CN105252658B - 一种太阳能硅片切割方法 - Google Patents
一种太阳能硅片切割方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105252658B CN105252658B CN201510714769.4A CN201510714769A CN105252658B CN 105252658 B CN105252658 B CN 105252658B CN 201510714769 A CN201510714769 A CN 201510714769A CN 105252658 B CN105252658 B CN 105252658B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cutting
- mortar
- liquid
- silicon carbide
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 145
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 105
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 99
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 99
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 60
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 claims abstract description 88
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 84
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 82
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 63
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 30
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims abstract description 30
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 11
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 11
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 claims description 93
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 66
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 23
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 9
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 8
- 238000004042 decolorization Methods 0.000 claims description 6
- 230000008676 import Effects 0.000 claims description 6
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 claims description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 5
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 5
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 5
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 4
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 claims description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 3
- XJKVPKYVPCWHFO-UHFFFAOYSA-N silicon;hydrate Chemical compound O.[Si] XJKVPKYVPCWHFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910001338 liquidmetal Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 abstract description 12
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 abstract description 4
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 abstract description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 9
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000004064 recycling Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000003283 Pachira macrocarpa Nutrition 0.000 description 2
- 241001083492 Trapa Species 0.000 description 2
- 235000014364 Trapa natans Nutrition 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 235000009165 saligot Nutrition 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003763 carbonization Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
本发明提供一种太阳能硅片切割方法，包括以下步骤，A.切割钢线通过高速运动，硅棒从上至下运动对切割钢线产生压力；B．切割过程中掉落的切割砂浆，通过喷嘴继续喷射到切割钢线上；C.待硅棒切割完毕，将砂浆槽内的切割砂浆先导入到超声振荡器再通过离心机，分离出回收碳化硅和分离液；D.再将分离液经压滤机分离；活性炭脱色；助滤剂过滤；树脂交换；蒸发脱水，得到回收切割液。本发明的有益效果在于：通过对硅片切割方法的改变有效降低硅片加工过程中的砂浆用量，从而降低硅片加工成本，却不降低硅片合格率，回收利用废砂浆，降低硅片加工成本，使硅片合格率波动值减小了4.5%。
Description
技术领域
本发明涉及一种不仅能有效的降低硅片加工过程中的砂浆用量，还使硅片合格率波动值大幅减小的太阳能硅片切割方法。
背景技术
随着近几年光伏产业的发展，太阳能级多晶硅片已经成为各大光伏公司争相争夺的上游资源，单晶,多晶硅片的切片生产成本己成了影响光伏产业的首要环节。生产单晶,多晶硅片所必需的切割砂浆用量因此也得到了迅速增加。
光伏用太阳能硅片切割一般是使用硬度高、粒度小且粒径分布集中的碳化硅微粉作为主要切削介质。将碳化硅微粉按照一定比例加入到切割液中，并使其充分分散，配制成均匀稳定的切割砂浆，用于硅片切割。使用碳化硅微粉作为介质在太阳能硅片线切割的机理是利用切割刚线的高速运动，带动碳化硅微粉颗粒持续快速冲击硅棒表面，利用碳化硅颗粒的坚硬特性和锋利菱角将硅棒逐步截断，这一过程会伴随着较大的摩擦热释放，因此，切割砂浆需具备对碳化硅颗粒有良好的分散性，并且能带走切割过程中所产生的大量热量。其中，切片后的废切割砂浆的组成中除了加入的碳化硅颗粒，还包含了大量的在切割过程中产生的细小硅粉与由于碰撞和摩擦而产生的碳化硅破碎颗粒以及切割钢线在摩擦过程中脱落下来的铜和铁细屑。在砂浆中的这些固体颗粒会对硅片表面的产生机械损伤，因此回收砂浆继续利用时需要尽量除去回收砂浆中的各种杂质。
在太阳能硅片线切割过程中，通常是将碳化硅微粉按一定比例加入到切割液中，并充分分散，配置成均匀稳定的切割砂浆后再用于硅片切割，利用碳化硅颗粒的坚硬特性和锋利菱角将硅棒切断成片。切割砂浆的标准含水量是在0.5％以下，切割液中的聚乙二醇(PEG)在切割过程中易吸水，导致切割2次后的砂浆含水量会上升至3％左右；而SiC分散在砂浆中是基于亲水的PEG通过氢键吸附在SiC表面，砂浆含水量上升后，由于水分子的氢键比PEG的氢键活性更强，SiC表面的PEG的吸附量会大大减少，导致被水吸附的SiC容易沉降，砂浆分散效果变差，从而影响切割硅片的良品率。
发明内容
本发明针对以上问题，提供一种不仅能有效的降低硅片加工过程中的砂浆用量，还使硅片合格率波动值大幅减小的太阳能硅片切割方法。
本发明的发明目的通过以下方案实现：一种太阳能硅片切割方法，包括以下步骤，
A.切割钢线通过高速运动，使附着在切割钢线上的切割砂浆以平稳的切割力场作用于待切割的硅棒的下表面，硅棒从上至下运动对切割钢线产生压力；
B．切割过程中掉落的切割砂浆，由切割钢线下方的砂浆槽回收，并且搅拌继续泵给喷嘴，通过喷嘴继续喷射到切割钢线上；
