述第一沉淀桶(7)与第二沉淀桶(8)之间并联有两台过滤机(4)；

所述过滤机(4)为厢式压滤机；

所述第二沉淀桶(8)与储水桶(1)之间设有备用水桶(15)，所述备用水桶(15)与回水管(6)之间串接有第三控制阀(16)。

2.根据权利要求1所述的一种多线切割机用切削液循环装置，其特征在于：所述供水管(2)上固定有检测供水管(2)内切削液压力的压力检测器(17)，所述供水管(2)上还固定有报警器(18)，所述报警器(18)由固定在供水管(2)上的控制器(19)控制，所述压力检测器(17)与控制器(19)相互通讯。