CN204914280U - 冷却剂再生装置和线锯系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种冷却剂再生装置和线锯系统，所述冷却剂再生装置(3)具备：线锯罐(22)内的冷却剂的一部分被导出的导出路径(4)；调节向导出路径(4)导出的冷却剂的导出量的导出量调节机构(5)；对通过导出路径(4)被导出的冷却剂进行再生的处理装置(6)；将在处理装置(6)再生的冷却剂导入线锯罐(22)的导入路径(7)以及调节向线锯罐(22)导入的冷却剂的导入量的导入量调节机构(8)。据此，在赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置的循环机构，而且，能够自动且稳定地将线锯罐内的冷却剂中包含的切削屑浓度维持得低。

Description

冷却剂再生装置和线锯系统

技术领域

本实用新型涉及一种使用于对硅、蓝宝石、镓砷、磁铁等各种脆性材料进行加工的线锯装置的冷却剂再生装置以及具备该冷却剂再生装置的线锯系统。

背景技术

例如在制造半导体元件、太阳能电池元件等制品的过程中，进行将块状的硅锭(硅材料)切断为预先规定的尺寸的切片工序。在该切片工序中，当使用线锯装置切断硅锭时，为了抑制切断部分的温度上升以及赋予润滑性而使用冷却剂。在切片工序使用后的冷却剂(使用过的冷却剂)中含有硅等切削屑(淤渣)。

例如，在日本专利公开公报特开2010-253622号中公开了向线锯(固定磨粒线)供给冷却剂并切断硅材料的线锯的冷却剂管理方法以及装置。该日本专利公开公报特开2010-253622号中设有接收从线锯掉下的切断淤浆的淤浆接收槽。在该淤浆接收槽中接收的切断淤浆被导向离心分离机。被导向离心分离机的切断淤浆被分离为粗粒固体成分和分离液。在离心分离机被分离的分离液被供给到膜过滤装置，被分离为微粒混合液和回收冷却剂。在离心分离机被分离的分离液的一部分和在膜过滤装置分离的回收冷却剂在调配罐被调配而再次被供给到线锯。

作为线锯装置，例如有图8所示的类型。图8所示的线锯装置2具备线锯21、线锯罐22以及循环机构23。该循环机构23包含循环路径24和循环泵25。在线锯装置2中，当在线锯21加工硅锭时，向线锯21供给冷却剂。使用后的冷却剂在包含切削屑的状态下被回收到线锯罐22。被回收的冷却剂利用循环泵25而通过循环路径24再次被供给到线锯21。

在如图8所示的线锯装置2中，随着硅锭的加工的进行，线锯罐22内的冷却剂中的切削屑浓度(淤渣浓度)逐渐上升。如果该切削屑浓度达到规定浓度以上，有时会影响切断硅锭而制得的晶片的质量。因此，在使用线锯装置2进行加工后，将线锯罐22内的冷却剂的一部分或全部更换为新的冷却剂。据此，能够防止线锯罐22内的冷却剂中的切削屑浓度上升到规定浓度以上。然而，此种冷却剂的更换作业繁杂，成为使生产效率降低的原因。

此外，上述的日本专利公开公报特开2010-253622号的装置中，通过了离心分离机以及膜过滤装置的冷却剂在调配罐中被调配，并从该调配罐通过冷却剂供给管而直接供给至线锯，因此，不能把日本专利公开公报特开2010-253622号的装置直接适用于具备图8所示的结构的线锯装置2中。如果将日本专利公开公报特开2010-253622号的装置直接适用于具备图8所示的结构的线锯装置2中，则用于将线锯罐22内的冷却剂供给至线锯21的循环机构23无用处。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种冷却剂再生装置，使用于具备线锯、回收在线锯中使用的冷却剂的线锯罐以及将线锯罐内的冷却剂送回线锯的循环机构的线锯装置，在赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置的循环机构，而且，能够自动且稳定地将线锯罐内的冷却剂中包含的切削屑浓度维持得低。本实用新型的目的还在于提供一种包括所述冷却剂再生装置的线锯系统。

本实用新型的一个方面涉及冷却剂再生装置，其使用于线锯装置，该线锯装置具备：线锯；回收在所述线锯使用过的冷却剂的线锯罐；以及使所述线锯罐内的冷却剂返回到所述线锯的循环机构，所述冷却剂再生装置包括：导出路径，导出所述线锯罐内的冷却剂的一部分；导出量调节机构，调节向所述导出路径导出的冷却剂的导出量；处理装置，对通过所述导出路径而被导出的冷却剂进行再生；导入路径，将在所述处理装置被再生的冷却剂导入所述线锯罐；以及导入量调节机构，调节向所述线锯罐导入的冷却剂的导入量。

在该实用新型中，线锯装置的线锯中使用过的冷却剂在被回收到线锯罐后，与通过循环路径重新供给到线锯这一冷却剂的一连的路径独立地形成冷却剂再生用的一连的路径。在该再生用的路径中，线锯罐内的冷却剂被导出到导出路径，在处理装置中被再生的冷却剂通过导入路径被导入到线锯罐。因此，在具备线锯、线锯罐以及循环机构的线锯装置中，在赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置的循环机构。

而且，在本实用新型中，从线锯罐被导出到导出路径的冷却剂的导出量由导出量调节机构来调节。此外，处理装置中再生的冷却剂向线锯罐的导入量由导入量调节机构来调节。因此，在本实用新型中，能够自动且稳定地将线锯罐内的冷却剂中所含的切削屑的浓度维持得低。由此，在本实用新型中，无需如图8所示的线锯装置2那样在加工后将线锯罐内22内的冷却剂的一部分或全部更换为新的冷却剂的作业，因此，能够防止生产效率降低。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述导出量调节机构包含暂时贮存通过所述导出路径被导出的冷却剂的原液罐，所述导入量调节机构包含暂时贮存被再生的冷却剂的再生液罐。

在该结构中，导出量调节机构包含原液罐，因此，能够将从线锯罐导出的冷却剂暂时贮存在原液罐。此外，导入量调节机构包含再生液罐，因此，能够将在处理装置中再生的冷却剂暂时贮存在再生液罐。通过使用此种原液罐和再生液罐来作为缓冲，能够调节将从线锯罐导出的冷却剂输送到处理装置的时机和将被再生的冷却剂通过导入路径导入到线锯罐的时机。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述导出量调节机构包含检测所述原液罐内的冷却剂的液面高度的传感器，所述导入量调节机构包含检测所述再生液罐内的冷却剂的液面高度的传感器。

在该结构中，能够用传感器检测出原液罐内的冷却剂的液面高度达到规定的高度，因此，能够适当地控制原液罐的冷却剂的贮存量。此外，能够用传感器检测出再生液罐内的冷却剂的液面高度达到规定的高度，因此，能够适当地控制再生液罐的冷却剂的贮存量。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述原液罐的容量与所述再生液罐的容量相同。