C.待硅棒切割完毕，将砂浆槽内的切割砂浆先导入到超声振荡器再通过离心机，分离出回收碳化硅和分离液；
D.再将分离液经压滤机分离；活性炭脱色；助滤剂过滤；树脂交换；蒸发脱水，得到回收切割液；
E.将C步骤中的回收碳化硅和D步骤中的回收切割液还有原生碳化硅和原生切割液导入搅拌机中均匀搅拌；
F.将搅拌完成后得到的切割砂浆，导入砂浆槽。
进一步地，A步骤中切割钢线在导线轮上环绕成密布的切割钢线网，切割砂浆通过对准切割钢线网的喷嘴喷射附着在切割钢线上。
进一步地，B步骤中的搅拌过程中，搅拌片上带有强磁。
进一步地，C步骤中将砂浆槽内的切割砂浆先导入超声振荡器，超声振荡器的超声频率为28-40KHz，再经过离心机，离心机的转速控制在500～1000转/分钟，分离出回收碳化硅和分离液。
进一步地，回收碳化硅再注入水，搅拌后再次导入超声振荡器，超声振荡器的超声频率为35-40KHz，再经过离心机，离心机的转速控制在1200～1500转/分钟，使回收碳化硅和水分离。
进一步地，D步骤中分离液经压滤机分离，压滤机的压力为0.6-0.8Mpa，得到硅粉及液体，在液体内添加活性炭然后充分搅拌进行脱色处理，活性碳:半成品切割液的重量比为5.3-6.3:1000；对脱色后的液体通过助滤剂进行过滤；对过滤后的液体进行树脂交换，将液体中的金属液态离子分离出来；树脂交换后的液体进行蒸发脱水，得到回收切割液；
进一步地，液体通过助滤剂进行过滤时，先将助滤剂涂抹在过滤机的腔体内周面上，在过滤机的内周面上形成助滤膜，再将液体流过，对液体进行过滤；液体进行蒸发脱水时，在真空状态下进行，压力为0.09-0.1MPa，温度为65度-70度，蒸汽压力为：0.1Mpa。
进一步地，E步骤中原生碳化硅和回收碳化硅的质量比为4:6-0:10，通过添加原生切割液和回收切割液，原生切割液和回收切割液质量比为1:1-3:7，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
进一步地，E步骤中原生碳化硅和回收碳化硅的质量和比原生切割液和回收切割液的质量和为48-55:45-52。
进一步地，E步骤原生碳化硅和回收碳化硅的质量比通过泵入搅拌器的速度调节，原生切割液和回收切割液质量比通过泵入搅拌器的速度调节。
本发明的有益效果在于：通过对硅片切割方法的改变有效降低硅片加工过程中的砂浆用量，从而降低硅片加工成本，却不降低硅片合格率，回收利用废砂浆，降低硅片加工成本，使硅片合格率波动值减小了4.5%。
具体实施方式
以下结合具体实施例对本发明作进一步说明：
实施例1，本发明的一种太阳能硅片切割方法，包括以下步骤，
A.切割钢线通过高速运动，使附着在切割钢线上的切割砂浆以平稳的切割力场作用于待切割的硅棒的下表面，硅棒从上至下运动对切割钢线产生压力；
B．切割过程中掉落的切割砂浆，由切割钢线下方的砂浆槽回收，并且搅拌继续泵给喷嘴，通过喷嘴继续喷射到切割钢线上；
C.待硅棒切割完毕，将砂浆槽内的切割砂浆先导入到超声振荡器再通过离心机，分离出回收碳化硅和分离液；
D.再将分离液经压滤机分离；活性炭脱色；助滤剂过滤；树脂交换；蒸发脱水，得到回收切割液；
E.将C步骤中的回收碳化硅和D步骤中的回收切割液还有原生碳化硅和原生切割液导入搅拌机中均匀搅拌；
F.将搅拌完成后得到的切割砂浆，导入砂浆槽。
一种太阳能硅片切割方法，A步骤中切割钢线在导线轮上环绕成密布的切割钢线网，切割砂浆通过对准切割钢线网的喷嘴喷射附着在切割钢线上。
一种太阳能硅片切割方法，B步骤中的搅拌过程中，搅拌片上带有强磁。
一种太阳能硅片切割方法，C步骤中将砂浆槽内的切割砂浆先导入超声振荡器，超声振荡器的超声频率为28-40KHz，再经过离心机，离心机的转速控制在500～1000转/分钟，分离出回收碳化硅和分离液。
一种太阳能硅片切割方法，回收碳化硅再注入水，搅拌后再次导入超声振荡器，超声振荡器的超声频率为35-40KHz，再经过离心机，离心机的转速控制在1200～1500转/分钟，使回收碳化硅和水分离。
一种太阳能硅片切割方法，D步骤中分离液经压滤机分离，压滤机的压力为0.6-0.8Mpa，得到硅粉及液体；在液体内添加活性炭然后充分搅拌进行脱色处理，活性碳:半成品切割液的重量比为5.3-6.3:1000；对脱色后的液体通过助滤剂进行过滤；对过滤后的液体进行树脂交换，将液体中的金属液态离子分离出来；树脂交换后的液体进行蒸发脱水，得到回收切割液。
一种太阳能硅片切割方法，在装载硅棒的工作台上固定气动振动器，气动振动器带动工作台产生周期性的上下方向的相对振动，进而使由工作台装载的硅棒产生周期性的上下方向的相对振动，硅棒相对振动的振幅为0.5um～6um,相对振动的频率为30Hz～80Hz。
一种太阳能硅片切割方法，所述气动振动器通过调节所述压缩气体的流量以及气压来控制所述硅棒周期性的上下方向的相对振动的振幅及相对振动的频率。
