CN110561631A - 切割液供给装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种切割液供给装置,包括切割仓、储液罐、抽液器以及连通器。抽液器将储液罐中的切割液供给切割仓中的切割组件。连通器一端与切割仓相连、且端口位于切割仓中切割液液面以下,另一端与储液罐相连、并且端口位于储液罐中切割液液面以下。本发明还公开一种切割液供给方法,利用上述切割液供给装置实现,包括步骤:利用抽液器从储液罐中抽取并供给至切割仓中的切割组件;以及通过连通器将切割仓中的切割液回流至储液罐中。本发明利用连通器将切割仓中下部的切割液回流至储液罐中,泡沫浮于切割液液面,有效阻止了切割仓中的切割泡沫进入储液罐中,同时避免切割液在落入储液罐的过程中因卷入空气、碰撞而产生额外泡沫。
Description
技术领域
本发明属于单晶生长工艺技术领域,具体涉及一种硅棒切片时供给切割液的供给装置,还涉及利用该供给装置的切割液供给方法。
背景技术
随着全球经济的快速发展,人类对能源的需求不断增长,但煤、石油、天然气等化石燃料,正逐渐被耗竭。而作为绿色能源的太阳能正越来越多地被人类所接受和应用,日益受到世界各国的重视并得到大力发展。硅片作为太阳能电池的上游产品,直接影响着电池端的产品质量和成本。因此改进技术措施,提高硅片质量、降低硅片成本具有重要价值和意义。
目前,硅棒切片主要采用金刚线切割。金刚线切割凭借高效、低成本、环保等优点,在光伏硅片切割行业已逐步取代原先的砂浆切割成为主流。金刚线切割主要使用水性切割液,在切片过程中,切割液对切割位置进行清洗和降温,为了降低成本切割液都是循环使用。
切割液在切割过程中会产生切削泡沫,而回收时切割液在落入切割液储液罐过程中会与空气接触、并产生碰撞进而产生额外的切削泡沫,切割液所含泡沫增多会使得崩边等异常增多,影响硅片成品率。同时切割液在回收过程中产生的泡沫,会导致储液罐中液体溢出,影响正常生产。
因此要减少储液罐中的切削泡沫,不仅需要阻止切割时产生的切削泡沫进入储液罐中,同时也要避免切割液在落入储液罐的过程中产生额外的泡沫。
发明内容
本发明提供了一种切割液供给装置,阻止切割过程中产生的切削泡沫进入储液罐,同时避免切割液在落入储液罐的过程中产生额外的泡沫。
本发明还提供一种利用上述供给装置的切割液供给方法。
本发明所采用的一种技术方案是:切割液供给装置,包括切割仓、储液罐以及抽液器,抽液器将所述储液罐中的切割液供给切割仓中的切割组件,还包括至少一个连通器,每个所述连通器一端与切割仓相连、且端口位于切割仓中切割液液面位置以下,另一端与储液罐相连、并且端口位于储液罐中切割液液面以下,切割仓中的切割液通过所述至少一个连通器回收到储液罐中。
进一步地,所述切割仓上设置有与所述连通器相对应的出液口,所述出液口位置均低于所述切割组件所在位置,且出液口与连通器相连通。
更进一步地,所述出液口和连通器为一个或多个,每个连通器均对应连接一个出液口。
更进一步地,所述出液口为一个或多个,所述连通器为多个,所述多个连通器中的一个或多个对应连接一个出液口。
进一步地,所述储液罐上设置有与所述连通器相对应的进液口,所述连通器远离切割仓的一端对应连接于所述进液口,且端口位于储液罐中切割液液面以下。
事例性地,所述进液口开设于储液罐的上端面。
或所述进液口开设于储液罐侧壁下部。
事例性地,所述连通器为管道,所述出液口位于所述切割仓内的最低点。
本发明所采用的另一种技术方案是:切割液供给方法,利用如上所述的切割液供给装置实现,包括步骤:
利用抽液器从储液罐中抽取切割液并供给至切割仓中的切割组件;以及
通过连通器将切割仓中的切割液回流至储液罐中。
优选地,所述连通器从所述切割仓中切割液液面以下抽取切割液,供给至所述储液罐中切割液液面以下。
本发明的切割液供给装置及方法利用抽液器对切割仓中的切割组件供给切割液,同时利用连通器将切割仓中底部的切割液回流至储液罐中,切割泡沫浮于切割液液面,有效阻止了切割仓中的切割泡沫进入储液罐中,同时也避免切割液在落入储液罐的过程中因卷入空气、碰撞而产生额外泡沫。
附图说明
图1是本发明实施例1的一种切割液供给装置结构示意图;
图2是本发明实施例2的一种切割液供给装置结构示意图。
图中,1.储液罐,2.切割仓,3.切割液喷淋管,4.主辊,5.抽液器,6.连通器,7.出液口,8.进液口,9.切割仓进液口。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步描述。
实施例1