在该结构中，例如在断续地进行从线锯罐向导出路径导出冷却剂的导出运转和通过导入路径向线锯罐导入冷却剂的导入运转的情况下，容易将导出量和导入量调整为相同程度。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述导出量调节机构包含开闭所述导出路径的自动阀，所述导入量调节机构包含开闭所述导入路径的自动阀。

在该结构中，通过控制导出量调节机构的自动阀的开闭，能够控制冷却剂的导出量，通过控制导入量调节机构的自动阀的开闭，能够控制冷却剂的导入量。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述导出量调节机构包含：与所述原液罐相比在所述线锯罐侧开闭所述导出路径的自动阀；以及与所述原液罐相比在所述处理装置侧开闭所述导出路径的自动阀，所述导入量调节机构包含：与所述再生液罐相比在所述线锯罐侧开闭所述导入路径的自动阀；以及与所述再生液罐相比在所述处理装置侧开闭所述导入路径的自动阀。

在该结构中，通过适当切换上述的四个自动阀，能够依次进行例如以下的原液移送工序、再生液补充工序、原液抽出工序以及再生液投入工序。原液移送工序是将贮存在原液罐的冷却剂输送到处理装置的工序。再生液补充工序是将贮存在处理装置(具体而言，处理装置中的后述的再生液槽)中的冷却剂补充到再生液罐的工序。原液抽出工序是将贮存在线锯罐的冷却剂补充到原液罐的工序。再生液投入工序是将贮存在再生液罐的冷却剂输送到线锯罐的工序。

在原液移送工序进行如下控制：四个自动阀中，只将在导出量调节机构的比原液罐位于处理装置的一侧开闭导出路径的自动阀设为打开状态，将其余的自动阀设为关闭状态。在再生液补充工序进行如下控制：四个自动阀中，只将在导入量调节机构的比再生液罐位于处理装置的一侧开闭导入路径的自动阀设为打开状态，将其余的自动阀设为关闭状态。在原液抽出工序进行如下控制：四个自动阀中，只将在导出量调节机构的比原液罐位于线锯罐的一侧开闭导出路径的自动阀设为打开状态，将其余的自动阀设为关闭状态。在再生液投入工序进行如下控制：四个自动阀中，只将在导入量调节机构的比再生液罐位于线锯罐的一侧开闭导入路径的自动阀设为打开状态，将其余的自动阀设为关闭状态。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述导出量调节机构包含被设置在所述导出路径的导出泵，所述导入量调节机构包含被设置在所述导入路径的导入泵。

在该结构中，通过控制导出泵的运转和停止，能够控制冷却剂的导出量，而且，通过控制导入泵的运转和停止，能够控制冷却剂的导入量。

在所述冷却剂再生装置中，优选还包括：传感器，检测所述线锯罐内的冷却剂的液面高。

在该结构中，能够基于传感器的检测结果，进行将线锯罐内的冷却剂的贮存量维持在适当的范围的控制。据此，能够防止冷却剂从线锯罐溢流或线锯罐内的冷却剂的不足。

在所述冷却剂再生装置中，也可以为：所述循环机构包含：用于使所述线锯罐内的冷却剂返回至所述线锯的循环路径；以及被设置在所述循环路径的循环泵，所述导出路径的所述线锯罐侧的端部被连接于所述循环路径的与所述循环泵相比位于下游侧的部分。

在该结构中，如果循环泵运转，线锯罐内的冷却剂通过循环路径流到线锯侧。并且，在该循环路径流动的冷却剂的一部分流入被连接于循环路径的导出路径。因此，在该结构中，循环泵除了具备通过循环路径将冷却剂输送到线锯的功能以外，还发挥使冷却剂导出到导出路径的作用。

在所述冷却剂再生装置中，优选还包括：控制部，控制所述导出量调节机构以及所述导入量调节机构，其中，在使用所述线锯装置中的所述线锯进行加工时，所述控制部连续地或断续地进行从所述线锯罐向所述导出路径导出冷却剂的导出运转和通过所述导入路径向所述线锯罐导入冷却剂的导入运转。

在该结构中，能够由控制部连续地或断续地控制导出运转和导入运转。

在所述冷却剂再生装置中，也可以为：所述控制部每隔预先规定的时间断续地进行所述导出运转以及所述导入运转。

在该结构中，在用线锯进行加工时，通过以每隔预先规定的时间断续地进行导出运转和导入运转的比较简单的控制，能够管理为不让线锯罐内的冷却剂中的切削屑浓度达到规定浓度以上。而且，在该结构中，在用线锯进行加工时，例如在不让线锯罐内的冷却剂的切削屑浓度达到规定浓度以上的范围，在必要的时期断续地进行导出运转以及导入运转，从而与连续地进行导出运转和导入运转的情况相比，能够抑制导出运转和导入运转所需的电力消耗的增大。

在所述冷却剂再生装置中，也可以还包括：存储部，存储预先规定的多个运转条件，其中，所述控制部基于从所述多个运转条件中选择的运转条件进行所述导出运转以及所述导入运转。

在该结构中，例如根据加工对象的脆性材料(例如晶锭)的尺寸、线锯罐内的冷却剂的切削屑浓度的容许上限值等的加工条件，从预先规定的多个运转条件选择最适合的运转条件，并基于所选择的运转条件，能够适当地管理为不让线锯罐内的冷却剂的切削屑浓度达到规定浓度以上。

在所述冷却剂再生装置中，也可以还包括：输入受理部，受理用户输入的运转条件，其中，所述控制部基于被输入到所述输入受理部的所述运转条件进行所述导出运转以及所述导入运转。

在该结构中，例如在加工条件(加工对象的脆性材料的尺寸、线锯罐内的冷却剂中的切削屑浓度的容许上限值等加工条件)有多个的情况下，用户对于多个加工条件的各个条件，使用实验、模拟等方法，预先取得适当的运转条件，在实际加工时，通过输入受理部输入对应其加工条件的适当的运转条件。据此，能够以适于加工条件的运转条件使冷却剂再生装置运转。因此，能够适当地管理为不让线锯罐内的冷却剂中的切削屑浓度达到规定浓度以上。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述控制部控制所述导出量调节机构以及所述导入量调节机构，以使向所述导出路径导出的冷却剂的导出量与向所述导入路径导入的冷却剂的导入量相同。

在该结构中，被控制成导出量和导入量相同，因此，能够抑制线锯罐内的冷却剂的贮存量的变动。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述处理装置包含用于降低通过所述导出路径被导出的冷却剂中的切削屑浓度而使冷却剂再生的离心分离机和膜分离机。