一种太阳能硅片切割方法，液体通过助滤剂进行过滤时，先将助滤剂涂抹在过滤机的腔体内周面上，在过滤机的内周面上形成助滤膜，再将液体流过，对液体进行过滤；液体进行蒸发脱水时，在真空状态下进行，压力为0.09-0.1MPa，温度为65度-70度，蒸汽压力为：0.1Mpa。
一种太阳能硅片切割方法，E步骤中原生碳化硅和回收碳化硅的质量比为4:6-0:10，通过添加原生切割液和回收切割液，原生切割液和回收切割液质量比为1:1-3:7，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
一种太阳能硅片切割方法，E步骤中原生碳化硅和回收碳化硅的质量和比原生切割液和回收切割液的质量和为48-55:45-52。
一种太阳能硅片切割方法，E步骤原生碳化硅和回收碳化硅的质量比通过泵入搅拌器的速度调节，原生切割液和回收切割液质量比通过泵入搅拌器的速度调节。
一种太阳能硅片切割方法，E步骤中先将原生碳化硅、回收碳化硅、原生切割液和回收切割液的30%-50%加入到搅拌机内，以25-35r/min的转速持续搅拌1小时后,再将原生碳化硅、回收碳化硅、原生切割液和回收切割液的20%-40%加入到搅拌机内，以30-40r/min的转速持续搅拌1小时后，然后将剩余的原生碳化硅、回收碳化硅、原生切割液和回收切割液加入搅拌机内，以40-45r/min的转速持续搅拌1小时，导出成品砂浆。不仅能够对砂浆充分搅拌混合均匀，还有效降低了搅拌时间，且不影响砂浆的搅拌质量。
一种太阳能硅片切割方法，所述回收碳化硅包含使用一次的回收碳化硅和使用多次的回收碳化硅。
一种太阳能硅片切割方法，所述回收切割液包含使用一次的回收切割液和使用多次的回收切割液。
一种太阳能硅片切割方法，使用一次的废砂浆回收时，先经过超声振荡器，超声振荡器的超声频率为28-35KHz再经过离心机，离心机的转速控制在800～1000转/分钟，分离出使用一次的回收碳化硅和使用一次的回收液体。
一种太阳能硅片切割方法，使用多次的废砂浆回收时，先经过超声振荡器，超声振荡器的超声频率为32-40KHz再经过离心机，离心机的转速控制在500-600转/分钟，分离出使用多次的回收碳化硅和使用多次的回收液体。
一种太阳能硅片切割方法，使用一次的回收液体经压滤机分离，得到硅粉及半成品切割液，将半成品切割液内添加活性炭然后充分搅拌进行脱色处理；对脱色后的半成品切割液通过助滤剂进行过滤；对过滤后的半成品切割液进行树脂交换，将半成品切割液中的金属液态离子分离出来；树脂交换后的半成品切割液进行蒸发脱水，得到使用一次的回收切割液；压滤机的压力为0.6MPa；活性碳:半成品切割液=5.3:1000，按重量比计；半成品切割液进行蒸发脱水，在真空状态下进行，压力为0.09MPa，温度为65度，蒸汽压力为：0.1MPa；半成品切割液通过助滤剂进行过滤时，先将助滤剂涂抹在过滤机的腔体内周面上，在过滤机的内周面上形成助滤膜，再将半成品切割液流过，对半成品切割液进行过滤。
一种太阳能硅片切割方法，使用多次的回收液体经压滤机分离，得到硅粉及半成品切割液，将半成品切割液内添加活性炭然后充分搅拌进行脱色处理；对脱色后的半成品切割液通过助滤剂进行过滤；对过滤后的半成品切割液进行树脂交换，将半成品切割液中的金属液态离子分离出来；树脂交换后的半成品切割液进行蒸发脱水，得到使用多次的回收切割液；压滤机的压力为0.8MPa；活性碳:半成品切割液=6.3:1000，按重量比计；半成品切割液进行蒸发脱水，在真空状态下进行，压力为0.1MPa，温度为70度，蒸汽压力为：0.1MPa；半成品切割液通过助滤剂进行过滤时，先将助滤剂涂抹在过滤机的腔体内周面上，在过滤机的内周面上形成助滤膜，再将半成品切割液流过，对半成品切割液进行过滤。通过该方法加工的切割液利用率高，提高硅片质量和生产效率，实现切割硅片合格率达98%以上，不仅提高了企业经济效益，同时减少了聚乙二醇、碳化硅带来的污染，大大降低了CO的排放量，保护了环境资源。
一种太阳能硅片切割方法，对使用一次的废砂浆和使用多次的废砂浆进行合理分离，有效提高回收碳化硅和回收切割液的利用率，充分利用，不浪费资源；由于能将废砂浆回收并利用，可降低生产成本，且因废液量的减少，有利于环境保护。
一种太阳能硅片切割方法，废砂浆经过超声振荡器后，先经过搅拌机，强磁层设在搅拌机内，再进入到离心机中，将砂浆中的金属粉有效除去，提高砂浆的质量，通过搅拌机内搅拌叶充分搅拌导致废砂浆内金属粉有效被强磁层吸附。
一种太阳能硅片切割方法，原生碳化硅和使用一次的回收碳化硅的质量比为1:9-0:10，通过添加原生切割液和回收切割液，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1，利用只使用一次的回收碳化硅的物品质量，有效原生碳化硅的使用量，降低成本。
一种太阳能硅片切割方法，原生碳化硅和使用多次的回收碳化硅的质量比为4:6-2:8，通过添加原生切割液和回收切割液，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1，通过将使用多次的回收碳化硅和原生碳化硅结合配成的砂浆的使用效果能够达到切割砂浆的要求，降低成本。