本实施例提供一种切割液供给装置,其结构如图1所示,包括切割仓2、储液罐1、抽液器5和连通器6,抽液器5将储液罐1中的切割液通过切割仓进液口9供给到切割仓2中的切削液喷淋管3,通过切割液喷淋管3向切割组件的主辊4喷淋切割液,连通器6一端与切割仓2连通,另一端与储液罐1连通,切割仓2中的切割液通过连通器6供给到储液罐1中,图中箭头所示为切割液流动方向。
本实施例中,抽液器5为电动泵。当然,抽液器5还可以采用气动泵、液压泵等各种装置,只需能够将储液罐1中的切割液抽取供给至切割仓2即可。
具体在本实施例中,切割仓2设置有一个出液口7,出液口7位于切割仓2最低点位置,储液罐1上端面设置有一个进液口8,进液口8位于出液口7下方。连通器6一端连接出液口7,另一端通过进液口8,并且端口位于切割液的液面位置下方。本实施例中,连通器6为管道,但连通器6不限于管道,可以为其他内部含有通道的其他类型装置。优选地,另外,连通器6也可以与切割仓2和/或储液罐1为一体结构。
切割仓2上的出液口7可以设置不止一个,而且出液口7的位置也不限于切割仓2的最低处,还可以设置在切割仓2的其他位置,只需保证出液口7的位置在切割仓2中的切割液液面以下即可。而相对应地,连通器6设置的数量与出液口7相同且其一端分别与出液口7相连;而储液罐1上的进液口8的数量也和连通器6相同并分别与连通器6的另一端相连,只需保证其端口位于切割液的液面位置下方即可。当然,连通器6与出液口7的数量也可以不同。出液口7为一个或多个,连通器6为多个。多个连通器6中的一个或多个对应连接一个出液口7。
实施例2
本实施例提供另一种切割液供给装置,其结构如图2所示,切割仓2设置有一个出液口7,出液口7位于切割仓2最低点位置,储液罐1侧壁下部设置有一个进液口8,进液口8的位置在储液罐1中切割液液面以下的位置,而且进液口8位于出液口7下方。连通器6一端连接出液口7,另一端连接进液口8。本实施例中,连通器6为管道。
实施例3
本实施例提供一种切割液供给方法,利用实施例1或实施例2的切割液供给装置均可实现,至少包括以下步骤:
利用抽液器5将储液罐1中抽取切割液并供给至切割仓2中的切割组件;连通器6从切割仓2中的切割液液面以下抽取切割液。
通过连通器6将切割仓2中的切割液回流至储液罐1中。具体地,切割液回流至储液罐1中切割液液面以下。
本发明提供的切割液供给装置及方法,切割液经切割仓2最低点位置处的出液口7通过连通器6流通到储液罐1过程中,切割液中的泡沫由于浮力上升,被连通器6中的切割液封锁在切割仓中,阻止了切割仓2中的切割液泡沫进入储液罐1中。同时切割液由连通器6导流到储液罐1中,避免了与空气接触及减小了液体间的相互碰撞,因此也减少了额外的泡沫产生。
Claims (10)
1.切割液供给装置,其特征在于,包括切割仓、储液罐以及抽液器,抽液器将所述储液罐中的切割液供给切割仓中的切割组件,还包括至少一个连通器,每个所述连通器一端与切割仓相连、且端口位于切割仓中切割液液面位置以下,另一端与储液罐相连、并且端口位于储液罐中切割液液面以下,切割仓中的切割液通过所述至少一个连通器回收到储液罐中。
2.根据权利要求1所述的切割液供给装置,其特征在于,所述切割仓上设置有与所述连通器相对应的出液口,所述出液口位置均低于所述切割组件所在位置,且出液口与连通器相连通。
3.根据权利要求2所述的切割液供给装置,其特征在于,所述出液口和连通器为一个或多个,每个连通器均对应连接一个出液口。
4.根据权利要求2所述的切割液供给装置,其特征在于,所述出液口为一个或多个,所述连通器为多个,所述多个连通器中的一个或多个对应连接一个出液口。
5.根据权利要求1所述的切割液供给装置,其特征在于,所述储液罐上设置有与所述连通器相对应的进液口,所述连通器远离切割仓的一端对应连接于所述进液口,且端口位于储液罐中切割液液面以下。
6.根据权利要求5所述的切割液供给装置,其特征在于,所述进液口开设于储液罐的上端面。
7.根据权利要求5所述的切割液供给装置,其特征在于,所述进液口开设于储液罐侧壁下部。
8.根据权利要求1-7任一项所述的切割液供给装置,其特征在于,所述连通器为管道,所述出液口位于所述切割仓内的最低点。
9.切割液供给方法,其特征在于,利用如权利要求1-8中任一项所述的切割液供给装置实现,包括步骤:
利用抽液器从储液罐中抽取切割液并供给至切割仓中的切割组件;以及
通过连通器将切割仓中的切割液回流至储液罐中。
10.如权利要求9所述的切割液供给方法,其特征在于,所述连通器从所述切割仓中切割液液面以下抽取切割液,供给至所述储液罐中切割液液面以下。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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