在该结构中，处理装置能够利用离心分离机和膜分离机有效地降低被导出的冷却剂中的切削屑浓度。

在所述冷却剂再生装置中，优选：所述处理装置包含：处理组件，用于降低被导出的冷却剂中的切削屑浓度而使冷却剂再生；原液槽，被设置在所述原液罐与所述处理组件之间的路径；以及再生液槽，被设置在所述处理组件与所述再生液罐之间的路径，其中，所述原液罐的容量小于所述原液槽的容量以及所述线锯罐的容量，所述再生液罐的容量小于所述再生液槽的容量以及所述线锯罐的容量。

在该结构中，处理装置的原液槽的容量大于原液罐的容量，其作为接收从线锯罐被导出到导出路径并暂时贮存在原液罐的冷却剂并贮存的缓冲槽而发挥作用。具体而言，处理装置的原液槽例如具有能够充分确保在例如具有离心分离机、膜分离机等的处理组件中循环的循环量的程度的大容量。另一方面，原液罐的容量被设计成小于原液槽的容量且小于线锯罐的容量。具体而言，原液罐优选被设计成在进行断续的导出运转(分批式的导出运转)时，与在每一次的导出运转中被导出的冷却剂的导出量相对应的容量。通过采用此种被设计成较小的容量的原液罐，容易准确地控制每一次的导出量。

此外，在该结构中，处理装置的再生液槽的容量大于再生液罐的容量，其作为贮存在处理组件中被再生的冷却剂的缓冲槽而发挥作用。另一方面，再生液罐被设计成其容量小于再生液槽的容量且小于线锯罐的容量。具体而言，再生液罐优选被设计成在进行断续的导入运转时，与在每一次的导入运转中被导入到线锯罐的冷却剂的导入量相对应的容量。通过采用此种被设计成较小的容量的再生液罐，容易准确地控制每一次的导入量。

本实用新型的另一个方面涉及线锯系统，其包括：线锯装置，其具有：线锯；回收在所述线锯使用过的冷却剂的线锯罐；以及使所述线锯罐内的冷却剂返回到所述线锯的循环机构；以及所述的冷却剂再生装置，其导出所述线锯罐内的冷却剂的一部分并对被导出的冷却剂进行再生，将被再生的冷却剂导入所述线锯罐。

在该结构中，例如图8所示的线锯装置中，当赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置的循环机构，而且，能够自动且稳定地将线锯罐内的冷却剂中所含的切削屑的浓度维持得低。

如以上说明，根据本实用新型，能够有效地利用线锯装置的循环机构，而且，能够自动且稳定地将线锯罐内的冷却剂中所含的切削屑的浓度维持得低。

附图说明

图1是表示本实用新型的一实施方式所涉及的线锯系统的概略图。

图2是表示本实用新型的一实施方式所涉及的冷却剂再生装置的自动供给装置和线锯装置的概略图。

图3是表示所述冷却剂再生装置的自动阀的控制例的图。

图4是表示所述实施方式的变形例1所涉及的冷却剂再生装置的自动供给装置和线锯装置的概略图。

图5是表示所述实施方式的变形例2所涉及的冷却剂再生装置的自动供给装置和线锯装置的概略图。

图6是表示所述实施方式的变形例3所涉及的冷却剂再生装置的自动供给装置和线锯装置的概略图。

图7是表示所述实施方式的变形例4所涉及的冷却剂再生装置的自动供给装置和线锯装置的概略图。

图8是表示参考例所涉及的线锯装置的概略图。

具体实施方式

下面，参照附图详细说明本实用新型的实施方式所涉及的冷却剂再生装置3以及具备该冷却剂再生装置3的线锯系统1。

[线锯系统的整体结构]

如图1所示，本实施方式所涉及的线锯系统1具备线锯装置2和冷却剂再生装置3。在该线锯系统1，线锯装置2用于一边使用冷却剂冷却脆性材料，一边将该脆性材料切断加工为规定的大小。此外，在线锯系统1，冷却剂再生装置3用于进行将在线锯装置2使用过的冷却剂中所含的切削屑的一部分或全部除去的再生处理，并将再生的冷却剂供给至线锯装置2。

作为上述的脆性材料，例如可举出硅、蓝宝石、镓砷、磁铁等各种材料，但并不限定于此。在脆性材料例如为硅的情况下，线锯系统1用于例如将块状的硅锭切断为预先规定的尺寸的切片工序，但并不限定于该用途。在切断加工硅锭时使用的冷却剂例如使用包含二甘醇、水、添加剂等的液体，但并不限定于此。

在切片工序，在线锯装置2中被使用后的使用过的冷却剂中含有硅切削屑。使用过的冷却剂被冷却剂再生装置3再生为能够再利用的状态。被再生的再生冷却剂重新送回到线锯装置2。

[线锯装置]

图2是表示线锯系统1的一部分的概略图。图2表示线锯装置2和本实用新型的一实施方式所涉及的冷却剂再生装置3的自动供给装置10。如图1及图2所示，线锯装置2具备壳体20、被设置在该壳体20内的线锯21、线锯罐22以及循环机构23。

线锯21具备多个辊211和挂设在这些辊211的锯丝212。通过至少一个辊211旋转，锯丝212运行。作为锯丝212，可使用例如在锯丝212的芯材的表面粘附钻石等磨粒的固定磨粒方式的锯丝，但并不限定于此。

线锯罐22是被配置在线锯21的下方的容器。在本实施方式中，线锯罐22被设置在壳体20的正下方。在本实施方式中，线锯罐22的横宽与壳体20的横宽相同程度，但并不限定于此。壳体20的下部开口，线锯罐22的上部开口。因此，线锯罐22能够接收在线锯21中被使用并落到下方的冷却剂而将其回收。

循环机构23具有将线锯罐22内的冷却剂供给至线锯21的功能。图2所示的具体例中，循环机构23包含循环路径24和循环泵25。循环路径24采用能够将线锯罐22内的冷却剂输送到线锯21的配管而构成。循环泵25被设置在循环路径24。如果循环泵25运转，线锯罐22内的冷却剂的一部分流入循环路径24，并从循环路径24的前端供给至线锯21。在循环路径24的前端也可以设有例如未图示的喷嘴等。被供给至线锯21的冷却剂在冷却切削部分后流下并被线锯罐22接收而被回收。

在本实施方式中，在线锯罐22设有检测被贮存在其内部的冷却剂的液面高度的传感器26。可使用例如浮标式液面高度传感器、光学式液面高度传感器、超声波式液面高度传感器、静电容量式液面高度传感器等各种传感器作为传感器26。该传感器26不是必需的，也可省略。

[冷却剂再生装置]