一种太阳能硅片切割方法，使用多次的回收切割液中添加非离子表面活性剂，非离子表面活性剂与回收切割液中的重量百分比为1.1％-1.5％，通过将使用多次的回收切割液和原生切割液结合配成的砂浆的使用效果能够达到切割砂浆的要求，降低成本。
一种太阳能硅片切割方法，原生切割液和回收切割液的添加质量比为1:1-3:7。
一种太阳能硅片切割方法，原生切割液和使用一次回收切割液的添加质量比为1:1-2:8。
一种太阳能硅片切割方法，原生切割液和使用多次回收切割液的添加质量比为2:8-3:7。
一种太阳能硅片切割方法，离心机为立式离心分离机、卧式离心分离机、沉降分离器或水力分离器。
一种太阳能硅片切割方法，超声振荡器的容积为200-300L，超声频率为28-40KHz，功率密度为0.4-0.5W/cm2。
实施例2，一种太阳能硅片切割方法，切割砂浆包括原生碳化硅、回收碳化硅、原生切割液和回收切割液，原生碳化硅和回收碳化硅的质量比为4:6-0:10，通过添加原生切割液和回收切割液的添加质量比为1:1-3:7，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
实施例3，一种太阳能硅片切割砂浆，原生碳化硅和使用一次的回收碳化硅的质量比为1:9-0:10，添加原生切割液和使用一次回收切割液的添加质量比为1:1-2:8，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
实施例4，一种太阳能硅片切割砂浆，原生碳化硅和使用一次的回收碳化硅的质量比为1:9-0:10，添加原生切割液和使用多次回收切割液的添加质量比为2:8-3:7，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
实施例5，一种太阳能硅片切割砂浆，原生碳化硅和使用多次的回收碳化硅的质量比为4:6-2:8，添加原生切割液和使用一次回收切割液的添加质量比为1:1-2:8，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
实施例6，一种太阳能硅片切割砂浆，原生碳化硅和使用多次的回收碳化硅的质量比为4:6-2:8，添加原生切割液和使用多次回收切割液的添加质量比为2:8-3:7，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
实施例7，一种太阳能硅片切割砂浆，原生碳化硅和使用多次的回收碳化硅的质量比为4:6，添加原生切割液，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
一种太阳能硅片切割方法，每平方米切割面积的硅片的砂浆用量为4.2-4.8kg。有效控制砂浆使用量，不会因砂浆的使用量减少而影响硅片切割质量，也不会因砂浆的使用量增加而导致砂浆的浪费。
一种太阳能硅片切割方法，每平方米切割面积的硅片的砂浆用量为4.2-4.8kg。
虽然本发明已通过参考优选的实施例进行了描述，但是，本领域普通技术人员应当了解，可以不限于上述实施例的描述，在权利要求书的范围内，可作出形式和细节上的各种变化。
Claims (8)
1.一种太阳能硅片切割方法，其特征在于：包括以下步骤，
A.切割钢线通过高速运动，使附着在切割钢线上的切割砂浆以平稳的切割力场作用于待切割的硅棒的下表面，硅棒从上至下运动对切割钢线产生压力；
B．切割过程中掉落的切割砂浆，由切割钢线下方的砂浆槽回收，并且搅拌继续泵给喷嘴，通过喷嘴继续喷射到切割钢线上；
C.待硅棒切割完毕，将砂浆槽内的切割砂浆先导入超声振荡器，超声振荡器的超声频率为28-40KHz，再经过离心机，离心机的转速控制在500～1000转/分钟，分离出回收碳化硅和分离液；回收碳化硅再注入水，搅拌后再次导入超声振荡器，超声振荡器的超声频率为35-40KHz，再经过离心机，离心机的转速控制在1200～1500转/分钟，使回收碳化硅和水分离；
D.再将分离液经压滤机分离；活性炭脱色；助滤剂过滤；树脂交换；蒸发脱水，得到回收切割液；
E.将C步骤中的回收碳化硅和D步骤中的回收切割液还有原生碳化硅和原生切割液导入搅拌机中均匀搅拌；
F.将搅拌完成后得到的切割砂浆，导入砂浆槽。
2.根据权利要求1 所述的太阳能硅片切割方法，其特征在于：A步骤中切割钢线在导线轮上环绕成密布的切割钢线网，切割砂浆通过对准切割钢线网的喷嘴喷射附着在切割钢线上。
3.根据权利要求1 所述的太阳能硅片切割方法，其特征在于：B步骤中的搅拌过程中，搅拌片上带有强磁。
4.根据权利要求1 所述的太阳能硅片切割方法，其特征在于：D步骤中分离液经压滤机分离，压滤机的压力为0.6-0.8Mpa，得到硅粉及液体，在液体内添加活性炭然后充分搅拌进行脱色处理，活性碳:半成品切割液的重量比为5.3-6.3:1000；对脱色后的液体通过助滤剂进行过滤；对过滤后的液体进行树脂交换，将液体中的金属液态离子分离出来；树脂交换后的液体进行蒸发脱水，得到回收切割液。
