CN203003624U - 一种用于双面精磨抛光机床的水平调整机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于双面精磨抛光机床的水平调整机构，主要用于双面精磨抛光机床的水平调整机构。主要技术方案是：A、外定位套与内定位套配合面之间，构成精密回转液压轴系，主轴与内定位套配合面之间构成液体静压柱形滑轨；B、三根均布的调节螺杆同螺母与调节支承盘、调节螺套配合连接，在主轴的下端，安装一个下轴承座和轴承，下轴承座与连接盘连接，连接盘依次与静压轴承盘、上磨削盘固定为一体。本实用新型试用证明：所加工的光学元件从根本上消除了平面度和平行度不符合要求的现象，达到保证精度质量，提高生产效率，完全适应大批量生产的需求。

Description

一种用于双面精磨抛光机床的水平调整机构

技术领域

本实用新型属于一种机械设备机构，主要用于加工各种光学元件、陶瓷元件的双面精磨抛光机床的水平调整机构。也可用于类似机床的水平调整机构。

背景技术

在光电行业中，大量的较大晶体基片和光学平板需要进行平面的精磨和抛光加工。随着科学技术的不断发展，光电行业中面板和基片的面积要求越来越大，厚度要求越来越薄，平面度、表面粗糙度及两平面之间的平行度要求越来越高，这就对一些高精度的平面加工设备提出了新的要求。现有的光学平面双面精磨和抛光加工设备，多数采用下磨削盘为主动转动盘，上磨削盘为从动转动的加工方法。加工过程中，上磨削盘由自重加压、气缸施加正压或负压。其基本结构有两种:第一种，上盘与主轴之间采用两个精密推力球轴承联接，加工时，由于上下磨削盘之间存在平行度误差，支承的横梁受钢性的影响，也会使上下磨削盘之间产生一定的夹角，样，磨削好的光学元件的平行度要求就难以保证，在磨削过程中，设备还会产生一定的振动。第二种，上盘与主轴之间采用一个精密调心球轴承联接，加工时，由于上磨削盘存在一定的崴动，磨削好的光学元件的平行度要求存在一定误差，完工零件两平面之间的平行度一般在0.01μm，对于薄形零件，还会有一定的翘曲度难以削除。这两种结构的双面精磨抛光机床均存在技术精度难以保证，生产效率低下，不适应大批量生产的需求。

发明内容

本实用新型的主要任务和目的是，根据现有双面精磨抛光机床在生产中存在的缺陷，设计一种新的上磨削盘水平调整机构，该机构配备机床使用，可使所加工的光学元件从根本上消除技术指标不符合要求的现象，达到保障技术质量，提高生产效率，适应大批量生产的需求。

本实用新型的主要技术方案：水平调整机构由支架、上轴承座、主轴箱、传动齿轮、密封圈压环、外定位套、内定位套、螺钉、调节支承盘、调节螺套、分油盘、下轴承座、静压轴承盘、上磨削盘、双列向心球面轴承、螺母、调节螺杆、缓冲弹簧、旋转四氟Y型密封圈、主轴、管子、液压油、橡胶骨架油封、双列向心球面滚子轴承、定位轴及压紧螺母组成，具体结构：A、外定位套装入主轴箱内，在下端用螺钉固紧，外定位套与内定位套配合，配合面之间构成精密回转液压轴系，两端面用旋转四氟Y型密封圈密封，分别用外密封圈压环对上端和下端进行固定，防止工作时液压油溢出，以保证密封腔内油压稳定，主轴装入内定位套孔内，主轴的上部装配有传动齿轮，再装配上轴承座，上轴承座下端装有橡胶骨架油封，上轴承座内装有双列向心球面滚子轴承，双列向心球面滚子轴承的内孔与主轴相配合，主轴的上端，同轴安装一个定位轴，通过螺钉固定在上轴承座上，定位轴穿过支架用螺母固紧，支架通过螺钉固定在主轴箱上，主轴与内定位套的孔配合，配合面之间构成液体静压柱形滑轨，两端用旋转四氟Y型密封圈密封，用密封圈压环固定，防止工作时液压油溢出，以保证密封腔内的油压稳定，在外定位套6的端头到内定位套下端之间安装一个缓冲弹簧；B、调节支承盘与内定位套通过螺钉连接，调节螺套通过螺钉装在调节支承盘上，三根均布的调节螺杆同螺母与调节支承盘、调节螺套配合连接，在主轴的下端，安装一个压紧螺母、下轴承座，下轴承座内配合安装一个双列向心球面轴承，下轴承座与连接盘螺钉连接，连接盘上通过螺钉固定连接一个分油盘，连接盘依次与静压轴承盘、上磨削盘固定连接为一体。