如图1所示，冷却剂再生装置3具备自动供给装置10、处理装置6以及控制器9。控制器9控制冷却剂再生装置3的动作(自动供给装置10、处理装置6等的动作)。控制器9不仅控制冷却剂再生装置3的动作，而且控制线锯系统1整体。

控制器9具备未图示的中央运算处理装置(CPU)、存储部92(存储器)等。控制器9具备作为控制部91和输入受理部93的功能。输入受理部93例如受理用户手动输入的运转条件等。控制部91基于在输入受理部93受理的运转条件控制冷却剂再生装置3的动作。此外，控制部91也可以基于预先设定的运转条件控制冷却剂再生装置3的动作。

控制部91当在线锯装置2中由线锯21进行加工时，连续地或断续地进行导出运转和导入运转，其中，在导出运转，从线锯罐22向自动供给装置10(具体而言，后述的自动供给装置10的导出路径4)导出冷却剂，在导入运转，通过自动供给装置10(具体而言，后述的自动供给装置10的导入路径7)向线锯罐22导入冷却剂。

[自动供给装置]

自动供给装置10具有使线锯罐22内的冷却剂自动导出并输送到处理装置6的功能和将在处理装置6被再生的冷却剂自动供给至线锯罐22的功能。如图2所示，自动供给装置10具有导出路径4、导出量调节机构5、导入路径7以及导入量调节机构8。

导出路径4采用能够使线锯罐22内的冷却剂的一部分导出的配管而构成。在本实施方式中，导出路径4包含与导出量调节机构5相比位于上游侧(线锯罐22侧)的上游侧导出路径41和与导出量调节机构5相比位于下游侧(处理装置6侧)的下游侧导出路径42。

导入路径7采用能够将在处理装置6中被再生的冷却剂导入线锯罐22的配管而构成。在本实施方式中，导入路径7包含与导入量调节机构8相比位于上游侧(处理装置6侧)的上游侧导入路径71和与导入量调节机构8相比位于下游侧(线锯罐22侧)的下游侧导入路径72。

导出路径4的其中之一端部(具体而言，上游侧导出路径41的端部)被设置在线锯罐22内的冷却剂能够流入导出路径4的位置。导出路径4的另一端部(具体而言，下游侧导出路径42的端部)连接于后述的处理装置6(具体而言，处理装置6的原液槽61)。

导入路径7的其中之一端部(具体而言，下游侧导入路径72的端部)被设置在能够向线锯罐22内供给冷却剂的位置。导入路径7的另一端部(具体而言，上游侧导入路径71的端部)连接于后述的处理装置6(具体而言，处理装置6的再生液槽65)。

导出量调节机构5被设置在导出路径4，能够调节向导出路径4的冷却剂的导出量。图2所示的实施方式中，导出量调节机构5包含开闭导出路径4的自动阀51、52以及设置在导出路径4的导出泵53。但是，导出量调节机构5也可以采用如后述的图4所示的变形例1、图5所示的变形例2等那样包含自动阀51、52以及导出泵53的其中之一，而省略自动阀51、52以及导出泵53的另一方的结构。

导出量调节机构5还包含原液罐54。该原液罐54是用于暂时贮存从线锯罐22导出到导出路径4的冷却剂的容器。也可以如图4所示的变形例1那样省略原液罐54。

在本实施方式中，导出量调节机构5具备多个自动阀51、52，但并不限定于此，也可以采用如后述的图7所示的变形例4那样只具备单一的自动阀50的结构。多个自动阀51、52包含设置在原液罐54的上游侧的自动阀51和设置在原液罐54的下游侧的自动阀52。可使用例如电磁阀、电动阀等来作为这些自动阀51、52，但并不限定于此。自动阀51、52的动作由控制部91控制。在自动阀51、52为能够调节开度的电动阀的情况下，能够通过调节其开度来调节冷却剂的导出量。

导出量调节机构5包含检测原液罐54内的冷却剂的液面高度的传感器55。可使用例如浮标式液面高度传感器、光学式液面高度传感器、超声波式液面高度传感器、静电容量式液面高度传感器等各种传感器来作为传感器55。也可以例如图5所示的变形例2那样省略传感器55。如果在原液罐54内贮存规定量的冷却剂，控制部91能够基于传感器55的检测结果，进行关闭自动阀51的控制。

导入量调节机构8被设置在导入路径7，能够调节向线锯罐22的冷却剂的导入量。图2所示的实施方式中，导入量调节机构8包含开闭导入路径7的自动阀81、82以及设置在导入路径7的导入泵83。但是，导入量调节机构8也可以采用如后述的图4所示的变形例1、图5所示的变形例2等那样包含自动阀81、82以及导入泵83的其中之一，而省略自动阀81、82以及导入泵83的另一方的结构。

导入量调节机构8还包含再生液罐84。该再生液罐84是用于暂时贮存从处理装置6输送来的被再生的的冷却剂的容器。也可以如图4所示的变形例1那样省略再生液罐84。

在本实施方式中，导入量调节机构8具备多个自动阀81、82，但并不限定于此，也可以采用如后述的图7所示的变形例4那样只具备单一的自动阀80的结构。多个自动阀81、82包含设置在再生液罐84的上游侧的自动阀81和设置在再生液罐84的下游侧的自动阀82。可使用上述的电磁阀、电动阀等来作为这些自动阀81、82，但并不限定于此。自动阀81、82的动作由控制部91控制。在自动阀81、82为能够调节开度的电动阀的情况下，能够通过调节其开度来调节冷却剂的导入量。

导入量调节机构8包含检测再生液罐84内的冷却剂的液面高度的传感器85。可使用如上所述的各种传感器来作为传感器85。也可以例如图5所示的变形例2那样省略传感器85。如果在再生液罐84内贮存规定量的冷却剂，控制部91能够基于传感器85的检测结果，进行关闭自动阀81的控制。

在图2所示的实施方式中，控制部91能够通过控制两个自动阀51、52以及导出泵53来调节冷却剂的导出量，并且，能够通过控制两个自动阀81、82以及导入泵83来调节冷却剂的导入量。

此外，在本实施方式中，原液罐54内的冷却剂的贮存量基于传感器55的检测结果而适当地被管理。即，能够使每次从线锯罐22导出并贮存到原液罐54的冷却剂的贮存量大致恒定。此外，在本实施方式中，再生液罐84内的冷却剂的贮存量基于传感器85的检测结果而适当地被管理。即，能够使每次在处理装置6被再生并贮存到再生液罐84的冷却剂的贮存量大致恒定。

因此，控制部91在断续地进行从线锯罐22向导出路径4导出冷却剂的导出运转以及通过导入路径7向线锯罐22导入冷却剂的导入运转的情况下，能够将冷却剂的导出量和冷却剂的导入量调节为每次大致相同程度。据此，能够维持线锯罐22内的冷却剂的出入量的平衡。

在本实施方式中，原液罐54的容量与再生液罐84的容量相同。在此情况下，从线锯罐22导出与原液罐54的容量相对应的冷却剂，并将与再生液罐84的容量相对应的冷却剂导入线锯罐22。据此，能够维持线锯罐22内的冷却剂的出入量的平衡。

[处理装置]

处理装置6具有使由自动供给装置10供给至处理装置6的冷却剂的切削屑浓度降低的功能。在图1所示的本实施方式中，处理装置6具备原液槽61、贮存槽62、离心分离机63、膜分离机64、再生液槽65以及切削屑用罐66。贮存槽62、离心分离机63以及膜分离机64构成处理组件60。在处理装置6中，原液槽61、再生液槽65以及切削屑用罐66并不是必需的，也可以省略。

处理装置6连接于自动供给装置10。具体而言，如图1及图2所示，处理装置6的上游侧连接于自动供给装置10的导出路径4，处理装置6的下游侧连接于自动供给装置10的导入路径7。

原液槽61是用于暂时贮存从线锯罐22导出的冷却剂的容器。通过连接于原液槽61的导出路径4(具体而言，下游侧导出路径42)，冷却剂流入原液槽61。原液槽61内贮存的冷却剂通过设置有泵P的配管32而输送至贮存槽62。

原液槽61被设置在原液罐54与处理组件60之间的路径。原液罐54的容量小于原液槽61的容量以及线锯罐22的容量。处理装置6的原液槽61的容量大于原液罐54的容量，作为接收从线锯罐22被导出到导出路径4并暂时贮存在原液罐54的冷却剂而贮存的缓冲槽而发挥作用。具体而言，处理装置6的原液槽61具有能够充分确保在具有离心分离机63以及膜分离机64的处理组件60循环的冷却剂的循环量的程度的大容量。

另一方面，原液罐54的容量被设计为小于原液槽61的容量且小于线锯罐22的容量。具体而言，原液罐54优选被设计成例如在进行断续的导出运转(分批式的导出运转)时，对应于在每一次导出运转中导出的冷却剂的导出量的容量。通过采用此种容量小的原液罐54，容易准确地控制每一次的导出量。

贮存槽62是暂时贮存从原液槽61输送来的冷却剂的容器。贮存在贮存槽62的冷却剂被供给至离心分离机63以及膜分离机64。

具体而言，贮存槽62内的冷却剂通过设置有泵P的配管33而被输送到离心分离机63。离心分离机63将冷却剂分离为离心分离液和淤渣。离心分离液是通过离心分离机63的离心分离处理而淤渣的含有量降低的液体。在离心分离机63被处理的离心分离液通过配管34返回到贮存槽62。在离心分离机63被分离的淤渣从离心分离机63排出而被回收到切削屑用罐66。

此外，贮存槽62内的冷却剂通过设置有泵P的配管35而被输送到膜分离机64。在图1所示的具体例中，膜分离机64是将冷却剂分离为膜过滤液(再生冷却剂)和浓缩液的横流式，但并不限定于此。在膜分离机64被过滤而除去切削屑的膜过滤液通过配管37输送到再生液槽65。膜过滤液以外的浓缩液(含有切削屑的液体)从膜分离机64通过配管36返回到贮存槽62。

如上所述，贮存槽62内的冷却剂被离心分离机63以及膜分离机64进行处理而切削屑浓度(淤渣浓度)降低。

再生液槽65是用于暂时贮存在处理组件60再生的冷却剂的容器。再生冷却剂通过配管37流入再生液槽65。被贮存在再生液槽65的冷却剂例如通过未图示的泵而被输送到自动供给装置10，由自动供给装置10供给至线锯装置2的线锯罐22。

再生液槽65被设置在处理组件60与再生液罐84之间的路径。再生液罐84的容量小于再生液槽65的容量以及线锯罐22的容量。处理装置6的再生液槽65的容量大于再生液罐84的容量，作为贮存在处理组件60中再生的冷却剂的缓冲槽而发挥作用。

另一方面，再生液罐84的容量小于再生液槽65的容量且小于线锯罐22的容量。具体而言，再生液罐84的容量优选被设定为当进行断续的导入运转时，对应于在每一次导入运转中被导入到线锯罐22的冷却剂的导入量的容量。通过采用此种容量小的再生液罐84，容易准确地控制每一次的导入量。

作为离心分离机63，可例示旋转体(旋窑)的旋转轴的方向朝上下方向的纵型装置(纵型离心分离机)、旋转体的旋转轴的方向朝水平方向的横型装置(横型离心分离机)等，但并不限定于此。

作为膜分离机64，例如可采用在细长形状的壳体内设置中空纤维膜的结构，但并不限定于此。膜分离机64只要能够从冷却剂除去切削屑等即可，也可为在壳体内设置中空纤维膜以外的其它的分离膜的结构。

[控制例]

在本实施方式中，在线锯装置2中用线锯21进行加工时，控制部91连续地或断续地进行从线锯罐22向导出路径4导出冷却剂的导出运转以及通过导入路径7向线锯罐22导入冷却剂的导入运转。

在本实施方式中，在线锯装置2中用线锯21进行加工时，连续地进行通过循环机构23将线锯罐22内的冷却剂返送至线锯21的运转。另一方面，在线锯装置2中用线锯21进行加工时，控制部91也可以断续地以分批式进行导出运转以及导入运转。在此情况下，在用线锯21进行加工时向线锯21连续地供给冷却剂，能够适当地抑制切断部分的温度上升。另一方面，在用线锯21进行加工时，在线锯罐22内的冷却剂的切削屑浓度不达到规定浓度以上的范围内，在必要的时期断续地进行导出运转和导入运转，从而能够抑制导出运转以及导入运转所需的电力消耗的增大。

在本实施方式中，在线锯装置2中用线锯21进行加工时，控制部91也可以每隔预先规定的时间断续地进行导出运转以及导入运转。通过此种每隔预先规定的时间定期地进行导出运转以及导入运转这一比较简单的控制，能够管理为不让线锯罐22内的冷却剂中的切削屑浓度达到规定浓度以上。

所述预先规定的时间并不特别限定。此外，每一次导出运转中从线锯罐22导出的冷却剂的导出量(贮存到原液罐54的贮存量)并不特别限定。另外，每一次导入运转中导入到线锯罐22内的冷却剂的导入量(贮存在再生液罐84的贮存量)并不特别限定。

所述预先规定的时间以及每一次的导出量以及导入量例如根据线锯罐22内的冷却剂的所允许的切削屑浓度的上限值、加工对象的脆性材料的尺寸(厚度、宽度等)、加工尺寸等而适当调节。举出具体例，断续的运转中的所述预先规定的时间例如能够在1分钟至20分钟的范围设定。此外，断续的运转中的每一次的导出量以及导入量可分别在例如1L至20L的范围设定。

例如，脆性材料的加工尺寸(例如加工后的晶片厚度)越薄，则切削屑浓度越上升，因此，优选将所述预先规定的时间设定为较小的值。此外，加工对象的脆性材料的尺寸(厚度、宽度等)越大，则切削屑浓度越上升，因此，优选将所述预先规定的时间设定为较小的值。另外，优选：线锯罐22内的冷却剂的所允许的切削屑浓度的上限值越小，则将所述预先规定的时间设定为越小的值。

举出具体例，在线锯罐22的容量为250L的情况下，例如能够设定为每隔7分钟进行导出运转和导入运转，且每一次的冷却剂的导出量以及导入量为7L，但是并不限定于此种具体例。此时，原液罐54的容量以及再生液罐84的容量优选被设计成相同(例如7L)，且优选在每一次的导出运转以及导入运转中抽出以及投入与各自的罐的容量相对应的冷却剂。

在本实施方式中，冷却剂再生装置3具备存储预先规定的多个运转条件的存储部92，控制部91也可以基于从多个运转条件中选择的运转条件断续地进行导出运转以及导入运转。此时，例如根据加工对象的脆性材料(例如晶锭)的尺寸、线锯罐22内的冷却剂的切削屑浓度的所允许的上限值等加工条件等，能够从预先规定的多个设定值选择最适当的设定值。据此，能够进一步适当地管理为不让线锯罐22内的冷却剂的切削屑浓度达到规定浓度以上。

在本实施方式中，冷却剂再生装置3具备受理用户输入的运转条件的输入受理部93，控制部91也可以基于被输入到输入受理部93的运转条件断续地进行导出运转以及导入运转。此时，用户对于多个加工条件的每一个，通过实验、模拟等方法，预先取得适当的运转条件，在实际加工时，通过输入受理部93输入与该加工条件相对应的适当的运转条件。据此，能够适当地管理为不让线锯罐22内的冷却剂的切削屑浓度达到规定浓度以上。

在本实施方式中，控制部91也可以控制导出量调节机构5以及导入量调节机构8，使向导出路径4的冷却剂的导出量与向线锯罐22内的冷却剂的导入量相同。此时，由于被控制为导出量和导入量相同，因此，能够抑制线锯罐22内的冷却剂的贮存量的变动。

在本实施方式中，由于设有检测线锯罐22内的冷却剂的液面高度的传感器26，因此，控制部91基于该传感器26的检测结果，能够进行将线锯罐22内的冷却剂的贮存量维持在适当的范围的控制。据此，能够避免发生从线锯罐22的冷却剂的抽出和向线锯罐22的冷却剂的投入的不平衡。由此，能够防止冷却剂从线锯罐22溢出或线锯罐22内的冷却剂不足。

具体而言，控制部91基于传感器26的检测结果，在接收到表示线锯罐22内的冷却剂的液面高度达到预先规定的上限值的信号的情况下，能够进行停止向线锯罐22内导入冷却剂的控制。此外，控制部91基于传感器26的检测结果，在接收到表示线锯罐22内的冷却剂的液面高度达到预先规定的下限值的信号的情况下，能够进行停止从线锯罐22导出冷却剂的控制。

在本实施方式中，能够通过冷却剂再生装置3自动且稳定地将线锯罐22内的冷却剂中的切削屑浓度维持得低。线锯罐22内的冷却剂中的切削屑浓度的上限值并不特别限定，可根据处理对象液、切削条件等适当设定。可举出如下的控制冷却剂再生装置3的控制例：当加工对象(脆性材料)为例如硅的情况下，切削屑浓度例如为10％以下(即，切削屑浓度的上限值为10％)。但是，切削屑浓度的上限值并不限定于此。

在本实施方式中，导出量调节机构5在原液罐54的上游侧和下游侧具有自动阀51、52，导入量调节机构8在再生液罐84的上游侧和下游侧具有自动阀81、82。因此，例如图3所示，通过适当切换四个自动阀51、52、81、82，能够依次进行如下的原液移送工序、再生液补充工序、原液抽出工序以及再生液投入工序。

原液移送工序是将贮存在原液罐54的冷却剂输送到处理装置的工序。在原液移送工序，控制部91进行将四个自动阀51、52、81、82中的、在导出量调节机构5的比原液罐54位于处理装置6的一侧开闭导出路径4的自动阀52设为打开状态，将其余的自动阀51、81、82设为关闭状态的控制。

再生液补充工序是将贮存在处理装置6(具体而言，处理装置6的再生液槽65)的冷却剂补充到再生液罐84的工序。在再生液补充工序，控制部91进行将四个自动阀51、52、81、82中的、在导入量调节机构8的比再生液罐84位于处理装置6的一侧开闭导入路径7的自动阀81设为打开状态，将其余的自动阀51、52、82设为关闭状态的控制。

原液抽出工序是将贮存在线锯罐22内的冷却剂补充到原液罐54的工序。在原液抽出工序，控制部91进行将四个自动阀51、52、81、82中的、在导出量调节机构5的比原液罐54位于线锯罐22的一侧开闭导出路径4的自动阀51设为打开状态，将其余的自动阀52、81、82设为关闭状态的控制。

再生液投入工序是将贮存在再生液罐84的冷却剂输送到线锯罐22的工序。在再生液投入工序，控制部91进行将四个自动阀51、52、81、82中的、在导入量调节机构8的比再生液罐84位于线锯罐22的一侧开闭导入路径7的自动阀82设为打开状态，将其余的自动阀51、52、81设为关闭状态的控制。

执行原液移送工序、再生液补充工序、原液抽出工序以及再生液投入工序的顺序并不限定于该顺序，能够采用各种顺序。但是，原液抽出工序以及再生液投入工序优选以该顺序执行，据此，能够抑制线锯罐22内的冷却剂溢流。

[实施方式的概括]

在本实施方式中，冷却剂再生装置3具有导出线锯罐22内的冷却剂的导出路径4和将在处理装置6再生的冷却剂导入到线锯罐22的导入路径7。即，在线锯装置2中，在线锯21使用过的冷却剂被回收到线锯罐22后，通过循环路径24再次被供给至线锯21。与该动作并行，线锯罐22内的冷却剂的一部分被导出到导出路径4。该冷却剂在处理装置6再生后，通过导入路径7被导入线锯罐22。在本实施方式中，由导出量调节机构5调节从线锯罐22向导出路径4的冷却剂的导出量，由导入量调节机构8调节通过导入路径7向线锯罐22导入的冷却剂的导入量。因此，如图2所示的本实施方式中，例如在具备如图8所示的结构的线锯装置2中适用如图1及图2所示的冷却剂再生装置3而赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置2的循环机构23，并且自动且稳定地将线锯罐22内的冷却剂中包含的切削屑的浓度维持得低。此外，如果向线锯装置2赋予再生功能，线锯罐22内的切削屑的浓度保持得较低，因此，能够稳定地使用循环机构23。

在本实施方式中，导出量调节机构5包含开闭导出路径4的自动阀和设置在导出路径4的导出泵53。利用自动阀以及导出泵53来调节从线锯罐22导出到导出路径4的冷却剂的导出量。

在本实施方式中，导入量调节机构8包含开闭导入路径7的自动阀和设置在导入路径7的导入泵83。利用自动阀以及导入泵83来调节从导入路径7导入到线锯罐22的冷却剂的导入量。

在本实施方式中，导出量调节机构5包含贮存导出到导出路径4的冷却剂的原液罐54，因此，能够将从线锯罐22导出的冷却剂暂时贮存在原液罐54。据此，能够调节将从线锯罐22导出的冷却剂输送到处理装置6的时机。

在本实施方式中，导出量调节机构5包含检测原液罐54内的冷却剂的液面高度的传感器55。因此，基于传感器55的检测结果，适当地管理原液罐54内的冷却剂的贮存量。

在本实施方式中，导入量调节机构8包含贮存再生的冷却剂的再生液罐84，因此，能够将在处理装置6中再生的冷却剂暂时贮存在再生液罐84。据此，能够调节被再生的冷却剂通过导入路径7被导入到线锯罐22的时机。

在本实施方式中，原液罐54的容量和再生液罐84的容量相同。因此，将与原液罐54的容量相对应的冷却剂从线锯罐22导出，并将与再生液罐84的容量相对应的冷却剂导入到线锯罐22，就能维持线锯罐22内的冷却剂的出入量的平衡。

在本实施方式中，导入量调节机构8包含检测再生液罐84内的冷却剂的液面高度的传感器85。因此，基于传感器85的检测结果，适当地管理再生液罐84内的冷却剂的贮存量。

在本实施方式中，冷却剂再生装置3具备检测线锯罐22内的冷却剂的液面高度的传感器26。因此，能够将线锯罐22内的冷却剂的贮存量维持在适当的范围。

在本实施方式中，在线锯装置2中用线锯21进行加工时，在连续地进行导出运转和导入运转的情况下，从线锯罐22抽出一定量的冷却剂，与此同时，将在处理装置6再生的冷却剂的一定量供给至线锯罐22。据此，能够将线锯罐22内的切削屑浓度抑制得较低，使晶片的质量稳定。

此外，在如图8所示的线锯装置2中，随着硅晶锭的加工的进行，线锯罐22内的冷却剂中的切削屑浓度(淤渣浓度)上升，因此，需要进行将线锯罐22内的冷却剂(切削屑浓度达到一定浓度以上的废弃冷却剂)全部更换的作业。相对于此，在本实施方式中，不需要进行此种冷却剂的更换作业，因此，作业时间大幅度缩短，有助于生产效率的提高。

[变形例]

以上说明了本实用新型的实施方式所涉及的冷却剂再生装置3以及具备该冷却剂再生装置3的线锯系统1，但本实用新型并不限定于实施方式，可在不脱离其主旨的范围进行各种变更、改良等。

图4是表示实施方式的变形例1所涉及的冷却剂再生装置3的自动供给装置10和线锯装置2的概略图。在图4所示的变形例1中，导出量调节机构5的结构和导入量调节机构8的结构不同于图2所示的实施方式，其以外的结构与图2所示的实施方式相同。

如图4所示，变形例1的导出量调节机构5具备导出泵53，而不具备自动阀51、52以及原液罐54。在该变形例1中，控制部91能够通过例如调节导出泵53的运转时间、导出泵53的转速等来调节冷却剂的导出量。变形例1的导入量调节机构8具备导入泵83，而不具备自动阀81、82以及再生液罐84。在该变形例1中，控制部91能够通过例如调节导入泵83的运转时间、导入泵83的转速等来调节冷却剂的导入量。

在图4所示的变形例1中，在例如具有如图8所示的结构的线锯装置2适用图1及图4所示的冷却剂再生装置3来赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置2的循环机构23，并且，能够自动且稳定地将线锯罐22内的冷却剂所含的切削屑的浓度维持得较低。此外，如果对线锯装置2赋予再生功能，则线锯罐22内的切削屑的浓度保持得较低，因此，能够稳定地使用循环机构23。

图5是表示实施方式的变形例2所涉及的冷却剂再生装置3的自动供给装置10和线锯装置2的概略图。在图5所示的变形例2中，导出量调节机构5的结构和导入量调节机构8的结构不同于图2所示的实施方式，其以外的结构与图2所示的实施方式相同。

如图5所示，变形例2的导出量调节机构5具备自动阀51、52以及原液罐54，而不具备导出泵53。此外，变形例2的导入量调节机构8具备自动阀81、82以及再生液罐84，而不具备导入泵83。

在该变形例2中，能够利用例如设置在处理装置6的泵来调节冷却剂的导出量。

此外，在该变形例2中，通过利用例如设置在处理装置6的泵(省略图示)来能够调节冷却剂的导入量。此外，在变形例2中，再生液罐84设置在比线锯罐22高的位置。因此，再生液罐84内的冷却剂也可以基于其冷却剂的自重而通过导入路径7被导入到线锯罐22。在如上所述地利用冷却剂的自重将冷却剂导入到线锯罐22的情况下，也能省略用于导入冷却剂的泵。

在图5所示的变形例2中，在例如具有如图8所示的结构的线锯装置2适用图1及图5所示的冷却剂再生装置3来赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置2的循环机构23，并且，能够自动且稳定地将线锯罐22内的冷却剂所含的切削屑的浓度维持得较低。此外，如果对线锯装置2赋予再生功能，则线锯罐22内的切削屑的浓度保持得较低，因此，能够稳定地使用循环机构23。

图6是表示实施方式的变形例3所涉及的冷却剂再生装置3的自动供给装置10和线锯装置2的概略图。在图6所示的变形例3中，导出路径4的结构和导出量调节机构5的结构不同于图2所示的实施方式，其以外的结构与图2所示的实施方式相同。

如图6所示，在变形例3中，导出路径4的线锯罐22侧的端部(具体而言，上游侧导出路径41的端部)连接于循环路径24中的比循环泵25位于下游侧的部分。

在该变形例3中，如果循环泵25运转，线锯罐22内的冷却剂通过循环路径24流到线锯21侧。并且，控制部91在使线锯罐22内的冷却剂导出到导出路径4的情况下，将自动阀51设为打开状态，使在循环路径24中流动的冷却剂的一部分流入连接于循环路径24的导出路径4。并且，控制部91在利用传感器55检测到原液罐54中的冷却剂的贮存量达到规定的量的情况下，将自动阀51设为关闭状态。据此，在循环路径24流动的冷却剂不流入导出路径4而只流到线锯21侧。

在图6所示的变形例3中，在例如具有如图8所示的结构的线锯装置2适用图1及图6所示的冷却剂再生装置3来赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置2的循环机构23，并且，能够自动且稳定地将线锯罐22内的冷却剂所含的切削屑的浓度维持得较低。此外，如果对线锯装置2赋予再生功能，则线锯罐22内的切削屑的浓度保持得较低，因此，能够稳定地使用循环机构23。

图7是表示实施方式的变形例4所涉及的冷却剂再生装置3的自动供给装置10和线锯装置2的概略图。在图7所示的变形例4中，导出量调节机构5的结构和导入量调节机构8的结构不同于图2所示的实施方式，其以外的结构与图2所示的实施方式相同。

如图7所示，变形例4的导出量调节机构5具备单一的自动阀50以及导出泵53，而不具备原液罐54。在该变形例4中，控制部91例如通过控制自动阀50及导出泵53，能够调节冷却剂的导出量。变形例4的导入量调节机构8具备单一的自动阀80以及导入泵83，而不具备再生液罐84。在该变形例4中，控制部91例如通过控制自动阀80以及导入泵83，能够调节冷却剂的导入量。

在图7所示的变形例4中，在例如具有如图8所示的结构的线锯装置2适用图1及图7所示的冷却剂再生装置3来赋予冷却剂的再生功能时，能够有效地利用线锯装置2的循环机构23，并且，能够自动且稳定地将线锯罐22内的冷却剂所含的切削屑的浓度维持得较低。此外，如果对线锯装置2赋予再生功能，则线锯罐22内的切削屑的浓度保持得较低，因此，能够稳定地使用循环机构23。

Claims (17)

1.一种冷却剂再生装置，使用于线锯装置，该线锯装置具备：线锯；回收在所述线锯使用过的冷却剂的线锯罐；以及使所述线锯罐内的冷却剂返回到所述线锯的循环机构，所述冷却剂再生装置的特征在于包括：

导出路径，导出所述线锯罐内的冷却剂的一部分；

导出量调节机构，调节向所述导出路径导出的冷却剂的导出量；

处理装置，对通过所述导出路径而被导出的冷却剂进行再生；

导入路径，将在所述处理装置被再生的冷却剂导入所述线锯罐；以及

导入量调节机构，调节向所述线锯罐导入的冷却剂的导入量。

2.根据权利要求1所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述导出量调节机构包含暂时贮存通过所述导出路径被导出的冷却剂的原液罐，

所述导入量调节机构包含暂时贮存被再生的冷却剂的再生液罐。

3.根据权利要求2所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述导出量调节机构包含检测所述原液罐内的冷却剂的液面高度的传感器，

所述导入量调节机构包含检测所述再生液罐内的冷却剂的液面高度的传感器。

4.根据权利要求2所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述原液罐的容量与所述再生液罐的容量相同。

5.根据权利要求1所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述导出量调节机构包含开闭所述导出路径的自动阀，

所述导入量调节机构包含开闭所述导入路径的自动阀。

6.根据权利要求2所述的冷却剂再生装置，其特征在于，

所述导出量调节机构包含：与所述原液罐相比在所述线锯罐侧开闭所述导出路径的自动阀；以及与所述原液罐相比在所述处理装置侧开闭所述导出路径的自动阀，

所述导入量调节机构包含：与所述再生液罐相比在所述线锯罐侧开闭所述导入路径的自动阀；以及与所述再生液罐相比在所述处理装置侧开闭所述导入路径的自动阀。

7.根据权利要求1所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述导出量调节机构包含被设置在所述导出路径的导出泵，

所述导入量调节机构包含被设置在所述导入路径的导入泵。

8.根据权利要求1所述的冷却剂再生装置，其特征在于还包括：

传感器，检测所述线锯罐内的冷却剂的液面高度。

9.根据权利要求1所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述循环机构包含：用于使所述线锯罐内的冷却剂返回至所述线锯的循环路径；以及被设置在所述循环路径的循环泵，

所述导出路径的所述线锯罐侧的端部被连接于所述循环路径的与所述循环泵相比位于下游侧的部分。

10.根据权利要求1所述的冷却剂再生装置，其特征在于还包括：

控制部，控制所述导出量调节机构以及所述导入量调节机构，其中，

在使用所述线锯装置中的所述线锯进行加工时，所述控制部连续地或断续地进行从所述线锯罐向所述导出路径导出冷却剂的导出运转和通过所述导入路径向所述线锯罐导入冷却剂的导入运转。

11.根据权利要求10所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述控制部每隔预先规定的时间断续地进行所述导出运转以及所述导入运转。

12.根据权利要求10所述的冷却剂再生装置，其特征在于还包括：

存储部，存储预先规定的多个运转条件，其中，

所述控制部基于从所述多个运转条件中选择的运转条件进行所述导出运转以及所述导入运转。

13.根据权利要求10所述的冷却剂再生装置，其特征在于还包括：

输入受理部，受理用户输入的运转条件，其中，

所述控制部基于被输入到所述输入受理部的所述运转条件进行所述导出运转以及所述导入运转。

14.根据权利要求10所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述控制部控制所述导出量调节机构以及所述导入量调节机构，以使向所述导出路径导出的冷却剂的导出量与向所述导入路径导入的冷却剂的导入量相同。

15.根据权利要求1所述的冷却剂再生装置，其特征在于：

所述处理装置包含用于降低通过所述导出路径被导出的冷却剂中的切削屑浓度而使冷却剂再生的离心分离机和膜分离机。

16.根据权利要求2所述的冷却剂再生装置，其特征在于，所述处理装置包含：

处理组件，用于降低被导出的冷却剂中的切削屑浓度而使冷却剂再生；

原液槽，被设置在所述原液罐与所述处理组件之间的路径；以及

再生液槽，被设置在所述处理组件与所述再生液罐之间的路径，其中，

所述原液罐的容量小于所述原液槽的容量以及所述线锯罐的容量，

所述再生液罐的容量小于所述再生液槽的容量以及所述线锯罐的容量。

17.一种线锯系统，其特征在于包括：

线锯装置，其具有：线锯；回收在所述线锯使用过的冷却剂的线锯罐；以及使所述线锯罐内的冷却剂返回到所述线锯的循环机构；以及

如权利要求1至16中任一项所述的冷却剂再生装置，其导出所述线锯罐内的冷却剂的一部分并对被导出的冷却剂进行再生，将被再生的冷却剂导入所述线锯罐。