5.根据权利要求4所述的太阳能硅片切割方法，其特征在于：液体通过助滤剂进行过滤时，先将助滤剂涂抹在过滤机的腔体内周面上，在过滤机的内周面上形成助滤膜，再将液体流过，对液体进行过滤；液体进行蒸发脱水时，在真空状态下进行，压力为0.09-0.1MPa，温度为65度-70度，蒸汽压力为：0.1Mpa。
6.根据权利要求1 所述的太阳能硅片切割方法，其特征在于：E步骤中原生碳化硅和回收碳化硅的质量比为4:6-0:10，通过添加原生切割液和回收切割液，原生切割液和回收切割液质量比为1:1-3:7，使砂浆密度达到1.625-1.635kg·L-1。
7.根据权利要求1 所述的太阳能硅片切割方法，其特征在于：E步骤中原生碳化硅和回收碳化硅的质量和比原生切割液和回收切割液的质量和为48-55:45-52。
8.根据权利要求1 所述的太阳能硅片切割方法，其特征在于：E步骤原生碳化硅和回收碳化硅的质量比通过泵入搅拌器的速度调节，原生切割液和回收切割液质量比通过泵入搅拌器的速度调节。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510714769.4A CN105252658B (zh) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 一种太阳能硅片切割方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510714769.4A CN105252658B (zh) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 一种太阳能硅片切割方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105252658A CN105252658A (zh) | 2016-01-20 |
| CN105252658B true CN105252658B (zh) | 2017-02-01 |
Family
ID=55092738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510714769.4A Expired - Fee Related CN105252658B (zh) | 2015-10-29 | 2015-10-29 | 一种太阳能硅片切割方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105252658B (zh) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105818287B (zh) * | 2016-05-31 | 2017-11-10 | 上海纳晶科技有限公司 | 一种批量化制备高纯亚微米水合硅和硅微粒的方法 |
| CN106737218A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-31 | 江苏奥明能源有限公司 | 低成本的硅片切割方法 |
| CN106944689A (zh) * | 2017-04-07 | 2017-07-14 | 苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司 | 一种多线切割机的离心过滤机构 |
| CN111015988A (zh) * | 2019-12-25 | 2020-04-17 | 无锡荣能半导体材料有限公司 | 一种硅片切割冷却浆液再利用的方法 |
| CN111921669A (zh) * | 2020-06-24 | 2020-11-13 | 青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司 | 一种光伏组件中硅的回收方法 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103085184A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 江苏阳帆机电设备制造有限公司 | 砂浆回收装置 |
| JP3187466U (ja) * | 2013-07-22 | 2013-11-28 | 株式会社クラレ | スラリー再生装置 |
| CN203527671U (zh) * | 2013-10-29 | 2014-04-09 | 英利能源（中国）有限公司 | 一种硅锭切割装置 |
| CN203863860U (zh) * | 2014-05-08 | 2014-10-08 | 常州有则科技有限公司 | 热循环砂浆在线回收机 |
| CN104972570A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-10-14 | 阳光硅峰电子科技有限公司 | 一种多晶硅片的制作工艺 |
-
2015