本实用新型通过实际应用证明：完全达到设计目的，由于消除了上下磨削盘之间的平行度误差，上下磨削盘可以根椐各种不同的工件、各个加工阶段的加工工艺要求形成不同的相对运动，从而有效地提高了完工零件的平面度、表面粗糙度及两平面的平行度，表面粗糙度Ra值达到了4n m，两平面平行度或翘曲度达到了0.003μm。同时生产效率得到明显提高。

附图说明

下面结合附图，对本实用新型作进一步详细地描述。

图１，是本实用新型的装配结构示意图。

图２，是本实用新型在晶体双面抛光机床上应用的实例示意图。

具体实施方式

参照图１，对本实用新型的主要技术方案进行说明：本实用新型由支架1、上轴承座2、主轴箱3、传动齿轮4、密封圈压环5、外定位套6、内定位套7、螺钉8、调节支承盘9、调节螺套10、分油盘11、下轴承座12、静压轴承盘13、上磨削盘14、双列向心球面轴承15、螺母16、调节螺杆17、缓冲弹簧18、旋转四氟Y型密封圈19、主轴20、管子21、液压油22、橡胶骨架油封23、双列向心球面滚子轴承24、定位轴25及压紧螺母26等组成。其具体结构：

A、外定位套6装入主轴箱3内，在下端用螺钉8固紧，外定位套6与内定位套7配合，配合面之间构成精密回转液压轴系，两端面用旋转四氟Y型密封圈19密封，分别用外密封圈压环5对上端和下端进行固定，防止工作时液压油22溢出，以保证密封腔内油压稳定，主轴20装入内定位套7孔内，主轴20的上部装配有传动齿轮4，再装配上轴承座2，上轴承座2下端装有橡胶骨架油封23，轴承座2内装有双列向心球面滚子轴承24，双列向心球面滚子轴承24的内孔与主轴20相配合，主轴20的上端，同轴安装一个定位轴25，通过螺钉固定在上轴承座2上，定位轴25穿过支架1用螺母26固紧，支架1通过螺钉固定在主轴箱3上，主轴20与内定位套7的孔配合，配合面之间构成液体静压柱形滑轨，两端用旋转四氟Y型密封圈19密封，用密封圈压环5固定，防止工作时液压油22溢出，以保证密封腔内的油压稳定，在外定位套6的端头到内定位套7下端之间安装一个缓冲弹簧18。

、调节支承盘9与内定位套7通过螺钉连接，调节螺套10通过螺钉装在调节支承盘9上，三根均布的调节螺杆17连同螺母16与调节支承盘9、调节螺套10配合连接，在主轴20的下端，安装一个压紧螺母26、下轴承座12，下轴承座12内配合安装一个双列向心球面轴承15，下轴承座12与连接盘28螺钉连接，连接盘28上通过螺钉固定连接一个分油盘11，连接盘28依次与静压轴承盘13、上磨削盘14固定连接为一体。

以上所述的双列向心球面轴承15、双列向心球面滚子轴承24、缓冲弹簧18、旋转四氟Y型密封圈19、传动齿轮4、密封圈压环5、橡胶骨架油封23，均为标准件，可市场购置。

参照图２，对本实用型新的技术特点分析：主轴组件采用双层液压套方案，其特点是摩擦力小，运动灵活，并具有吸振的作用；外定位套与内定位套构成精密回转液压轴系以保证定位精度，工作时，可实现微量的上下移动，起到缓冲的作用，减小上磨削盘下降时的冲出力；为消除零件制造误差影响，增加了上磨削盘的水平调整机构，使其上下磨削盘之间保证相对平行位置。

参照图１，上磨削盘的水平位置的调整：上磨削盘的水平位置由调节螺杆17进行调节，配合一个千分表拷量，观察是否达到水平位置的要求，当上磨削盘水平位置调整好后，用螺母16固定。双列向心球面轴承15是在调整水平位置时，使主轴与上磨削盘之间允许有一定的崴动。

参照图２，是本实用新型在晶体双面抛光机床上应用的实例。整个机床由上磨削盘部件（本实用新型）Ⅰ、下磨削盘部件Ⅱ、机座部件Ⅲ、电气箱部件Ⅳ、立柱部件Ⅴ组成。在电气系统的控制下，上、下磨削盘根据各种不同的加工工艺要求，设定不同的转速。上磨削盘在转动的同时，可作上下直线运动，控制工件尺寸，加工时，将工件通过辅助工具安放在下磨削盘Ⅱ上。这样，就可以对工件同时进行两面的精磨或抛光。

本实用新型已初步成批地应用在FLLPM3070—A（16B）双面抛光机、FLLP319（13B）双面精密抛光机、FLLPM322—1422晶体大四轴单面抛光机的技术改造，效果显著，取得了较好的经济社会效益。

Claims (1)

1.一种用于双面精磨抛光机床的水平调整机构，含主轴箱（3）、静压轴承盘（13）、上磨削盘（14），其特征在于：水平调整机构由支架（1）、上轴承座（2）、主轴箱（3）、传动齿轮（4）、密封圈压环（5）、外定位套（6）、内定位套（7）、螺钉（8）、调节支承盘（9）、调节螺套（10）、分油盘（11）、下轴承座（12）、静压轴承盘（13）、上磨削盘（14）、双列向心球面轴承（15）、螺母（16）、调节螺杆（17）、缓冲弹簧（18）、旋转四氟Y型密封圈（19）、主轴（20）、管子（21）、液压油（22）、橡胶骨架油封（23）、双列向心球面滚子轴承（24）、定位轴25及压紧螺母（26）组成，具体结构：

A、外定位套（6）装入主轴箱（3）内，在下端用螺钉（8）固紧，外定位套（6）与内定位套（7）配合，配合面之间构成精密回转液压轴系，两端面用旋转四氟Y型密封圈（19）密封，分别用外密封圈压环（5）对上端和下端进行固定，防止工作时液压油（22）溢出，以保证密封腔内油压稳定，主轴（20）装入内定位套（7）孔内，主轴（20）的上部装配有传动齿轮（4），再装配上轴承座（2），上轴承座（2）下端装有橡胶骨架油封（23），上轴承座（2）内装有双列向心球面滚子轴承（24），双列向心球面滚子轴承（24）的内孔与主轴20相配合，主轴（20）的上端，同轴安装一个定位轴（25），通过螺钉固定在上轴承座（2）上，定位轴（25）穿过支架（1）用螺母（16）固紧，支架（1）通过螺钉固定在主轴箱（3）上，主轴（20）与内定位套（7）的孔配合，配合面之间构成液体静压柱形滑轨，两端用旋转四氟Y型密封圈（19）密封，用密封圈压环（5）固定，防止工作时液压油（22）溢出，以保证密封腔内的油压稳定，在外定位套6的端头到内定位套（7）下端之间安装一个缓冲弹簧（18）；

 B、调节支承盘（9）与内定位套（7）通过螺钉连接，调节螺套（10）通过螺钉装在调节支承盘（9）上，三根均布的调节螺杆（17）同螺母（16）与调节支承盘（9）、调节螺套（10）配合连接，在主轴（20）的下端，安装一个压紧螺母（26）、下轴承座（12），下轴承座（12）内配合安装一个双列向心球面轴承（15），下轴承座（12）与连接盘（28）螺钉连接，连接盘（28）上通过螺钉固定连接一个分油盘（11），连接盘（28）依次与静压轴承盘（13）、上磨削盘（14）固定连接为一体。

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