- 2015-10-29 CN CN201510714769.4A patent/CN105252658B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103085184A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 江苏阳帆机电设备制造有限公司 | 砂浆回收装置 |
| JP3187466U (ja) * | 2013-07-22 | 2013-11-28 | 株式会社クラレ | スラリー再生装置 |
| CN203527671U (zh) * | 2013-10-29 | 2014-04-09 | 英利能源（中国）有限公司 | 一种硅锭切割装置 |
| CN203863860U (zh) * | 2014-05-08 | 2014-10-08 | 常州有则科技有限公司 | 热循环砂浆在线回收机 |
| CN104972570A (zh) * | 2015-05-29 | 2015-10-14 | 阳光硅峰电子科技有限公司 | 一种多晶硅片的制作工艺 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 超薄硅片切割液特性及废砂浆的资源化研究;丁蕾;《中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技I辑》;20120715(第7期);正文第25页 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105252658A (zh) | 2016-01-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105252658B (zh) | 一种太阳能硅片切割方法 | |
| JP7291968B2 (ja) | 水素製造装置、水素製造方法、及び水素製造用シリコン微細粒子の製造方法 | |
| CN101528597B (zh) | 硅回收装置和回收硅的方法 | |
| CN104176737B (zh) | 一种从切割废砂浆中回收硅粉的方法 | |
| JP5474523B2 (ja) | 精製シリコン含有粉末回収方法 | |
| WO2014000501A1 (zh) | 从费托合成产品中回收贵金属催化剂的组合过滤工艺 | |
| CN106882795B (zh) | 一种规模化超声剥离制备石墨烯的方法及石墨烯的应用 | |
| JP2012115758A (ja) | シリコン切削廃液の処理方法 | |
| CN107716002A (zh) | 一种纯剪切球磨与超声协同制备六方氮化硼纳米片的装置和方法 | |
| CN110386597B (zh) | 规模化生产薄层石墨烯设备及规模化生产薄层石墨烯方法 | |
| CN103350996B (zh) | 从液态树脂中回收金刚石的方法 | |
| CN102502624B (zh) | 用于捕获co2的球状活性炭的制备方法 | |
| CN102923706B (zh) | 一种提高分散性的碳化硅微粉的制备方法 | |
| CN102352281B (zh) | 一种硅片切割废砂浆中回收聚乙二醇和碳化硅颗粒的方法 | |
| CN110215896A (zh) | 一种多孔硅球支载的锂吸附树脂及其制备方法 | |
| KR101250376B1 (ko) | 원심분리 및 멤브레인을 이용한 태양전지용 웨이퍼 폐슬러리의 고효율 재생방법 및 재생시스템 | |
| CN102285653B (zh) | 一种碳化硅微粉除碳杂质的方法 | |
| CN108394903B (zh) | 一种纳米级碳化硅微粉的制备方法 | |
| CN105174266A (zh) | 一种多晶硅和单晶硅线切割废料中杂质铁的去除方法 | |
| CN104194910B (zh) | 晶硅片切割液的固液分离方法 | |
| CN108573855A (zh) | 半导体8寸晶元薄膜制程的TD/DRM工艺的Al/Al2O3件的再生方法 | |
| US20130272945A1 (en) | Method for Producing Silicon Chloride from Silicon Sludge | |
| CN205046080U (zh) | 一种太阳能硅片切割废砂浆回收处理装置 | |
| CN106966396A (zh) | 一种用于分离硅与碳化硅的重液及硅与碳化硅的分离方法 | |
| CN102925276B (zh) | 一种浆料的回收方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20170201 Termination date: 20201029 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |